ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ структуры ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ РЭМ, Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° сфокусированным элСктронным ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности частиц ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ взаимодСйствия элСктронов с Π²Π΅Ρ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ рСнтгСновского излучСния. Анализ частиц позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ повСрхности, ΠΎ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСской структурС приповСрхностных слоёв. Анализ рСнтгСновского… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π˜Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ структуры ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π˜Π—ΠžΠ‘Π ΠΠ–Π•ΠΠ˜Π• БВРУКВУРЫ ΠœΠ•Π’ΠΠ›Π›Π

ЦСль Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ — Ρ€Π°Π·ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ схСму мСталлографичСского микроскопа, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ изобраТСния микроструктуры, ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π± изобраТСния.

ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π± изобраТСния — ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° изобраТСния ΠΊ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΌΠ΅Ρ‚Π°.

мСталлографичСский микроскоп - Π‘ΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ° мСталлографичСского исслСдования Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…одимости Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ структуру повСрхности Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅Π». ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ микроскоп построСн ΠΏΠΎ ΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ свСта, Π³Π΄Π΅ имССтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ установлСнный со ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°. БистСма ΠΏΡ€ΠΈΠ·ΠΌ ΠΈ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π» направляСт свСт Π½Π° ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ свСт отраТаСтся ΠΎΡ‚ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° ΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ся ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ Π² ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ².

ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ мСталличСского ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (ΡˆΠ»ΠΈΡ„Π°):

  • -полированная гладкая ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ подготовлСнная для микроскопичСского исслСдования;
  • -протравлСнная Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ выявлСния Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ† Π·Ρ‘Ρ€Π΅Π½ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… структурных ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ….

Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ микроскопа - это ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ микроскопа Π²Ρ‹Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‡Ρ‘Ρ‚ΠΊΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π²ΡƒΡ… Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ располоТСнных Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°. Π­Ρ‚Π° характСристика опрСдСляСтся ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ излучСния (Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅, ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅, рСнтгСновскоС ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅). Π€ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ элСктромагнитного излучСния ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, мСньшСго ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌ, Ρ‡Π΅ΠΌ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ этого излучСния.

структура ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° - строСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ характСризуСтся Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ„Π°Π· (ΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ ΠΈΡ… Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ получСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° (ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ)), ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ, взаиморасполоТСниСм ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ.

ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микроскопа - это ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π° ΠΈ ΠΎΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π°. Если ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠΊΡƒΠ»ΡΡ€ΠΎΠΌ Π΅ΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ систСма, Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микроскопа Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡŽ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ всСх оптичСских систСм, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅: ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, окуляра, бинокулярной насадки, ΠΎΠΏΡ‚ΠΎΠ²Π°Ρ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… систСм.

Π“ΠΌ = Π²ΠΎΠ± * Π“ΠΎΠΊ * q1 * q2 *…,.

Π³Π΄Π΅ Π“ΠΌ — ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микроскопа, Π²ΠΎΠ± — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°, Π“ΠΎΠΊ — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ окуляра, q1, q2… — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… систСм.

Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ зависит ΠΎΡ‚ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚Сля. Оно опрСдСляСтся ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ этого ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° (ΠΈΠ»ΠΈ изобраТСния) ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π³Π»Π°Π·Π°.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½ΡΡ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ находится Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π³ΠΎ зрСния Π½Π΅Π²ΠΎΠΎΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π³Π»Π°Π·ΠΎΠΌ. Для Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π»Π°Π·Π° эта ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ располоТСна Π½Π° Ρ€Π°ΡΡΡ‚оянии ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ 250 ΠΌΠΌ. Если расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠΌ ΠΈ Π³Π»Π°Π·ΠΎΠΌ большС, Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ мСньшим, ΠΈ Π½Π°ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚.

Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Ссли Π³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ микроскоп Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 500, это Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π°, Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ микроскопом ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π³ΠΎ зрСния, каТСтся Π½Π΅Π²ΠΎΠΎΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ Π³Π»Π°Π·Ρƒ Π² 500 Ρ€Π°Π· большим, Ρ‡Π΅ΠΌ сам ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚, находящийся Π½Π° Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΆΠ΅ расстоянии. микроскоп мСталлографичСский микроструктура растровый.

элСктронный микроскоп - ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ сильно ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ для ΠΈΡ… ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ элСктроны. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ микроскоп (ЭМ) Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ, слишком ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΡ… ΠΌΠΎΠ³ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ свСтовой (оптичСский) микроскоп. ЭМ — ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² для Ρ„ΡƒΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π½Π°ΡƒΡ‡Π½Ρ‹Ρ… исслСдований строСния вСщСства, особСнно Π² Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… областях Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ биология ΠΈ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π΅Π»Π°.

