ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм, области примСнСния

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСмСнтов, мСТсоСдинСний ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ микросхСмы ΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ рис. 10. На Ρ€ΠΈΡ. 10. Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ схСма Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ микросхСмы. Π­Ρ‚ΠΎ логичСский элСмСнт Π˜Π›Π˜-НЕ, состоящий ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… транзисторов Π’1 ΠΈ Π’2 ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… рСзисторов R1, R2 ΠΈ R3. На Ρ€ΠΈΡ. 10. Π± ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ кристалл ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠšΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм, области примСнСния (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

1. Устройство ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм

1.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

1.2 ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

1.3 Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

1.4 ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ

2. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма — соврСмСнный Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

2.1 Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ классификация ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Бписок ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° — это ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ элСктроники, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ·Π²Π°Π½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€Π½ΡƒΡŽ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ с ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ потрСбляСмой ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡ΠΈΠΌ.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ микросхСмой, ΠΈΠ»ΠΈ сокращённо ИМБ, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ для исполнСния Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ каскада ΠΈΠ»ΠΈ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΉ систСмы, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ соСдинСны ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ собой ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ нСльзя ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΎΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ опСрациями.

Часто ΠΏΠΎΠ΄ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмой (ИБ) ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ собствСнно кристалл ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΡƒ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ схСмой, Π° ΠΏΠΎΠ΄ микросхСмой (МБ, Ρ‡ΠΈΠΏΠΎΠΌ) — ИБ, Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Ρ‘Π½Π½ΡƒΡŽ Π² ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡ. Π’ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя Π²Ρ‹Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‡ΠΈΠΏ-ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ «ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ для повСрхностного ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°» (Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² для ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстия Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅).

1. Устройство ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм связано с Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с ΡΡ‚ΠΈΠΌ услоТнСниСм элСктричСских ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… схСм ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΡΡ‚ройств. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ИМБ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΊΠ°Ρ€Π΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ², сниТСния потрСбляСмой энСргии, ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ надСТности ΠΈ Π±Ρ‹ΡΡ‚родСйствия ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΡΡ‚ройств ΠΈ Π² ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ элСктронных Π²Ρ‹Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… машин.

Π’Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм Π² Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡ΠΈΡ… ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΏΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π‘Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ количСство элСмСнтов Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅. ИМБ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ 10 элСмСнтов, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ — Π΄ΠΎ 102 элСмСнтов ΠΈ Ρ‚. Π΄. Под ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ количСство элСмСнтов ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² 1 ΡΠΌ³ объСма микросхСмы. Π’ ΡΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ИМБ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ достигаСт ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΠΈ, Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π΄ΠΎ 105 эл/см3 ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кристалла ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎΠΉ микросхСмы составляСт Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ 0,3 — 6 ΠΌΠΌ² ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ кристалла микросхСм, примСняС-/Π» ΠœΡ‹Ρ… Π² Π­Π’Πœ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ 40 ΠΌΠΌ~ ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅. Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π΅ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ кристалла нСцСлСсообразно Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ с Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π²Π΅Ρ€ΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ наличия Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСской Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ всю ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ-схСму.

Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π΅ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π½Π° ΡΠΈΠ³Π½Π°Π», ΠΈ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ дискрСтно ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, которая Ρ€Π°Π²Π½Π° Π»ΠΎΠ³Π°Ρ€ΠΈΡ„ΠΌΡƒ ΠΎΡ‚ Ρ‡ΠΈΡΠ»Π° Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ n, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Ρ‘Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ИМБ: k = ln n. По ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ получСния Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€ΠΈ Π²ΠΈΠ΄Π° ИМБ: ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅.

Π’ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ИМБ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡƒΡ‚Ρ‘ΠΌ получСния ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΠΊ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ с Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΈΠ· Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠŸΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹: Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ Ρ‚олстоплёночныС с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ, часто ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ порядка 20 ΠΌΠΊΠΌ. Π Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ Ρ‚олстоплёночных ИМБ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΎ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΠΊ, Π½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅ всСго Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡ… Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.

Π’ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ИМБ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ тСхнологичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π‘ΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Ρ‘Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ ИМБ, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΎΠ΄Π½Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ, Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°Ρ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ — ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

Π’ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ИМБ, сокращённо Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… Π“Π˜Π‘, рСзисторы ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ пассивныС ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π° Π΄ΠΈΡΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ бСскорпусныС Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ рядом Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠΉ с ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ.

1.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

НаибольшСС распространСниС ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ ИБ, Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… всС элСмСнты ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ соСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ Π² ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. Π˜Ρ… Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ.

Для изготовлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ монокристалличСскиС пластины Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 30 — 60 ΠΌΠΌ ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,25 — 0,4 ΠΌΠΌ. Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ микросхСмы — биполярныС ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы, Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹, рСзисторы ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ — Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластинС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, извСстными ΠΈΠ· Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ дискрСтных ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (сСлСктивная диффузия, эпитаксия ΠΈ Π΄Ρ€.). МСТсоСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡƒΠ·ΠΊΠΈΡ… проводящих Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ алюминия Π½Π° ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ (Ρ‚.Π΅. элСктричСски ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ) ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ крСмния, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΎΠΊΠ½Π° Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ окисла Π² Ρ‚Π΅Ρ… мСстах, Π³Π΄Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ с ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ (Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ эмиттСра, Π±Π°Π·Ρ‹, ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° транзистора ΠΈ Ρ‚. Π΄.). Для соСдинСния элСмСнтов микросхСмы с Π΅Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ… ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ участки — ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ напылСния ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ рСзисторы ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹.

