ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²
ΠΡΠ»ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Ge ΠΈΠ»ΠΈ Si — ΡΡΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ Π²Π²Π΅ΡΡΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠ΅Ρ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ (ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ), ΡΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Π°Ρ Π²ΠΎΡΡΠΌΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ Π·Π°Π±ΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 1.4). ΠΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠΎΠ½, Π° Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π΄ΠΈΡΡΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π² Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΎΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΊ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌΡ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΠΌΠ΅Π½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π±ΡΡΡΡΠΎ, Ρ. Π΅. Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². ΠΡΠ° ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΠ° ΠΊ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ (Ge), ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (Si) ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠ΄ Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈ Π΄ΡΡΠ³ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³Ρ. ΠΠ° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠΈΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΠΠ°ΡΠ»ΠΈ, ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π²Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠ΅. Π‘ΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΉ, Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π·ΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½.
Π Π°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΡΠΈ Π Π Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ΅ΡΡ Π½ΡΡ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ, Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² Π½Π΅ΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ.
ΠΠ°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° — ΡΡΠΎ Π·ΠΎΠ½Π°, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠΈΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΠ — ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠΈΡ. 1.2, Π±).
Π£ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ (ΡΠΈΡ. 1.2, Π°), ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π Π ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ. Π£ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈ Π Π ΠΏΡΡΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ. Π Π°Π·Π»ΠΈΡΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ — Π² ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. Π£ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠ = 0,1 Π½-3 ΡΠ, Π° Ρ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠ > 6 ΡΠ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ Ge ΠΠ = 0,72 ΡΠ; Si ΠΠ = 1,12 ΡΠ.
Π ΠΈΡ. 1.2. ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°:
Π° — ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ; Π± — ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ; Π² — Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΠ·-Π·Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Ρ Ge ΠΈ Si ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (300 Π) Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΡΠΈ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 1.2). ΠΡΠΈ ΡΡ ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π² Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ — Π΄ΡΡΠΊΠ°. Π ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΡΠ² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (ΡΠΈΡ. 1.3). ΠΠ°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΡΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ Π΄ΡΡΠΊΠΈ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ² — Π΄ΡΡΠΎΠΊ.
Π ΠΈΡ. 1.3. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΡΡ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΡ «ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ — Π΄ΡΡΠΊΠ°» Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ².
ΠΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ — Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ Π΄ΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ, Ρ. Π΅. ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π² Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΠΎΡΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ, Π° ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈΡΡΠ΅Π·Π°ΡΡ. Π ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ Π² Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ.
Π£ Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅, ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ Π Π, ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ Π΄ΡΡΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎ, Ρ. Π΅. ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Ρ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΏ — Ρ. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° (ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ) — Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ. ΠΡΠΈΡΠ΅ΠΌ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π² ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Π² Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ (Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, 1:1 000 000) ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΡΠ»ΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² Ge ΠΈΠ»ΠΈ Si — ΡΡΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ Π²Π²Π΅ΡΡΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠ΅Ρ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ (ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ), ΡΠΎ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Π°Ρ Π²ΠΎΡΡΠΌΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΉ Π·Π°Π±ΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (ΡΠΈΡ. 1.4). ΠΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΈΠΎΠ½, Π° Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄ΡΡΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ (Ρ «ΠΏ). Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Ρ-ΡΠΈΠΏΠ°.
Π ΠΈΡ. 1.4.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ
ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π² Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠΈΡ. 1.5), ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ (0,01Ρ-0,05 ΡΠ) ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π½Π° ΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π΄ΡΡΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ (ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ΅) Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π· ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π½Π° ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ.
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°, ΡΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡ Ρ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΌ.
Π ΠΈΡ. 1.5. ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Ρ-ΡΠΈΠΏΠ°.
ΠΡΠ»ΠΈ Π² ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ (Ge ΠΈΠ»ΠΈ Si) Π²Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΡΡΠΎΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΡΡΡΠΌΡ, ΡΠΎ ΠΏΡΡΡΠΉ Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ, Π½Π΅ ΡΡΠ°ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π΅ΠΉ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠ»Π°Π±ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ ΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΉΡΠΈ Π² Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ (ΡΠΈΡ. 1.6). Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ — ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ Π»-ΡΠΈΠΏΠ°, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ (Π½ «Ρ).
Π ΠΈΡ. 1.6.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΡ
ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠΈΡ. 1.7). ΠΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΡΡΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡ Ρ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΌ.
Π ΠΈΡ. 1.7. ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏ-ΡΠΈΠΏΠ°.
ΠΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ, Π° Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ , — Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ.
ΠΡΡΡΠ² «Π»ΠΈΡΠ½Π΅Π³ΠΎ» ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΎΡ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ° ΠΈ «Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ» Π΄Π»Ρ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ — ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π’ = Π Π ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ, Π½ΠΎ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ (—60 Β°Π‘ ΠΈ Π²ΡΡΠ΅) ΠΈ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ Π² Si ΠΈ Ge ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ Π² Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π», ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ.