Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы

Диссертация: Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

В настоящее время в промышленности, экспериментальной физике и химии проявляется большой интерес к ВЧ ёмкостным разрядам. Высокочастотный ёмкостной разряд используется в лазерной и осветительной технике для создания активной генерирующей среды- в промышленности он применяется для нанесения и травления тонких плёнок, плазменной обработки и модификации материалов, а также для синтеза и утилизации… Читать ещё >

Высокочастотные нагрузочные системы для ёмкостного возбуждения плазмы (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ЁМКОСТНОГО ВОЗБУЖДЕНИЯ ПЛАЗМЫ
    • 1. 1. Высокочастотный ёмкостной разряд
      • 1. 1. 1. Применение высокочастотного ёмкостного разряда
      • 1. 1. 2. Источники высокочастотной плазмы
        • 1. 1. 2. 1. Основные параметры плазмы
        • 1. 1. 2. 2. Высокочастотные реакторы планарного типа
        • 1. 1. 2. 3. Режим постоянного напряжения
        • 1. 1. 2. 4. Особенности высокочастотного ёмкостного разряда
        • 1. 1. 2. 5. Магнетронныйразряд
        • 1. 1. 2. 6. Источники плазмы для высокочастотного реактивно-ионного и химического травления
        • 1. 1. 2. 7. Источники атмосферной ёмкостной плазмы
    • 1. 2. Структура и состав высокочастотных систем мкостного возбуждения плазмы
      • 1. 2. 1. Анализ высокочастотных систем
        • 1. 2. 1. 1. Структура высокочастотной системы
        • 1. 2. 1. 2. Примеры реализации высокочастотных систем
      • 1. 2. 2. Высокочастотные генераторы
      • 1. 2. 3. Цепи высокочастотного согласования
      • 1. 2. 4. Схемы замещения плазменных нагрузок
      • 1. 2. 5. Проводники на высокой частоте
      • 1. 2. 6. Измерение мощности на высокой частоте
  • Выводы к Главе 1
  • Глава 2. ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ НАГРУЗОЧНЫЕ СИСТЕМЫ
    • 2. 1. Анализ линий передачи электромагнитной энергии
    • 2. 2. Цепи согласования высокочастотных нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы
      • 2. 2. 1. Исследование и расчёт П-контура
        • 2. 2. 1. 1. Определение основных параметров контура
        • 2. 2. 1. 2. Исследование области существования параллельного и последовательного резонансов
      • 2. 2. 2. Расчёт параллельного колебательного контура с неполным включением
        • 2. 2. 2. 1. Контуры с неполным включением индуктивности со стороны генератора и ёмкости со стороны нагрузки
        • 2. 2. 2. 2. Контуры с неполным включением ёмкости со стороны генератора и индуктивности со стороны нагрузки
      • 2. 2. 3. Цепь согласования с делением высокочастотной мощности
    • 2. 3. Ёмкостные плазменные нагрузки
      • 2. 3. 1. Распылительный магнетрон
        • 2. 3. 1. 1. Исследование зависимости высокой частоты и постоянного смещения от активной мощности
        • 2. 3. 1. 2. Расчёт схемы замещения распылительного магнетрона на высокой частоте
      • 2. 3. 2. Плазменный конденсатор с обкладками сложной геометрии
      • 2. 3. 3. Моделирование нагрузочной системы
  • Выводы к Главе 2
  • Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ АКТИВНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПРОВОДНИКОВ НА ВЫСОКОЙ ЧАСТОТЕ
    • 3. 1. Сопротивление электрических проводников с покрытиями на высокой частоте
      • 3. 1. 1. Определение активного сопротивления проводника с покрытием
      • 3. 1. 2. Анализ выражения для сопротивления проводника с покрытием и обсуждение полученных результатов
      • 3. 1. 3. Расчёт разъёмного контактного соединения на высокой частоте
    • 3. 2. Методика расчёта поперечного сечения электрического провода
      • 3. 2. 1. Особенности теплового расчёта проводников на высокой частоте
      • 3. 2. 2. Численная обработка результатов теории
  • Выводы к Главе 3
  • Глава 4. ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МОЩНОСТИ В ВЫСОКОЧАСТОТНЫХ НАГРУЗОЧНЫХ СИСТЕМАХ
    • 4. 1. Особенности схемного решения ваттметра
    • 4. 2. Основные характеристики коаксиальной линии передачи
    • 4. 3. Расчёт датчиков тока и напряжения
      • 4. 3. 1. Датчики тока
        • 4. 3. 1. 1. Измерение электрического тока в коаксиальном волноводе
        • 4. 3. 1. 2. Датчики тока — петля и катушка связи
        • 4. 3. 1. 3. Компоновка датчиков тока с учётом скин-эффекта
        • 4. 3. 1. 4. Анализ эквивалентной схемы датчика тока
      • 4. 3. 2. Датчики напряжения
        • 4. 3. 2. 1. Измерение электрического напряжения в коаксиальном волноводе
        • 4. 3. 2. 2. Использование датчика тока в качестве ёмкости RC-делителя. Расчёт сопротивления делителя
      • 4. 3. 3. Анализ последовательного включения датчиков тока и напряжения
    • 4. 4. Разработка методики расчёта ваттметра
      • 4. 4. 1. Расчёт коаксиальной линии передачи
        • 4. 4. 1. 1. Расчёт линии передачи по мощности
        • 4. 4. 1. 2. Расчёт линии передачи по току
      • 4. 4. 2. Расчёт амплитудного детектора и высокочастотного фильтра
        • 4. 4. 2. 1. Амплитудный детектор
        • 4. 4. 2. 2. Чувствительность ваттметра
        • 4. 4. 2. 3. Фильтр высокой частоты
      • 4. 4. 3. Методика расчёта ваттметра
      • 4. 4. 4. Экспериментальное исследование ваттметра
  • Выводы к Главе 4

Диссертационная работа посвящена исследованию и моделированию высокочастотных (ВЧ) нагрузочных систем (НС) для ёмкостного возбуждения плазмы, используемых в экспериментальной физике для нанесения и травления тонких плёнок и ионно-плазменной модификации материалов.

Объект исследования — система элементов ВЧ электрической цепи.

Предмет исследования — методы расчёта элементов НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

Актуальность темы

В настоящее время в промышленности, экспериментальной физике и химии проявляется большой интерес к ВЧ ёмкостным разрядам. Высокочастотный ёмкостной разряд используется в лазерной и осветительной технике для создания активной генерирующей среды [1−3]- в промышленности он применяется для нанесения и травления тонких плёнок [1,4−15], плазменной обработки и модификации материалов [16, 17], а также для синтеза и утилизации различных химических веществ [18−20]. В последнее время ёмкостной ВЧ разряд используется для генерирования «неидеальной» плазмы (например, пылевой) [21], которая изучается не только в земных условиях с целью получения наноразмерных объектов, но и в условиях микрогравитации, где более благоприятны условия, влияющие на кристаллизацию пылевой компоненты и фазовые переходы различных типов плазмы.

Технологические процессы с применением ВЧ ёмкостной плазмы осуществляются на вакуумных установках, имеющих ВЧ системы, которые предназначены для генерирования и оптимальной передачи энергии в нагрузку. Типичная ВЧ система состоит из генератора, линии передачи энергии (ЛПЭ), цепи согласования (ЦС) и нагрузки (магнетрона или плазменного конденсатора). При этом ЦС (согласующее устройство) и нагрузка образуют НС [22]. В нагрузке выделяется мощность Pi, равная разнице падающей Р и отражённой Рг мощностей. ЦС должны обеспечивать выполнение условия Pt ~ 0, что возможно, если в состав НС входит хотя бы элементарный измеритель коэффициента стоячей волны (КСВ) [23]. Однако в экспериментальных установках для осаждения тонких плёнок измерители КСВ (или аналогичные им по назначению приборы), как правило, отсутствуют [5, 7, 8].

С другой стороны анализ научной литературы показывает, что ВЧ ёмкостная плазма изучается в основном с точки зрения её технического применения [1−21]- работы по исследованию высокочастотных НС, используемых в экспериментальной физике и плазменных технологиях, с целью разработки методик их расчёта в литературе практически отсутствуют. Исключением является труд С. А. Самойлова [24], в котором рассмотрена задача согласования ВЧ генератора с активной средой СОг-лазера, затрагивающая проблему моделирования НС для плазменных технологий, но не решающая её.

Таким образом, изучение высокочастотных НС для экспериментальной физики и плазменных технологий, а также разработка новых методов их расчёта актуально.

Цель работы — исследование и моделирование высокочастотных НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

В связи с этим поставлены следующие задачи:

1. Моделирование цепей согласования (П-контура, параллельного колебательного контура с неполным включением и контура с делением ВЧ мощности), используемых в НС для ёмкостного возбуждения плазмы.

2. Разработка методик расчёта схем замещения для распылительного магнетрона и плазменного конденсатора, имеющего обкладки сложной геометрии.

3. Экспериментальное исследование зависимости ВЧ напряжения и постоянного смещения на распылительном магнетроне от активной мощности.

5. Исследование влияния материала покрытия на активное сопротивление проводников на высокой частоте для минимизации потерь энергии в электрических цепях НС.

6. Разработка ваттметра падающей, отражённой и активной мощностей для настройки цепи согласования ВЧ систем.

Методы исследований. В диссертации использован комплексный подход, включающий теоретические и экспериментальные методы исследований. В экспериментальных исследованиях применялись статистические методы обработки результатов экспериментов.

Достоверность результатов исследований и работоспособность созданных систем и устройств подтверждена экспериментальными исследованиями и практически выполненными разработками [25−29].

Научная новизна диссертационной работы заключается в исследовании ВЧ нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы, применяемых для нанесения и травления тонких плёнок и модификации материалов, и включает в себя:

1. Разработку методик расчёта П-контура, параллельного колебательного контура с неполным включением, контура с делением ВЧ мощности, схем замещения распылительного магнетрона и плазменного конденсатора с обкладками сложной геометрии, поперечного сечения электрических проводников и ваттметра ВЧ мощности.

2. Определение зависимости типа возбуждаемого резонанса от величин согласуемых сопротивлений, ёмкости на выходе контура и частоты электромагнитных колебаний.

3. Определение зависимости ВЧ напряжения на распылительном магнетроне от мощности, рассеиваемой на магнетроне.

4. Установление экстремальной зависимости активного сопротивления проводника с покрытием на ВЧ от удельного сопротивления и магнитной проницаемости материалов.

Реализация и внедрение работы. Результаты диссертационной работы использованы при разработке высокочастотной системы установки вакуумного магнетронного напыления для ЗАО «Ижевский завод мебельной фурнитуры» .

Положения, выносимые на защиту.

1. Для НС с использованием П-контура или параллельного колебательного контура с неполным включением безразмерная входная ёмкость (или индуктивность) контура зависит не от типа возбуждаемого в контуре резонанса, а от согласуемых сопротивлений, ёмкости (или индуктивности) на выходе контура и частоты электромагнитных колебаний.

2. Для НС с использованием П-контура тип возбуждаемого резонанса зависит от согласуемых сопротивлений, частоты, а также выходной ёмкости контура. Однако существует такое сочетание указанных параметров, при котором резонансные колебания в контуре не возбуждаются.

3. ВЧ напряжение на распылительном магнетроне с мишенями из кварцевого стекла, моноалюмината неодима, титана и тантала описывается функциями вида U = a Pi!', где, а и b — эмпирические коэффициенты, зависящие от материала мишени, индукции магнитного поля на поверхности мишени и площади контакта мишени с плазмой.

4. На зависимости активного ВЧ сопротивления проводника с проводящим покрытием от толщины существует экстремум в точке zi ext «тг<�У2, где дглубина скин-слоя материала покрытия.

5. ВЧ ваттметры, использующие датчики тока и напряжения должны удовлетворять условию равенства сигналов датчиков тока и напряжения при отсутствии отражённой волны.

Апробация работы. Материалы диссертационной работы докладывались на научно-практической конференции «Актуальные проблемы аграрного сектора» (Ижевск, 1997) — VI-й Российской университетско-академической научно-практической конференции (Ижевск, 2004) — Всероссийской научно-практической конференции «Современные проблемы аграрной науки и пути их решения» (Ижевск, 2005) — Всероссийской научно-практической конференции «Научное обеспечение реализации национальных проектов в сельском хозяйстве» (Ижевск, 2006) — III научно-практической конференции «Проблемы механики и материаловедения» (к 15-летию ИПМ УрО РАН) (Ижевск, 2006) — Международной научной конференции «75 лет высшему образованию в Удмуртии» (Ижевск, 2006) — 7-й Международной конференции «Вакуумные нанотехнологии и оборудование» (Харьковская нанотехнологическая ассамблея) (Харьков, Украина, 2006) — Международной научно-практической конференции «Нанотехнологии — производству — 2006» (Фрязино, 2006).

Публикации. Материалы диссертационной работы полностью отражены в научных изданиях. Общее число публикаций — 15, в том числе: статьи в рецензируемых журналах — 6- статьи в журнале, сборнике и материалах конференций — 4- информационный листок о научно-техническом достижении — 1- тезисы докладов конференций — 4.

Личный вклад. Теоретические и экспериментальные результаты, изложенные в диссертации, получены лично соискателем. Постановка задач исследований, определение методов их решения и анализ результатов экспериментов проведены совместно с соавторами опубликованных работ при непосредственном участии соискателя.

Диссертационная работа состоит из введения, четырёх глав, заключения, списка литературы из 183 наименований и приложения. Диссертация изложена на 156 страницах, содержит 56 рисунков, 10 таблиц и приложение. В приложении предоставлены документы о практическом использовании результатов работы.

Выводы и результаты диссертационной работы можно сформулировать следующим образом:

1. Разработаны методики расчёта П-контура, параллельного колебательного контура с неполнымым включением и контура с делением ВЧ мощности с учётом возбуждаемого в контуре типа резонанса, адаптированные к расчёту нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы.

2. Показано, что для нагрузочных систем с использованием П-контура или параллельного колебательного контура с неполным включением их безразмерная входная ёмкость (или индуктивность) не зависит от типа возбуждаемого резонанса, а зависит от согласуемых сопротивлений, выходной ёмкости (или индуктивности) и частоты электромагнитных колебаний.

3. Установлено, что для П-контура тип возбуждаемого резонанса зависит от согласуемых сопротивлений, частоты, а также выходной ёмкости контура.

4. Рассчитаны электрические схемы замещения для распылительного магнетрона, возбуждающего плазму, на основе экспериментально полученного результата зависимости ВЧ напряжения U от активной мощности Pi, имеющей степенной вид U=aPi, и плазменного конденсатора с обкладками сложной геометрии.

5. Теоретически найдена зависимость активного сопротивления проводника с покрытием на ВЧ от толщины покрытия, на которой установлено существование экстремального значения.

6. Определена оптимальная толщина покрытий для проводников на частоте 13,56 МГц (например, для меди с покрытием из серебра — 24,4 мкмдля бронзы БрКМцЗ-1 с покрытием из меди — 27,8 мкм).

7. Разработаны и созданы ваттметры ВЧ мощности, используемые в электрических цепях нагрузочных систем для ёмкостного возбуждения плазмы.

В заключении автор выражает глубокую признательность научному руководителю Геннадию Михайловичу Михееву за помощь и поддержку работы, за полезные обсуждения и замечания. Автор выражает благодарность Руслану Геннадиевичу Зонову за помощь, оказанную им в процессе работы над диссертацией.

Автор также выражает признательность Сергею Анатольевичу Скурихи-ну, Николаю Евгеньевичу Грязеву и Владимиру Сергеевичу Пушкарёву, так как конструкторская и экспериментальная часть диссертационной работы была выполнена при их непосредственном участии и творческой поддержке.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Показать весь текст