Рис. 1 — ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ части микросхСмы

Рис. 2 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ биполярный транзистор, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ элСктронно-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ

Рис. 3 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ-эмиттСрный транзистор Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ пластинС 1 (рис. 3) ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ большоС число (Π΄ΠΎ 300 — 500) ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… структур (Π½Π°Π±ΠΎΡ€ΠΎΠ² элСмСнтов ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ). ΠžΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ подвСргаСтся Π΄ΠΎ 20 пластин. ПослС выполнСния всСх ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ элСмСнтов ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ пластину Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ 2, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ кристаллами. ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ кристалл содСрТит ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ структуру. Π•Π³ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ корпуса 3, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ с Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ микросхСмы с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΡ‡ΠΊΠΎΠ², Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π΄Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΡ€Ρ‹ΡˆΠΊΡƒ корпуса 4 ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚, Ρ‡Π΅ΠΌ обСспСчиваСтся Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π° кристалла ΠΎΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

Рассмотрим Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ особСнности устройства элСмСнтов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСм, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ обусловлСны Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ изоляции элСмСнтов ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ элСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π˜Π·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΡŽ элСмСнтов ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π»ΠΈΠ±ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСктронно-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°, находящСгося ΠΏΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌ напряТСниСм, Π»ΠΈΠ±ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя диэлСктрика, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ двуокиси крСмния. ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ способ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ прост ΠΈ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π² ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСн, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ Π½Π΅ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Π½Π° Ρ‚Π΅Π»ΠΎ кристалла ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 нА ΠΈ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ элСмСнта ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ Ρ‚Π΅Π»Ρƒ кристалла ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 2ΠΏΠ€. Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ способ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТСн ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³, Π½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠΊ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Π² Ρ‚ысячи Ρ€Π°Π·, Π° Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ — Π² Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·.

БиполярныС транзисторы. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° транзистора, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСктронно-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 1.4. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° К Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ Π² ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… транзисторах Π½Π° Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½Π΅ΠΉ повСрхности кристалла, Ρ‚Π°ΠΌ ΠΆΠ΅ находятся элСктроды эмиттСра Π­ ΠΈ Π±Π°Π·Ρ‹ Π‘. Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π² ΡΡ‚ΠΈΡ… условиях ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΡƒΡ‚ΡŒ для ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° ΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° K, ΠΏΠΎΠ΄ n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ скрытый слой n+, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Π˜Π·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ образуСтся вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ, Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ «-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° ΠΈ «±ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ скрытого слоя ΠΎΡ‚ Ρ€±ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚Π΅ΠΉ ΠΈ Ρ€-области Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла.

Рис. 4 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹ (схСма соСдинСния)

Рис. 5 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠœΠ”ΠŸ-транзистор

Вранзисторы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ нСсколько ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… эмиттСров ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π±Π°Π·Π΅ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ транзисторы Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ многоэмиттСрными. Π˜Ρ… ΡƒΡΡ‚ройство ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 5, Π° ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ‹ использования рассмотрСны Π² Π³Π». 4. Если Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ микросхСмС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡ†ΠΈΡŽ элСмСнтов, Ρ‚ΠΎ Ρ‚ранзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΡƒΡŽ ΠΆΠ΅ Π΄Π²ΡƒΡ…ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ структуру, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΈΡ… Π΄ΠΈΡΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ.

ЗначСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ биполярного транзистора ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ, ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»Π΅ΠΌ структуры, ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², элСктрофизичСскими ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ 50 мА, коэффициСнт ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π±Π°Π·Ρ‹ ΠΎΡ‚ 20 Π΄ΠΎ 50, ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 нА, максимальноС ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС Π΄ΠΎ 40 Π’, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ рабочая частота Π΄ΠΎ 1000 ΠœΠ“Ρ†. ΠžΡΠ²ΠΎΠ΅Π½Ρ‹ способы изготовлСния транзисторных структур ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… коэффициСнт ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π±Π°Π·Ρ‹ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… тысяч.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹. Для упрощСния тСхнологичСского Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π° Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ транзисторных структур. Для Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ эмиттСрный ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈ соСдинСнном с Π±Π°Π·ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ (рис. 6, Π°). Для Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ большоС ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄, Π° ΡΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ с Π±Π°Π·ΠΎΠΉ (рис. 6, Π±). Π’ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ случаС ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ получаСтся Π² Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π· Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΠΈΠ·-Π·Π° большСго значСния нСравновСсного заряда, Π½Π°ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ Π±Π°Π·Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π°, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·-Π·Π° большСй Смкости ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°.

ΠœΠ”ΠŸ-транзисторы. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ Π½Π΅ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Ρƒ Π½ΠΈΡ… ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ «ΡΡ‚ΠΎΠΊ — ΠΊΠ°Π½Π°Π» — исток» ΡƒΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла элСктронно-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ, Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла ΠΎΡ‚ Π»±ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ истока, Π»-области ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π° ΠΈ Π»±ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ стока, ΠΈ ΡΡ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ смСщСниС Π² Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ (рис. 5). ΠŸΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ, занимаСмая Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠœΠ”ΠŸ-структурой оказываСтся ΠΏΡ€ΠΈ этом Π² ΡΠΎΡ‚Π½ΠΈ Ρ€Π°Π· мСньшС, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Ρ… структур, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ размСщСния элСмСнтов Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠœΠ”ΠŸ-транзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ значСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²: Ρ‚ΠΎΠΊ стока Π΄ΠΎ 10 мА, напряТСниС стока Π΄ΠΎ 30 Π’, Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС — дСсятки МОм, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ частота — сотни ΠœΠ“Ρ†. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠœΠ”ΠŸ-транзисторы ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ низкочастотными элСмСнтами, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обусловлСно большими мСТэлСктродными Смкостями.

ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹. Π’ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСмах ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Ρ€-n-кондСнсаторы, Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ 1 транзисторной структуры (рис. 6). Π­ΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС Π½Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚. Π˜Π·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ€-n-ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ 2 отдСляСт Ρ€-n-кондСнсатор ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла. Π’Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ кондСнсатора ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ элСктроды 3, 4. ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ соСдинСн с Ρ‚Π΅Π»ΠΎΠΌ кристалла, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°.

Π•ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€-n-кондСнсатора опрСдСляСтся ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 100 ΠΏΠ€. Π”ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ низкая — Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10, ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»Π° большоС — Π΄ΠΎ 30%, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Смкости Π΄ΠΎ 10~3 Π³Ρ€Π°Π΄-1.

Рис. 6 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ кондСнсатор

Рис. 7 — Π”ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ рСзистор ΠœΠ°Π»Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ СмкостСй, низкая Π΄ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, высокий Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Смкости ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ Π² Ρ€ΡΠ΄Π΅ случаСв ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€-n-кондСнсаторы. Π’ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ кондСнсаторы Ρ‚ΠΈΠΏΠ° «ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» — диэлСктрик — ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»». Π˜Ρ… Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… слоСв (проводящСго, ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‰Π΅Π³ΠΎ) Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ двуокиси крСмния, Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΡΡ‰ΡƒΡŽΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины. Π•ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… кондСнсаторов достигаСт 500 ΠΏΠ€ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»Π° Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 5−10%, Π΄ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ — Π΄ΠΎ 100, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Π΄ΠΎ 10~4 Π³Ρ€Π°Π΄-1, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ напряТСниС — Π΄ΠΎ 60 Π’.

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ кондСнсаторы Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠœΠ”ΠŸ, Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ниТнюю ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΡƒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ эмиттСрный слой транзисторной структуры, диэлСктриком являСтся ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° двуокиси крСмния, Π° Π²Π΅Ρ€Ρ…няя ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ° — мСталличСская. ВслСдствиС большого сопротивлСния ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ (ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ) ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ кондСнсаторы нСсколько ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ кондСнсаторам с ΠΌΠ΅Ρ‚алличСскими ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅ ΠΈΡ… Π² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. По ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ Ρ€-n-кондСнсаторов ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠœΠ”ΠŸ-кондСнсаторов Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅.

РСзисторы. Для формирования Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластинС области, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ элСктричСским сопротивлСниСм, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ слой транзисторной структуры (рис. 9) ΠΈ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π°, эмиттСрный ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ слои. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ рСзисторы Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ. ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ мСТсоСдинСния 1 ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ с Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ элСмСнтом 2 Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠΊΠ½Π° Π² ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ двуокиси крСмния. Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π΄Ρ‹Ρ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ 3 ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ рСзистивный элСмСнт ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅Π»Π° кристалла.

ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… слоСв, ΠΊΠ°ΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π°, концСнтрация ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ примСси, Π·Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ трСбованиями ΠΊ Ρ‚ранзисторным структурам, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ сопротивлСниС рСзистивного элСмСнта ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΎ лишь ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π° слоя ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹. Π­ΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ слой, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ примСсСй, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ для получСния рСзисторов с ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм (ΠΎΡ‚ 2 Π΄ΠΎ 30 Ом), Π° Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ слой — с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ сопротивлСниСм (ΠΎΡ‚ 100 Ом Π΄ΠΎ 20 кОм). ΠžΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»Π° достигаСт 20%, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ частота — Π΄ΠΎ 100 ΠœΠ“Ρ†, максимальноС Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ напряТСниС 5 ΠΈ 20 Π’ соотвСтствСнно ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт 1−10−4 Π³Ρ€Π°Π΄-1 ΠΈ 1−10−3 Π³Ρ€Π°Π΄-1, соотвСтствСнно.

Π’ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСмах ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ рСзисторы, Π½ΠΎ Π΅ΡΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π» сопротивлСния Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ с ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½, Ρ‚ΠΎ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ рСзистивного элСмСнта ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ высокоомного ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, Π½Π° ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ двуокиси крСмния, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ кристалла.

Рис. 8 — ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π» ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ микросхСмы

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ рСзисторов Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… микросхСмах ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π» ΠœΠ”ΠŸ-транзистора. Π‘ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ этом ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ напряТСния, ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° Π·Π°Ρ‚Π²ΠΎΡ€ (минимальноС сопротивлСниС ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 10 Ом).

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСмСнтов, мСТсоСдинСний ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ микросхСмы ΠΈΠ»Π»ΡŽΡΡ‚Ρ€ΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ рис. 10. На Ρ€ΠΈΡ. 10. Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ схСма Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ микросхСмы. Π­Ρ‚ΠΎ логичСский элСмСнт Π˜Π›Π˜-НЕ, состоящий ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… транзисторов Π’1 ΠΈ Π’2 ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… рСзисторов R1, R2 ΠΈ R3. На Ρ€ΠΈΡ. 10. Π± ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ кристалл ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ микросхСмы, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ собой Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» (Π²ΠΈΠ΄ свСрху). ΠžΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅ ΠΆΠ΅ Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ схСмС. ΠžΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ, занятыС транзисторными структурами, ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ Π±ΡƒΠΊΠ²Π°ΠΌΠΈ Π’1 ΠΈ Π’2, Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΡ… ΡΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€ΠΎΠ² — Π­, ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² — K, Π±Π°Π· — Π‘, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзисторы R1, R2, R3 (ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°ΠΌΠΈ). МСТсоСдинСния ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ 1, 2, 3, 4, 5 ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ. ΠžΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, занимаСмая элСмСнтами Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ 1×1 ΠΌΠΌ. На Ρ€ΠΈΡ l. l0.e ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π· кристалла ΠΏΠΎ Π-А. Π’ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ эмиттСрная n±ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ транзистора Π’1 ΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ Π΅Π³ΠΎ эмиттСра Π­, базовая Ρ€-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π΅Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ Π‘, коллСкторная n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π΅Π΅ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ K, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ слой двуокиси крСмния Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ (Π·Π°ΡˆΡ‚Ρ€ΠΈΡ…ΠΎΠ²Π°Π½) ΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзисторы R1 ΠΈ R3 (ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ°ΠΌΠΈ).

РассмотрСнная полупроводниковая микросхСма ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΡΡ‚ΡŒ элСмСнтов: Π΄Π²Π° транзистора ΠΈ Ρ‚Ρ€ΠΈ рСзистора. Π’ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ микросхСмах число элСмСнтов Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Π΅ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ большС, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΎΠ½ΠΎ исчисляСтся дСсятками ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ сотнями тысяч.

1.2 ΠŸΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ микросхСм ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы, подраздСляСмыС Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ‚олстоплСночныС. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ ΠΈ ΡˆΠΈΡ€Π΅ распространСны Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы. Π˜Ρ… Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ (ΠΈΠ· ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»Π°, ситалла, ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ), элСмСнтами ΠΈΡ… ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ся рСзисторы ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹. Иногда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты.

РСзисторы ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ 3 (рис. 9) Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ высокоомного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° (Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π», сплав ΠœΠ›Π’) Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠšΠΎΠ½Ρ†Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅-зистивного элСмСнта 1 ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ с ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ 2, выполняСмыми ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ высокой ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (алюминий, мСдь, Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ).

ЭлСктричСскоС сопротивлСниС Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ рСзистора ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ 10 Ом Π΄ΠΎ 1 МОм Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€Π΅-зистивной полоски, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠžΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»Π° 5 — 10%; примСняя ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΠ½ΠΊΡƒ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,1%. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт сопротивлСния (50−500)-10−6 Π³Ρ€Π°Π΄-1. Допустимая ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рассСяния составляСт 1 — 3 Π’Ρ‚/см2. Благодаря ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ собствСнной индуктивности Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ рСзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ частотный Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π΄ΠΎ 1000 ΠœΠ“Ρ†.

Рис. 9 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ рСзистор

Рис. 10 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ кондСнсатор ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ 1 (рис. 12) ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… слоСв: ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» — диэлСктрик — ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π». ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ слои 3, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ кондСнсатора, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ диэлСктрика 2 ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ окись крСмния, окись алюминия, боросиликатноС стСкло ΠΈ Π΄Ρ€. Π•ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской проницаСмости диэлСктрика составляСт ΠΎΡ‚ 100 Π΄ΠΎ 5000 ΠΏΠ€ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌ напряТСнии Π΄ΠΎ 60 Π’. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Смкости (35 — 400)10~Π² Π³Ρ€Π°Π΄-1, частотный Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Π΄ΠΎ 300 — 500 ΠœΠ“Ρ†.

Π˜Π½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ однослойных ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… спиралСй, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΡ… Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 20 ΠΌΠΊΠ“Π½ ΠΏΡ€ΠΈ добротности Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 50.

На Π±Π°Π·Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π΄ΠΎ ΡΠΈΡ… ΠΏΠΎΡ€ Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ достаточно Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ транзисторы ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты, поэтому ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ основу Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… микросхСм.

1.3 Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы

Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅, ΠΈΡ… ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты R, Π‘, L, мСТсоСдинСния ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Ρ‚. Π΅ Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ наносят Π΄ΠΎ 16 — 18 ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏ элСмСнтов ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈ — ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ каТдая ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… содСрТит элСмСнты ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°.

Вранзисторы для Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, Π² Ρ†Π΅Π»ΡΡ… экономии объСма Π² Π±Π΅ΡΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ сборки. Π˜Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Ρ‚Π΅ ΠΆΠ΅ Ρ‡ΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ значСния, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈ Ρƒ Π΄ΠΈΡΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ². БСскорпусныС транзисторы Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΠΉ внСшнСй срСды ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ влагостойким ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ.

ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ транзистора 1 (рис. 13) Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ тСрмокомпрСссионной сваркой ΡˆΠ°Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… 3 ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π°Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… 5 Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² с ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ 2 Π»ΠΈΠ±ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

ΠžΠ±Ρ‰ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ микросхСмы ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ 14 Π°, На Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ наносят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ рСзистивныС полоски Ri, R2, RΠ· ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ распылСниСм ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, наносят ниТнюю ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΡƒ О, кондСнсатора Π‘, мСТсоСдинСния ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ 1 — 5. Π”Π°Π»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ наносят ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ диэлСктрика кондСнсатора Π” ΠΈ, Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ†, Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ‡Π΅Ρ‚Π²Π΅Ρ€Ρ‚Ρ‹ΠΉ Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ наносят послСдний слой — Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΡŽΡŽ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΡƒ кондСнсатора 02. Вранзистор Π’ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ ΠΊ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ.

На Ρ€ΠΈΡ. 11,6 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ схСма рассмотрСнного устройства. Оно Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использовано (Π² ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ с ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠΌ эмиттСром, Π² ΡΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.) лишь ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΡƒ ряда Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… элСмСнтов. Вакая Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π½Π΅Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° трудностСй выполнСния Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… элСмСнтов (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠ°Ρ‚ΡƒΡˆΠ΅ΠΊ) Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅, ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ для ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ микросхСмы. Иногда микросхСму ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π΅Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ сфСру Π΅Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.

РассмотрСнная микросхСма ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ транзистор, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ кондСнсатор ΠΈ Ρ‚Ρ€ΠΈ рСзистора.

ВыпускаСмыС ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… случаях Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ слоТнСС, число ΠΈΡ… ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… сотСн.

Рис. 11 — ΠœΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ бСскорпусного транзистора Π² Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ микросхСмС

Рис. 12 — ΠŸΠ»Π°Ρ‚Π° Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ микросхСмы Π“ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ толстоплСночной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ дСшСвой, Π½ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡƒΠΆΠ΅ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π»ΠΎΡΡŒ, ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ. ПодлоТка для толстоплСночной микросхСмы ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ 16X10X1 ΠΈΠ»ΠΈ 10X10X1 ΠΌΠΌ ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅Ρ‚ся ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ³Π»ΠΈΠ½ΠΎΠ·Π΅ΠΌΠΈΡΡ‚ΠΎΠΉ ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ адгСзию ΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ. Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ толстоплСночной микросхСмы ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ рСзисторы ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹, ΠΈΡ… Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ нанСсСния Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· сСтчатый Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… проводящих, рСзистивных ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСских паст, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… послС нанСсСния тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ рСзисторы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ сопротивлСниС ΠΎΡ‚ 5 Ом Π΄ΠΎ 70 кОм с Ρ€Π°Π·Π±Ρ€ΠΎΡΠΎΠΌ (послС ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΠ½ΠΊΠΈ) Π΄ΠΎ 1%, ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ мощности рассСяния Π΄ΠΎ 0,5 Π’Ρ‚/см2. ΠšΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Ρ‚ 60 Π΄ΠΎ 350 ΠΏΠ€, Π΄ΠΎΠ±Ρ€ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ 50, ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС Π΄ΠΎ 150 Π’. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Ρƒ Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ±5−10~4 Π³Ρ€Π°Π΄-1, кондСнсаторов 4−10~4 Π³Ρ€Π°Π΄-1. БСскорпусныС транзисторы ΠΈ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² Ρ‚олстоплСночных Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… микросхСмах ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌ способом.

1.4 ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ

По Ρ‡ΠΈΡΠ»Ρƒ содСрТащихся Π² ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ΅ микросхСм элСмСнтов Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΡˆΠ΅ΡΡ‚ΡŒ стСпСнСй ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: пСрвая ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ — ΠΎΡ‚ 1 Π΄ΠΎ 101; вторая — ΠΎΡ‚ 10 Π΄ΠΎ 102; Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΡ — ΠΎΡ‚ 102 Π΄ΠΎ 103; чСтвСртая — ΠΎΡ‚ 103 Π΄ΠΎ 104; пятая — ΠΎΡ‚ 104 Π΄ΠΎ 105; ΡˆΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ — ΠΎΡ‚ 105 Π΄ΠΎ 106 элСмСнтов.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы, содСрТащиС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 100 элСмСнтов, принято Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ микросхСмами ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΠ½ «Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ схСмы» (Π‘Π˜Π‘) ΠΎΠ½ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствуСт Ρ‡Π΅Ρ‚Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΎΠΉ-пятой стСпСням ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠ΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ характСристики, ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π°ΡΡ‡Π΅Ρ‚Π΅ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ряд Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… прСимущСств благодаря ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ удаСтся сущСствСнно ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ основныС Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΎ-экономичСскиС характСристики Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Π’ΠΎ-ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Ρ…, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ число соСдинСний Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈΠ·-Π·Π° большСй Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ слоТности самих микросхСм. УсрСднСнныС расчСты ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ микросхСма, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ с ΠΏΡΡ‚ΡŒΡŽ логичСскими элСмСнтами нуТдаСтся Π² ΠΏΡΡ‚ΠΈ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°Ρ… Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ элСмСнт для обСспСчСния Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… связСй Π² ΡƒΡΡ‚ройствС. ΠŸΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ количСства логичСских элСмСнтов Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ Π΄ΠΎ 50 число Π²Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π΄ΠΎ Π΄Π²ΡƒΡ… Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚. Π˜Π·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ соСдинСния ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ Π΅Π΅ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π·ΠΎΠ². ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΈΡ… ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ использовании микросхСм ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ позволяСт ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½-Π΄Π²Π° порядка ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°Ρ… ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π’ΠΎ-Π²Ρ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ…, сокращаСтся общая Π΄Π»ΠΈΠ½Π° соСдинСний ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСмСнтами, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Смкости Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ быстродСйствиС Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ элСмСнтов со ΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ Π·Π°Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ 2 Π½Π΅ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… Π±Ρ‹ΡΡ‚родСйствиС ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, Ссли общая Π΄Π»ΠΈΠ½Π° мСТсоСдинСнии Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 4 ΡΠΌ, Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π° Π·Π°Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠ° Π² ΠΌΠ΅ΠΆΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΡ… Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ мСньшС, Ρ‡Π΅ΠΌ Π² ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π΅ ΠžΡ‚ΡΡŽΠ΄Π° слСдуСт, Ρ‡Ρ‚ΠΎ созданиС устройств со ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…высоким быстродСйствиСм ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ микросхСм ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄Π»ΠΈΠ½Ρƒ соСдинСний ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ довСсти Π΄ΠΎ 1 ΡΠΌ, снизив Ρ‚Π΅ΠΌ самым Π·Π°Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΡƒ распространСния сигнала ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСмСнтами Π΄ΠΎ 0,05 — 0,1 Π½Π΅.

ВмСстС с ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ достоинствами микросхСмы ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ†Π΅Π»Ρ‹ΠΉ ряд особСнностСй, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΎΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡŽΡ‚ ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅. НапримСр возрастаниС ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ рассСиваСмой мощности ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ принятия ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΏΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π°, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ мощности Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 20 Π’Ρ‚/см2 — примСнСния ΠΏΡ€ΠΈΠ½ΡƒΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ охлаТдСния. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ этом становится Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… структур, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄Π°Π²Π°Π»ΠΈ Π±Ρ‹ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ энСргии, приходящСйся Π½Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΠΌΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠŸΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π΅ случаСв ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ слоТности Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ, выполняСмых микросхСмой, Π‘ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны, это ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТных микросхСм упрощаСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. Π’ Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ сущСствСнно возрасти. МСньшая ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ микросхСмы ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΉ объСм ΠΈΡ… Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°, Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΡ… ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ. (ПослСднСС Π½Π΅ ΠΎΡ‚носится ΠΊ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎ-управляСмым микросхСмам, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ.)

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ плотности ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ усиливаСтся элСктромагнитная связь ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСмСнтами Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ располоТСния мСТсоСдинСний ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΈΡ… элСмСнтов, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ помСхоустойчивости микросхСм. ΠŸΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ трудности ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌ корпусов с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ количСством Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ сущСствСнно сдСрТиваСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

Π’Π΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ микросхСм являСтся прогрСссивным Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ия, Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Π΅Ρ‚ сущСствСнно ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ Π Π­Π›.

БущСствуСт Π΄Π²Π° направлСния Π² Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ микросхСм ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ уровня ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. Одно ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… базируСтся Π½Π° Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ бСскорпусныС микросхСмы ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ ΠΈΡ… ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅. БСскорпусныС микросхСмы ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΈΡ… Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ Π² ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ°Ρ… мСньшС ΠΏΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ Π² 70 Ρ€Π°Π· ΠΈ ΠΏΠΎ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ Π² 30 Ρ€Π°Π·. Π£ΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΡ… Π½Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠΌΠΌΡƒΡ‚Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ΠΎΠΉ. БоСдинСния наносят Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΏΠΎ Ρ‚олстоплСночной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Гибридная тСхнология ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ распространСниС для изготовлСния микросхСм ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ благодаря ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ стоимости проСктирования ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния микросхСм ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ тСхнологичСскому процСссу ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Ρƒ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ микросхСм ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡŽ. ВсС элСмСнты ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины ΠΈ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡŽΡ‚ Π² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡƒΡŽ схСму с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… проводящих ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… полосок, нанСсСнных Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ окислСнной пластины. МСТсоСдинСния Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΈΠ·Π±ΠΈΡ€Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ пластинС ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΡƒ годности элСмСнтов, послС Ρ‡Π΅Π³ΠΎ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π­Π’Πœ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ схСму мСТсоСдинСний ΠΈ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ мСТсоСдинСния.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ стСпСни ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠœΠ”ΠŸ-транзисторов. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΈΡ… ΠΏΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ микросхСмами Π½Π° Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Ρ… транзисторах: Π²Ρ‚Ρ€ΠΎΠ΅ мСньшим числом тСхнологичСских ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ большСй ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ размСщСния элСмСнтов Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅.

