Влияние радиационных воздействий на электрофизические свойства МНОП структур
Диссертация
Проведенные к началу настоящей работы исследования влияния различного типа излучений на ЩП структуре были выполнены, в основном, для систем кремний-двуокись кремния. Существует ограниченное количество работ, посвященных исследованиям радиационных воздействий на. причем связь полученных результатов с особенностями состава и структуры пленок не обсуждалась. Исследования по воздействию мощного… Читать ещё >
Список литературы
- Mo гоsanu С.-Б. The Preparation, Characterization and Application of Silicon Nitride Thin Films. — Thin Solid Films, 1980, vol. 65, No 2, p. 171 208.
- Frohman-Bentchkowsky D. The Metal Nitride — Oxide — Silicon (MNOS) Transistor Characteristics and Applications, Procc. IEEE, 1970, vol. 581 p. 1207−1211.
- Pepper M. MNOS Memory Transistors. Insul. Films Semicond., 1979″ Inv., Contrib. Pap. Conf., Durham, 1979″ Bristol-London, 1980, p. 193−205″
- Лысенко B.C.", Назаров A.H., Турчаников В. И. Электрофизические свойства МДП структур, имплантированных ионами бора. -В кн.: Проблемы физики поверхности полупроводников / Под общ. ред. Снитко О. В. Киев: Наукова думка, 1981, с. 127 152.
- Агафонова Т.М., Коршунов А. Б., Тихонов В. Г., Трошков А.Г., I
- Эдельман Ф.Л. Структура компонентов БИС. Новосибирск, Наука, 1980, 256 с.
- Constantin С. Le Nitride de Silicium: Application aux Dispositic Semicon-ducteurs. L’Onde Elektrique, 1968, vol. 48, p. 327−340.
- Brown D.M., Gray P.V., Heumann F.K., Philipp H.R., Taft E.A. Propertiesof Si О N Films on Si. J. Electrochem. Soc., 1968, vol. 115, No 2, x у zp. 311−318.
- Gregor L.B. IBM Teclin. Rept. Silicon Nitride: Deposition and Application, 22. О67.17, July, 1969, P" 447−489.
- Щеглова B.B., Мякиненков В. И. 0 новых диэлектрических материалах в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Обзоры по электронной технике. Сер. Полупроводниковые приборы, 1971, № 10, с. 309−317.
- Мазель Е.З., Пресс Ф. П. Планарная технология кремниевых приборов. Москва, Энергия, 1974, 384 с.
- Been К.Е., Gleira P. S., Yeakly R.L., Runyan V/.R. Some Properties of Vapour Deposited Si1^ Films using the SiH^ NH^ - H2 System. — J. Electro-chem. Soc., 1967, vol. 114, No .4, p. 733−738.
- Arizumi Т., Nishinaga Т., Ogawa H. Thermodynamical Analyses and Experiments for the Preparation of Silicon Nitride. Japan. J. Appl. Phys., 1968, vol. 7, No 9, P. 1021−1027.
- Репинский C.M., Миронова Л. В. Кинетический анализ процесса синтеза нитрида кремния при взаимодействии силана с аммиаком. Изв. СО АН СССР, 1975, № 2 (242), Серия хим. наук, вып. I, с. 44−58.
- Meiiottee Н., Cochet G. Calcul des Domaines de Depot en Phase Gas Ouse Dans le System Si N — H. — Rev. Int. Htes. Temp, et Refract., 1976, vol. 13, No 1, p. 31−36.
- Эдельман Ф.Л., Воскобойников B.B., Смирнов B.B., Попов Б. В. Пленки поликристаллического кремния, полученные пиролизом силана. Микроэлектроника, 1974, т. 3, вып. 6, с. 554−556.
- Eversteijn F. Gas-Phase Decomposition of SiH in a Horizontal Epitaxial4
- Reactor. Philips Res. Repts., 1971, vol. 26, No 2, p. 134−144.
- Billy M. System Si N — H. — C. R. Acad. Sci. Paris, 1956, vol. 242, p. 137−151.
- Смирнова Т.П., Белый В. И., Ковалевская Т. И., Тимофеева B.C.
- Состав и превращения слоев, полученных аммонолизом моносила-на, по данным ИК-спектроскопии МНПВО. Микроэлектроника, 1975, т. 4, вып. 3, с. 263−269.
- Belyi V.I., Kuznetsov F.A., Smirnova Т.P. e. a. Chemical Non-uniformity of Thin Dielectric Films Produced Ъу Ammonolysis of Mbnosilane. Thin Solid Films, 1976, vol. 37, No 3″ Р" 432−442.
- Tanahashi K., Kobayashi K. Properties of Vapor Deposited Silicon Nitride Films with Varying Excess Si Content. Japan. J. Appl. Phys., 1973″ vol. 12, No 5″ P* 641−646.
- Thomson-CSF, Department Microelectronique Hyperfrequence, Domaine de Corbeville, 91 401, ORSAY, 1978*
- Иванов В.И., Малинин А. Ю., Николайкин Н. И. и др. Реакторы осаждения слоев из газовой фазы и тенденции их развития. -Электронная промышленность, 1977, вып. 5, с. 32−35.
- Репинский С.М., Белый В. И., Воскобойников В. В. и др. Синтез пленок нитрида кремния при пониженном давлении силана. -Неорганические материалы, 1971, т. 7, № 8, с. 1347−1350.
- Rosier R.S. Low Pressure CVD Production Processes for Poly, Nitride and Oxide. Solid State Technology, 1977, vol. 20, No 1, p. 63−70.
- Brown C.A., Robinelte W.P., Carlson H.G. Electrical Characteristics of Silicon Nitride Shielded Silicon Oxide Films. J. Electrochem. Soc., 1968, vol. 15, No 9, P. 948−955.
- Doo V.Y., Kerr D.R., Nichols D.R. Property Changes in Pyrolytic Silicon Nitride with Reactant Composition Changes. J. Electrochem. Soc., 1968, vol. 115, No 1, p. 61−64.
- Deal D.E., Fleming P.I., Castro P.L. Electrical Properties of Vapor Deposited Silicon llitride and Silicon Oxide Films on Silicon. J. Electrochem. Soc., 1968, vol. 115, No 3, p. 390−307•
- Amett P.O. Transient Conduction in Insulators at High Fields. — J. Appl. Phys., 1975″ vol. 46, No 12, p. 5236−5243.
- Gritsenko V.A., Meerson E.E., Mogilinikov K.P., Sinitsa S.P. High-Field Conductivity of Amorphous Insulator Films. Phys. Stat. Sol. (a), 1979"• vol. 52, No 1, p. 47−57.
- Heckingbottom R. A leed Investigation of the Nitridation of the Si (ill) Surface. The Struc. A. Chem. of Solid Surf., Proc. 4th Intern. Mater. Sympos., N.Y. 1 Wiley, 1969″ p. 78−1 — 78−8.
- Точицкий Э.И., Обухов В.е., Калошнин Э. П., Кучинский В. А. Влияние температуры осаждения на структуру в физические свойства пленок нитрида кремния. Физика и химия обработки материалов, 1974, № 4, с. 42−45.
- Генкина Н.А., Павлов П. В., Шитова Э. В., Крузе Т. А., Зорин Е. И. Влияние высокотемпературного отжига на структуру и состав пленок нитрида кремния. Изв. АН СССР. Неорганические материалы, 1975, т. II, № II, с. I988-I99I.
- Mellottee H. f Cochet G., Delbourgo R. Depot de Films de Nitrur. e de Silicium par Pyrolyse de Melanges Silane-Ammoniac. Structure et Proprietes du Depot. Rev. de Chem. Minerals, 1976, vol. 13″ No 2, p. 373−384*
- Ruddlesden S.N., Popper P. On the Crystal Structures of the Nitrides of Silicon and Germanium. Acta Cryst., 1957> vol. 11, p. 465−469.
- Волгин Ю.Н., Борисов О. П., Уханов Ю. И., Суханова Н. И. Дисперсия коэффициента преломления пиролитических пленок нитрида кремния. Журнал прикладной спектроскопии, 1976, т. 24, вып. I, с. 164−166.
- Nakhmanson R.S., Dobrovolskii P.P. Investigation of MS Structure1. homogeneities using a Scanning Mercury Probe. Phys. Status Solidi (a), 1973, vol. 19, No 1, p. 225−241.
- Герасименко H.H. Радиационные процессы в системах МДП.
- Материалы IV Всесоюзной школы-семинара по физике поверхности полупроводников. Ленинград, 1979, с. 155−162.
- Журкова Г. А., Мордкович В. Н. Влияние облучения протонами малых энергий на электрические свойства границы раздела кремний-двуокись кремния. Электронная техника, Сер. 2 Полупроводниковые приборы, вып. I (5l), с. 80.
- Патрикеев Л.Н., Подлепецкий Б. И., Попов В. Д. Образование заряда в S’lOz при облучении МОП структуры в реакторе. Микроэлектроника, 1973, т. 2, вып. I, с. 65−67.
- Вологдин Э.Н., Журкова Г. А., Мордкович В. Н. Облучение кремния, покрытого окисной пленкой, заряженными частицами низких энергий. Физика и техника полупроводников, 1972, т. 6, вып. 7, с. I306-I3I0.
- Зорин Е.И., Павлов П. В., Тетельбаум Д. И. Ионное легирование полупроводников. Москва, Энергия, 1975, 128 с.
- Chou N.J., Crowder B.L. Effect of 0+ and Ne+ Implantation on the Surface Characteristics of Thermally Oxidized Si. J. Applied Physics, 1970, vol. 41, No 4, p. 1731−1738.
- Зуев В.А., Попов В. Г. Особенности режима накопления зарядав кремниевых МДП-фототранзисторах. Микроэлектроника, 1978, т. 8, вып. 4, с. 374−376.46.
- Sigmon T.W., Chu U.K., Luguijo E., Mayer J.W. Stoichometry of Thin Silicon Oxide Layers on Silicon. Appl. Phys. Lett., 1974, vol. 24, No 3, p. 105−107.
- Sproul M.E., Nassibian A.G. Effect of 0+ Implantation on Silicon-Silicon Dioxide Interface Properties. Solid-State Electron., 1974, vol. 17, No 6,1. P. 577−582.
- Revesz A.R. Non-crystalline SiC>2 Films on Si: a Review. J. Non-Cryst. Sol., 1973″ vol. 11, No 2, p. 309−330.
- Попов В.Д., Ройзин Н. М. Роль ионизации в образовании поверхностных состояний на границе раздела диэлектрик-полупроводник. Микроэлектроника, 1973, т. 2, вып. 6, с. 552−556.
- Киблик В.Я., Лисовский И. П., Литвинов P.O., Литовченко В.Г. Влияние ионизирующего излучения на быстрые состояния системы
- Si- Si02. В сб.: Полупроводниковая техника и микроэлектроника. Киев: Наукова думка, 1976, вып. 23, с. 84−91.
- Киблик В.Я., — Литовченко В.Г., Литвинов P.O. Исследование радиационных состояний в МДП структурах. Микроэлектроника, 1979, т. 8, вып. 6, с. 534−538.
- Губанов А.И. Квантово-электронная теория аморфных полупроводников. Москва-Ленинград АН СССР, 1963, 250 с.
- Coleman M.V., Thomas D.J.D. The Structure of Amorphous Silicon Nitride Films. Fhys. St. Sol., 1968, vol. 25, No 1, p. 241−252.
- Giuliano C.R. Laser-Induced. Damage to Transparent Dielectric Materials. -Appl. Phys. Lett., 1964, vol. 5″ No 7″ P" 137−139″
- Журков С.Н. Проблема прочности твердых тел. Вестник АН СССР, 1957, № II, с. 78−82.
- Регель В.Р., Слуцкер А. И., Томашевский Э. Е. Кинетическая природа прочности твердых тел. 1- Москва, Наука, 1974, 560 с.
- Еронько С.Б., Журков С. Н., Чмель А. Кинетика накопления пов-ревдений в прозрачных диэлектриках при многократном лазерном облучении. ФТТ, 1978, т. 20, вып. 12, с. 3570−3574.
- Данилейко Ю.К., Маненков А. А., Нечитайло B.C. О механизме лазерного разрушения прозрачных материалов, обусловленном тепловым взрывом поглощающих неоднородностей. Квантовая электроника, 1978, т. 5, № I, с. 194−195.
- Митропольский М.М., Хотенков В. А., Ходаков Г. С. О лавинном пробое и вероятностной природе лазерного разрушения. Оптико-механическая промышленность, 1976, № 6, с. 18−20.
- Bass М., Barrett Н.Н. Laser-Induced Damage Probability at 1,06 (д.т and 0,69 jam. Appl. Opt., 1973, vol. 12, No 4, p. 690−699.