Список литературы

  1. , Ю.П. Высокочастотный ёмкостной разряд и его приложения /
  2. Ю.П. Райзер // Соросовский образовательный журнал. 1999. — № 8. -С. 90 — 96.
  3. , А.К. Характеристики галогенной лампы с накачкой продольнымвысокочастотным разрядом / А. К. Шуаибов, А. И. Дащенко, И. В. Шевера, А. А. Генерал // Письма в ЖТФ. 2003. — Т. 29, вып. 23. — С. 91 — 94.
  4. A.Б. Богомолов, В. Г. Балакирев // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1990. — Вып. 3. — С. 4 — 22.
  5. , А.Ф. Установка для осаждения тонких плёнок материалов, обладающих ВТСП / А. Ф. Белянин, П. В. Пащенко, А. П. Семёнов,
  6. B.В. Бесогонов, А. В. Солдатенков // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1990. — Вып. 5. — С. 42 — 49.
  7. , А.Ф. Устройство высокочастотного магнетронного распыления длявыращивания тонких плёнок / А. Ф. Белянин, П. В. Пащенко, А. П. Семёнов // ПТЭ. 1991. -№ 3. — С. 220 — 222.
  8. , И.П. Система высокочастотного распыления в установке ВУП-4 /
  9. И.П. Потапенко // ПТЭ. 1993. — № 5. — С. 192 — 193.
  10. , Г. П. Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде / Г. П. Строкань // ПТЭ. 2003. — № 6. -С.121 -124.
  11. , А.А. Влияние потенциала смещения на структуру тонких плёнокдиборида тантала / А. А. Гончаров, В. А. Коновалов, В. А. Ступак // Письма в ЖТФ. 2007. — Т. 33, вып. 5. — С. 12 — 16.
  12. , И.П. Промышленное применение высокочастотной плазмы / И. П. Дашкевич // Электротехника. 1982. — № 8. — С. 31 — 33.
  13. , В.И. Травление позитивных фоторезистов в кислородосодержащей плазме / В. И. Есин // Электротехническая промышленность. Сер. Преобразовательная техника. 1983. Вып. 3 (149). С. 15−16.
  14. , Н.Е. ВЧ-магнетронное реактивно-плазменное травление плёнокмеди и структур на ее основе / Н. Е. Печёнкин, В. М. Ветошкин, А. С. Акашкин // Техника средств связи. Сер. Технология производства и оборудование. 1991. — Вып. 3. — С. 62 — 66.
  15. , А.В. Травление материалов локализованным газовым разрядом /
  16. А.В. Абрамов, Е. А. Абрамова, И. С. Суровцев // Письма в ЖТФ. 2001. -Т. 27, вып. З.-С. 45−48.
  17. , В.М. Локальное высокочастотное магнетронное реактивно-ионное травление кварца / В. М. Ветошкин, O.K. Васюта, П. Н. Крылов, С. С. Алалыкин // ПТЭ. 2002. — № 6. — С. 123 — 125.
  18. , Л.Ю. Влияние потока высокочастотной низкотемпературной плазмы на свойства натуральных кож: автореферат дис.канд. техн. наук: 01.02.05 / Махоткина Лилия Юрьевна. Казань, 1999. — 16 с.
  19. , Н.В. Комплексные обувные материалы модифицированные ВЧплазмой в производстве изделий из кожи: автореферат дис.канд. техн. наук: 05.19.01 / Тихонова Наталья Васильевна. Казань, 2006. — 16 с.
  20. , Ю.А. Получение атомарного водорода в высокочастотном газовомразряде и масс-спектрометрическая диагностика процесса / Ю. А. Акулов,
  21. Б.А. Мымрин, ГШ. Шихалиев // ЖТФ. 1997. — Т. 67, вып. 5. -С. 140−142.
  22. , Е.Т. О возможности создания плазмохимического реактора дляполучения водорода / Е. Т. Протасевич // ЖТФ. 2003. — Т. 73, вып. 6. -С. 138- 139.
  23. , В.М. Использование высокочастотного магнетронного разрядадля утилизации хлорсодержащих газов / В. М. Ветошкин, А. А. Данилов, П. Н. Крылов // ПТЭ. 2003. — № 4. — С.134 — 137.
  24. , В.Е. Физика неидеальной плазмы / В. Е. Фортов, А. Г. Храпак, И. Т. Якубов. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2004. — 528 с.
  25. , О.Л. Радиопередающие устройства связи и вещания / О. Л. Муравьёв. М.: Радио и связь, 1983. — 352 с.
  26. , С.А. Моделирование устройств согласования высокочастотныхгенераторов с газоразрядными нагрузками: дис.канд. техн. наук: 05.13.14 / Самойлов Сергей Александрович. Владимир, 1998. — 187 с.
  27. , С.А. Устройство автоматического согласования / С. А. Скурихин,
  28. С.В. Грехнев, В. А. Морозов, Н. Е. Грязев // Информационный листок о научно-техническом достижении № 86−2332. М.:ВИМИ, 1986. — 3 с.
  29. Устройство автоматического согласования: рекламный проспект. Ижевск:1. Удм. ЦНТИ, 1989. 3 с.
  30. Источник ВЧ-5,0: рекламный проспект: разработчик НИИ ВЭМ. Ижевск:
  31. Удмуртский ЦНТИ, 1990. 3 с.
  32. Устройство высокочастотное: рекламный проспект: разработчик НИИ ВЭМ.- Ижевск: Удмуртский ЦНТИ, 1991. 3 с.
  33. , К. Теоретическая электротехника / К. Шимони. М.: Мир, 1964.- 775 с.
  34. , М.С. Курс радиопередающих устройств / М. С. Нейман. М.: Советское радио, 1965. 594 с.
  35. , В.А. Аналитическое исследование П-контура / В. А. Морозов, В. В. Касаткин // Труды научно-практической конференции «Актуальные проблемы аграрного сектора». Часть 4. Технические науки. Ижевск: Изд-воИжГТУ, 1997.-С. 32−33.
  36. , В.П. Вакуум: от натурфилософии до диффузионного насоса /В.П. Борисов. М.: НПК «Интелвак», 2001 // http://www.vacuum.ru/file/ misc/ borisov/vacuum/content.html.
  37. , B.C. Физика газового разряда / B.C. Комельков, Г. В. Спивак //
