Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO
ΠΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΈ ΡΠ΄ΡΠ°Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°Ρ ΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ (ΠΠ) ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π΅Π³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ²… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
1. ΠΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ
1.1 ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ
1.2 Π Π°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ZnO
2. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
2.1 ΠΠ°ΠΊΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ SRIM
2.2 Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ZnO, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ²
3. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ
3.1 Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM
3.2 Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΈΠ±Π»ΠΈΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠΎΠΊ
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ² ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ.
Π¦Π΅Π»ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ZnO ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ:
1) ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°;
2) ΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM ΠΈ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ² Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ZnO;
3) ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π°, ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM;
4) ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
1. ΠΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ
1.1 ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ. Π’ΡΠΆΡΠ»ΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅ΠΊ, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². Π’ΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΎΡ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ dE/dx, Π³Π΄Π΅ dE — ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠ»ΠΎΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ dx. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, ΡΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ± ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΡ (-dE /dx) ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΡΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΈ ΡΠ΄ΡΠ°Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°Ρ ΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π½Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ (ΠΠ) ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π΅Π³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ². ΠΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² Π½Π°ΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅. Π£Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΠ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ Π½Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ (Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠΆΠ΅Π»Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ) ΠΎΠ±ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ, Π§Π΅ΡΠ΅Π½ΠΊΠΎΠ²Π° — ΠΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π² ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡΡ . Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Π° ΠΏΡΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ) ΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ [1, 2].
ΠΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°ΡΡ Π»ΡΠ±ΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠ°ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π² ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ Π°ΠΊΡΠ°Ρ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π° TΠΌΠ°ΠΊΡ.
ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠΆΠ΅Π»Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ ΠΠ΅ΡΠ΅ ΠΈ ΠΠ»ΠΎΡ ΠΎΠΌ Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΡΠ° ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΠΈΠ΄:
(1)
Π³Π΄Π΅ — ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ;
— ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ;
— ΠΏΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅;
— ΠΌΠ°ΡΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°;
— ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° (ΡΠ);
— ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅;
— Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°;
— Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ;
— ΡΠ»Π΅Π½Ρ, ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΡΡΡ KΠΈ L-ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ:
Β· ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Ρ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΡ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ;
Β· ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΌΠ°ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ;
Β· ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, Π²ΠΏΠ»ΠΎΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΈΡ , Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΊ ;
Β· ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅.
Π ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π²1, Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ, Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ ΠΠ΅ΡΠ΅ — ΠΠ»ΠΎΡ Π° ΡΠ»Π΅Π½ΠΎΠΌ «». ΠΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π΅Ρ ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΡΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΈ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π΅Π½ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΡΠ΅Π΄Π΅, Π΅Π³ΠΎ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π² Π³Π°Π·Π°Ρ , ΡΡΠΎ Π²Π΅Π΄ΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΎΠΌΡ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄Π°Ρ [1, 4].
ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅Π½ Π² ΡΠΊΠΎΠ±ΠΊΠ°Ρ Π² ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ ΠΠ΅ΡΠ΅ — ΠΠ»ΠΎΡ Π° ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠΏΡΠ°Π²ΠΊΠ° Π½Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° KΠΈ L-ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°Ρ . ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΡΠ½Π½Π°Ρ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ Π΄Π»Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ. ΠΠΎ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Ρ Ρ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠ° ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΌ K-ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΎΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Ρ. ΠΡΠΈ Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΠΈ ΠΊ L-ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌ. Π§Π΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Z Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ° ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·ΡΡΠ΅ΠΉΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ EΠ³Ρ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠΎΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ [1, 4].
ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΊΠΈ. ΠΠ°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°, Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΊ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΡΡΠ΅Π΄Ρ. Π Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠ½ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ, Π²Π½ΠΎΠ²Ρ Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΠ΅Π½ ΠΈ Ρ. Π΄. ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΈ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Ρ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ΅ΡΡ ΡΠΆΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°ΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΈ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠΉ Π΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΠ° ΠΈ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ. ΠΡΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ 25 ΠΊΡΠ. ΠΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡΡ , ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π² 3−4 ΡΠ°Π·Π°, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π½Π΅Π±ΡΠ΅ΡΡ [1, 2, 4].
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 1.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 1 — ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π£ΡΠ°ΡΡΠΎΠΊ ΠΠ‘ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½Ρ 1/v2. ΠΠ° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ΅ CD ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ΅ DE Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π£ΡΠ°ΡΡΠΎΠΊ BA ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΠΎΠΌΡ Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΊΠΈ, ΠΏΡΠΈΡΡΠΌ Π² ΠΎΠΊΡΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠΈ B ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π΄, Ρ.ΠΊ. ΠΎΠ½Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π£Π΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ Π² Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ, Π° Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π³/ΡΠΌ2, Π³Π΄Π΅ — ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π² Π³/ΡΠΌ3. Π£ΡΠΈΡΡΠ²Π°Ρ, ΡΡΠΎ, Π³Π΄Π΅ — ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΠ²ΠΎΠ³Π°Π΄ΡΠΎ, ΠΈ — Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ, Π°, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ ΠΠ΅ΡΠ΅-ΠΠ»ΠΎΡ Π° Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ [2, 4]:
(2)
ΠΠ· ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ (2) ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ, ΡΡΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½Π°Ρ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠΆΡΠ»ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π»ΡΠ³ΠΊΠΈΡ . Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ 0,5 Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΠΌΡΡ Π»ΡΠ³ΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ 0,4 Π΄Π»Ρ ΡΡΠΆΡΠ»ΡΡ , ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π² Π»ΠΎΠ³Π°ΡΠΈΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅Π½Π΅ [2, 4].
ΠΡΠ»ΠΈ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠΎ Ρ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ, Π΄Π°Π²Π°Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠ·Π½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ. Π ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ (2) Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΈ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ [2, 4]:
(3)
ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΆΠ΅Π»ΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΎΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΠΎΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎ ΡΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Ρ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΠΌΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠ΅. ΠΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΈ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡΡΡΡ Ρ Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ (ΠΌ, ΡΠΌ, ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ, ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ (Π³/ΡΠΌ2).
ΠΠ»ΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π΅Π΅ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°, ΠΌΠ°ΡΡΡ, Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΡΠ΅Π΄Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅ΡΡΡ. Π ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π° Π΄Π»Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΠ΅ΡΠ΅ — ΠΠ»ΠΎΡ Π° [5, 6].
ΠΠ°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ Π²ΡΡ ΡΠ²ΠΎΡ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ. ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ. Π§Π΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ [5, 6].
Π’ΡΠΆΠ΅Π»ΡΠ΅ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΎΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΎΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ — ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Π°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΠΎΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π΅Π΅ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ [5, 6].
Π§Π΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅. ΠΠ»Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ° ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π°, Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Ρ [5, 6].
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ ΠΡΡΠ³Π³Π° — ΠΠ»ΠΈΠΌΠ°Π½Π°, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅:
(4)
Π³Π΄Π΅ Ρ1 ΠΈ Ρ2 — ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²;
A2 ΠΈ A1 — ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²;
R1 — ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅;
R2 — ΠΈΡΠΊΠΎΠΌΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²ΠΎ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π΅.
Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ².
ΠΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π° — ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΠΈΡΠ»Π° ΠΏΠ°Ρ Π€ΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅Π»Ρ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π΅ Π°ΡΠΎΠΌ-Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π°:
1) ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ — ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ;
2) ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΎΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ;
3) Π°ΡΠΎΠΌΡ — ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ;
4) ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ — ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΈΠ΅;
5) ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ Π½Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π΅ΡΡΡ;
6) ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π±Π΅Π· ΡΠ°ΠΌΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ [7];
Π‘Π°ΠΌΡΠΉ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠ΅Π½Ρ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΎΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡΡ Π°ΡΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΠΈ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π² ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π° Π½Π΅ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅. ΠΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π° ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π΅ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ², Π° Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, ΠΏΡΠΈ Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° Π°ΡΠΎΠΌ Π½ΠΈΡΠ΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΎΠΏΡΠ°Π²Π΄Π°Π½ΠΎ.
ΠΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ² — ΡΡΠΎ ΡΠΈΠΏ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π²ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΠΊΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΡΡ ΡΠ΅Π»Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ, Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΠΈΠ½ΡΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΠΈΠ·Π° Π½Π΅ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π°ΠΊΡΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², Π° Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΉ Π°ΠΊΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ.
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Π² ΡΠΎΠΌ ΡΡΠΎ, ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π·Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠΊΠ° Π΅Π³ΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π½Π΅ ΡΠΏΠ°Π΄Π΅Ρ Π½ΠΈΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²Π΅ΡΡ ΡΡΠΎΠ½ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ, ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΠΎ. ΠΠ΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ² ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡ 2000 Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ².
1.2 Π Π°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ZnO
ΠΠ΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½Ρ Π·Π° ΡΡΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π°Π½ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ Π€ΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅Π»Ρ), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅, ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅Ρ Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅. ΠΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ (ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ, ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ) Π² ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ Π’Π Π ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΠ· ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΠΈΠ· ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΎΡ ΠΊΡΠ°Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ 2500 Π½ΠΌ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π² ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ΅ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 57 ΡΠ [10, 11, 12].
ΠΡΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ. ΠΡΠΎ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π°Π½ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ, ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΡΠΎΠΌΡ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ Π€ΡΠ΅Π½ΠΊΠ΅Π»Ρ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ [13,14]. Π Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ Π°Π½ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Oi0, Oi-, Oi2-, Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° VO0, VO+, VO+. ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΠΎΡΠ·Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΈΠ½ΠΊ Zni0, Zni+, Zni2+ ΠΈ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° VZn0, VZn-, VZn2- [13,14].
ΠΠ²ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡ [15, 16] ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°Π½ΡΠ°, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 1 — ΠΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° [14]
ΠΡΠΈΡΠΎΠ΄Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | ΠΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΡΠ | ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠ²ΡΡΠΎΡΠ΅, ΡΠ | Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | |
Exc | 3,2 | 0,05 | -; | |
Zni2+ | 3,13 | 0,12 | ||
VΠ+ | 3,03 | 0,22 | ||
Oi— ΠΈΠ»ΠΈ Oi2- | 2,83 | 0,35 | ||
VZn— ΠΈΠ»ΠΈ (VZn— - Zni0)- | 2,64 | 0,35 | ||
VΠ0 | 2,44 | 0,22 | ||
VZn 2- | 2,25 | 0,35 | ||
K1(VΠ) | 2,05 | 0,35 | -; | |
K1(VZn) | 1,86 | 0,22 | -; | |
K2(VZn) | 1,64 | 0,35 | -; | |
K2(VΠ) | 1,44 | 0,35 | -; | |
VZn0 | 1,25 | 0,35 | ||
VΠ2+ | 1,05 | 0,35 | ||
ΠΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΊΠΎ Π.Π. ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ», ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΠΠΠ.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠΌ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π² ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΡΠΈ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΠΠ Π°Π²ΡΠΎΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Π°Π΄Π΄ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΡΡΠΌΠΌΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π²Π½ΠΎΡΠΈΠΌΡΡ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΌ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ Π² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ, Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠΈΡΡ Π½Π° ΡΡΠ΄ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Π°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΡ Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΠ΅ΠΊΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π» ΡΡΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ.
Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ (ΠΈΠ»ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ) ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Π°:
(5)
Π³Π΄Π΅ n — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°,
kmax — ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π² ΡΠΌ-1,
— ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ,
f — ΡΠΈΠ»Π° ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΎΡΠ°.
Π‘ΠΈΠ»Π° ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΎΡΠ° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅:
(6)
Π³Π΄Π΅ — ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π», ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΠΏΠΎΠ΄ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ;
n — ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ°;
Π΅ — ΠΌΠΎΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ;
Π½ — ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
2. ΠΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
2.1 ΠΠ°ΠΊΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ SRIM
Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM — 2008.
ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 2 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΎ Π΄ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ «Ion stopping and Range Tables» («Π’ΠΎΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ»).
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 2 — ΠΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ «Ion stopping and Range Tables» («Π’ΠΎΡΠΌΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ»)
Π ΠΏΠΎΠ»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π° Π²Π²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅.
1. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π°Π»Π΅ΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈΠΎΠ½Π°, ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠΉ 1,008 Π°.Π΅.ΠΌ. ΠΏΡΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ 100 ΠΊΡΠ.
2. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ 5,61 Π³/ΡΠΌ3 ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° 65,390 Π°.Π΅.ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° 15,999 Π°.Π΅.ΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ.
3. ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° (Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³/ΡΠΌ2) Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π½Π°Π»Π΅ΡΠ°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠΎΠ½Π° (Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ/(ΠΌΠ³/ΡΠΌ2)).
ΠΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° TRIM ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°. Π ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ Π΅Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ, Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΏΠΎ XZ, XY, YZ ΠΎΡΡΠΌ; Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ²; ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½ΠΎΠ²; ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ; ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ°; ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΉ ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 3 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΎ Π΄ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ «TRIM» («ΠΠ²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ»).
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 3 — ΠΠΊΠ½ΠΎ «TRIM» («ΠΠ²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠΈ»)
Π ΠΏΠΎΠ»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π° Π²Π²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅:
1. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΠΎΠ½Π° Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΡ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄ Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠΉ 1,008 Π°.Π΅.ΠΌ. ΠΏΡΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ 100 ΠΊΡΠ, ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΡ 0 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΠΈ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ.
2. ΠΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π½Π°Π»Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌ Π·Π° 5000, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ.
3. Π ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ².
4 Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Ρ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° 65,390 Π°.Π΅.ΠΌ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° 15,999 Π°.Π΅.ΠΌ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ. ΠΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ZnO 5,61 Π³/ΡΠΌ3, Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ 2 ΠΌΠΌ.
5. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π±Π΅ΡΠ΅ΠΌ Π·Π° 57 ΠΠ² [10,11,12]. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π·Π° 3 ΠΠ². ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΡΡΡ Π·Π° 1,12 ΠΠ²[19].
Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ.
2.2 Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ZnO, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ° ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡ Π Π΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ² Π΄ΠΈΡΡΡΠ·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Lambda 950 Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΌΡ Perkin Elmer Ρ ΡΠ°Π³ΠΎΠΌ 5 Π½ΠΌ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ 200−2500 Π½ΠΌ. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π° (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 4).
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π² Π£Π€-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ Π΄Π΅ΠΉΡΠ΅ΡΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π»Π°ΠΌΠΏΠ°, Π° Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Π±Π»ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΠ-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ — Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π½Π°Ρ Π»Π°ΠΌΠΏΠ° Π½Π°ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. ΠΠ΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΈΡΡΡΠ·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠΌ 150 ΠΌΠΌ, Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠ° ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ BaSO4 Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 4 — Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° Ρ ΠΎΠ΄Π° Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Π² ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ Lambda 950: 1 — ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π£Π€- (Π΄Π΅ΠΉΡΠ΅ΡΠΈΠ΅Π²Π°Ρ Π»Π°ΠΌΠΏΠ°), Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΠ- (Π³Π°Π»ΠΎΠ³Π΅Π½Π½Π°Ρ Π»Π°ΠΌΠΏΠ° Π½Π°ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ) ΡΠ²Π΅ΡΠ°; 2 — Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠ° Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ; 3 — Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π²ΡΡΠΎΡΡ Π»ΡΡΠ°; 4 — Π΄Π΅ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡ; 5 — ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΡΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°; 6 — ΡΠ°Π·Π²ΡΠ·ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ ΡΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°; 7 — ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ; 8 — Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ PbS ΠΠ΅Π»ΡΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ; 9 — ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΈΡΡΡΠ·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ — Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ Origin Lab ΡΡΡΠΎΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π΄ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ.
ΠΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΏΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΡΠ΄ΠΎΠ±Π½Π΅Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈ ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅, Π° ΠΎΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ:
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²Π΅ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄Π° k (Π», Π½ΠΌ) ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Ρ k (Π, ΡΠ).
Π Π°Π·Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π»ΡΡ ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. Π Π°Π·Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ.
Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ZnO Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ ΠΊ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. Π Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ°Ρ XPSPeak.
Π€ΠΎΡΠΌΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΠΈΠ· ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π»Π°ΡΡ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ [20]:
LΠ»N = KNβ’exp{-ln2[(Π»N+?Π»N)/?Π»N]2 [(Π»N-Π»)/Π»]2} (7)
Π³Π΄Π΅ Π»N — ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ° N-ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ;
?Π»N — Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠ²ΡΡΠΎΡΠ΅;
KN — Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ N-ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ΅.
