Π ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ
ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊ, Π²Π²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ Π΄Π²Π° ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ, Π±ΡΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π Π΅ΡΡ ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΠΎ p-i-n ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π΅. ΠΠ±Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΡΡΠ΅ΠΊΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΠΎΠΊΡΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ
Ρ-n ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π°.
Π¨Π£Π — Π‘ΠΠΠ¬ΠΠΠΠ¨ΠΠ ΠΠ ΠΠ Π’ΠΠ₯ΠΠΠΠ Π‘ΠΠ―ΠΠ
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠ΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, — ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
ΠΈ.
ΠΠ°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ Π½Π΅ΠΈΡΠΏΡΠ°Π²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠΈ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ
-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π΅, Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
ΠΈ, Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ
ΠΎ ΡΠΊΡΠ°Π½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»Π΅ΠΉ, ΡΠ°ΡΡΠΎ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
ΠΈ Π² ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅Π²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠ΅, ΠΈ Ρ. Ρ.
Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠΌΠΎΠ² ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΡΠΈΠΊ ΠΌΠΎΠ³ Π±Ρ Π±Π΅Π·Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°. Π’ΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°, ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°. ΠΠΎ ΡΡΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
, ΡΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π΅Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½. ΠΠ°ΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΌ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ. ΠΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΡΡΠΌΠ½Π° ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½Ρ. Π Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΌΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° (Π΄ΡΠΎΠ±ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠΌ), ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΡΠΌΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ². ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΡΠ°ΠΌ Π²Π½ΠΎΡΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»ΡΡΡ ΠΈΡ
ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΎΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄, ΡΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅.
ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°, ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠΌΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΠ΅Π±Ρ Π² Π½Π΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ. ΠΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΠΈΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°, Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π», Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΈΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°, Π½ΠΎ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΎΡ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ
. ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΡΡΠΌΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ².