Закономерности формирования структуры в поверхностном слое деталей из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки
Диссертация
Проведённые исследования позволили установить закономерности влияния структуры и рельефа исходного поверхностного слоя конструкционных металлических материалов на качество формируемой поверхности в процессах модифицирования и нанесения покрытий при ВИП обработке. Основой качественного формирования поверхности в процессе ВИП обработки является исходная поверхность после финишной обработки деталей… Читать ещё >
Список литературы
- А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий: Предварительная обработка деталей для напыления», Технология материалов № 11, 1999, 13−20 стр.
- А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий: Подготовка поверхности под напыление», Технология материалов № 12, 1999, 13−19 стр.
- А.Ф. Гордеев, «Нанесение покрытий:. Подготовка поверхности напылением подслоя», Технология материалов № 6, 2000, 22−27 стр.
- Ю.И. Головин, «Введение в нанотехнологию», М., 2003. 112 стр.
- Под ред. П. П. Мальцева «Нанотехнологии. Наноматериалы. Наносистемная техника. Мировые достижения» изд.: Техносфера РИД ЗАО, 2008, 430 стр.
- А.И. Гусев, «Нано материалы, структуры, технологии», Москва: Физматлит, 2007, 415 стр.
- В. JI. Миронов, «Основы сканирующей зондовой микроскопии», изд: Техносфера, 2005, 144 стр.
- М. М. Криштал, И. С. Ясников, В. И. Полунин, A.M. Филатов, А. Г. Ульяненков, «Сканирующая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ в примерах практического применения», изд.: Техносфера, 2009, 208 стр.
- А.В. Плохов, Л. И. Тушинский «Исследование физических свойств покрытий», Технология материалов, № 6, 2006, 28−34 стр.
- А.В. Плохов, Л. И. Тушинский «Исследование защитных свойств покрытий», № 9, 2006, 22−26 стр.
- Da Yung Wang, Chi Lung Chang, Cheng Hsun Hsu, Hua Ni Lin Synthesis of (Ti, Zr) N hard coatings by unbalanced magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology № 130, 2000, p.p.64−68.
- Ильин А.А., Бецофен С .Я., Скворцова С. В., Петров JI.M., Банных И. О. Структурные аспекты ионного азотирования титановых сплавов // Металлы, 2002, № 3, с.6−15.
- Мубояджян С.А., Каблов Е. Н., Будиновский С. А. Вакуумно-плазменная технология получения защитных покрытий из сложнолегированных сплавов // МиТОМ, 1995, № 2. с. 15−18.
- Мубояджян С.А., Будиновский С. А. Конденсированные и конденсационно-диффузионные покрытия для лопаток турбин из жаропрочных сплавов с направленной кристаллической структурой // МиТОМ, 1996, № 4, с. 15−18.
- Yagodkin Yu.D., Pastuhov К.М., Muboyadjyan S.A., Kablov E.N. Application of Ion-Beam Treatment in Turbine Blade Production Technology // Surface and Coatings Technology № 84, 1996, p. 590−593.
- Мубояджян C.A., Будиновский С. А. Промышленная установка МАП-1 для нанесения защитных покрытий различного назначения // Авиационная промышленность, 1995, № 7−8, с. 44−48.
- Абраимов Н.В., Елисеев Ю. С., Крымов В. В. Химико-термическая обработка и защитные покрытия в авиадвигателестроении // М., Высшая школа, 1999, 526 с.
- Sillich R.N., Bolster R.N. and Singer I.L. in Hubter G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials //Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 637.
- Pope L.E., Yost F.G., Follstaedt D.M., Picraux S.T. and Knapp J.A. in Hubler G.K., Holland O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion1. plantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 681.
- Singer I.L. in Hubler G.K., Holland O.W., White O.W., Clayton C.R. and White C.W. (eds.) Ion Implantation and Ion Beam Processing of Materials // Elsevier, Amsterdam, 1985, p. 585.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками. Под редакцией Поута Дж.М. // М., Машиностроение, 1987, 424 с.
- Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлических материалах // М., Металлургия, 1990, 216 с.
- Плешивцев Н.В., Бажин А. И. Физика воздействия ионных пучков на материалы // М., Вузовская книга, 1998, 392 с.
- Shengli Ma, Yanhuai Li, Kewei Xu The composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the effect of pre-nitriding // Surface and Coatings Technology, № 137, 2001, p.p. 116−121.
- Sonoda T. and et. al Coating and superplastic Ti-alloy substrates Ti and Ti-O films by magnetron DC sputtering // Thin Solid Films, № 386, 2001, p.p. 227−232.
- Manory Rafael R., Perry Anthony J. Some effects of ion beam treatments on titanium nitride coatings of commercial quality // Surface and Coatings Technology, № 114, 1999, p.p. 137−142.
- Itoh Y., Itoh A., Azuma H., Hioki T. Improving the tribological properties of Ti-6A1−4V alloy by nitrogen-ion impantation // Surface and Coatings Technology, № 111, 1999, c. 172−176
- Rudenija S. Duplex TiN coatings deposited by arc plating for increased corrosion resistance of stainless steel substrates // Surface and Coatings Technology, № 114, 1999, p.p. 129−136.
- Wilson A.D., Leyland A., Matthews A. A comparative study of the influence of plasma treatments, PVD coatings and ion implantation on thetribological performance of Ti-6A1−4V // Surface and Coatings Technology, № 111, 1999, p.p.70−80
- Knotek O., Bohmer M., Leyendecker T. On the structure and properties of sputtered Ti and Al based hard compound // Vac. Sci. Technol., A4(6), Nov/Dec, 1986, p.p. 2695−2700.
- Hasegava H., Kimura A., Suzuki T. TiixAlxN, Tij. xZrxN and Ti. xCrxN films synthesized by the AIP method // Surface and Coatings Technology, № 132, 2000, p.p. 76−79.
- Discerens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surface and Coatings Technology № 108−109, 1998, p.p. 241−246.
- Nose M., Zhou M., Nagae Т., Мае Т., Yokota M., Saji S. Properties of Zr-Si-N coatings prepared by RF reactive sputtering // Surface and Coatings Technology, № 132, 2000, p.p. 163−168.
- Lewis D.B., Donohue L.A. The influence of the yttrium content on structure and properties of TiixyzAlxCryYzN PVD hard coatings // Surface and Coatings Technology № 114, 1999, pp. 187−199.
- Menzel S., Gobel Th., Bartsch K., Wetzig K. Phase transitions in PACVD-(Ti, A1) N coatings // Thin solid films. 1999. № 345, p.p. 263−269.
- Leoni M., Scardi P., Rossi S. et al (Ti, Cr) N and Ti/TiN PVD coatings on 304 stainless steel substrates: Texture and residual stress // Thin solid films, 1999, № 345, p.p. 187−199.
- Musil J., Karvankova P., Kasl J. Hard and super Zr-Ni-N nanocomposite films // Surface and Coatings Technology № 139, 2001, p.p. 101−109.
- Li T.S., Li H., Pan F. Microstructure and nanoidentation hardness of Ti/TiN multilayered films // Surface Coating and Technology № 137, 2001, p.p. 225−229.
- Kaelson L., Haltman L., Sundgren J.E. Influence of residual stresses on mechanical properties TiCxNi. x // Thin Solid Films, 2000, № 371, p.p. 167 177.
- Патент США № 2 157 478 (1937).
- Патент США № 2 239 642 (1937).
- Патент США № 3 625 848 (1968).
- Патент США № 3 836 451 (1970).
- Патент Великобритании № 1 322 670 (1973).56. А.с. СССР № 284 883 (1969).
- А.с. СССР № 359 977 (Бюл. изобр. № 18, 1976).
- А.с. СССР № 367 755 (Бюл. изобр. № 18, 1976).
- А.с. СССР № 1 491 039 Беляев В. Н., Власов А. Д., Моляр А. Г., Петров JI.M. и др. Многслойное покрытие изделий из нержавеющих и конструкционных сталей
- Богданович В.И., Малкин В. И. Докукина И.А. Применение титана в узлах пар трения космических аппаратов // Проблемы машиностроения и автоматизации, 1998, № 2−3, с. 100−104.
- Богданович В.И., Снопов С. Г., Лебедев А. П. Износостойкость конструкционных материалов с тонкими покрытиями // Передовой технический опыт, 1986, № 3, с.46−48.