  38. Развитие физики в СССР. Книга первая. М.: Наука, 1967. — С. 153 — 181.
  39. , А.Ф. К вопросу о высокочастотной проводимости плазмы внеоне / А. Ф. Александров, А. А. Кузовников. ЖТФ. — 1963. — Т. 33, вып. 5. -С. 555.
  40. , А.Ф. Импеданс плоского конденсатора полностью или частично заполненного плазмой / А. Ф. Александров // ЖТФ. 1965. — Т. 35, вып. 2.-С. 226−234.
  41. , К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. I. Источники плазмы в отсутствии магнитного поля / К. В. Вавилин, А. А. Рухадзе, М. Х. Ри, В. Ю. Плаксин // ЖТФ. 2004. -Т. 74, вып. 5.-С. 44−49.
  42. , К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. И. Источники плазмы в условиях аномального скин-эффекта / К. В. Вавилин, В. Ю. Плаксин, М. Х. Ри, А. А. Рухадзе // ЖТФ. 2004. — Т. 74, вып. 6. — С. 25 — 28.
  43. , К.В. Радиочастотные источники плазмы малой мощности для технологических приложений. III. Геликонные источники плазмы / К. В. Вавилин, А. А. Рухадзе, М. Х. Ри, В. Ю. Плаксин // ЖТФ. 2004. — Т. 74, вып. 6.-С. 29−34.
  44. , Ю.П. Локализация высокочастотного ёмкостного разряда в длиннойполосковой линии / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер // Письма в ЖТФ. 1997. -Т. 23, № 2.-С. 64−70.
  45. , Е.А. Получение планарных слоёв Si02 магнетронным распылением кварца на рельефе полупроводниковых структур / Е. А. Туренко,
  46. В.И. Соколов, Э. В. Склярова // Всесоюзный постоянный научно-технический семинар «Низкотемпературные технологические процессы в электронике». 4−7 июня. Тезисы докладов. Ижевск, 1990. — С. 14.
  47. , Б.С. Реактивное ионное травление (по данным отечественной изарубежной печати за 1976 1983 гг.) / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев,
  48. Д.А. Назаров // Обзоры по электронной технике. Серия 3. Микроэлектроника. Вып. 1 (1010). М.: ЦНИИ «Электроника», 1984. — 71 с.
  49. , В.Н. Применение метода высокочастотного магнетронного травлениядля подгонки центральной части сверхузкополосного фильтра на ПАВ /
  50. B.Н. Зима, К. М. Кизиитов // Тонкие плёнки в электронике. Материалы III межрегионального совещания. Часть II. М.- Йошкар-Ола, 1992.1. C. 94 97.
  51. , С.Б. Травление GaAs в водородной плазме с использованием магнетронного реактора / С. Б. Беневоленский // Тонкие плёнки в электронике. Материалы V Международной научно-технической конференции. М.- Йошкар-Ола, 1994. — С. 112 — 114.
  52. , А.В. Плазменное осаждение алмазоподобных плёнок. Численная модель / А. В. Лукьянова, А. Т. Рахимов, Н. В. Суетин // Тонкие плёнки в электронике. Материалы III межрегионального совещания. Часть И. М.- Йошкар-Ола, 1992. — С. 157 — 162.
  53. Ким, К. К. Обработка материалов в плазме низкотемпературного объёмногоразряда ёмкостного типа / К. К. Ким, Г. Л. Спичкин, Е. К. Быстрое // Физика и химия обработки материалов. 2007. — № 1. — С. 46 — 52.
  54. , П.В. Магнетронная плазма и нанотехнологии / П. В. Каштанов,
  55. Б.М. Смирнов, Р. Хипплер // УФН. 2007. — Т. 177, № 5. — С. 473 — 510.
  56. , Е.В. Газоразрядный ионизатор в аргоновом ионизационном детекторе / Е. В. Крылов // ЖТФ. 2000. — Т. 70, вып. 11. — С. 126 — 132 с.
  57. , Д.С. Холодноплазменный электрокоагулятор / Д. С. Стребков,
  58. A.И. Некрасов, С. В. Авраменко, К. С. Авраменко // Мех. и электр. сель, хоз-ва. 2002. — № 2. — С.19−20.
  59. , В.В. Высокочастотные озонаторы нового поколения /
  60. B.В. Данилин, М. П. Кокуркин, М. М. Пашин, А. И. Смородин, Н. И. Пуресев // Электротехника. 2001. — № 9. — С.39.
  61. , Ю.Р. Физика газового разряда / Ю. Р. Райзер. М: Наука, 1987.591 с.
  62. , И.А. Лекции по физике плазмы / И. А. Котельников, Г. В. Ступаков. Новосибирск: Новосиб. ун-т, 1996. — 136 с.
  63. , В.И. Кинетика высокочастотного разряда низкого давления с конденсированной фазой / В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин // ЖТФ. 2004. — Т. 74, вып. 4. — С. 126 — 128.
  64. Sherman, A. Plasma assisted chemical vapor deposition processes and theirsemiconductor applications / A. Sherman // Thin solid films. 1984. — V. 113.-P. 135- 149.
  65. , B.A. О вентильных свойствах ВЧ-разрядов / В. А. Годяк, А. А. Кузовников // Физика плазмы. 1975. — Т. 1, вып. 3. — С. 496 — 503
  66. , Ю.П. Высокочастотный ёмкостной разряд: Физика. Техника эксперимента. Приложения / Ю. П. Райзер, М. Н. Шнейдер, Н. А. Яценко. М.: Изд-во МФТИ: Наука-Физматлит, 1995. — 320 с.
  67. , В.А. Особенности, а у перехода в ВЧ разряде низкого давления в аргоне / В. А. Лисовский // ЖТФ. 1998.- Т. 68, № 5. — С. 52 — 60.
  68. , Д.С. Бесстолкновительные слои ёмкостного разряда в различных частотных диапазонах / Д. С. Никандров, Л. Д. Цендин // Письма в ЖТФ. 2006. — Т. 32, вып. 16. — С. 62 — 74.
  69. , В.Ф. Процессы и установки электронно-ионной технологии: учеб. пособие для вузов / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. М.: Высшая школа, 1988.-255 с.
  70. , П.С. Магнетронные распылительные системы / П. С. Данилин, В. К. Сырчин. М.: Радио и связь, 1982. — 72 с.
