ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ²

ΠšΡƒΡ€ΡΠΎΠ²Π°ΡΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π£Π»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²Π°Ρ сварка являСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡ†Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ сварочного процСсса. БоСдиняСмыС элСмСнты слСдуСт Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ ΠΊ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Ρƒ, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½. ПослС этого сварочный Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ создаСт мСханичСскоС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ энСргии. ΠšΠΎΠ»Π΅Π±Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ двиТСния соСдиняСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ приводят ΠΊ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

  • Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • 1. ВСхнология изготовлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин
  • 1.1 ВрСбования ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ
  • 1.2 Π₯арактСристика монокристалличСского крСмния
  • 1.3 ОбоснованиС примСнСния монокристалличСского крСмния
  • 1.4 ВСхнология получСния монокристалличСского крСмния
  • 1.4.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ крСмния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ чистоты
  • 1.4.2 Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ монокристаллов
  • 2. ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° монокристалличСского крСмния
  • 2.1 ΠšΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°
  • 2.2 ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡ
  • 2.3 Π Π΅Π·ΠΊΠ°
  • 2.4 Π¨Π»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°
  • 2.5 Π₯имичСскоС Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ
  • 3. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ раздСлСния ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹
  • 3.1 АлмазноС скрайбированиС
  • 3.2 Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ скрайбированиС
  • 4. Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ пластин Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹
  • 5. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ p — n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²
  • 6. ΠŸΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСских Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°
  • 7. Π‘Π±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚изация
  • 8. Π˜ΡΠΏΡ‹Ρ‚Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ²
  • Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • Бписок ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡ‚Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ курсовом ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚Π΅ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ рассмотрСн тСхнологичСский ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚ производства ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ². ВСхнологичСский ΠΌΠ°Ρ€ΡˆΡ€ΡƒΡ‚ — это ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ тСхнологичСских ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ примСняСмых для производства пластин, примСняСмых для изготовлСния ΠŸΠŸ ΠΈ Π˜ΠœΠ‘.

Условно, вСсь производствСнный Ρ†ΠΈΠΊΠ» ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ основных стадии, Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΡ€ΠΈΡΡ‚ΠΈΠΈ Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ подраздСлСния:

1) ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ: ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… пластин, Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ процСссы формирования слоСв ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ²;

2) установка кристаллов Π² ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ мСталличСских Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°.

3) Π‘Π±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚изация Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠŸΠŸ ΠΈ Π˜ΠœΠ‘;

4) ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° качСства ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСских характСристик ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, производство достаточно слоТноС ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ большоС количСство тСхнологичСских ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².

1. ВСхнология изготовлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин

1.1 ВрСбования ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ пластин ΠΈΠ»ΠΈ дисков, Π²Ρ‹Ρ€Π΅Π·Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π’ ΠΈΡ… ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ травлСния, окислСния, Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ, эпитаксии, ΠΈΠΌΠΏΠ»Π°Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ, Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ тСхнологичСскими ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ°ΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ элСмСнты микросхСм элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΡƒΡΡ‚ройств.

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ опрСдСляСтся Π΅Π΅ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„ΠΎΠΌ (ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ), кристалличСским ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠΌ повСрхностных слоСв ΠΈ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒΡŽ ΠΈΡ… Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСской чистоты. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ характСризуСтся Π½Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π½Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. ВысокиС трСбования ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ — Π½Π΅Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ сторонС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. НСодинаковая ΠΈ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΡ†Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторон ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ остаточным мСханичСским напряТСниям ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ кристалла, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обусловливаСт ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ± пластин.

ПослС мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΌ приповСрхностном слоС ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слой. По Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ Π½Π° Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ Π·ΠΎΠ½Ρ‹. Для кристаллов Ge, Si, GaAs ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… послС ΠΈΡ… Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ ΠΈ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ования Π½Π° Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π΅ 0,3.0,5 срСднСй высоты нСровностСй располоТСна Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π½Π°Ρ Π·ΠΎΠ½Π°, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ‹ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² монокристалличСской структуры: монокристалличСскиС сколы, Π½Π΅ Π²Ρ‹ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈ, Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, выступы ΠΈ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ². ПослС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ слСдами ΠΎΡ‚ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ диска Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈΠ· ΡΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Π² ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… кристаллах — Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ слой прСдставляСт собой повСрхностныС нСровности, ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСньшиС, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, ΠΈ Π² ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности ΠΎΠ½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ся Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΌ. Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ слой Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½Ρ‹ΠΉ, Π΅Π³ΠΎ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Π² 2.3 Ρ€Π°Π·Π° большС, Ρ‡Π΅ΠΌ повСрхностныС нСровности. Π’Ρ€Π΅Ρ‚ΠΈΠΉ слой являСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ‚ Π°ΠΌΠΎΡ€Ρ„Π½ΠΎΠΉ структуры ΠΊ Π½Π΅Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ монокристаллу ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ пластичСскиС Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, дислокации, Π° Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… случаях ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ созданиС ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… повСрхностСй, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ кристаллографичСской ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, с ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΌ отсутствиСм Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, минимальной ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ повСрхностных Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², дислокаций ΠΈ Ρ‚. Π΄. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚Π½Ρ‹Π΅ загрязнСния Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ.

1.2 Π₯арактСристика монокристалличСского крСмния

Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-химичСскиС свойства крСмния

1. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹, которая обусловила достаточно Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ собствСнных носитСлСй ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ.

2. Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Ρ€Π΅Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ достиТимых ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… сопротивлСний Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… ΠΎΡ‚ 10-3 Ом-см (Π²Ρ‹Ρ€ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ) Π΄ΠΎ 105 (Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΊ ΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ).

3. ВысокоС Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ модуля упругости, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ (большая, Ρ‡Π΅ΠΌ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, Ρƒ ΡΡ‚Π°Π»ΠΈ).

4. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ высокая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния, ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΈΠ· Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ значСния модуля упругости ΠΈ ΡΠ½Π΅Ρ€Π³ΠΈΠΈ связи.

5. Малая ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (2,3 Π³/см3) ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ Π’ΠšΠ›Π  3Β· 10-6 К-1.

6. Высокая Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (Π΄ΠΎ 140 Π’Ρ‚/К· ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ ΠΊ ΠΊΠΎΡΡ„Ρ„ΠΈΡ†ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Ρƒ тСплопроводности ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°).

7. Π’Π΅Π½Π·ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ — сущСствСнноС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΈ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ.

8. Высокая Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ примСсСй, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ примСси нСсильно ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ°ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Ρ‚ΠΊΡƒ кристалла.

1.3 ОбоснованиС примСнСния монокристалличСского крСмния

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ ИМБ ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ монокристалличСских слитков, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ ΠΊ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ слитков, зависят ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΡ… Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ИМБ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ монокристалличСского крСмния, хотя Π² ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… случаях ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ рядом физичСских ΠΈ Ρ‚СхнологичСских прСимущСств, Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… для создания элСмСнтов ИМБ. ЀизичСскиС прСимущСства крСмния ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ:

ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ связи ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ элСмСнтами ИМБ, позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ микросхСмы, работоспособныС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ… (Π΄ΠΎ +120Β°Π‘) ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΎΡ‰Π½Ρ‹Π΅ схСмы, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… уровнях Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 мкА);

ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ транзисторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ высокоС ΠΏΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ напряТСниС, Π°, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, логичСскиС схСмы Π½Π° ΡΡ‚ΠΈΡ… транзисторах Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ большой статичСской ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ…ΠΎΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ;

ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ характСризуСтся мСньшСй диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обусловливаСт мСньшиС значСния Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… СмкостСй ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΠΈΡ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ быстродСйствиС ИМБ.

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ — ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈ ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», Π² ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСском состоянии ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ для изготовлСния Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ консолСй, ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹-Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ 1.3 Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ элСмСнты ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ массово ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π˜Π‘. Они ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎΠ΅ ускорСниС развития срСдств Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ.

Π‘Ρ‹Ρ€ΡŒΠ΅ для получСния крСмния имССтся Π²ΡΡŽΠ΄Ρƒ Π² Π½Π΅ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… количСствах: содСрТаниС Π΅Π³ΠΎ Π² Π·Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡ€Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 26%.

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ нСтоксичСн Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π΅ своих химичСских соСдинСний, ΠΈ Π΅Π³ΠΎ производство Π½Π΅ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ срСду ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Ρ‚Π΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Ρ‚ΠΎ благодаря Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ матСриалоСмкости микроэлСктроники объСм Π΅Π³ΠΎ производства Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ всСгда ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ, нСсопоставимым с ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π°ΠΌΠΈ мСталлургичСских ΠΈ Ρ…имичСских производств.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 1 — НСкоторыС свойства гСрмания ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΡ

Бвойства

Π•Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Π° измСрСния

Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ (0−1000Π‘)

Π³Ρ€Π°Π΄ - 1

6,0Β· 10-6

4,2Β· 10-6

ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ рабочая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°

0Π‘

70 — 80

120 — 150

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° плавлСния

0Π‘

УдСльная Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

Π’Ρ‚/см· Π³Ρ€Π°Π΄

0,55

0,8

УдСльная Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ (0−1000Π‘)

ΠΊΠ°Π»/Π³Β· Π³Ρ€Π°Π΄

0,08

0,17

ΠŸΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ 200Π‘

г/см3

5,3

2,3

УдСльноС сопротивлСниС ΠΏΡ€ΠΈ 200Π‘

Ом· см

~1012

Π¨ΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡ€Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ‹

эВ

0,72

1.4 ВСхнология получСния монокристалличСского крСмния

ΠŸΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ монокристалличСского крСмния происходит Π² Π΄Π²Π° этапа:

ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ пластина кристалл

1.4.1 ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ крСмния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ чистоты

1) Π’ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ

Π’ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠ° ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ, содСрТащСго оксид крСмния Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†ΠΈΡ‚Π°, Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ… ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 2273К (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 2000Β°):

SiO2+C = Si+2CO

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ элСмСнтарный ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ чистота Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ основного вСщСства составляСт ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 99%. ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΈΠ· — Π·Π° Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ плавлСния ΠΈ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ способности ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ Π»ΡŽΠ±Ρ‹ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π΅ΠΉΠ½Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ очисткС Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π°Π΅Ρ‚ся.

2) ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ΄ тСхничСского крСмния Π² ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Π΅ для Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ очистки SiCl4, SiHCl3 ΠΈΠ»ΠΈ SiH4

Для получСния Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° крСмния ΠΈ Ρ…лорсилана ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ хлорирования:

Si+2Cl2SiCl4

Si+3HClSiHCl3+H2

Моносилан ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ-ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ сплава:

Mg2Si+4NH4ClSiH4+2MgCl2+4NH3

3) Глубокая очистка.

Для дальнСйшСй Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ очистки Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π°, хлорсилана ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΠ»Π°Π½Π° примСняСтся ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΆΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ нСзависимо ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ Π΄Π²Π° вСщСства Π² Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… условиях — Тидкости, Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅ — Π³Π°Π·.

РСктификация — многократная ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³ΠΎΠ½ΠΊΠ° — высокоэффСктивный, экономичный процСсс, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ Π±Π΅Π· примСнСния ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Π»ΠΈΠ±ΠΎ Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали.

4) ВосстановлСниС с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ»ΠΈΠ·

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ особо чистого крСмния осущСствляСтся ΠΏΠΎ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ рСакциям:

восстановлСниС (1373 K):

SiCl4 + 2Н2 Si + 4НCl

SiHCl3 + Н2 Si + 3НCl

ΠŸΠΈΡ€ΠΎΠ»ΠΈΠ· (1273 K):

SiH4 Si + 2Н2

ВосстановлСниС осущСствляСтся Π½Π° Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Π΅ стСрТни-Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, нСпосрСдствСнно Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ пропускаСтся элСктричСский Ρ‚ΠΎΠΊ. Благодаря этому рСакция локализуСтся Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности крСмния ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ постСпСнноС Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡ… Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° ΠΎΡ‚ ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… 8.10 Π΄ΠΎ 50.100 ΠΌΠΌ. Для восстановлСния ΠΈ Ρ€Π°Π·Π±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… смСсСй, ΠΊΠ°ΠΊ Π² Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΠ»Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΌ процСссах ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ большиС количСства Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°.

1.4.2 Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ монокристаллов

1) ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ

Около 75% всСго производства вСдСтся ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ обСспСчиваСт Π½Π°ΠΈΠ²Ρ‹ΡΡˆΡƒΡŽ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎ монокристаллов. ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ — основана Π½Π° ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ кристаллизации Π½Π° Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΡƒ ΠΈΠ· Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠ³ΠΎ объСма расплава, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ для выращивания всСго слитка.

ΠŸΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ монокристаллов:

1. ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° исходных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² — ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠ°. Π‘Ρ‹Ρ€ΡŒΠ΅ΠΌ для ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ поликристалличСский ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, Π½ΠΎ ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π°Ρ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΡŒ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ остатки крСмния ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ монокристаллов, Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π²ΡˆΠΈΠ΅ Π² Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ. Компоновка Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ΅ ΡΡ‹Ρ€ΡŒΡ, Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π»Π΅Π³ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… примСсСй, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ расчСты.

2. Π—Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π² Ρ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒ, Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. ПослС этого ΠΌΠΎΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ нагрСватСля ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° расплава ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°Π»Π°ΡΡŒ постоянной ΠΈ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΊ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ плавлСния, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ обСспСчиваСтся Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ равновСсиС, ΠΈ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»Π°, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ нагрСватСлями, Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ соотвСтствуСт Π΅Π³ΠΎ потСрям ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

3. Π—Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ — соприкосновСниС монокристалличСской Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠΈ с Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠΌ — мСняСт Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ условия Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅. ΠŸΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΡƒ, Π° ΡΡ‚ΠΎ создаСт Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ кристаллизации ΠΏΡ€ΠΈ постоянной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ расплава, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎ (скрытая Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π° кристаллизации) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡŒ ΠΎΡ‚Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ.

4. Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ шСйки. Π—Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ сопровоТдаСтся Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ кристалла — Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π΄ΠΈΠΈ плавлСния ΠΎΠ½Π° Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡŒ Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. ΠŸΡ€ΠΈ «Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π΅» Π² Π½Π΅ΠΉ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ напряТСния ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΈ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π±Ρ‹ Π²Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌΡƒ кристаллу, ΠΈ Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΎΡ‚ Π½ΠΈΡ…, сначала ΠΏΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΡƒ с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ «Ρ‚янут» ΠΈΠ· Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° кристалл ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° — ΡˆΠ΅ΠΉΠΊΡƒ.

5. Π Π°Π·Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ «Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ Π½Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€» — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° Π΄ΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»Π° — осущСствляСтся Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ сниТСния скорости подъСма Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠΈ. Π’Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ устанавливаСтся ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ Π·Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΠΌ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΎΠΊΠ½ΠΎ Π² ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ΅ установки. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ управлСния Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ слитка ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ нСвысока, поэтому даСтся допуск Π½Π° 3.5 ΠΌΠΌ Π² Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ сторону.

6. Π’Ρ‹Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ цилиндричСской части вСдСтся Π² Π°Π²Ρ‚оматичСском Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ со ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ 1,5.3 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ расплава Π² Ρ‚ΠΈΠ³Π»Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ пониТаСтся, ΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ условия Π² Π·ΠΎΠ½Π΅ роста. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ нСдостаток Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ устраним Π² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ однородности — ΠΏΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ слитка — ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°, Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΎ-экономичСскиС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ всС Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹Π΅ срСдства: Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, скорости вытягивания, подъСм ΠΈ ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ нагрСватСля ΠΈ Ρ‚игля.

7. ΠžΡ‚Ρ‚ΡΠΆΠΊΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡƒΡ ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Ρ‹Π² кристалла ΠΎΡ‚ ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΎΠ² расплава Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ процСсс выращивания.

ΠžΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ состоят Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ.

1. РастворСниС Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ тигля происходит с Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

2. ВслСдствиС нСпрямого ΠΈ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡ‚оянного ΠΏΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ слитка Ρ„Ρ€ΠΎΠ½Ρ‚Π° кристаллизации ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ гидродинамичСских условий Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ слоТная Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ€Π°ΡΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ примСси ΠΈ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния ΠΏΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ кристалла.

3. НСравномСрноС распрСдСлСниС Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ примСсСй ΠΏΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ слитка.

Рисунок 1 - Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установки для выращивания монокристаллов ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρƒ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ.

2) ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π±Π΅ΡΡ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ основан Π½Π° ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ нСбольшой Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ цилиндричСской Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, находящСйся Π² Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ состоянии. НСобходимая узкая Π·ΠΎΠ½Π° расплава создаСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ высокочастотного ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° (стандартная частота Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° 5,28 ΠœΠ“Ρ†). Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΡ…Ρ€Π΅Π²Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ² Π² ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ, ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ достаточной мощности выдСляСтся нСпосрСдствСнно Π’Π§-Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°, это ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π±Ρ‹ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠΌΡƒ Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΊΠ°ΠΏΠ»ΠΈ.

Благодаря нСбольшой плотности крСмния ΠΈ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΌΡƒ повСрхностному Π½Π°Ρ‚ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ капля способна ΡƒΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΡΠ»ΠΈΡ‚ΠΊΠ΅; ΠΊ Π½Π΅ΠΉ снизу подводится Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΊΠ° ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π΅ Π§ΠΎΡ…Ρ€Π°Π»ΡŒΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ, вытягиваСтся шСйка, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ. Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ примСсСй Π² ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Π±Π΅ΡΡ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π° расплава ΠΈ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ испарСния. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±Π΅ΡΡ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ цСлСсообразно для моносиланового крСмния, свободного ΠΎΡ‚ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ монокристаллы с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ высоким, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΊ ΡΠΎΠ±ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡƒ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм, Ρ‚. Π΅. Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π±Π΅ΡΡ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ очистки.

Рисунок 2 - Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° Π±Π΅ΡΡ‚ΠΈΠ³Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈ

2. ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° монокристалличСского крСмния

2.1 ΠšΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°

ΠšΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° монокристаллов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠžΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌ ΡΡ‚Ρ€ΠΎΠ³ΠΎ цилиндричСской Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ ΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°. ΠšΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΡƒ монокристаллов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² проводят Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° ΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»ΠΎΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станках, снабТСнных Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΊΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ с Π·Π΅Ρ€Π½ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ 50/40 (основная фракция 40 ΠΌΠΊΠΌ, Π° ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½ΠΎΠΉ, Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 50 ΠΌΠΊΠΌ, Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 15%). ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΊ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π°ΠΌ монокристалла Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ мастикой ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ мСталличСскиС конуса («Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Ρ‹») Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΡ… ΠΎΡΡŒ совпадала с ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ осью монокристалла.

ПослС ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности монокристалла образуСтся Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ слой Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50.250 ΠΌΠΊΠΌ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΡ„Π΅Ρ€ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ появлСниС сколов, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ высокотСмпСратурной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ структурных Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ², Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ области ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Для снятия Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±Ρ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ монокристаллы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ химичСского травлСния.

2.2 ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡ

Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ роста монокристаллов Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ нСсоотвСтствиС оси слитка кристаллографичСской оси. Для получСния пластин, ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ плоскости, Π΄ΠΎ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ производят ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ слитков. Бпособы ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ кристаллов ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ, Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ ΠΈ Π΅Π΅ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠ½Ρ‹Π΅ диэлСктрики ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ для ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚Π° влияния тСхнологичСских свойств кристалла Π½Π° Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ. Π£ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠ½Ρ‹Ρ… диэлСктриков ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π»ΠΎΠΌΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… повСрхностСй Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ прСобразования свСтового ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠ°. ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² прСдусматриваСт опрСдСлСния кристаллографичСской плоскости, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ элСктричСскиС свойства. ΠžΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² проводят рСнтгСновскими ΠΈΠ»ΠΈ оптичСскими ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

РСнтгСновский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ основан Π½Π° ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ рСнтгСновских Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π˜Π½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ отраТСния зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ности ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ плоскости. ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ плоскости, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ, соотвСтствуСт большая ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ отраТСния Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ. ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ плоскости ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΡƒΠ³Π»Π°ΠΌΠΈ отраТСния ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° Π½ΠΈΡ… рСнтгСновских Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ. Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ этих ΡƒΠ³Π»ΠΎΠ² для крСмния: (111) — 17Β°56', (110) — 30Β° 12', (100) — 44Β°23'

РСнтгСновский диафрактомСтричСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ основан Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡƒΠ³Π»Π° отраТСния характСристичСского рСнтгСновского излучСния ΠΎΡ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π½Ρ‚ΠΈΡ„ΠΈΡ†ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ плоскости. Для этого ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ рСнтгСновскиС Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ‰Π΅Π³ΠΎ назначСния, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π”Π ΠžΠ-1,5, ΠΈΠ»ΠΈ рСнтгСновскиС установки, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π£Π Π‘-50И (М), ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅, снабТСнныС рСнтгСновскими Π³ΠΎΠ½ΠΈΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡƒΡΡ‚ройствами, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ располагаСмого монокристалла Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ оси с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ измСрСния ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π½Π° Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠΉ срСз монокристалла рСнтгСновский Π»ΡƒΡ‡ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄ брэгговским ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ отраТСния Ρ€. Π‘Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ рСнтгСновских ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ² (Π“Π΅ΠΉΠ³Π΅Ρ€Π°) Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ 2Ρ€ ΠΊ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΌΡƒ Π»ΡƒΡ‡Ρƒ. Если ориСнтируСмая ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ (111), составляСт Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ», Π° Ρ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΌ срСзом монокристалла, Ρ‚ΠΎ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‚ Π½Π΅Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Π½ΡƒΠ² монокристалл Π½Π° ΡΡ‚ΠΎΡ‚ ΠΆΠ΅ ΡƒΠ³ΠΎΠ».

ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡƒΠ³Π»Π° отраТСния проводят ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π΄Π²ΡƒΡ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярных осСй, ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π»Π΅ΠΆΠΈΡ‚ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΠ° (рисунок 3)

Рисунок 3 — Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ монокристаллов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² рСнтгСновским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ: 1-ΠΏΠ°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ рСнтгСновский Π»ΡƒΡ‡; 2 — монокристалл; 3 — ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ рСнтгСновский Π»ΡƒΡ‡: 4 — счСтчик Π“Π΅ΠΉΠ³Π΅Ρ€Π°

ΠžΠΏΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ основан Π½Π° Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π² ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Ρ‹ травлСния, конфигурация ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… опрСдСляСтся Π΅Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚аллографичСской ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ. На ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности (111) Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Ρ‹ травлСния ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄, Π° Π½Π° (100) — Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Ρ…. ΠŸΡ€ΠΈ оснащСнии Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ повСрхности ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ свСта ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π»ΡƒΡ‡ΠΈ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡΠΊΡ€Π°Π½Π΅ свСтовыС Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Ρ‹.

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, насколько сильно ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ срСза монокристалла ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ (hkl), свСтовая Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°, образованная ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠΎΠΌ свСта, Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π½Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ дальшС ΠΎΡ‚ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π° экрана. По Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π΅ отклонСния свСтовой Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΎΡ‚ Π½ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ дСлСния экрана ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ ΡƒΠ³ΠΎΠ» отклонСния, Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π° монокристалла ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ (hkl). Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, поворачивая монокристалл Π½Π° 90Β°, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ ΡƒΠ³ΠΎΠ» Π ; послС выполнСния ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ монокристалла Π½Π° Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π΅ твСрдосплавным Ρ€Π΅Π·Ρ†ΠΎΠΌ наносят стрСлку, Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΡƒΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, Π² ΠΊΠ°ΠΊΡƒΡŽ сторону ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Π° монокристалла ΠΎΡ‚ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π΅Π½Π° трСбуСмая ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ монокристаллов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² рСнтгСновским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ± (2.6) ', Π° ΠΎΠΏΡ‚ичСским ± (15.30) '.

2.3 Π Π΅Π·ΠΊΠ°

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ — Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΉ ΠΈ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π». Π­Ρ‚ΠΈ свойства крСмния ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ способы Π΅Π³ΠΎ мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². НСобходимо ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ слитки крСмния ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ большой Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ (Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 80 ΠΌΠΌ с Ρ‚Π΅Π½Π΄Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ роста Π΄ΠΎ 100.110 ΠΌΠΌ).

Π’ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 2 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΈΡ… Ρ‚вСрдости.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 2 — Π‘Ρ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ характСристика Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

НаимСнованиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ 10Н/ΠΌ2

Π’Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎ ΡˆΠΊΠ°Π»Π΅ Мооса

Алмаз

ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ Π±ΠΎΡ€Π°

4,9

ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния

3,5

9,5

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΊΠΎΡ€ΡƒΠ½Π΄

1,4

9,2

ΠšΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ

1,0

Π“Π΅Ρ€ΠΌΠ°Π½ΠΈΠΉ

0,8

АрсСнид галлия

0,7

4,5

Алмаз — самый Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π». ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ крСмния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΡΠΈΠ½Ρ‚СтичСскиС Π°Π»ΠΌΠ°Π·Ρ‹, ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅Ρ…аничСским свойствам. Иногда ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄Ρ‹ Π±ΠΎΡ€Π° Π’4Π‘ ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΡ SiC, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ элСктрокорунд Al2O3. Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ΅ слитков крСмния Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ мСталличСскиС диски с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΎΠΉ.

Π˜Π½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΌΠ΅Π½Ρ‚ прСдставляСт собой мСталличСский диск с Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ отвСрстиСм, Π½Π° ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΡƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ нанСсСна алмазная ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° диска 0,1−0,15 ΠΌΠΌ, Π° Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ отвСрстия обусловлСн Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅Π·Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ слитка. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установки для Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ слитков прСдставлСна Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 4.

Рисунок 4 — ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΉ диск с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΎΠΉ: 1 — мСталличСский диск; 2 — алмазная ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Π Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΉ инструмСнт (диск) растягиваСтся ΠΈ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΠ΅Ρ‚ся Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Π±Π°Ρ€Π°Π±Π°Π½Π΅ Π½Π° Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ шпиндСля станка для рСзания. Π‘Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠΊ разрСзаСтся диском с Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ шпиндСля (3000 — 5000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½.). Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ двиТСния слитка ΠΏΡ€ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ пСрпСндикулярно оси Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ диска составляСт 40 — 50 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. (для слитков Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 60 ΠΌΠΌ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 20 — 30 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.). ПослС отрСзания ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½ΠΎΠΉ пластины с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ автоматичСской систСмы происходит Π²ΠΎΠ·Π²Ρ€Π°Ρ‚ слитка Π² ΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ Π½Π° Π·Π°Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ шаг. Устройство для закрСплСния слитка позволяСт ΠΏΠΎΠ²ΠΎΡ€Π°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ слиток Π² Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ плоскостях Π½Π° Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ ΡƒΠ³Π»Ρ‹ ΠΏΠΎ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ вращСния Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ диска ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌ самым обСспСчиваСт ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ€Π΅Π·ΠΊΡƒ. Π‘Ρ‚Π°Π½ΠΎΠΊ снабТСн систСмой ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ для охлаТдСния Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ диска ΠΈ Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ (частичСк Π²Ρ‹ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ крСмния).

Рисунок 5 — Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установки для Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ диском: Π° — Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΉ способ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ; Π± — Π³Ρ€Π΅Π±Π΅Π½Ρ‡Π°Ρ‚Ρ‹ΠΉ способ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ (1 — Π±Π°Ρ€Π°Π±Π°Π½; 2 — диск; 3 — Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅; 4 — ΠΎΠΏΡ€Π°Π²ΠΊΠ°; 5 — пластина; 6 — слиток) ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ пластин, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… послС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ, Π½Π΅ ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚воряСт трСбованиям, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ повСрхности крСмния ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктронографа ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ приповСрхностных слоСв, Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… монокристалличСской структуры. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя послС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ диском 10 — 30 ΠΌΠΊΠΌ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΈ вращСния диска. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π² Π˜Π‘ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π°, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ p-n — ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹, составляСт Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΈ Π΄Π΅ΡΡΡ‚Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π°, Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… слоСв Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 10 — 30 ΠΌΠΊΠΌ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎ. ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π΅Ρ€ΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 0,02 — 0,1 ΠΌΠΊΠΌ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ пластин слСдуСт ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρƒ пластины вмСсто 10 ΠΌΠΊΠΌ послС Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ.

2.4 Π¨Π»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ°

Для обСспСчСния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ качСства повСрхности пластин Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π½ΡƒΡ‚Ρ‹ дальнСйшСй ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅. Π­Ρ‚Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° состоит Π² ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ пластин. Π¨Π»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° пластин производится Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… станках с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ Π·Π΅Ρ€Π½Π° ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 40 ΠΌΠΊΠΌ (ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ). Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΡ‹ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ² с Π·Π΅Ρ€Π½Π°ΠΌΠΈ 14 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅. Π’ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 3 ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ основной Ρ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ². ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ М14, М10, М7, М5 ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈΠ· ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π±ΠΎΡ€Π°, крСмния ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΊΠΎΡ€ΡƒΠ½Π΄Π°, ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΎΠΊ АБМ — ΠΈΠ· Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 3 — ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΈ для ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ пластин крСмния

ΠœΠ°Ρ€ΠΊΠ°

М14

М10

М7

М5

АБМ7/5

АБМ5/3

АБМ3/2

АБМ2/1

АБМ1/0,5

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€, ΠΌΠΊΠΌ

14.10

10.7

7.5

5.3

7.5

5.3

3.2

2.1

1 ΠΈ ΠΌΠ΅Π»ΡŒΡ‡Π΅

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° выбираСтся ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» повСрхности ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊΠ°. ΠŸΡ€ΠΈ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ пластин ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°ΠΌΠΈ М14-М15 ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ стСклянный ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊ, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°ΠΌΠΈ АБМ — ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊΠΈ с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΊΠ°Π½Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ пластин Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠΈ с Π½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ пластинами. Π“ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡƒΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊΡƒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ ΠΊΡ€ΠΎΠ½ΡˆΡ‚Π΅ΠΉΠ½Π°ΠΌΠΈ с ΠΎΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (рисунок 6). Π—Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ силы трСния Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΡΠΎΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ°ΡΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈΡΡ повСрхностями Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, послСдниС Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ своих осСй. Π­Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΊ создаСт условия для Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ полирования.