- Барвинок В.А., Богданович В. И., Цидулко А. Г. Опыт разработки и внедрения технологий напыления защитных покрытий // В кн.: Защитные покрытия в машиностроении, Киев: ИЭС им. Патона, 1987, с. 172−175.
- Богданович В.И., Малкин В. И. Исследование ионно-плазменной технологии для металлизации композиционных материалов // Вопросы авиационной науки и техники. Сер. Технология авиационного двигателестроения, 1989, вып.1, с.86−88.
- Богданович В.И., Плотников А. П., Корнилов В. Б. Исследование механизма возникновения отслаивающих напряжений в покрытиях // Вопросы специальной радиотехники. Сер. Теория и техника антенн, 1990, вып. 2(45), с.57−61.
- Богданович В.И., Барвинок В. А., Юмашева Т. Л. Перспективность разработок в области получения новых материалов методами вакуумной ионно-плазменной технологии // Рыночная экономика: Сб. науч. Трудов, Самара, 1998, с.448−453.
- А.с. № 1 737 933 Катодный узел 10.02.96.
- А.с.№ 2 061 787 Катодный узел электродугового испарителя 10.06.96.
- А.с. № 2 059 737 Электродуговой испаритель металлов 10.05.96.
- А.с. № 2 046 836 Способ локализации области перемещения катодных пятен вакуумной дуги на поверхности испарения протяженного катода 27.10.95.
- А.с. № 93 043 133/02 Установка для вакуумно-плазменной обработки изделий в среде рабочего газа. 31.08.93.
- А.с. № 2 001 972 Установка для нанесения упрочняющих покрытий методом электродугового испарения. 30.10.93.
- А.с. № 2 036 245 Способ химико-термической обработки изделий ионно-плазменным методом в среде реакционного газа. 27.07.95.
- А.с. № 2 026 414 Способ обработки изделий. 10.01.95.
- А.с. № 2 039 843 Способ комплексной обработки изделий. 20.07.95.
- А.с. № 2 037 599 Способ нанесения покрытий на изделия методом ионного распыления и устройства для его осуществления. 19.06.95.
- А.с. № 2 033 475 Способ вакуумного конденсационного нанесения покрытий. 20.04.95.
- А.с. № 2 037 558 Вакуумная печь. 19.06.95.
- А.с. № 2 026 431 Способ нагрева электропроводящих изделий в рабочей камере. 10.01.95.
- А.с. № 1 552 687 Электродуговой испаритель. 15.12.94.
- А.с. № 1 531 830 Электродуговой испаритель с магнитным управлением зоной испарения. 30.03.94.
- А.с. № 1 505 064 Электродуговой испаритель 15.12.94.
- А.с. № 93 044 940/02 Электродуговой испаритель ферромагнитных материалов. 10.09.93.
- А.с. № 2 001 159 Установка электродугового нанесения металлических покрытий в вакууме. 15.10.93.
- Бабад-Захряпин А. А. Дефекты покрытий // М., изд. Энергоатомиздат, 1987, 152с.
- Петров JT.M., Чертов С. И., Ильин А. А., Назимов О. П. Исследование кинетики окисления титанового сплава ТС-6 // В сб. тезисов научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, М., 1983, с. 1.
- Петров JT.M., Чертов С. И., Ильин А. А., Назимов О. П. Исследование влияния газонасыщения на структуру и свойства листов из титановых сплавов. // Тезисы докладов научно-методической конференции 25-летия СФМАТИ, Ступино, 1982, с. 2.
- Моляр А.Г., Мних В. Н., Ткаленко Д. А., Петров Л. М. Исследование методов очистки деталей под вакуумную обработку // Тезисы докладов отраслевой конференции «Прогрессивные технологические процессы и оборудование для термообработки», Тбилиси, 1988, с. 11.
- Binnig G., Rohrer Н. Scanning Tunneling Microscopy From Birth to Adolescence // Rev. Mod. Phys. 1987. Vol. 59. P. 615−625
- N. John DiNardo, Nanometer-scale Science and Technology using Scanning Probe Microscopy // Department of Physics Drexel University, 2001
- В. К. Неволин, Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии // Министерство образования и науки Российской Федерации ГОУ ВПО Московский государственный институт электронной техники (Технический университет), Учебное пособие, 2004 г.
- Бахтизин Р.З. Сканирующая туннельная микроскопия. // Соросовский образовательный журнал. 2000. Том 6. № 11. С. 83−89.