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€ΠΈ основных Π²ΠΈΠ΄Π° Π­Πœ. Π’ 1930;Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ… Π±Ρ‹Π» ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π΅Ρ‚Π΅Π½ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ОПЭМ), Π² 1950;Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ… — растровый (ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ) элСктронный микроскоп (РЭМ), Π° Π² 1980;Ρ… Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ… — растровый Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ микроскоп (РВМ). Π­Ρ‚ΠΈ Ρ‚Ρ€ΠΈ Π²ΠΈΠ΄Π° микроскопов Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π° Π² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ… структур ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ².

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ элСктронный микроскоп (ОПЭМ) Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ схоТ со ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ микроскопом. ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ для освСщСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Π² ΠžΠŸΠ­Πœ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π½Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ‚, Π° ΠΏΡƒΡ‡ΠΎΠΊ элСктронов. Π’ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктронного микроскопа входят: элСктронный ΠΏΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€, ряд кондСнсорных Π»ΠΈΠ½Π·, ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Π°Ρ Π»ΠΈΠ½Π·Π° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ систСма, которая соотвСтствуСт окуляру, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅Ρ†ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½Π΅ΡΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ экран ΠΈΠ»ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ пластинку. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ элСктронов ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ являСтся Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΈΠ· Π²ΠΎΠ»ΡŒΡ„Ρ€Π°ΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ гСксаборида Π»Π°Π½Ρ‚Π°Π½Π°. ΠšΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄ элСктричСски ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°, ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Ρ‹ ΡƒΡΠΊΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ элСктричСским ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ. Π­Ρ‚Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° носит Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронного ΠΏΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°. Π’ ΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ½Π½Π΅ микроскопа, Π³Π΄Π΅ двиТутся элСктроны, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ обСспСчСн Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ элСктроны сильно Ρ€Π°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ вСщСством. Π—Π΄Π΅ΡΡŒ поддСрТиваСтся Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ΄Π½Π° миллиардная атмосфСрного давлСния.

Растровый (ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ) элСктронный микроскоп (РЭМ) — ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€, основанный Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ΅ взаимодСйствия элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° с Π²Π΅Ρ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ для получСния изобраТСния повСрхности ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Π° с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΌ пространствСнным Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ (нСсколько Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π΅, строСнии ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… свойствах приповСрхностных слоёв.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ РЭМ, Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ Π² ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° сфокусированным элСктронным ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π΅ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности частиц ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ взаимодСйствия элСктронов с Π²Π΅Ρ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ рСнтгСновского излучСния. Анализ частиц позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΎ Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π΅ повСрхности, ΠΎ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСской структурС приповСрхностных слоёв. Анализ рСнтгСновского излучСния, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ взаимодСйствия ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° элСктронов с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ качСствСнно ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ химичСский состав приповСрхностных слоёв.

Растровый Ρ‚ΡƒΠ½Π½Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ микроскоп (РВМ). Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΌ микроскопС Ρ‚ΠΎΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ мСталличСскоС остриС ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅Π΅ΡΡ источником элСктронов. Π’ Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ остриСм ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° создаСтся элСктричСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅. Число элСктронов, вытягиваСмых ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΡΡ‚рия Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρƒ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ (Ρ‚ΠΎΠΊ туннСлирования), зависит ΠΎΡ‚ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ остриСм ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° (Π½Π° ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ это расстояниС мСньшС 1 Π½ΠΌ). ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ острия вдоль повСрхности Ρ‚ΠΎΠΊ модулируСтся. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, связанноС с Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„ΠΎΠΌ повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°. Если остриС заканчиваСтся ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠΌ, Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΎΠ±Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ повСрхности, проходя Π°Ρ‚ΠΎΠΌ Π·Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠΌ.

РВМ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ условии, Ρ‡Ρ‚ΠΎ расстояниС ΠΎΡ‚ ΠΎΡΡ‚рия Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности постоянно, Π° ΠΎΡΡ‚Ρ€ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². Π’ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ благодаря ТСсткой конструкции ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌ микроскопа (Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΊΡƒΠ»Π°ΠΊΠ°), Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ многослойных Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ². Π’Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΡƒΠ΄Π»ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ ΡΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ся ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм внСшнСго элСктричСского поля. Подавая напряТСниС порядка 10-5 Π’, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π½Π° 0,1 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅. Π­Ρ‚ΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠΈΠ² остриС Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ ΠΈΠ· ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСского ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярных направлСниях с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ порядка Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ².

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