Технологии механического измерения.
Люсьен Види, французский ученый, изобрел и построил анероидный барометр, который использует баланс пружин вместо жидкостей для измерения атмосферного давления. Удлинение пружины под давлением механически передается на стрелочный индикатор. Юджин Бурдон (основатель компании Бурдон Седем) запатентовал в 1849 годутрубочный измеритель давления для более высоких давлений, используя принципы Види.
анероидный барометр давление измерительный электрический сенсор
Электрические методы измерения
Первые преобразователи давления были принципиальными механизмами, состоящими из диафрагм, трубок Бурдона, служившими емкостями, а индикатором давления служил указатель потенциометра.
Деформационные измерители были независимо разработаны Е. Е. Симмонсом из Калифорнийского Технологического Университета и А. К. Ружа из Массачусетского Технологического Института. Симмонс был более ловок и раньше получил патент.
Первые тонкопленочные деформационные измерители были сконструированы с резисторным мостом, который был связан с диафрагмой. В такой конструкции наблюдается разное напряжение в центре и по краям.
Соединение преобразователя и диафрагмы было всегда причиной гистерезиса и нестабильности. В 60е годы Стэтхэм представил первый тонкопленочный преобразователь с хорошей стабильностью и малым гистерезисом. Сегодня эта технология играет большую роль на рынке датчиков высокого давления.
Вильям Р. Пойл запатентовал емкостные преобразователи на базе стекла или кварца, а Боб Белл на базе керамики несколькими годами позже, в 1979 м. Эта технология заполнила пустоту для измерения низких давлений (т.к. тонкопленочная технология для этого не походила).Емкостная технология является и по сей день сегментообразующей на рынке датчиков давления.
