ΠΠΎΠ»Ρ-ΠΠ΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ
ΠΠ°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ 60-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΡΠ°Π½ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ … Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΎΠ»Ρ-ΠΠ΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ (Π³Π΅Π»Π΅Π²Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ) (Π°Π½Π³Π». The sol-gel process) — ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄ Π΅Π³ΠΎ Π² Π³Π΅Π»Ρ. ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΡΠ±Π΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ², Π²ΡΠΆΡΡΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ², ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΡΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°, ΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½, ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π·ΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π² Π³Π΅Π»ΠΈ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½ΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ», ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±ΡΠ°Π½, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, ΠΈΠ½ΡΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π°Π΄ΡΠΎΡΠ±Π΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠ΅ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ², ΡΠ΅ΡΠΌΠΎ ΠΈ Π·Π²ΡΠΊΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ Π»Π°ΠΊΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π±ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Ρ. Π΄.
ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΡΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΡΡΠ΅ΠΊΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΅Π»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ· Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ (Π·ΠΎΠ»Ρ in situ) ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»Π΅ΠΉ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ). ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π°), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΈ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π·ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉ, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅.
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 1. ΠΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. Π Π°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ², ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠΈΡΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ — ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ Π°Π» ΠΊΠΈΠ» ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Si (OR)4, Π³Π΄Π΅ R — Π³ΡΡΠΏΠΏΡ — Π‘Π3, — Π‘2Π5 ΠΈΠ»ΠΈ — Π‘3Π7. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»Ρ.
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 2. Π€ΠΎΡΠΌΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΠΎΠ»Ρ Π·Π°Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΡ. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΠΎΡΠΌΡ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ (ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡ) Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΡ Π½Π° ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡ.
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 3. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅Π»Ρ — ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ (Π·ΠΎΠ»Ρ) Π² ΡΠ²ΡΠ·Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΡΡΡΠ½ΡΡ. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ. ΠΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Π° (Π²ΠΎΠ΄Π°, ΡΠΏΠΈΡΡ, ΡΠΎΠ»ΠΈ) ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Π³Π΅Π»Ρ. ΠΠ° ΡΠ°Π½Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΈΠ· Π³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½ΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 4. Π‘ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ (ΡΠΎΠ·ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅) Π³Π΅Π»Ρ. ΠΠ° ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅Π·ΠΈΡ — Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ΄Ρ Π² Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³Π΅Π»Ρ. ΠΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ. Π‘ΠΎΠ·ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ.
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 5. Π‘ΡΡΠΊΠ° — ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³Π΅Π»Ρ. ΠΡΠΈ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· Π³Π΅Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΡΡ ΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ (Π»Π°ΠΏΠ»Π°ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ) Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΠ»Π°ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ Π² ΠΏΠΎΡΠ°Ρ :
Π³Π΄Π΅ ΠΡ — ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ:
— ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Ρ ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠΊΠ° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ;
Ρ — ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. Π Π°Π΄ΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΈΠ·Π½Ρ ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠΊΠ° ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:
Π³Π΄Π΅ rk— ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ°:? — ΡΠ³ΠΎΠ» ΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΡΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄ΠΎΠΉ.
ΠΠ° ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ»Ρ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π³Π΅Π»Ρ. ΠΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΡ ΠΈ ΡΠΌΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄ΠΎΠΉ. ΠΠ»Ρ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠΊΡ Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠΎΠΌ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π³Π΅Π»Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π°Π³Π΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ (ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΈΡΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΡ-ΠΌΠ°ΠΌΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.). ΠΡΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° Π²ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Π·ΠΎΠ»Ρ Π² Π³Π΅Π»Ρ, ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ» ΠΏΡΠΈ ΡΡΡΠΊΠ΅. Π Π°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π³Π΅Π»Ρ. Π£ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠΊΠΈ Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ (Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ). ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΡΠΊΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π² Π³ΠΈΠΏΠ΅ΡΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ .
β’ Π‘ΡΠ°Π΄ΠΈΡ 6. ΠΠ° ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π΅Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ° ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ. ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² Π΄Π΅Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π³Π΅Π»Ρ Ρ Π»ΠΎΡΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠΌ Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ°. Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎ ΡΡ Π΅ΠΌΠ΅:
CI?Si (CH3) 3 + ?Si-OH -> ?Si-0-Si?(CH 3) 3 + HCI.
ΠΡΠΈ 400Ρ800 Π‘? HCI Π΄Π΅ΡΠΎΡΠ±ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ. Π Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉΠΎΡ-Π³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ > 400 Β°C, Π° ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π½ΠΈΠΆΠ΅ 400 Β°C Π΄Π΅Π³ΠΈΠ΄ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΌΠ°Ρ.
ΠΠ°Π½ΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°Π»ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ ΠΆΡΡΠ½Π°Π»Π°Ρ ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΡΡΡΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΈΠ΅Π² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ Π²ΡΠ΄Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΡΡΠΏΠΏΠ° ΡΡΠ°Π½ΡΡΠ·ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΈΠ»Π° ΡΠ°ΡΡΡ ΡΡΠΎΠΉ Π½Π΅Π»ΡΠ³ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, ΠΎΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅Π΄Π°Π²Π½ΠΎ Π² NanoLetters. ΠΠ½ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π»ΠΈ Π² Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Ρ ΠΎΡ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΠ±ΠΎΠΊ ΠΈ Π·Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠ²Π°Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΏΠΈΡΠ°Π»ΡΠΌΠΈ, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ. Π ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ»Π°ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΡΠΊΠ·ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ. Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈΠ·ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΡΡ.
ΠΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π°Π²ΡΠΎΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π²Π·ΡΠ»ΠΈ ΠΠΠ (C2H4-1,2-((CH3) 2N?C16H33) 2) ΠΈ TEOS Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ Ρ Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΌ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ°. TEOS ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΡΡ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ»ΠΈΠ·Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ «ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ» ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π³Π΅Π»Ρ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ»Π°ΡΡ ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 450 Β°C. ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 1 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ².
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ ZnO Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² — Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π³Π»Π°Π²Π½ΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΡΡΠΏΠΏ. ΠΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΡΠΏΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° Π½ΠΈΡΡΠ°ΡΠ° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½-ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠ°ΡΠΎΡΠ° Π³Π΅Π»Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ»ΠΊΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΡΡΠΊΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ CO 2 (Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ). ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°: ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· (Π Π€Π), ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡ (Π‘ΠΠ), ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π΄ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ/Π΄Π΅ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ° (ΠΠΠ’), ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ (Π€Π). ΠΡΠΆΠΈΠ³ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 250 Β°C ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ.
Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΎ, Π±Π΅Π·ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΊ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°.
ΠΠ°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ 60-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ»Π΅ΡΠΈΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΡΠ°Π½ΡΠ΄ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ², Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π΅ΡΡΡΠΈΠ»Π΅ΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π½Π° ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°Π½ΠΎΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (Eg=3.37 ΡΠ), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ² (60 ΡΠ).
ΠΡΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ — ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Π½ΡΡ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΠΎΡΠΈΡΡΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ: ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π΄Π»Ρ Π°Π΄ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ, ΡΠΈΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π»ΠΈΠ·Π°, Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠ².
Π§Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ, Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° «Π²ΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°ΡΡ» Π² Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ-ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ SiO 2, Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ Π°Π»ΠΊΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ, Π² Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ² Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈΠ· Π°Π»ΠΊΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ², ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΈΡ Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ. Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡΡΠ°Π» ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π½ΠΎΠ²ΡΠΉ Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π³Π»Π°Π²Π½ΡΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ² ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π΅ΠΉ (Ρ.Π΅. Π½ΠΈΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈ Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½ΠΈΠ΄ΠΎΠ²) Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π°Π»ΠΊΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΎΡΠΎΠ². Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΡΡΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΠΌ, Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠΉ ΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ°.