Π ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ TRIM ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² (ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ) ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ°. ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Ρ ΠΈΠ· ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΠ² Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Ρ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°: VΠ0; VΠ+; VΠ2+; VZn0; VZn-; VZn2-.
3. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ
3.1 Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM, Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π°, ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π·Π»Π΅ΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅. Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM ΠΏΡΠΎΠ΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 5.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 5 — Π Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM
ΠΠ· ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° 5 ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ, Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ:
— ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° 6347 A.
— Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π·Π»Π΅ΡΠ° Π²ΡΠ»Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ°Π²Π΅Π½ 1201 A.
— ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π·Π»Π΅ΡΠ° Π²ΡΠ»Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠ°Π²Π΅Π½ 1399 A.
— ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° 3,035β’102 ΠΊΡΠ/(ΠΌΠ³/ΡΠΌ2).
— ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° 6,7β’10-1 ΠΊΡΠ/(ΠΌΠ³/ΡΠΌ2).
ΠΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ.
ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 6 ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°. ΠΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΈΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΌ, Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π° ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΠΈΡ Π½Π°Π³Π»ΡΠ΄Π½ΠΎ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 6 — ΠΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ TRIM, Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΡΡΠΌ ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 7 ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΎ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ TRIM, Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° Π΄Π»Ρ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 7 — ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΠ±ΡΠ°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½Π° ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ½ΠΊΡ ΠΈ ΠΏΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΡΠΌ ΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΈΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ.
ΠΠ· ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° 7 ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅:
1) Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ 100 ΠΊΡΠ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ 5000 ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1 ΠΌΠΊΠΌ.
2) ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 14 Π²Π°ΠΊ/ΠΈΠΎΠ½ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ Zn 8 Π²Π°ΠΊ/ΠΈΠΎΠ½, O 6 Π²Π°ΠΊ/ΠΈΠΎΠ½ (ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½).
ΠΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΡ ΠΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΊΠΎ Π. Π. Π² Π₯Π’Π Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠΌΠΈΡΠ°ΡΠΎΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π° (ΠΠΠ€Π) ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ 100 ΠΊΡΠ ΡΠ»ΡΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ 5Β· 1014-1Β·1016 cΠΌ-2.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΡΠ»ΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² 5Β· 1014 cΠΌ-2 ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 70Β· 1014 ΠΌ-3 ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ Zn 40Β· 1014 ΠΌ-3, O 30Β· 1014 ΠΌ-3.
3.2 Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ZnO ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 8 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 8 — Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ZnO ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 9.
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ; ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 9 — Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ 100 ΠΊΡΠ ΡΠ»ΡΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ 5Β· 1014
ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 10 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² ZnO.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 10 — Π Π°Π·Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 11 ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ. Π Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ XPSPeak.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 11 — Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΡΠ°Π·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠ²ΠΈΠ΄ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΠ»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π° Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ (5) Π² ΠΏΡΠ½ΠΊΡΠ΅ 1.2.
ΠΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°Π»ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ: VΠ0; VΠ+; VΠ2+; VZn0; VZn-; VZn2-. ΠΠ»Ρ ΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Ρ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ 2 ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ.
1. n — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΡΡ ΠΏΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΡ, ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 12. ΠΠ»Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π² ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 12 — ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ZnO ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π³Π΄Π΅ 1 — nΠΎ, 2 — nΠ΅.
2. kmax — ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π² ΡΠΌ-1, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ZnO ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ Origin Lab.
3. — ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½Π°Ρ Π² ΡΠ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠ²ΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΏΠΈΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ZnO ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ Origin Lab.
4. f — ΡΠΈΠ»Π° ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΠΈ Π·Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ.
ΠΠ±ΠΎΠ±ΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 2.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2 — ΠΠ½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ².
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ | Π’ΠΈΠΏ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° | ||||||
VΠ0 | VΠ+ | VΠ2+ | VZn0 | VZn; | VZn2- | ||
n | 2,06 | 2,22 | ; | 1,96 | 2,08 | 2,02 | |
kmax, ΡΠΌ-1 | 6,49 | 26,09 | 0,39 | 0,26 | 20,6 | 4,28 | |
ΡΠ | 0,26 | 0,26 | 0,32 | 0,32 | 0,33 | 0,20 | |
Π Π°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΈ:
N (VΠ+) = 39β’ 1014 ΠΌ-3;
N (VZn-) = 45β’ 1014 ΠΌ-3;
N (VΠ0) = 13β’ 1014 ΠΌ-3;
N (VZn2-) = 43β’ 1014 ΠΌ-3;
N (VZn0) = 6β’ 1014 ΠΌ-3.
ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ VΠ2+ Π½Π΅ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π°, Ρ.ΠΊ. Π½Π΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ n ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°, Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 12 ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π΄ΠΎ 1000 Π½ΠΌ, Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΊΠΎΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π» (VΠ2+) — 1030 Π½ΠΌ.
Π‘ΡΠΌΠΌΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅Ρ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ VΠ2+ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 146β’1014 ΠΌ-3, ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΡΠΌΠΌΠ°ΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ½ΠΊΡ 94β’1014 ΠΌ-3, Π° ΠΏΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ 52β’1014 ΠΌ-3.
ΠΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ, ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΡ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ. ΠΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ: ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM; ΡΠΈΠ»Ρ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΠΈ Π·Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ, Ρ ΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅
Π Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠΈΠ»ΠΈΡΡ Ρ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM, Π½Π°ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° Π΄ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ Origin Lab ΠΈ XPSPeak.
Π‘ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°, ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ ΡΠ°Π·Π»Π΅ΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ². ΠΡΠΎΠ±Π΅Π³ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 6347 A, ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° — 6,7β’10-1 ΠΊΡΠ/(ΠΌΠ³/ΡΠΌ2), ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° — 3,035β’102 ΠΊΡΠ/(ΠΌΠ³/ΡΠΌ2). ΠΠ· ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΠΌΠΈ.
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ SRIM ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° Π² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π΅ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ 70Β· 1014 ΠΌ-3 ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ Zn 40Β· 1014 ΠΌ-3, ΠΏΠΎ O 30Β· 1014 ΠΌ-3.
Π‘ΡΠΌΠΌΠ°ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π²Π°ΠΊΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π½Π°Ρ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π΅ Π‘ΠΌΠ°ΠΊΡΠ»Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 146β’1014 ΠΌ-3, ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΡΠΌΠΌΠ°ΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ½ΠΊΡ 94β’1014 ΠΌ-3, Π° ΠΏΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ 52β’1014 ΠΌ-3.
Π Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π», ΡΡΠΎ ΠΏΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ. ΠΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ: ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ, Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ΅ SRIM; ΡΠΈΠ»Ρ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΠΈ Π·Π° Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ, Ρ ΠΎΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ.
ΠΠΈΠ±Π»ΠΈΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠΎΠΊ
1 ΠΠ΅ΡΠΏΠ°Π»ΠΎΠ², Π. Π. ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π. ΠΠ΅ΡΠΏΠ°Π»ΠΎΠ². — Π’ΠΎΠΌΡΠΊ: ΠΠ·Π΄-Π²ΠΎ ΠΠ΅Π»ΡΡΠ°ΠΏΠ»Π°Π½, 2006. — 368 Ρ.
2 ΠΠ΅Π½ΠΈΡΠΎΠ², Π‘. Π. ΠΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π‘. Π. ΠΠ΅Π½ΠΈΡΠΎΠ². — Π.: ΠΠΠ£, 1999. — 182 Ρ.
3 ΠΠΎΠ½Π³Π΅ΠΉΡ, Π. Π‘. ΠΡΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π‘. ΠΠΎΠ½Π³Π΅ΠΉΡ. — Π.: ΠΠΈΡ, 1983. — 400 c.
4 Π§Π΅ΡΠ½ΡΠ΅Π², Π. Π. ΠΠ·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ./ Π. Π. Π§Π΅ΡΠ½ΡΠ΅Π². — Π.: Π€ΠΠΠΠΠ’ΠΠΠ’, 2004. — 152 Ρ.
5 ΠΡΡ Π°Π½ΠΎΠ², Π. Π‘. Π§Π°ΡΡΠΈΡΡ ΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΄ΡΠ°: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π‘ ΠΡΡ Π°Π½ΠΎΠ², Π. Π. ΠΠ°ΠΏΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ². — Π.: ΠΠ·Π΄. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ°, 2005. — 414 Ρ.