- К.Н.Ельцов, А. Н. Климов, В. Ю. Юров и др., Письма в ЖЭТФ, 1995, 62(5), с.431
- Nathan Olfert, A reliable electrochemical etching procedure for tungsten STM tips // Surface Canada 2004
- L.S. Dongmo, J.S. Villarrubia*, S.N. Jones, T.B. Renegar, M.T. Postek, J.F. Song, Experimental test of blind tip reconstruction for scanning probe microscopy // Ultramicroscopy 85 (2000) 141−153
- Карташев В.А., Карташев B.B., Математическая модель процесса электрохимической заточки иглы туннельного микроскопа // ИПМ им. М. В. Келдыша РАН, Москва, 2007
- Исследование топографии поверхности методом сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Описание лабораторной работы // Сост. Д. О. Филатов, А. В. Круглов. — Н. Новгород: НОЦ СЗМ Нижегородского государственного университета, 2001−22 с.
- Н.Н. Холстинина, Д. В. Сурнин, Методика изготовления и аттестация вольфрамовых игл для СТМ // ВЕСТНИК УДМУРТСКОГО УНИВЕРСИТЕТА 2007. № 4
- Anne-Sophie Lucier, Preparation and Characterization of Tungsten Tips Suitable for Molecular Electronics Studies // Center for the Physics of Materials, Department of Physics McGill University, Canada, 2004
- P.B. Лапшин, Автоматическая распределенная калибровка сканера зондового микроскопа // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, № 11, с. 69−73
- ГОСТ Р 8.630−2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
- ГОСТ Р 8.628−2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
- ГОСТ Р 8.629−2007, Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
- А.А.Бухарев, В. С. Лобков, В. М. Яндуганов, Е. А. Самарский, Н. В. Бердунов, Сканирующая зондовая микроскопия дифракционных решеток, сформированных лазерным излучением // Оптика и спектроскопия, 1995, том 79, № 3, с.417−425
- А. Борисов, Т. Аблязизов, Кто победит в России: HD DVD или Blue-Ray? // информационно-технический журнал «Техника и технологии кино», № 5/06
- Спроул Роберт JI. Современная физика // М.: Наука, 1974, 86 с.
- Епифанов Г. И. Физика твердого тела // М.: Высшая школа, 1977, 230 с.
- Царев Б.И. Контактная разность потенциалов // М. Гостехиздат, 1949
- Черепин В.Т. Итоги науки и техники. Металловедение и термическая обработка // М., том 14, 1980, с. 19.
- Черепин В.Т., Васильев И. А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник // Наукова думка, 1982, с. 33.
- Грин М. Поверхностные свойства твердых тел // М.: Мир, 1972, с. 195.
- Кальницкий А.П., Файнштейн А. И. // Измерительная техника, № 5, 1980, с.56.
- Thomas A. Microhardness measurement as a quality control technicue for thin, hard coatings // Surface Engineering, 1987, v.3, № 2, p. l 17
- П.А.Арутюнов, А. Л. Толстихина, B.H. Демидов, Система параметров для анализа шероховатости и микрорельефа поверхности материалов в сканирующей зондовой микроскопии // Заводская лаборатория. Диагностика материалов, № 9, том 65, с.27
- S. Yu. Vasil’ev, S. N. Pron’kin, G. A. Tsirlina, and O. A. Petrii, Scanning tunneling microscopy of disperse electrode nanomaterials: distortions and correction of images // Russian Journal of Electrochemistry, Vol. 37, No. 5, 2001, pp. 448154
- Claude Nogues, Meni Wanunu, A rapid approach to reproducible, atomically flat gold fdms on mica// Surface Science 573 (2004) L383-L389
- Sieu D. Ha, Bilal R. Kaafarani, Stephen Barlow, Seth R. Marder, Antoine Kahn Multiphase Growth and Electronic Structure of Ultrathin
- Hexaazatrinaphthylene on Au (lll) // J. Phys. Chem. С 2007, 111, 1 049 310 497
- M. Greiner and P. Kruse, Recrystallization of tungsten wire for fabrication of sharp and stable nanoprobe and field-emitter tips // REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 78, 26 104 2007
- Соколов И.В. Контейнер для зонда сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), для транспортировки и хранения в изопропиловом спирте // Патент на полезную модель № 84 153.