ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ОписаниС тСхнологичСского процСсса изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ способом

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС рисунок схСмы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ. Для этого ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм фоторСзиста Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 75 Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 часа, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ сторону Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ нанСсти фоторСзист, ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°ΠΌΠΈ излишки ΠΏΠΎ ΠΊΡ€Π°ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΎΡ‚ Ρ„оторСзиста, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ освСщСнии… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ОписаниС тСхнологичСского процСсса изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ способом (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ВСхнологичСский процСсс изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ состоит ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ:

  • 1. Π Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ
  • 2. ΠŸΡ€ΠΎΠ±ΠΈΠ²ΠΊΠ° Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… отвСрстий
  • 3. ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ
  • 4. НанСсСниС сухого ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста
  • 5. НанСсСниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΊΠ°
  • 6. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»ΠΎΠ²ΠΊΠ° отвСрстий
  • 7. Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
  • 8. БнятиС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΊΠ°
  • 9. Π“Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ затяТка
  • 10. ЭлСктролитичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия ПОБ-61
  • 11. БнятиС фоторСзиста
  • 12. Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹
  • 13. ΠžΡΠ²Π΅Ρ‚Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹
  • 14. ОплавлСниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹
  • 15. ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°

Π”Π°Π»Π΅Π΅ рассмотрСна каТдая опСрация Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ.

Π€ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ диэлСктрики Π²Ρ‹ΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ 1000−1200 ΠΌΠΌ, поэтому ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ практичСски любого тСхнологичСского процСсса являСтся Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ. Для Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… диэлСктриков ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Π΅, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Ρ†ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹. На ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Ρ… Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°Ρ… ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ 50×50 Π΄ΠΎ 500×900 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° 0.025−3 ΠΌΠΌ. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎ рСгулируСтся Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 2−13.5 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания 1.0 ΠΌΠΌ. Для удалСния ΠΏΡ‹Π»ΠΈ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π΅Π·Π°Π½ΠΈΠΈ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ пылСсосом. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π±ΡƒΠ΄Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹Π΅ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ скорости рСзания 5 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.

Из Π»ΠΈΡΡ‚ΠΎΠ² Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°ΠΌΠΈ нарСзаСтся Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² с ΠΏΡ€ΠΈΠΏΡƒΡΠΊΠΎΠΌ Π½Π° Ρ‚СхнологичСскоС ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΏΠΎ 10 ΠΌΠΌ с ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ стороны. Π”Π°Π»Π΅Π΅ с Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ напильником заусСнцы Π²ΠΎ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ поврСТдСния Ρ€ΡƒΠΊ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ тСхнологичСского процСсса. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ снятия заусСнцСв опрСдСляСтся Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

Π Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ расслаивания диэлСктричСского основания, образования Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½, сколов, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ.

Π‘Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ отвСрстия Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ для фиксации ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ тСхнологичСского процСсса. Π‘Π²Π΅Ρ€Π»ΠΎΠ²ΠΊΠ° отвСрстий являСтся Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΡ… ΠΈ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ основныС особСнности: ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… тысяч отвСрстий Π² ΡΠΌΠ΅Π½Ρƒ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ обСспСчСния пСрпСндикулярных отвСрстий повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π±Π΅Π· заусСнцСв. ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии ваТнСйшими характСристиками ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ: конструкция ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ станка, гСомСтрия свСрла, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания ΠΈ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осСвой ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ. Для ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ фиксации свСрла ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ высокоточныС ΠΊΠΎΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ струТки ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ½Ρ‹ свСрлСния. Как извСстно стСклотСкстолит являСтся высокоабразивным ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, поэтому Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ твСрдосплавныС свСрла. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ свСрл ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ сплава позволяСт Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ чистоту ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ отвСрстий. Π’ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π΅ случаСв Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ свСрлят Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅, высота ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° Π΄ΠΎ 6 ΠΌΠΌ.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ свСрлят Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅ Π½Π° ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ станкС Π‘-106. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ вращСния свСрла ΠΏΡ€ΠΈ этом Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 15 000−20 000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, Π° ΠΎΡΠ΅Π²Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ свСрла — 5−10 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅, Π·Π°ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π½Π° ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ станкС ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ отвСрстия.