- Данилейко Ю.К., Маненков А. А., Нечитайло B.C. Предпороговые явления при лазерном разрушении оптических материалов. -Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 2, с. 438−441.
- Артемьев В.В., Бонч-Бруевич A.M., Моричев И. Е., Иванова Н. Л., Виноградский А. Г. Статистика микронеоднородностей прозрачных сред и их лучевая прочность. ЖТФ, 1977, т.- 47, № I, с. 183.188.
- Артемьев В.В., Бонч-Бруевич A.M., Имас Я. А., Салядинов B.C. Поглощающие микронеоднородности стекол и их эволюция при воздействии излучения ОКГ. Письма в ЖТФ, 1975, т. I, № 19, с. 903−907.
- Журков С.Н., Чмель А., Еронько С. Б. Кинетика светового разрушения прозрачных диэлектриков. Тезисы докладов IV Всесоюзного совещания по нерезонансному взаимодействию оптического излучения с веществом. Ленинград: ГОИ, 1978, с. 185−186.
- Макшанцев Б.И., Кондратенко П. С., Гандельман Г. М. Роль поглощающих неоднородностей в развитии, лавинной ионизации. ФТТ, 1974, т. 16, № I, с. 173−179.
- Леонов Р.К., Захаров С. И., Дмитриева И. А., Гандельман Г. М. Методы исследования роли поглощающих микровключений в разрушении прозрачных диэлектриков лазерным излучением. I. Пассивные методы. Квантовая электроника, 1978, т. 5- В 6, с. I279-I29I.
- Литвинов P.O. Влияние поверхности на характеристики полупроводниковых приборов. Киев: Наукова думка, 1972, 116 е.
- Рэди Дж. Действие мощного лазерного излучения. Москва: Мир, 1974, 468 с.
- Гуртов В.А., Камбалин С. А., Назаров А. И. Радиационные эффекты при воздействии рентгеновского излучения на МНОП структуры. Поверхность. Физика, химия, механика, 1984, № 6, с. II4-II9.
- Mitchell J.P., Wilson D.K. Surface Effects of Radiation on Semiconductor Devices. Bell. Syst. Techn. J., 1967, vol. 46, No 1, p. 1−80.
- Snow E.H., Grove A.S., Fitzgerals D.J. Effect of Ionization Radiation on Oxidized Silicon Surfaces and Planar Devices, Proc. IEEE, 197″ vol. 551 p. 1168.
- Бугнина Г. А., Дегтяренко Л. В., Кузнецов С. Н. Влияние ультрафиолетового облучения на заряд в МОП-структурах' с анодными окисными пленками на Si (жОП-структуры). Микроэлектроника, 1973, т. 2, вып. 6, с. 563−564.
- Лисовский И.П., Литвинов P.O., Литовченко В. Г. Механизмы формирования быстрых состояний в системе Si~Si02 под действием УФ радиации. В кн.: Физические процессы в МДП структурах. Киев, 1976, с. 25−27.
- Плотников А.Ф., Селезнев В. Н., Токарчук Д. Н. Деградация МНОП структур под действием УФ облучения. Микроэлектроника, 1979, т. 8, вып. 6, с. 554−558.
- Гиновкер А.С., Колосанов В. А., Курымев Г. Л. Релаксация заряда в МНОП транзисторах при многократных переключениях. -Микроэлектроника, 1976, т. 5, вып. 5, с. 419−423.
- Кольцов Ю. И. Кольцова Н.Г., Журавлев Г. И. Спектрофотометри-ческое определение фазового состава и толщины оксинитридных покрытий. Журнал прикладной спектроскопии, 1972, т. 16, вып. 3, с. 474−477.
- Патент США, 1978, № 410 830.
- Проспект ВДНХ СССР «Установка для измерения однородности полупроводниковых структур», 1974.
- Ройзин Я.О. Исследование электрофизических свойств МИЛ и МИМ структур со сквозными дефектами изолирующих слоев и сколами. Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук, Новосибирск, 1977, 158 с.
- Василенко B.C., Ройзин Я. О., Солошенко В. И. Неоднородности электрофизических свойств аморфных пленок нитрида кремния.- Микроэлектроника, 1983, т. 12, вып. I, с. 89−92.
- Масловский М.В., Нагин А. П. Характер проводимости и необратимых изменений в МНОП структурах. Микроэлектроника, 1978, т. 7, вып. 6, с. 531−537.