  71. , И.Ю. Расчёт выработки катода для магнетронных системионного распыления / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // ЖТФ. 2003. -Т. 73, вып. 10.-С. 46−50.
  72. , И.Ю. Влияние резонансной перезарядки ионов аргона наэффективную скорость распыления в магнетронном разряде / И. Ю. Бурмакинский, А. В. Рогов // ЖТФ. 2004. — Т. 74, вып. 1. — С. 120 -122.
  73. А.В. Исследование магнетронного разряда постоянного тока методомподвижного сеточного анода / А. В. Рогов, Ю. Бурмакинский // ЖТФ. -2004. Т. 74, вып. 4 — С. 27- 30.
  74. , С.Г. Моделирование и расчёт параметров электрического разряда вмагнетроне / С. Г. Клопов, Л. Н. Лесневский, В. Н. Тюрин, A.M. Ушаков // Известия РАН. Серия физическая. 2006. — Т. 70, № 8. — С. 1207 — 1212
  75. , М. Техническая электроника. Т. 1. Физические основы электроники.
  76. Вакуумная техника / М. Кноль, И. Эйхмейр. М.: Энергия, 1971. — 472 с.
  77. , Ю.Н. Генерация атмосферной плазмы с помощью замедляющей системы / Ю. Н. Пчельников // Электротехника. 2006. — № 10. -С. 20−26.
  78. , Ю.Ю. Особенности электромагнитного поля высокочастотного ёмкостного разряда шнурового вида, горящего при атмосферном давлении / Ю. Ю. Луценко // ЖТФ. 2005. — Т. 75, вып. 11. — С. 124 — 126.
  79. , Ю.Ю. О характере затухания электромагнитного поля в плазмевысокочастотного разряда факельного типа / Ю. Ю Луценко, В. А. Власов, И. А. Тихомиров // Письма в ЖТФ. 2006. — Т. 32, вып. 9. — 23 — 27.
  80. , А.Ф. Применение ВЧ-автогенераторов в установках распыления итравления / А. Ф. Белянин, В. В. Бесогонов, А. Ю. Елисеев, В. Д. Житковский,
  81. П.В. Пащенко // Материалы II Всесоюзного межотраслевого совещания «Тонкие плёнки в электронике». М.- Ижевск, 1991. — С. 47 — 52.
  82. Пат. 2 030 849 Российская Федерация, МПК6 Н 05 Н 1/46. Высокочастотный генератор плазмы / Тоболкин А.С.- заявитель и патентообладатель автор. -№ 5 054 990/25- завл. 31.03.1992- опубл. 10.03.1995, Бюл. № 7.
  83. Пат. 2 035 130 Российская Федерация, МПК6 Н 05 Н 1/36. Высокочастотный генератор плазмы / Тоболкин А.С.- заявитель и патентообладатель автор. -№ 92 007 715/25- завл. 24.11.1992- опубл. 10.05.1995, Бюл. № 13.
  84. , Н.Н. Исследование и разработка высокочастотных систем питания с ламповыми генераторами для электротехнологий: автореферат дис.канд. техн. наук: 05.09.10 / Мальков Николай Николаевич. Санкт-Петербург, 1992. — 16 с.
  85. Пат. 2 133 998 Российская Федерация, МПК6 Н 01 L 21/3065. Реактор дляплазменной обработки полупроводниковых структур / Голишников А. А.,
  86. Н.М., Путря М. Г., Сауров А.Н.- заявитель и патентообладатель науч.-производ. комплекс «Технологический центр» Московского института электронной техники. № 98 105 773/25- завл. 07.04.1998- опубл. 27.07.1999, Бюл. № 21.
  87. , М.А. Технология получения плёнок A1N / М. А. Одинцов, Н. И. Сушенцов // Всесоюзный постоянный научно-технический семинар «Низкотемпературные технологические процессы в электронике». 4−7 июня. Тезисы докладов. Ижевск, 1990. — С. 26.
  88. , Н.И. Плёнки A1N для ПАВ-датчиков / Н. И. Сушенцов, М. А. Одинцов, T.JI. Кудрявцев, В. Е. Филимонов //. Материалы II Всесоюзного межотраслевого совещания «Тонкие плёнки в электронике». М.- Ижевск, 1991.-С. 33−36.
  89. , С.А. Шкаф высокочастотный / С. А. Скурихин, Б. Г. Дряхлов,
  90. B.C. Суслов // Информационный листок о научно-техническом достижении № 83−1602. М.: ВИМИ, 1983. — 3 с.
  91. , П.А. Универсальный мощный генератор высокой частоты / П. А. Полушин, А. Г. Самойлов // ПТЭ. 1995. — № 5. — С. 197.
  92. , Н.А. Согласующие устройства приёмных антенн декаметрового диапазона / Н. А. Костров, В. П. Литвиненко, П. И. Терских // Антенны. -2005.-Вып. 4 (95).-С. 7−10.
  93. , С.Е. Справочник по высокочастотным трансформаторным устройствам / С. Е. Лондон, С. В. Томашевич. М.: Радио и связь, 1984. — 216 с.
  94. , Б.А. Новая теория и расчёт фильтров и трансформаторов на отрезках передающих линий / В. А. Лапшин. СПб.: Наука, 1998. — 180 с.
  95. , И.Ю. О применении широкополосных согласующих устройств для антенн ДКМВ-диапазона / И. Ю. Хлопушин, О. Г. Сушков // Антенны. -2003. Вып. 12 (79). — С. 39 — 40.
  96. , И. Согласующие устройства / И. Григоров // Радиолюбитель KB и УКВ. 1997. № 10. — С. 32 — 34.
  97. , Е. Согласующее устройство / Е. Лаптев // Радио. 2002. — № 9.1. C. 62.
  98. , А.В. Определение распределения напряжения и тока вдоль линии на основе круговых диаграмм / А. В. Китаев // Известия вузов. Электромеханика. 2006. — № 1. — С. 65 — 70.
  99. , Б.А. Способы согласования ультразвуковых пьезокерамиче-ских преобразователей с источниками питания, работающими в режиме переключений / Б. А. Багинский, В. В. Редько // Электротехника. 2002. — № 3. -С. 17−21.
  100. , И.В. Амплитудно-фазовые соотношения при частотном согласовании в установках для ультразвуковой обработки жидких и твёрдых тел / И. В. Петушко // Электротехника. 2004. — № 2. — С. 49 — 57.