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π³Π΅Π»Ρ ZnO. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠΌΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΈΡΡ Zn (NO 3) 2 β’6H 2 O (J.T. Baker), ΠΌΠ΅ΡΠ°Π½ΠΎΠ» (Fisher), ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ» (100%, Fisher), ΠΈΠ·ΠΎΠΏΡΠΎΠΏΠ°Π½ΠΎΠ» (Fisher), Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ (Mallinckrodt), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½-ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ (AlfaAesar). ΠΠΈΡΡΠΈΠ»Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Easy Pure II, Barnstead International.
Π 1.25 ΠΌΠ» ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ (ΡΠ°Π±Π». 1) Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 0.238Π³ Zn (NO 3) 2 β’6H 2 O Π΄ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±Π΅ΡΡΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΈΠ»ΠΈ 0.465 Π³ ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°. Π‘ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΡΡ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ»ΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π³ΠΎ Π³Π΅Π»Π΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 3−5 Π΄Π½Π΅ΠΉ. ΠΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠΈ, Π³Π΅Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΠ²Π°Π»ΡΡ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ΠΎΠΌ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈ. ΠΡΠΎΠΌΡΡΡΠ΅ Π² Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½Π΅ Π³Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈ Π² Π°Π²ΡΠΎΠΊΠ»Π°Π², Π³Π΄Π΅ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΠΈ Π½Π° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ CO2 Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 2−4 Π΄Π½Π΅ΠΉ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π°Π²ΡΠΎΠΊΠ»Π°Π²Π° Π±ΡΠ»Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π° Π΄ΠΎ 45 Β°C ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1150 psi (ΡΡΠ½ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΡΠΉΠΌ) ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΊΠ΅ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 3 ΡΠ°ΡΠΎΠ², Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½Π° ΠΈΠ· Π³Π΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 30 Π΄Π½Π΅ΠΉ.
ΠΠ»Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Brunauer-Emmett-Teller (BET) ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΏΠΎΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Barrett-Joyner-Halenda (BJH) Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΎΠΏΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π΄ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ-Π΄Π΅ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π½Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ (Nova 3200e, Quantochrome Instrument Corp.). ΠΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΠΈΡΡ Π΄Π΅Π³Π°Π·ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 20−40 Ρ. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 24 ΡΠ°ΡΠΎΠ², ΡΡΠΎΠ±Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ 150-ΡΠΈ ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π°.
ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠ΅ΠΉ (Π‘ΠΠ) Π² ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ Ρ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠΌ (ΠΠ Π‘Π) Π½Π° ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ΅ Hitachi S-4300. Π£ΡΠΊΠΎΡΡΡΡΠ΅Π΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ»ΠΎ 3 ΠΊΠ. Π Π΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· (Π Π€Π) ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π° Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Philips Nerelco Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ CuKa ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π€ΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Fluoromax-3 (Jobin Yvon, Horiba), Π»=325 Π½ΠΌ.
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅Π»Ρ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½-ΠΎΠΊΠΈΡΠ΄Π° ΠΊ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡ Π½ΠΈΡΡΠ°ΡΠ° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π±Π΅Π»ΡΠΉ Π³Π΅Π»Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°. Π£ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1.
ΠΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅Π»Ρ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π²ΠΎΠ΄Ρ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΎΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³Π΅Π»Ρ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π½ΠΎΠ»Π° — 8Ρ10 Ρ, Π° Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΎΠΏΡΠΎΠΏΠ°Π½ΠΎΠ»Π° 2Ρ3 Ρ). ΠΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½Π΅Π½ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ Π·ΠΎΠ»Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π² ΡΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅.
ΠΠ΅Π»ΠΈ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΡΡΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π² CO 2 Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ. ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 1 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΠΆΠ΅ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ.
ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ Π±ΡΠ»Π° ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° ~0.04 Π³/ΡΠΌΡ Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ². Π‘ΡΠΎΠΈΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Π° ΠΎΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ», ΠΈΠ·ΠΎΠΏΡΠΎΠΏΠ°Π½ΠΎΠ» ΠΈ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ (A2, A3 ΠΈ A4) Π±ΡΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠ°Π·Π»Π°ΠΌΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ ΠΈΠ· ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ° (ΡΠΈΡ. 1B).
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 2Π ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π1. ΠΠ° ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ Π½Π°Π±ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ΅Π½Ρ ΠΊ (100), (101), (102), (103) ΠΈ (112) ΡΠ΅ΡΠ»Π΅ΠΊΡΠ°ΠΌ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° — Π²ΡΡΡΠΈΡΠ° (JCPDS #5−664). Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 150 Β°C Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 5 ΡΠ°ΡΠΎΠ². Π Π΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΎΡΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 2B. ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΊ ΡΠΎΠ½Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ± ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ΅ΠΏΡΠΎΠΈΠ½Π΄ΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΈΠΊΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°ΠΌ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ.
ΠΠΎ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ Π‘ΠΠ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π1 ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ Π½Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ (ΡΠΈΡ. 3Π). ΠΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ (ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ X1) ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ~500 Π½ΠΌ (ΡΠΈΡ. 3B). ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π1 Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ Π΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 150 Β°C Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΡΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ 400 Π½ΠΌ (ΡΠΈΡ. 3Π‘). ΠΡΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π΅ ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ X1 ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 3D).
ΠΠ Π‘Π ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π1 ΠΈ X1 ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΡ Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ². Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΊ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ, Π½ΠΎ Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. ΠΠ΅ΡΠΎΡΡΠ½Π΅ΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π²ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ. ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ² ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ°.
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 2 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π1 ΠΈ Π₯1 ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΠΏΠΈΠ»Π»ΡΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π΄ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ/Π΄Π΅ΡΠΎΡΠ±ΡΠΈΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ°. ΠΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π·ΠΎΠΏΠΎΡ. ΠΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ X1 ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΡΡ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠΌ Π1 ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡ (0.30 ΡΠΌΡ/Π³ ΠΈ 0.17 ΡΠΌΡ/Π³, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ), ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ Π³Π΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ (Π΄Π»Ρ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ — Ρ 277 ΠΌΠ/Π³ Π΄ΠΎ 102 ΠΌΠ/Π³) ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΡ.
ΠΠΈΠΊ Π² Π£Π€-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡ Ρ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΊΡΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΡΠΊΡΠΈΡΠΎΠ½-ΡΠΊΡΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ. ΠΠΈΠΊ Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΉ. Π£ Π½Π΅ΠΎΡΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π1 ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»Π°Π±ΡΠ΅ ΠΏΠΈΠΊΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠΎΠ².
ΠΡΠ²ΠΎΠ΄Ρ
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ (>270 Π³/ΡΠΌΡ), ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ (~0.04 Π³/ΡΠΌΡ) ΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΡΡ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΊΠ°. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΅Π³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ — ΠΊΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π»Ρ — ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· Π³Π΅ΠΊΡΠ°Π³ΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ. ΠΡΠΆΠΈΠ³ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π°ΡΡΠΎΠ³Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 250 Β°C ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» Ρ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΊΡΠΈΡΠΎΠΌΠ½ (Π»Π°Ρ. excito — «Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π°Ρ») — Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Π°Ρ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅, ΠΌΠΈΠ³ΡΠΈΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΡ.
ΠΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ — ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΠΈΠΊΠ» Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°ΠΌΠΈ.
ΠΠ²ΡΠΎΠΊΠ»Π°ΠΌΠ² — Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ. Π ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠΊΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡ.
Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ:
1. Π. Π. Π¨Π°Π±Π°Π½ΠΎΠ²Π° Π. Π. Π‘Π°ΡΠΊΠΈΡΠΎΠ²: «ΠΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π·ΠΎΠ»Ρ-Π³Π΅Π»Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½Π΅Π·Π΅ΠΌΠ°»
2. http://www.nanometer.ru/
3. http://popnano.ru/
4. http://www.rusnauka.com/
5. http://pubs.acs.org/