- Свойства структур металл-диэлектрик-полупроводник / Под ред. Ржанова А. В. Москва: Наука, 1976, 280 с.
- Ламперт М., Марк П., Инжекпионные токи в твердых телах. -Москва: Мир, 1973, 416 с.
- Kirk С.Т. Valence Alternation Pair Model of Charge Storage in MNOS Memory Devices. J. of Appl. Fhys., 1979, vol. 50, No 6, p. 4190−4195.
- Ахмед А.Ф., Георгиева В. Б., Ройзин И. О., Солошенко В. И., Фистуль В. И. Влияние содержания водорода на параметры аморфных пленок нитрида кремния. Электронная техника, 1984, Сер. 6, Материалы, вып. 5(l90), с. 27−29.
- Плотников А.Ф., Садыгов З. Я., Селезнев В. Н. Влияние величины протекшего заряда на скорость разрядки захваченного заряда в МНОП элементах памяти. Письма в ЖТФ, 1980, т. 6, вып. 7, с. 431−434.
- Есаев Д.Г., Синица С. П. Спектр и кинетика фотоиндуцирован-ного поглощения в аморфном нитриде кремния. Микроэлектроника, 1984, т. 13, вып. 5, с. 448−455.
- Васильев В.В., Михайловский И. П., Эпов А. Е. Спектры электролюминесценции пленок нитрида кремния в МНОП структурах.- Микроэлектроника, 1984, т. 13, вып. 5, с. 474−476.
- Васильев В.В., Есаев Д. Г., Синица С. П. Фотолюминесценция аморфных слоев нитрида кремния. ЖТФ, 1982, т. 52, № 4, с. 795−796.
- Гриценко В.А., Пундур П. А. Катодолюминесценция аморфного нитрида кремния. ФТТ, 1983, т. 25, № 5, с. 1560−1562.
- Ройзин Я.О., Ха Зуй Зунг. Релаксация тока и ¦./{ шумы в МНОП структурах. (в печати).
- Anderson P.W. Model for the Electronic Structure of Amorphous Semiconductors. Phys. Rev. Lett., 1975″ vol. 34, No 15, p. 953−955.
- Мотт H., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. Москва: 1974.
- Kastner М., Adler D., Fritzche Н. Valens-Altemation Model for Localized Gap States in Lone-Pair Semiconductors. Phys. Rev. Lett., 1976, vol. 37, No 22, p. 1504−1507.
- Стыс Л.Е., Фойгель М. Г. Кинетика донорно-акцепторной рекомбинации в слабо легированных компенсированных полупроводниках. ФТП, 1985, т. 19, № 2, с. 224−229.
- Гриценко В.А., Меерсон Е. Е., Могильников К. П., Синица С. П., Проводимость нитрида кремния, ограниченная пространственным зарядом ловушек. В сб.: Физические процессы в структурах металл-диэлектрик-полупроводник. Новосибирск, 1978, с. 12−19.
- Гриценко А.В., Зиновьев В. Б., Придачин Н. Б., Федченко В. И. Влияние ионного легирования на проводимость аморфного нитрида кремния. Микроэлектроника, 1976, т. 5, вып. 2, с. 170−175.
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация. Москва: Наука, 1983, 360 с.
- Нитрид кремния в электронике /Под ред. Ржанова А. В. Новосибирск: Наука, 1982, 200 с.
- Martinelli J. Laser-Induced. Damage Thresholds for Various Glasses. -J. of Appl. Fhys., 1966, vol. 37, No 4, p. 1939−1940.
- Лихачев В.П., Рыбкин С. М., Салманов В. М., Ярошецкий И. Д. Усталость при оптическом разрушении прозрачных диэлектриков. ФТТ, 1966, т. 8, № II, с. 3432−3434.
- НО. Аморфные полупроводники /Под ред. Бродски М. Москва: Мир, 1982, 202 с.
- Зи С. М. Физика полупроводниковых приборов: Пер. с англ. -Москва: Энергия, 1973, 656 с.
- Вавилов B.C., Кив А.Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. Москва: Наука, 1981, 368 с.
- ИЗ. Van Vechten J.A., Compaan A.D. Plasma Annealing State of Semiconductors — Plasmon Condensation to a Superconductivity like State at 1000 К? -Solid State Commun., 1981, vol. 39″ No 8, p. 867−873.