Принципы измерения, применяемые в датчиках давления

Емкостный принцип измерения

В 60-х годах XX в. были разработаны первые аналоговые электронные датчики давления, в которых использовался емкостный принцип измерения.

Атмосферное для датчиков избыточного давления и вакуум для датчиков абсолютного давления. Емкостный сенсор в его современном варианте представляет собой конденсатор, образованный диэлектрической оболочкой сенсора, помещенной внутри прочного металлического корпуса, измерительными электродами, выполняющими функцию обкладок конденсатора, и упругой металлической или керамической мембраной. Пространство между мембраной и электродами заполнено силиконовым маслом, служащим для передачи давления на мембрану и одновременно для увеличения емкости конденсатора. При подаче разности давлений на сенсор мембрана деформируется, и емкость между обкладками изменяется. Измерение емкости производится электронным модулем датчика, подключенным к обкладкам сенсора. Кроме того, сенсор обычно содержит еще термопреобразователь (на рисунке не показан). Преимуществами емкостного принципа измерения являются сравнительно простая (на первый взгляд) конструкция сенсора, достаточно высокая чувствительность (?C/C = 15…20%) и большой практический опыт разработки датчиков с емкостными сенсорами, накопленный к настоящему времени.