6 ΠΠ°ΠΏΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π.Π.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π² ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΡ ΡΠ΄ΡΠ° ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π. ΠΠ°ΠΏΠΈΡΠΎΠ½ΠΎΠ². — Π.: ΠΠΠ£, 2000. — 212 Ρ.
7 Π ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π°Ρ Π°ΡΠΎΠΌ-Π°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. — Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ°: http://ru.convdocs.org/docs/index-168 225.html (11.08.2013)
8 ΠΠ°Π²Π»ΠΎΠ², Π. Π. Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ° ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π. ΠΠ°Π²Π»ΠΎΠ². — Π.: ΠΡΡΡΠ°Ρ ΡΠΊΠΎΠ»Π°, 2000. — 384 Ρ.
9 ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ², Π. Π. ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / Π. Π. ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ². — Π’ΠΎΠΌΡΠΊ: ΠΠ·Π΄-Π²ΠΎ. ΠΠ Π‘Π‘Π‘Π , 1988. — 417 Ρ.
10 Lorenz K., Alves E., Wendler E., et al. Damage formation and annealing at low temperatures in ion implanted ZnO // Applied physics letters. — 2005. — V.87. — P.191 904;191907.
11 Meese J.M., Locker D.R. Oxygen displacement energy in ZnO // Sol.St.Comm. — 1972. — V.11. — No.11. — P.1547−1550.
12 Locker D.R., Meese J.M. Displacement thresholds in ZnO // IEEE Trans. Nucl. Sci. — 1972. — V.19. — No.6. — P.238−242.
13 ΠΠ°Π»ΠΎΠ² Π. Π. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΠΊΠΈΡΠΈ ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π±ΡΡΡΡΡΠΌΠΈ Π½Π΅ΠΉΡΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ — Π₯ΠΈΠΌΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°.: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ./ Π. Π. ΠΠ°Π»ΠΎΠ², Π. Π. Π§Π΅ΡΠ½ΡΠΉ. — Π‘Π²Π΅ΡΠ΄Π»ΠΎΠ²ΡΠΊ.: 1977. -127−133 Ρ.
14 ΠΠ³Π°ΡΠΎΠ½ΡΠ΅Π² Π. Π€. ΠΠ΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΠΎΡΡΠΎΡΠΈΡΠ°Π½Π°ΡΠ° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ° ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ. ΠΠ²ΡΠΎΡΠ΅Ρ. Π΄ΠΈΡ. … ΠΊ. Ρ.-ΠΌ. Π½.? Π., 1984. — 27 Ρ.
15 ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ², Π. Π. ΠΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»Π΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΡΠ°/ Π. Π. ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ², Π. Π. Π¨Π°ΡΠ°ΡΡΡΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΠ²Π° // ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠΈΡ ΠΡΠ·ΠΎΠ². Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠ°. — 1998. — № 6. — C. 83−88.
16 ΠΠΈΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΊΠΎ, Π. Π. ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΠ½ΠΊΠ°, ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ: Π΄ΠΈΡ. ΠΊΠ°Π½Π΄. ΡΠΈΠ·ΠΈ-ΠΊΠΎ-ΠΌΠ°Ρ. Π½Π°ΡΠΊ: 01.04.07 / Π. Π. ΠΠΈΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΊΠΎ; ΠΠΌΠΠ£. — ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠΊ, 2009. — 137 Ρ.
17 ΠΠΈΡ Π°ΠΉΠ»ΠΎΠ² Π. Π. ΠΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ² ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ // ΠΠ·Π². ΠΠ Π‘Π‘Π‘Π . ΠΠ΅ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, 1988. — 415−417 Ρ.
18 ΠΠ°ΡΠ±Π°ΡΠ΅Π², Π. Π. ΠΠ»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ Π½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ³Ρ. / - Π.: ΠΠ°ΡΠΊΠ°, 1977. — 128 Ρ.
19 Π£ΡΠ΅Π±Π½ΠΈΠΊ SRIM. — Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ°: http://srim.org/SRIM%20Book.htm (11.08.2013)
20 Yoshikawa H., Adachi S. Optical constants of ZnO // Jpn. J. Appl. Phys. — 1997. — V.36. -P.6237−6243.