ΠŸΡ€ΠΈ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°ΠΌΠΈ М14 — М15 ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ суспСнзии с ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΊ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Ρƒ 31, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ пластин ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹Π΅ пасты.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя принята опрСдСлСнная ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ пластин. ΠŸΡ€ΠΈ этом учитываСтся Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° снимаСмого слоя Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ образовался Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΡƒΡŽΡ‚ с Π΄Π²ΡƒΡ… сторон, Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ сторону.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 4 — Π₯арактСристики ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²

Π’ΠΈΠΏ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ°

Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, ΠΌΠΊΠΌ

Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ удалСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, ΠΌΠΊΠΌ/ΠΌΠΈΠ½

Класс ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ повСрхности

М14

20 — 30

М10

15 — 25

1,5

8 — 9

АБМ3/2

9 — 11

0,5 — 1,0

12 — 13

АБМ1/0,5

5 — 7

0,35

АБМ0,5/0,3

МСнСС 3

0,25

13 — 14

АБМ0,3/0,1

МСнСС 3

0,2

Рисунок 6 — Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ станка ΠΈ Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΊ: 1 — Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ устройство с Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ суспСнзиСй; 2 — Π³Ρ€ΡƒΠ·Ρ‹; 3 — Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΊΠ°; 4 — пластины; 5 — ΡˆΠ»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΡ‰ΠΈΠΊ; 6 — Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊ Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° пластин, ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅Ρ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… трСбованиям ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ потСрям крСмния (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 65%).

2.5 Π₯имичСскоС Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ

БопровоТдаСтся ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ повСрхностного слоя с ΠΌΠ΅Ρ…аничСски Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ кристалличСской структурой, вмСстС с ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности загрязнСния. Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ являСтся ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ тСхнологичСской ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ.

ΠšΠΈΡΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠ΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ…имичСской Ρ‚Π΅ΠΎΡ€ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ этапов: диффузия Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, адсорбция Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, повСрхностныС химичСскиС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, дСсорбция ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΡ„фузия ΠΈΡ… ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности.

Π’Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… самыми ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ суммарный процСсс травлСния этапами ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ. Они Π½Π΅Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ ΠΊ Ρ„изичСским ΠΈ Ρ…имичСским нСоднородностям повСрхности, ΡΠ³Π»Π°ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΡˆΠ΅Ρ€ΠΎΡ…ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΠΎΡΡ‚ΠΈ, выравнивая ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ травлСния Π² ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… травитСлях сущСствСнно зависит ΠΎΡ‚ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ травитСля ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

Π’Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ, для ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… самыми ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ стадиями ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ повСрхностныС химичСскиС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ сСлСктивными. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ травлСния Π² ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… травитСлях зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, структуры ΠΈ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚аллографичСской ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ повСрхности ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ‚ ΠΎΡ‚ Π²ΡΠ·ΠΊΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ травитСля. Π‘Π΅Π»Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·Π½ΠΈΡ†Π΅ΠΉ скоростСй травлСния Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… кристаллографичСских направлСниях принято Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ.

ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚Π½Ρ‹Π΅ химичСскиС Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ проходят Π² Π΄Π²Π΅ стадии: окислСниС повСрхностного слоя ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ΄ окисла Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΠΌΡ‹Π΅ соСдинСния. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ крСмния Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ окислитСля выполняСт азотная кислота:

Ѐтористоводородная (плавиковая) кислота, входящая Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² травитСля, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ окись крСмния Π² Ρ‚Π΅Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ крСмния:

Для травлСния, Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π·Π΅Ρ€ΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ пластин, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ смСсь ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… кислот Π² ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ 3: 1, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° травлСния 30.40Β°Π‘, врСмя травлСния ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 15 с.

3. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ раздСлСния ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

Π›ΠΎΠΌΠΊΠ° проскрайбированных пластин — вСсьма отвСтствСнная опСрация. ΠŸΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ проскрайбированных пластин Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π±Ρ€Π°ΠΊ: Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Ρ‹, сколы, Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ кристаллов ΠΈ Ρ‚. ΠΏ.

Π Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ пластин скрайбированиСм ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡŽΡ‚ Π² Π΄Π²Π΅ стадии: Π²Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ пластины ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ микросхСмами наносят Π² Π΄Π²ΡƒΡ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярных направлСниях Π½Π΅Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ риски, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡ‚ΠΈΠΌ рискам Ρ€Π°Π·ΠΌΠ°Π»Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π΅ Π½Π° ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ кристаллы. ΠŸΡ€ΠΈ сквозном Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ пластину ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π΅Π·Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌ инструмСнтом насквозь.

3.1 АлмазноС скрайбированиС

Π­Ρ‚Π° опСрация состоит Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластинС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ структурами рисок ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ мСханичСским воздСйствиСм Π½Π° Π½Π΅Π΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π·Ρ†Π° (рисунок 7), Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π½Π΅Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ… Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… усилий Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ разламывания Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π²ΡΡŽ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ пластины, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ‡Π΅Π³ΠΎ происходит Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΅Π΅ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ кристаллы.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ достоинством скрайбирования наряду с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΊΡƒΠ»ΡŒΡ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ производства являСтся малая ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈ, Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, отсутствиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° риски Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ 1020 ΠΌΠΊΠΌ, Π° Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° 510 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ двиТСния Ρ€Π΅Π·Ρ†Π° 5075 ΠΌΠΌ/с, Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° Π½Π° Ρ€Π΅Π·Ρ†Π΅ 1,21,4 Н.

Рисунок 7 — Π‘ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ±ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅Π·Ρ†ΠΎΠΌ: Π°) — нанСсСниС рисок; Π±) — пластина с Ρ€ΠΈΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ; Π²) — конструкция Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Ρ‹ (1 — рСТущая Π³Ρ€Π°Π½ΡŒ Ρ€Π΅Π·Ρ†Π°; 2 — Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ для скрайбирования Π² ΡΠ»ΠΎΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика; 3 — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ микросхСмы; 4 — крСмниСвая пластина)

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ скрайбирования ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΈ Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ стСпСни зависят ΠΎΡ‚ ΡΠΎΡΡ‚ояния Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ части Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π·Ρ†Π°. Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Ρ€Π΅Π·Ρ†ΠΎΠΌ Π² ΠΈΠ·Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌ Ρ€Π΅Π±Ρ€ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π΅Ρ€ΡˆΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡΠΊΠΎΠ»Π°ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ скрайбировании ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠΌΠΊΠ΅. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ скрайбированиС Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π½Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡˆΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ€Π΅Π·Ρ†Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· ΡΠΈΠ½Ρ‚СтичСских Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ распространСниС Ρ€Π΅Π·Ρ†Ρ‹, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ усСчСнной Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…Π³Ρ€Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΈΡ€Π°ΠΌΠΈΠ΄Ρ‹ (рисунок 7, Π²), Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌΠΈ элСмСнтами ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π΅Π΅ Ρ€Π΅Π±Ρ€Π°.

3.2 Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ скрайбированиС

ΠŸΡ€ΠΈ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΌ скрайбировании (рисунок 8) Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ риски ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ структурами ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡŽΡ‚ испарСниСм ΡƒΠ·ΠΊΠΎΠΉ полосы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности пластины Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ Π΅Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ сфокусированного Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡƒΡ‡Π°. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π΅ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΡ… (Π΄ΠΎ 50.100 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈ ΡƒΠ·ΠΊΠΈΡ… (Π΄ΠΎ 25…40 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΎΠΊ. Канавка, узкая ΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅, ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° мСханичСских напряТСний. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠΈ пластины Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ напряТСния приводят ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π½Π° Π΄Π½Π΅ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½, Ρ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ сквозь всю Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ пластины, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ‡Π΅Π³ΠΎ происходит Π΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ кристаллы.

Наряду с ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΈ достоинством Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ скрайбирования являСтся Π΅Π³ΠΎ высокая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (100.200 ΠΌΠΌ/с), отсутствиС Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластинС ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ². Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ½Ρ‹ΠΉ оптичСский ΠΊΠ²Π°Π½Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ с Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ слСдования ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠΎΠ² 5.50 ΠΊΠ“Ρ† ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠΌΠΏΡƒΠ»ΡŒΡΠ° 0,5 мс.

Рисунок 8 — Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ скрайбирования ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины

4. Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ пластин Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹

Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ пластин Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹ послС скрайбирования осущСствляСтся мСханичСски, ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠΈΠ² ΠΊ Π½Π΅ΠΉ ΠΈΠ·Π³ΠΈΠ±Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚. ΠžΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² кристаллов зависит ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ усилия, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ зависит ΠΎΡ‚ ΡΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ кристаллов.

НаиболСС простым способом являСтся Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ пластин Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ (рисунок 9). Для этого пластину 3 ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ (рисками) Π²Π½ΠΈΠ· Π½Π° ΠΌΡΠ³ΠΊΠΎΡŽ гибкою (ΠΈΠ· Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½Ρ‹) ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρƒ 4 ΠΈ Ρ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π² Π΄Π²ΡƒΡ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎ пСрпСндикулярных направлСниях ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ 1 Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 1030 ΠΌΠΌ. Гибкая ΠΎΠΏΠΎΡ€Π° дСформируСтся, пластина изгибаСтся Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ нанСсСния рисок ΠΈ Π»ΠΎΠΌΠ°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠΎ Π½ΠΈΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ происходит Π² Π΄Π²Π΅ стадии — Π²Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π΄Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ кристаллы.

Рисунок 9 — Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠΎΠΌ: 1 — Π²Π°Π»ΠΈΠΊ; 2 — защитная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°; 3 — кристалл; 4 — ΠΎΠΏΠΎΡ€Π°

Π’Π°Π»ΠΈΠΊ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ скрайбирования, ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ Π»ΠΎΠΌΠΊΠ° Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π΅ ΠΏΠΎ Ρ€ΠΈΡΠΊΠ°ΠΌ. Π‘Ρ€Π°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, Ссли полоски ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ кристаллы ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π° Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΎΠΉ пластины ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ свСрху Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ эластичной полиэтилСновой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ 2, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ кристаллов Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Π»ΠΎΠΌΠΊΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ разламывания ΠΈ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°. БмСщСния кристаллов ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ, помСстив пластину ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ полиэтилСновый ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ‡Π°Π² ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ….

ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ установки, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠΈ двиТутся строго ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ рисок ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠΈ. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π΅Π½ способ прокатывания пластины ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (рисунок 10), ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ обСспСчиваСтся Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ скрайбСрной риски.

Рисунок 10 — Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ: 1 — пластина; 2 — ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΉ Π²Π°Π»ΠΈΠΊ; 3 — защитная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°; 4 — ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π²Π°Π»ΠΈΠΊ; 5 — ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°-Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ

ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρƒ 1, Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ рисками Π²Π²Π΅Ρ€Ρ…, ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя цилиндричСскими Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ: Π²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΈΠΌ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ (Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ) 2 ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΌ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ 4. Для сохранСния ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ½Π°Ρ‡Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ кристаллов пластину Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ Π½Π° Ρ‚Срмопластичной ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅-носитСлС 5 ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Π΅Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ полиэтилСновой ΠΈΠ»ΠΈ лавсановой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ 3. РасстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ, опрСдСляСмоС Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ пластины, ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚, пСрСмСщая ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ….

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ‚ΠΊΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΠΉ Π²Π°Π»ΠΈΠΊ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ пластины дСформируСтся ΠΈ ΠΊ Π½Π΅ΠΉ прикладываСтся Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ°, ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСчСния ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ скрайбСрной риски. ΠŸΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π° изгибаСтся ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ся ΠΏΠΎ Ρ€ΠΈΡΠΊΠ°ΠΌ, Π²Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ, Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΎΡ‚Π° Π½Π° 90 — Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρ‹.

Рисунок 11 — Π Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ пластины Π½Π° ΡΡ„СричСской основС: 1 — сфСра; 2 — пластина; 3 — рСзиновая Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠ°

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»Π°ΠΌΡ‹Π²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡ„СричСской ΠΎΠΏΠΎΡ€Π΅ (рисунок 11) пластину 2, Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΌΠΈ пластичными ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ рисками Π²Π½ΠΈΠ· Π½Π° Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΡƒΡŽ Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡƒ 3, подводят свСрху ΡΡ„Π΅Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρƒ 1 ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΡ‹ пнСвмоничСским ΠΈ Π³ΠΈΠ΄Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ способами ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊ Π½Π΅ΠΉ пластину, которая разламываСтся Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ кристаллы. Достоинствами этого способа ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ простота, высокая ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, (Π»ΠΎΠΌΠΊΠ° Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 11,5 ΠΌΠΈΠ½) ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚Π°Π΄ΠΈΠΉΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ достаточно высокоС качСство, Ρ‚.ΠΊ. кристаллы Π½Π΅ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ся ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 5 — Π“Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя пластин крСмния послС Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

Π’ΠΈΠ΄ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

Условия ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ

Π“Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, ΠΌΠΊΠΌ

Π Π΅Π·ΠΊΠ° Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΎΠΉ

Π—Π΅Ρ€Π½ΠΈΡΡ‚ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΈ АБМ 60/53; n=4000ΠΌΠΈΠ½-1; ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π° 1ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½

20 — 30

Π¨Π»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅

Π‘Π²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²:

суспСнзия ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠ° Π­Π‘Πœ-10

Π­Π‘Πœ-5

11 — 15

7 — 9

Π¨Π»ΠΈΡ„ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅

Бвязный Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΡ€ΡƒΠ³ АБМ — 28

Алмазная паста:

АБМ — 3

АБМ — 1

АБМ — 0,5

14 — 16

6 — 9

5 — 6

1 — 2

Π₯ΠΈΠΌΠΈΠΊΠΎ-мСханичСскоС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅

БуспСнзия аэросила, SiO2 (Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ 0,04 — 0,3 ΠΌΠΊΠΌ) БуспСнзия Ρ†Π΅ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π°

1 — 1,5

1 — 2

5. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ p — n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²

Π‘ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кристалла с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°ΠΌΠΈ — это тСхнологичСский процСсс, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρƒ Π²ΠΏΠ»Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» ΠΈΠ»ΠΈ сплав ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, содСрТащий примСси, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ для создания Π·ΠΎΠ½Ρ‹ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°. Для сплавлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° с ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π°Π±Π»Π΅Ρ‚ΠΊΡƒ примСси. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ систСму Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΡŒ плавится ΠΈ Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ся частичноС растворСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅. ПослС охлаТдСния Π² ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ образуСтся ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ°. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ относятся ΠΊ Ρ‡ΠΈΡΠ»Ρƒ ступСнчатых. Они ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… напряТСниях, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ΅ собствСнноС сопротивлСниС.

ЭлСктрохимичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ получСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Основан Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚рохимичСском осаТдСнии ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ образуСтся ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ, свойства ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ зависят ΠΎΡ‚ Ρ…арактСристик ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ для получСния элСмСнтов с ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ расстояниями ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ.

Диффузия — процСсс, с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ пластины ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ p — ΠΈΠ»ΠΈ n — области ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ввСдСния Π°ΠΊΡ†Π΅ΠΏΡ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… примСсСй. ΠŸΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ примСсСй Π² Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΡŒ пластины ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° происходит Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ², находящихся Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π΅ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ², Π² Π°Ρ‚мосфСру ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π° нагрСтая пластина. Наибольшая концСнтрация примСси находится Ρƒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности пластины, с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ расстояния ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π²Π³Π»ΡƒΠ±ΡŒ пластины концСнтрация примСси ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ. P — n ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ‚ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΠΈ, Π³Π΄Π΅ концСнтрация носитСлСй заряда Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΉ, которая имССтся Ρƒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π±Π΅Π· примСси (ΠΏΡ€ΠΈ собствСнной элСктропроводности).

6. ΠŸΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСских Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°

Π’ ΡΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ… ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСмах, Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ составляСт нСсколько дСсятков ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ², процСсс присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΡ… тСхнологичСских ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя для присоСдинСния Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€ΠΈ разновидности сварки: Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΈ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ.

ВСрмокомпрСссионная сварка позволяСт ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ элСктричСскиС Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ нСсколько дСсятков ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΊ ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°ΠΌ кристаллов Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 20−50 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ элСктричСский Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‚ΡŒ нСпосрСдствСнно ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π±Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ мСталличСского покрытия ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ. Π’ΠΎΠ½ΠΊΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΡƒΡŽ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρƒ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚Ρ‹ΠΌ стСрТнСм. ПослС нСбольшой Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ° оказываСтся ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ сцСплСнной с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ кристалла. Π‘Ρ†Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ происходит вслСдствиС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… давлСниях, Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π» ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π΅Π³ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ, локальноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ выступах Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ вСсьма большим. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΏΠ»Π°ΡΡ‚ичСской Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ выступов, Ρ‡Π΅ΠΌΡƒ способствуСт ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π² Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π½ΠΈΠΆΠ΅ эвтСктичСской для Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ…-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π΅ кристалла. ΠŸΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΡΡ‰Π°Ρ дСформация (Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅) ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ выступов ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ Π²ΠΏΠ°Π΄ΠΈΠ½ обусловливаСт ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΡƒΡŽ адгСзию ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚, вслСдствиС Π²Π°Π½Π΄Π΅Ρ€Π²Π°Π°Π»ΡŒΡΠΎΠ²Ρ‹Ρ… сил сцСплСния, Π° Ρ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ соСдиняСмыми ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ вСроятна химичСская связь. ВСрмокомпрСссионная сварка ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ прСимущСства:

соСдинСниС Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ происходит Π±Π΅Π· расплавлСния свариваСмых ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²; ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ΅ ΠΊ ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»Ρƒ, Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ…аничСским поврСТдСниям ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°;

соСдинСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π±Π΅Π· загрязнСний, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΈ ΠΈ Ρ„Π»ΡŽΡΡ‹. К Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ слСдуСт отнСсти ΠΌΠ°Π»ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса. Π’Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ сварку ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ соСдинСний внахлСст ΠΈ Π²ΡΡ‚Ρ‹ΠΊ. ΠŸΡ€ΠΈ сваркС внахлСст элСктричСский ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‡Π°Π»ΠΎΡΡŒ, Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΡƒ кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ ΠΊ Π½Π΅ΠΌΡƒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ инструмСнтом Π΄ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°. Ось ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ сваркС Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ плоскости ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ сваркС встык ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠΌ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ΅. Ось ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ присоСдинСния пСрпСндикулярна плоскости ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ.

Π‘Π²Π°Ρ€ΠΊΠ° внахлСст обСспСчиваСт ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ соСдинСниС кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° с ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°, алюминия, сСрСбра ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… пластичных ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², Π° ΡΠ²Π°Ρ€ΠΊΠ° встык-Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ с Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π°. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡ‚ΡŒ 15−100 ΠΌΠΊΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊ Ρ‡ΠΈΡΡ‚Ρ‹ΠΌ кристаллам ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌ слоСм Π½Π°ΠΏΡ‹Π»Ρ‘Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈΠ»ΠΈ алюминия. ΠŸΡ€ΠΈ использовании чистых повСрхностСй кристалла увСличиваСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°, ΠΈ ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ элСктричСскиС ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ².

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹, ΠΏΠΎΠ΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΠ΅ тСрмокомпрСссионной сваркС, проходят ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡƒΡŽ слоСм Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚Π° ΠΈΠ»ΠΈ алюминия, ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚.

Π—ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΡƒ ΠΎΡ‚ΠΆΠΈΠ³Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ 300−600Β°Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−20 ΠΌΠΈΠ½ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° соСдинСния Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ. ΠΠ»ΡŽΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π² Π½Π°ΡΡ‹Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ растворС Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π° ΠΏΡ€ΠΈ 80 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅, ΠΈ ΡΡƒΡˆΠ°Ρ‚. ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° тСрмокомпрСссионной сварки ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ сварки, УдСльноС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ напряТСния сТатия кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°. ВрСмя сварки Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ.

ЭлСктроконтактная сварка. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ корпусов ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм. Она основана Π½Π° Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… частСй соСдиняСмых мСталличСских Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ прохоТдСния Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½ΠΈΡ… элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ°. Π‘ΡƒΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса элСктроконтактной сварки состоит Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊ ΡΠ²Π°Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌ дСталям подводят Π΄Π²Π° элСктрода, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ напряТСниС. Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ элСктродов Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСньшС, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ свариваСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· всю систСму элСктричСского Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π΅ соприкосновСния свариваСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ, 'находящихся ΠΏΠΎΠ΄ элСктродами, выдСляСтся большоС количСство Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Ρ‹. Π­Ρ‚ΠΎ происходит Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ большой плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Π² ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΌ объСмС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° свариваСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ. Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ плотности Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ участки Π΄ΠΎ Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π·ΠΎΠ½ исходных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΠΊΡ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ дСйствия Ρ‚ΠΎΠΊΠ° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… участков сниТаСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Π»Π΅Ρ‡Π΅Ρ‚ Π·Π° ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ остываниС расплавлСнной Π·ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈ Π΅Π΅ Ρ€Π΅ΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Π°Ρ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ рСкристаллизационная Π·ΠΎΠ½Π° Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ соСдиняСт ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ мСталличСскиС Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ. Π€ΠΎΡ€ΠΌΠ° сварного шва зависит ΠΎΡ‚ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅Ρ‚ричСской ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… элСктродов. Если элСктроды Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ‹ Π²ΠΈΠ΄Π΅ заострСнных стСрТнСй, Ρ‚ΠΎ ΡΠ²Π°Ρ€ΠΊΠ° получаСтся Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ. Если элСктроды Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΈ, Ρ‚ΠΎ ΡΠ²Π°Ρ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ шов ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΊΠΎΠ»ΡŒΡ†Π°. ΠŸΡ€ΠΈ пластинчатой Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ΅ элСктродов сварочный шов ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ полосы.

Π£Π»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²Π°Ρ сварка являСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡ†Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ сварочного процСсса. БоСдиняСмыС элСмСнты слСдуСт Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Ρ‚ΡŒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ ΠΊ Π΄Ρ€ΡƒΠ³Ρƒ, ΠΏΡ€ΠΈΡ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»Π΅Π½. ПослС этого сварочный Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ создаСт мСханичСскоС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ энСргии. ΠšΠΎΠ»Π΅Π±Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ двиТСния соСдиняСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ приводят ΠΊ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ нСоднородностСй ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ с ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностСй. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π° кристаллов ΡΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ расстояниС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈΡ‚ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ повСрхностных Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡŽ сварного соСдинСния Π±Π΅Π· Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ плавлСния. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π½Π΅ Ρ‚рСбуСтся примСнСния расходных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π˜ΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ тСхнологичСский этап покрытия ΠΈΠ»ΠΈ очистки повСрхности, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ Π£Π—-сварка являСтся ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… экологичСски чистых способов соСдинСния. ВСхнология ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ сварки извСстна с 1952 Π³ΠΎΠ΄Π° [4], ΠΎΠ½Π° достаточно ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ отрасли для формирования Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ±ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΆΠ³ΡƒΡ‚ΠΎΠ², ΠΏΡ€ΡƒΠΆΠΈΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Ρ€Π΅Π»Π΅ ΠΈ Ρ€ΡΠ΄Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π² Ρ‚ΠΎΠΌ числС ΠΈ ΡΠ²Π°Ρ€ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π£Π—-Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ для соСдинСния ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ OFHC, обСспСчиваСт максимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°. Если свариваСмыС повСрхности ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ коэффициСнт Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ (КВР), Ρ‚ΠΎ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ся Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ расслоСния соСдинСния ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ‚ся долговрСмСнная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ свойств.