  101. , JI. Упрощённый расчёт П-контура / JI. Чернов // Радио. 1970. -№ 7.-С. 28.
  102. Пат. 2 056 683 Российская Федерация, МПК6 Н 01 S 3/09. Газовый лазер / Минеев А. П., Полушин П. А. Самойлов А.Г. Самойлов С.А.- заявитель и патентообладатель Институт общей физики РАН. № 5 056 566/25- завл. 28.05.1992- опубл. 20.03.1996, Бюл. № 8.
  103. , Б.М. Радиопередающие устройства / Б. М. Бетин. М.: Высшая школа, 1965. — 338 с.
  104. , В.Г. Основы радиотехники и радиолокации. Радиопередающие и радиоприёмные устройства / В. Г. Левичев, Я. В. Степук, Б. И. Фогельсон. -М.: Воениздат, 1965.-584 с.
  105. Генераторы высоких и сверхвысоких частот: учеб. пособие / О. В. Алексеев и др. М.: Высшая школа, 2003. — 326 с.
  106. , А.С. О параметрическом самовозбуждении асинхронного генератора / А. С. Каримов, Хо ТХАНЬ ХИЕП // Электротехника. 1992. — № 6 -1.-С.5−1.
  107. , Р.А. Радиоизмерения на сверхвысоких частотах / Р. А. Валитов, В. Н. Сретенский. М.: Военное издательство Военного Министерства СССР, 1951.-392 с.
  108. , А.А. Синтез и анализ квазинедиссипативных взаимных одночас-тотных и двухчастотных сумматоров и делителей мощности с управляемыми характеристиками / А. А. Головков, С. В. Ковалёв // Антенны. 2003. -Вып. 2 (69).-С. 61−79.
  109. , А.А. Многофункциональные антенные системы / А. А. Головков // Антенны. 2003. — Вып. 3 — 4 (70 — 71). — С. 84−93.
  110. , А.А. Синтез согласующе-фильтрующих устройств для антенн радиоэлектронных средств с манипуляцией амплитуды и фазы излучаемого сигнала / А. А. Головков, А. А. Чаплыгин // Антенны. 2005. — Вып. 7−8 (98−99).-С. 32−37.
  111. , А.С. Самосогласованная модель высокочастотного ёмкостного разряда низкого давления / А. С. Смирнов, К. Е. Орлов // Письма в ЖТФ. -1997-Т. 23, № 1.-С. 39−45.
  112. , Е.Т. Источник неравновесной плазмы низкого давления / Е. Т. Протасевич // ПТЭ. 1986. — № 5. — С. 152 — 153.
  113. , Р.Л. Высокочастотный ёмкостной разряд и плазмотроны на его основе / Р. Л. Немченок, Г. З. Паскалов // Электротехника. 1992. — № 1. -С. 42−46.
  114. , JI. Д. Электродинамика сплошных сред / Л. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц. М.: Наука, 1982. — 624 с.
  115. , Е.С. Инженерная электрофизика. Техническая электродинамика / Е.С. Кухаркин- под ред. П. А. Ионкина. М.: Высш. школа, 1982. — 520 с.
  116. , Н.Н. Основы электродинамики / Н. Н. Федоров. М.: Высшая школа, 1980.-399 с.
  117. , Г. Физика колебаний и волн / Г. Пейн. М.: Мир, 1979. — 391 с.
  118. , И.Е. Основы теории электричества / И. Е. Тамм. М.: Наука, 1976. -616 с.
  119. Материалы в приборостроении и автоматике: справочник / под ред. Ю. М. Пятина. М.: Машиностроение, 1982. — 528 с.
  120. Машиностроительные материалы: краткий справочник / В. М. Раскатов, B.C. Чуенков, Н. Ф. Бессонова, Д. А. Вейс. М.: Машиностроение, 1980. -511 с.
  121. , Н.И. Справочник по элементарной физике / Н. И. Кошкин, М. Г. Ширкевич. М.: Наука, 1980. — 208 с.
  122. , И.Д. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: справочник / И. Д. Груев, Н. И. Матвеев, Н. Г. Сергеева. М.: Радио и связь, 1988. — 304 с.
  123. , МЛ. Паразитные процессы в радиоэлектронной аппаратуре / M. J1. Волин. М.: Радио и связь, 1981. — 296 с.
  124. , О.П. Методы точных измерений силы тока, напряжения, мощности и их отношений в диапазоне звуковых и высоких частот / О. П. Галахова, A.M. Фёдоров. -М.: Машиностроение, 1976. 128 с.
  125. , Э. Измеряем КСВ: теория и практика / Эрнест Гуткин // Радио. -2003. № 5. — С. 66 — 68. — Радио. — 2003. — № 6. — С. 61 — 63.
  126. Полу шин, П. А. Измеритель мощности накачки волноводных СОг-лазеров / П. А. Полушин, А. Г. Самойлов // ПТЭ. 1993. — № 5. — С. 243 — 244.
  127. , Д.А. Ваттметр для высокочастотного генератора / Д. А. Нагорный, А. Г. Нагорный // ПТЭ. 2006 — № 2 — С. 162 — 163.
  128. , А.Г. Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления / А. Г. Нагорный, С. В. Колинько // ПТЭ. 2003. -№ 1. — С. 144- 148.
  129. , В.JI. Статические измерительные преобразователи электрической мощности / B. J1. Бенин, В. У. Кизилов. М.: Энергия, 1972. — 96 с.
  130. , А.А. Методы измерения мощности СВЧ / А. А. Бокринская, Е. Т. Скорик. Киев: Госиздат УССР, 1962. — 165 с.
  131. , И. Мостовой измеритель КСВ / И. Нечаев // Радио. 2003. — № 12. -С. 56−57.
  132. , А.А. Усилитель мощности с защитой от перегрузок / А. А. Титов, С. В. Мелихов // ПТЭ. 1993. -№ 6. — С. 118 — 121.
  133. , А. Повышение выходной мощности и КПД маломощных телевизионных передатчиков / А. Титов // ЭЛЕКТРОНИКА. Наука, Технология, Бизнес. 2004. — № 3. С. 26 — 28.
  134. , П.А. Измеритель импеданса газоразрядных лазеров, возбуждаемых высокочастотным сигналом / П. А. Полушин, А. Г. Самойлов // ПТЭ. -1993.-№ 5.-С. 90−93.
  135. , В.А. Расчёт характеристик рабочего конденсатора с прямоугольными электродами / В. А. Морозов // Электротехника. 2002. — № 11. -С.41−44.