Однако ΠΏΠΎ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ ΠΎΠ½ΠΈ ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ микросхСмам Π½Π° Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Ρ… транзисторах. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ составляСт Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСвысокого быстродСйствия.

2. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма - соврСмСнный Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π» радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

ΠŸΠΎΠ»Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π±ΠΈΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Π΅ транзисторы, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹, кондСнсаторы ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡ΠΈΠ΅ элСктронныС ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Ρ‹ ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ часто Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ элСмСнтами радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (РЭА), ΠΈΠ»ΠΈ элСктрорадиоэлСмСнтами, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ основу Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… структур, Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… обусловлСнныС Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π°Π»Π³ΠΎΡ€ΠΈΡ‚ΠΌΡ‹ формирования, прСобразования хранСния, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΠΎΡΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ сигналов.

ΠŸΡ€Π΅Π΄ΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ элСктронной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Π΅ элСктрорадиоэлСмСнты Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌ ассортимСнтС Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π˜Π·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΆΠ΅ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ фактичСски Π² ΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΠ΅ Π΅Π΅ ΠΈΠ· Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСктрорадиоэлСмСнтов с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ мСТсоСдинСний ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ пространствСнноС располоТСниС частСй Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, соСдинСниС ΠΈΡ… Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ структуру, Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρƒ ΠΎΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΠΉ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°. ΠžΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ элСктрорадиоэлСмСнтов, совмСстно Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠ· Ρ‚СхнологичСских ΠΈΠ»ΠΈ эксплуатационных сообраТСний ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ этом Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ сборочныС Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρ‹, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡƒΠ·Π»Π°ΠΌΠΈ (рис. 15). Π£Π·Π»Ρ‹ Π² ΡΠ²ΠΎΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² ΡΡƒΠ±Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ, субблоки — Π² Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚. Π΄.

Рис. 13 — Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ·Π΅Π»

Рис. 14 — Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ микросхСма Π’ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ 20 Π»Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ распространСниС иная тСхнология изготовлСния Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ процСссы изготовлСния входящих Π² ΡƒΠ·Π΅Π» элСктрорадиоэлСмСнтов ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΡ‹ объСдинСния ΠΈΡ… Π² Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ конструктивно Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ структуру ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ. Π­Ρ‚Π° тСхнология ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ (ΠΎΡ‚ Π»Π°Ρ‚инского integre — Ρ†Π΅Π»Ρ‹ΠΉ, Π½Π΅Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ связанный). Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΡƒΠ·Π»Ρ‹ РЭА, изготовляСмыС ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π½Π°Π·Π²Π°Π½Ρ‹ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ микросхСмами (ИБ) (рис. 16). ΠŸΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π²ΠΊΠ° «ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ» ΠΏΠΎΠ΄Ρ‡Π΅Ρ€ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ — высокий ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, достигаСмый Π² Π΅Π΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ….

ΠŸΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Π° для радиоэлСктроники, Π½ΠΎ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ растСт ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ областСй примСнСния РЭА, услоТнСния радиооборудования ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ отвСтствСнности выполняСмых ΠΈΠΌ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΉ. Для Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ уровня ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ являСтся ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ, характСризуСмая ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ числа элСмСнтов, содСрТащихся Π² ΡƒΠ·Π»Π΅, ΠΊ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΡƒ, Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ ΡƒΠ·Π»ΠΎΠΌ.

ΠžΠΏΡ‹Ρ‚ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ сборкС ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈΠ· Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСктрорадиоэлСмСнтов Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠΎΠ΄Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 2 эл/см3 Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ использовании самых ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΆΠ΅ тСхнология позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π² Ρ‚ысячи Ρ€Π°Π· Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ нСвысокой стоимости ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ надСТности. Π­Ρ‚Π° Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π° ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²ΡˆΠ°Ρ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠ΅ возмоТности ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°Ρ‚ΡŽΡ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ радиоэлСктронных ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ³ΠΎ внСдрСния Π˜Π‘ Π² Π Π­Π, Π³Π΄Π΅ ΠΎΠ½ΠΈ Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя стали основным Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ·Π»Π°.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ ΠΎΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² сборки Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈΠ· Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ²Ρ‹Ρ… элСктрорадиоэлСмСнтов ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ процСссы изготовлСния элСмСнтов ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΡ‹ объСдинСния ΠΈΡ… Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎ Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ структуру, стал Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ лишь благодаря ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, освоившСй Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ количСство Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… вСсьма эффСктивных ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΠ². Π Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ этого ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° оказались ΡΡ‚ΠΎΠ»ΡŒ сущСствСнными, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π·Π½Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ подъСм всСй элСктроники Π½Π° ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ. ПоявлСниС ИБ — это фактичСски созданиС Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ элСмСнтной Π±Π°Π·Ρ‹ РЭА. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ тСхнология ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠ»Π° прСдставлСниС ΠΎΠ± ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… структурах радиоэлСктронных устройств ΠΈ ΠΈΡ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ базисС. Она Π²Ρ‹Π·Π²Π°Π»Π° ΠΊ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΡ‹ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ‹ конструирования Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ΅ влияниС Π½Π° Π²ΡΠ΅ этапы изготовлСния радиоэлСктронных устройств ΠΈ Π½Π° ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΡ… ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π½Π΅Π²ΠΈΠ΄Π°Π½Π½ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€ΡΠ΅Ρ‚ сфСру ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΡˆΠ»ΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ отрасли элСктроники, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ конструирования ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π° элСктронных ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π­Ρ‚Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΡΠ»ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»Π° Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ микроэлСктроники.

2.1 Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ классификация ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм

ΠŸΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ возмоТности ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² РЭА ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ микросхСм. Однако ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ производство микросхСм ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° цСлСсообразно лишь Ρ‚ΠΎΠ³Π΄Π°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΈΠΏ Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ массовоС ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π Π­Π. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌ объСмС сбыта Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ производства ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ сущСствСнно ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ микросхСмы ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ окаТСтся нСцСлСсообразным ΠΏΠΎ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π°ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΈ сообраТСния ΠΎΠ±ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ограничСния Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ микросхСм.

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ микросхСмы относятся ΠΊ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡ‚ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ издСлиям: ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ назначСния, Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ся лишь Π² ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ издСлиями ΠΊΠ°ΠΊ составныС части Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТных ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ‚ΠΎΠΌ вСсьма Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… устройств. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΊΡ€ΡƒΠ³ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°ΠΌ со ΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ оказываСтся Ρ‡Ρ€Π΅Π·Π²Ρ‹Ρ‡Π°ΠΉΠ½ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ. Π£Π΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ этих Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ прСдставляСтся Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ большой ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π° Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС процСссы ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠ°Ρ квалификация пСрсонала.

Π­Ρ„Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ лишь ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ микросхСм ΠΈ ΠΈΡ… ΡΡ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ГосударствСнныС стандарты ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΈ Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ряды Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ основных ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ (парамСтричСскиС ряды) ΠΈ Ρ€ΡΠ΄Ρ‹ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² корпусов, Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠΈΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… напряТСний (Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ряды).

Π€ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ классификация ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π° государствСнным стандартом Π“ΠžΠ‘Π’ 18 682– — 73. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы ΠΏΠΎ Ρ€ΠΎΠ΄Ρƒ выполняСмой Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·Π±ΠΈΡ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ (усилитСли, ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ, Ρ‚Ρ€ΠΈΠ³Π³Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ Ρ‚. Π΄.), Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ микросхСмы ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΏΠΎ Π²ΠΈΠ΄Ρƒ выполняСмой Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΈ (усилитСли высокой частоты, ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ Ρ„Π°Π·Ρ‹, Ρ‚Ρ€ΠΈΠ³Π³Π΅Ρ€Ρ‹ RS ΠΈ Ρ‚. Π΄.). Π’ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ классификациСй микросхСмам ΠΏΡ€ΠΈΡΠ²Π°ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ наимСнования.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ сСрий, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… микросхСмы, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ для совмСстного использования Π² Π Π­Π. ВсС микросхСмы, входящиС Π² ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΡΠ΅Ρ€ΠΈΡŽ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Ρ‚ΠΈΠΏ корпуса, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ напряТСния питания, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ надСТности, допустимыС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ воздСйствий.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ микросхСм для Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ€ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ микросхСмы, Π½ΠΎ ΠΈ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… свойства микросхСмы ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ²: Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ микросхСмы, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ; ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ°, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡƒΠΏΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ условий, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Ρ… для ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ функционирования микросхСмы; допустимыС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½ΠΈ воздСйствий ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды, Π½Π΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ функционирования микросхСмы Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… Π³Π°Ρ€Π°Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСсурса; конструктивныС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹, Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹.

ΠšΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ значСния ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ:

1. Π‘Π΅Ρ€ΠΈΠΈ микросхСм для Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ радиосвязи ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ²Π΅Ρ‰Π°Π½ΠΈΡ.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ каскадов ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ²Π΅Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм.

ΠžΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ выпускаСт нСсколько сСрий микросхСм, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… для использования Π² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ радиосвязи. Из Π½ΠΈΡ… наибольшСй Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π°ΠΌ микросхСм ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ сСрии 219, 235 ΠΈ 435.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ сСрии 219 для KB ΠΈ Π£ΠšΠ’ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. БСрия 219 состоит ΠΈΠ· 13 микросхСм, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… для построСния Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄ΠΎ 55 ΠœΠ“Ρ†.

2. Π‘Π΅Ρ€ΠΈΠΈ микросхСм для Ρ‚Π΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ сСрии К224. БСрия К224 ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнных Π² ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ΅ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ. Π—Π° Π³ΠΎΠ΄Ρ‹ выпуска сСрии состав Π΅Π΅ ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ микросхСм сущСствСнно измСнились. На ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ написания ΠΊΠ½ΠΈΠ³ΠΈ сСрия состояла ΠΈΠ· 31 микросхСмы. Π’ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для создания Ρ‚Π΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π² Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ²Π΅Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ….

3. Π‘Π΅Ρ€ΠΈΠΈ микросхСм для ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ².

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Ρ… ΠΈ Π² Π»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΡΠΊΠΈΡ… конструкциях ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ², элСктрофонов, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎΠ» ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ» с ΡƒΡΠΏΠ΅Ρ…ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½Ρ‹ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… микросхСм, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ усилитСли. Однако Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ для этих Ρ†Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ сСрии К237 ΠΈ Πš513.

БСрия К237 состоит ΠΈΠ· 10 микросхСм, ΠΏΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ спСцифичСскими для ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ².

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° К237УН1 (рис. 16) ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π° для использования Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ усилитСля ΠΠ§ Π² ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚ΠΎΡ„ΠΎΠ½Π°Ρ…, элСктрофонах ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ….

4. Π‘Π΅Ρ€ΠΈΠΈ микросхСм для Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹Ρ… устройств.

ΠŸΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ освоСна ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° сСрий микросхСм, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… для создания Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹Ρ… устройств Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ назначСния.

Π­Ρ‚ΠΎ Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ сСрии К101, КП8, КИ9, К122, К124, К162, К218, К228, К249, К722.

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ сСрий КИ8, К122 ΠΈ Πš722 для Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств. Π‘Π΅Ρ€ΠΈΠΈ КИ8, К122 ΠΈ Πš722 Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Ρƒ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ся конструктивным ΠΎΡ„ΠΎΡ€ΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ микросхСм.

5. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ для ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ радиосвязи ΠΈ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ²Π΅Ρ‰Π°Π½ΠΈΡ.

Наряду с Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΌΠΈ сСриями микросхСм для РЭА ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ выпускаСт ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Ρƒ сСрии для ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ сСрии К123, К129, К148 К167 К177, К198, К226, К260, К265, К284, К504.

БСрия К129 состоит ΠΈΠ· ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌ, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π½Π°Π±ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ биполярных транзисторов.

Π’ΠΎΡΠ΅ΠΌΡŒ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΉ бСскорпусной микросхСмы К129НВ1 ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ собой ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… n-Ρ€-n транзисторов ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ся Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов Π² ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ½Ρ‹Ρ… балансных схСмах, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Π² Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… усилитСлях.

БСрия К123 ΠΎΠ±ΡŠΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ΅Ρ‚ Ρ‚Ρ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ микросхСмы К123УН1. Полоса пропускания усилитСлСй НЧ, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ этой микросхСмы, составляСт 0,02 — 100 ΠΊΠ“Ρ†. На Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π΅ 1 ΠΊΠ“Ρ† ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ напряТСнии 0,5 Π’ микросхСмы ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΉ А, Π‘, Π’ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ соотвСтствСнно коэффициСнт усилСния 300 — 500 100 — 350 ΠΈ 30 — 500. ΠŸΡ€ΠΈ этом коэффициСнт Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… искаТСний Ρƒ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌ К123УН1А ΠΈ Πš123УН1Π‘ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 2%, Π° Ρƒ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ К123УН1 Π’ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 5%. Π’Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС 10 кОм, Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС 200 Ом. НапряТСниС питания 6,3 Π’ ±10%, потрСбляСмая ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 100 ΠΌΠ’Ρ‚.

6. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΡ‹ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… источников питания.

НСсомнСнный интСрСс для Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΠΈΡΡ‚ΠΎΠ² ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ микросхСмы сСрий К181, К142, К278, К286, К299. Они ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Ρ‹ для использования Π²ΠΎ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… источниках питания для стабилизации напряТСния. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ устройства ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚, Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности, ΠΏΠΎ-Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚ΡŒ элСктропитаниС слоТных устройств с Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ источниками постоянного Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ примСнСния ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… стабилизаторов для ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ².

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ° К181ЕН1 (рис. 17) сСрии К181 Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π° ΠΏΠΎ ΡΡ…Π΅ΠΌΠ΅ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ элСмСнта. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ каскады стабилизатора — составной Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ транзистор (Π’Π², Π’7), симмСтричный Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡΠΈΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ (TS) Π’Π΄) ΠΈ ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ напряТСния, Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π² ΡΠ΅Π±Ρ стабилитрон Π”Π· ΠΈ ΡΠΌΠΈΡ‚Ρ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ Π½Π° Ρ‚ранзисторС Ts.

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ микросхСма Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΡΠ²ΡΠ·ΡŒ ΡƒΠ·Π΅Π» Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя вСсьма Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ являСтся тСхничСскоС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΎΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π΅ созданиС ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π½ΠΎΠ΅ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ радиоэлСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π’ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ этой Π·Π°Π΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… Ρ€ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ микросхСмы Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… массовых ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ соврСмСнной микроэлСктроники. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ микросхСм ΠΎΠ±Π»Π΅Π³Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ расчСт ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠ·Π»ΠΎΠ² ΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠ² радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ускоряСт процСсс создания ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ… Π² ΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ΅ производство. Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ использованиС микросхСм позволяСт ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ тСхничСскиС характСристики ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠžΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ элСктронной ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ освоСн выпуск ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Π½ΠΊΠ»Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ микросхСм, Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ дСсятки ΠΈ ΡΠΎΡ‚Π½ΠΈ тысяч Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² для пСрспСктивных радиоэлСктронных срСдств. Π’ ΠΏΠΎΠΈΡΠΊΠ΅ ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ элСмСнтной Π±Π°Π·Ρ‹ ΠΈ ΡΡ…СмотСхничСских Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ систСматизированная информация ΠΎ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСмах. Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ свСдСния ΠΎ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ…Π΅ΠΌΠ°Ρ… составлСны Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…, зафиксированных Π² Π³ΠΎΡΡƒΠ΄Π°Ρ€ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… стандартах ΠΈ Ρ‚СхничСских условиях Π½Π° ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ.

Бписок ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

1. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΡΠΊΠΎ-тСхнологичСскоС ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ элСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΈΠΊ для Π²ΡƒΠ·ΠΎΠ². К. И. Π‘ΠΈΠ»ΠΈΠ±ΠΈΠ½, А. И. Власов, Π’. Π’. Π–ΡƒΡ€Π°Π²Π»Π΅Π² ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€Π΅Π΄Π°ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π’. Н. Π¨Π°Ρ…Π½ΠΎΠ²Π°. М.: ΠœΠ“Π’Π£ ΠΈΠΌ. Π‘Π°ΡƒΠΌΠ°Π½Π°, 2002 Π³.

2. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Н. Π‘., Π’ΠΊΠ°Ρ‡ΡƒΠΊ А. М., ΠšΡƒΡ€Π°ΠΊΠΈΠ½Π° Π­. П. Π’Π΅Π»ΠΎΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½ Π² Π Π­Π. ΠšΠΎΠ½ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ Π»Π΅ΠΊΡ†ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΠΊΡƒΡ€ΡΡƒ «ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ радиоэлСктронных устройств» — Мн.: Π‘Π“Π£Π˜Π , 2003 — 54 с.

3. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Н. Π‘. ΠΈ Π΄Ρ€. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚рукциях Π Π­Π‘. Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΎΠ΅ пособиС ΠΏΠΎ ΠΊΡƒΡ€ΡΡƒ «ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ РадиоэлСктронных устройств» / Под Ρ€Π΅Π΄Π°ΠΊΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π–. Π‘. Π’ΠΎΡ€ΠΎΠ±ΡŒΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΈ Н. Π‘. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²Π°. — ΠœΠ½.: Π‘Π“Π£Π˜Π , 1999 — 141 с.

4. Π’ΠΎΡ€ΠΎΠ±ΡŒΠ΅Π²Π° Π–. Π‘., ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² Н. Π‘. ΠΈ Π΄Ρ€. основы конструирования ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ радиоэлСктроники. Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΎΠ΅ пособиС. — ΠœΠ½.: Π‘Π“Π£Π˜Π , 2001 — 226 с.

5. А. А. Π¨ΠΌΠΈΠ³Π΅Π²ΠΈΡ‡ ΠŸΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ нСсущих конструкций элСктронных устройств. Π£Ρ‡Π΅Π±Π½ΠΎΠ΅ пособиС для студСнтов ΠΈΠ½ΠΆ.-Ρ‚Π΅Ρ…. Π²ΡƒΠ·ΠΎΠ². Мн.: «ΠΠ΄ΡƒΠΊΠ°Ρ†ΠΈΡ ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π΅». 2003 — 308 с.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