7. Π‘Π±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΈ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚изация

Π‘Π±ΠΎΡ€ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… микросхСм являСтся Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΎΡ‚вСтствСнным тСхнологичСским этапом Π² ΠΎΠ±Ρ‰Π΅ΠΌ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π΅ ΠΈΡ… ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚овлСния. ΠžΡ‚ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π° сборочных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Π² ΡΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ стСпСни зависят ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктричСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π­Ρ‚Π°ΠΏ сборки начинаСтся послС Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… пластин ΠΏΠΎ ΠΏΠ»Π°Π½Π°Ρ€Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ… Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты (кристаллы). Π­Ρ‚ΠΈ кристаллы, ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Π΅ΠΉΡˆΡƒΡŽ (Π΄ΠΈΠΎΠ΄Π½ΡƒΡŽ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π½Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Π½ΡƒΡŽ) структуру ΠΈΠ»ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ микросхСму (с Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠΌ количСством Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов) ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΡƒ дискрСтных, Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΉ.

Π’Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса сборки Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ класс дискрСтных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ Π˜ΠœΠ‘ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свои конструктивныС особСнности, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… сборочных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ ΠΈ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠΎΠ² ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ сборки Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ Ρ‚Ρ€ΠΈ основныС тСхнологичСскиС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: присоСдинСниС кристалла ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ корпуса; присоСдинСниС Ρ‚ΠΎΠΊΠΎΠ²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΡ… Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ элСмСнтам ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кристалла ΠΊ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠΌ элСмСнтам корпуса; гСрмСтизация кристалла ΠΎΡ‚ Π²Π½Π΅ΡˆΠ½Π΅ΠΉ срСды.

ΠŸΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ кристалла ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ ИМБ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ корпуса проводят с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ процСссов ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, приплавлСния с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ эвтСктичСских сплавов ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹ΠΌ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ присоСдинСния кристалла являСтся созданиС соСдинСния кристалл — основаниС корпуса, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ высокой мСханичСской ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΉ элСктро — ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

Пайка — процСсс соСдинСния Π΄Π²ΡƒΡ… Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ Π±Π΅Π· ΠΈΡ… Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π°, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ. ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ процСсса ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ являСтся Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ паяного соСдинСния находится Π² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΌ состоянии, Π° ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»ΠΈ — Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠΌ. Π‘ΡƒΡ‰Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ состоит Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ. Если ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ соСдиняСмыми дСталями ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΡ ΠΈ Π²ΡΡŽ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΡŽ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ плавлСния припоя, Ρ‚ΠΎ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ мСсто ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ‚Ρ€ΠΈ физичСских процСсса. Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° расплавлСнный ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ смачиваСт повСрхности соСдиняСмых Π΄Π΅Ρ‚Π°Π»Π΅ΠΉ. Π”Π°Π»Π΅Π΅ Π² ΡΠΌΠΎΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… мСстах происходят процСссы ΠΌΠ΅ΠΆΠ°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ взаимодСйствия ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… смочСнных ΠΈΠΌ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠŸΡ€ΠΈ смачивании Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ Π΄Π²Π° процСсса: Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠ΅ растворСниС смочСнного ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½Π°Ρ диффузия. ПослС охлаТдСния Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π² Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ΅ состояниС. ΠŸΡ€ΠΈ этом образуСтся ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ паяноС соСдинСниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ исходными ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½, ΠΎΠ½ ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ ΠΈ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ слоТного ΠΈ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚оящСго оборудования. ΠŸΡ€ΠΈ сСрийном выпускС ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ элСктронной Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кристаллов ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ корпусов производится Π² ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ…, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… высокой ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Пайка проводится Π² Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ (Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄) ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ (Π°Π·ΠΎΡ‚, Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½) срСдС. Π’ ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‚ многомСстныС кассСты, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ основания корпусов, навСски припоя ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кристаллы. ΠŸΡ€ΠΈ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ кассСта с ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ дСталями ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π·ΠΎΠ½Ρ‹ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, постоянной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, охлаТдСния. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ двиТСния кассСты ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ Π·Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΈ Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Ρ‚СхнологичСскими ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ особСнностями ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡ€Π΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ ИМБ.

ΠŸΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ — это процСсс соСдинСния элСмСнтов Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ, основанный Π½Π° ΠΊΠ»Π΅ΡΡ‰ΠΈΡ… свойствах Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ мСханичСски ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ соСдинСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ кристаллами ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌΠΈ корпусов (мСталличСскими, стСклянными ΠΈΠ»ΠΈ кСрамичСскими). ΠŸΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ склСивания опрСдСляСтся силой сцСплСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ повСрхностями элСмСнтов. Π‘ΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… схСм Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡ‚ΡŒ самыС Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… сочСтаниях, ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΡƒΠ·Π»Π°, ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ массу, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ расход дорогостоящих ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅Π² ΠΈ ΡΠ²Ρ‚СктичСских сплавов, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΡƒΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ тСхнологичСскиС процСссы сборки самых слоТных ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ Π˜ΠœΠ‘.

Π’ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ приклСивания ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π°Ρ€ΠΌΠ°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΈ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚роизоляционными, оптичСскими ΠΈ Ρ‚окопроводящими свойствами. ΠŸΡ€ΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅ кристаллов ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ корпуса с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ процСсса приклСивания Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ сборкС ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅ элСмСнтов Π³ΠΈΠ±Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ…, ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΎΠΏΡ‚оэлСктронных схСм.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ кристаллов Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ корпусов ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ ΠΊΠ»Π΅Π΅Π²: изоляционныС, токопроводящиС, свСтопроводящиС ΠΈ Ρ‚СплопроводящиС. По Π°ΠΊΡ‚ивности взаимодСйствия ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ ΠΈ ΡΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ повСрхностями Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ полярныС (Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ эпоксидных смол) ΠΈ Π½Π΅ΠΏΠΎΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Π΅ (Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ полиэтилСна).

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ процСсса приклСивания Π² Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ стСпСни зависит Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π² клСя, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ состояния повСрхностСй склСиваСмых элСмСнтов. Для получСния ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ соСдинСния Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ склСиваСмыС повСрхности. Π’Π°ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ склСивания ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°. Π’Π°ΠΊ, ΠΏΡ€ΠΈ склСивании элСмСнтов конструкций, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ся Π² ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… тСхнологичСских опСрациях Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрТдСния Π½Π° ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ основС. Для приклСивания ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… кристаллов ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚алличСским ΠΈΠ»ΠΈ кСрамичСским основаниям корпусов ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΠΊΠ»Π΅ΠΉ Π’Πš-2, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ собой раствор ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ — органичСской смолы Π² ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΌ растворитСлС с ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎ диспСргированным асбСстом Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ наполнитСля ΠΈΠ»ΠΈ Π’Πš-32−200, Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ наполнитСля ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ стСкло ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Ρ€Ρ†. ВСхнологичСский процСсс приклСивания ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кристаллов проводят Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… сборочных кассСтах, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½ΡƒΠΆΠ½ΡƒΡŽ ΠΎΡ€ΠΈΠ΅Π½Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΡŽ кристалла Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ корпуса ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ. Π‘ΠΎΠ±Ρ€Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ кассСты Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ клСящСго ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