  136. , В.А. Особенности расчёта контура третьего вида, используемого в нагрузочных системах высокочастотных технологических установок / В. А. Морозов // Электротехника. 2005. — № 2. — С.59 — 64.
  137. , В.А. Особенности расчёта высокочастотной нагрузочной системы с цепью согласования из параллельного колебательного контура с неполным включением / В. А. Морозов, Г. М. Михеев // Электротехника. -2006. № 8. — С.53 — 58.
  138. , В.А. Определение падающей, отражённой и активной мощностей в двухпроводной линии передачи электрической энергии / В. А. Морозов // Электротехника. 2006. — № 12. — С.25 — 29.
  139. , JI.P. Теоретические основы электротехники: в 2-х томах /Л.Р.Нейман, К. С. Демирчян. Л.: Энергия. Ленингр. Отделение, 1967. -Т. 1.-523 с.
  140. , В.И. Проектирование высокочастотных узлов радиолокационных станций / В. И. Власов, Я. И. Берман. Л.: СУДПРОМГИЗ, 1961.-260 с.
  141. Оптимизация системы ВЧ магнетронного распыления и отработка режимов получения диэлектрических слоев сложного состава: отчет о НИР / Московский институт радиоэлектроники, электроники и автоматики. М, 1986.-С. ИЗ.
  142. , Ю.Я. Расчёт электрической ёмкости / Ю. Я. Иоссель, Э. С. Кочанов, М. Г. Струнский. Л.: Энергоиздат, 1981. — 288 с.
  143. , В.А. Исследование активного сопротивления проводника с покрытием на высокой частоте / В. А. Морозов, Г. М. Михеев // Электротехника. 2004.-№ 3. — С.30 — 35.
  144. , В.А. Простой расчёт поперечного сечения электрического провода на низких и высоких частотах / В. А. Морозов, Г. М. Михеев // Электротехника. 2005. — № 4. — С.54 — 60.
  145. , В.А. Расчёт контактной пары для экранированного датчика измерения высокочастотного тока / В. А. Морозов, Г. М. Михеев // Вестник ИжГСХА. 2005. — № 3 (6). — С.8 — 9.
  146. ГОСТ 9.303−84, ГОСТ 9.306−85. Покрытия металлические и неметаллические неорганические. Общие требования к выбору и обозначения. М.: Изд-во стандартов, 1988. — 79 с.
  147. , Е.С. Расчёт теплового режима контактных проводников в высокочастотной цепи / Е. С. Белякова // Электросвязь. 1978. — № 9.
  148. , П.П. Конструирование электронной аппаратуры / П. П. Гелль, Н.К. Иванов-Есипович. JL: Энергия, 1972. — 232 с.
  149. Справочник конструктора РЭА. Общие принципы конструирования / под ред. Р. Г. Варламова. М.: Советское радио, 1980 — 480 с.
  150. Справочник по машиностроительным материалам. Т. 2. Цветные металлы и сплавы / под ред. Г. И. Погодина-Алексеева- ред. тома М. А. Бочвар. М.: Государственное науч.-техн. изд-во машиностроительной лит-ры, 1959. -640 с.
  151. Справочник по электротехническим материалам. Т. 3 / под ред. Ю. В. Корицкого, В. В. Пасынкова, Б. М. Тареева. Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отделение, 1988. — 728 с.
  152. , Н.П. Электротехнические материалы / Н. П. Богородицкий, В. В. Пасынков, Б. М. Тареев. Л.: Энергоатомиздат, 1985. — 304 с.
  153. , В.А. Измерение электромагнитной мощности на высокой частоте / В. А. Морозов, Г. М. Михеев // Проблемы механики и материаловедения:
  154. I науч.-практ. конф., Ижевск, 14 15 июня 2006 г.: тез. докл. — Ижевск: ИПМ УрО РАН, 2006. — С.92 — 93.
  155. , Р. Фейнмановские лекции по физике / Р. Фейнман, Р. Лейтон, М. Сэндс.- М.: Мир, 1977. Вып. 6. — 352 с.
  156. , Д.Н. Устройства СВЧ / Д. Н. Сазонов, А. Н. Гридин, Б. А. Мишустин. М.: Высшая школа, 1981.
  157. Аналоговые электроизмерительные приборы / Е. Г. Бишард и др. М.: Высшая школа, 1991. -415 с.
  158. , Ф.В. Радиотехнические измерения / Ф. В. Кушнир. М.: Связь, 1980.
  159. Расчёт электромагнитных элементов источников вторичного электропитания / А. Н. Горский и др. М.: Радио и связь, 1988. — 176 с.
  160. Пат. 2 080 677 Российская Федерация, МПК6 Н 01 F 30/10. Трансформатор / ЛундинВ.Н.- заявитель и патентообладатель Центральное конструкторское бюро «Геофизика». № 94 026 540/07- завл. 18.07.1994- опубл. 27.02.1997.
  161. С.И. Радиотехнические цепи и сигналы /С.И.Баскаков. М.: Высшая школа, 2003. — 462 с.
  162. , П. Искусство схемотехники: в 2-х томах / П. Хоровиц., У. Хилл. -М.: Мир. 1983.-Т.1.-598 с.
  163. Полупроводниковые приборы. Диоды высокочастотные, импульсные, оп-тоэлектронные приборы: Справочник / А. Б. Гитцевич и др.- под. ред. А. В. Голомедова. М.: «КУбК-а», 1997. — 592 с.
  164. ГОСТ Р 51 350−99. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования. М.: Издательство стандартов, 2000. — 84 с. 1. УТВЕРЖДАЮ"
  165. Испытание нагрузочной системы показало, что устройство согласования обеспечивает коэффициент отражения мощности не более 5%- при мощности 5 кВт температура устройства согласования не превышает расчётной величины.
  166. Экономический эффект от внедрения высокочастотной системы составил 1 200 000 рублей.
  167. Начальник вакуумного участка1. B.C. Пушкарев
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!