ΠžΡ‚ ΡΠΎΡΡ‚ояния повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ опрСдСляСтся адгСзия наносимых впослСдствии ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ нанСсСнии фоторСзиста, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ осаТдСнии ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°.

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ химичСскиС ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…аничСскиС способы ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΎΡ‡Π΅Ρ‚Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠšΠΎΠ½ΡΠ΅Ρ€Π²ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ покрытия Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ органичСским растворитСлСм, с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΎΠΉ Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ. ΠžΠΊΠΈΡΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, ΠΏΡ‹Π»Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ загрязнСния ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΎΠΉ Π² ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΡ… растворитСлях (ксилолС, Π±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π΅, Ρ…Π»Π°Π΄ΠΎΠ½Π΅) ΠΈ Π²ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… растворах фосфатов, соды, Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π°.

Π£Π΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ оксидного слоя Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0.5 ΠΌΠΊΠΌ производят мСханичСской очисткой ΠΊΡ€Π°Ρ†Π΅Π²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²Π°Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. НСдостаток этого способа — быстроС Π·Π°ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π²Π°Π»ΠΊΠΎΠ², Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ повСрхности. Часто для удалСния оксидной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΠ°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ. ВысокоС качСство зачистки ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ распылСнной Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡƒΠ»ΡŒΠΏΠΎΠΉ. Гидроабразивная ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° удаляСт с Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ заусСнцы, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ послС свСрлСния, ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°Π΅Ρ‚ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях многосторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΎΡ‚ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ смолы.

ВысокоС качСство очистки ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ сочСтании Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΠ°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ суспСнзии ΠΈ ΠΊΡ€Π°Ρ†Π΅Π²Π°Π½ΠΈΡ. На ΡΡ‚ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‚ установки для зачистки Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… повСрхностСй Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΎΡ‚вСрстий ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π΅ΠΉΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅ΠΌΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ суспСнзиСй.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° повСрхности производится Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈΡΡ Π»Π°Ρ‚ΡƒΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π² ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠ΅ тСхнологичСского раствора. Установка ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 500×500 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ 0.1−3.0 ΠΌΠΌ, частота вращСния Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΎΠΊ 1200 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, усилиС подТатия ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΊ Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ 147 Н.

Π₯имичСскоС ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ оксидной ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ (Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅) Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивно осущСствляСтся Π² 10 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты. К ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ очистки Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ высокиС трСбования, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡ‚ ΡΡ‚ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΌ зависят адгСзия фоторСзиста ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ рисунка схСмы. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ производится Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π² 5% раствором соляной кислоты ΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ вСнской ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚ΡŒΡŽ. Для этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π° 15 сСк Π² 5 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ раствор соляной кислоты ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18 — 25 Π‘, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ Π·Π°Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ вСнской ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½, снова ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² 5 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−3 сСк ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΎΠΏΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 C, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½, ΠΈ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 180−250 Π‘ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡ… Π²Ρ‹ΡΡ‹Ρ…ания. ПослС всСх этих ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство зачистки повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠΉ.

ΠžΡ‚ Ρ„оторСзиста ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ часто трСбуСтся высокоС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π° ΡΡ‚ΠΎ достигаСтся Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ…, Π±Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ… фоторСзистов, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΅ сцСплСниС с Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΎΠΉ. Π’ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡŠΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ высокиС трСбования ΠΊ ΠΏΡ€Π΅Π΄Ρ‹Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠΌ опСрациям. НСобходимо свСсти Π΄ΠΎ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡƒΠΌΠ° содСрТаниС Π²Π»Π°Π³ΠΈ Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ фоторСзистС, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ. ВсС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ с Ρ„оторСзистом Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π² ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ влаТности Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 50%. Для удалСния Π²Π»Π°Π³ΠΈ с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΡΡƒΡˆΠΊΡƒ Π² Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡˆΠΊΠ°Ρ„Π°Ρ….

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ нСсколько ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² нанСсСния фоторСзиста Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика. Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ фоторСзист наносится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ окунания, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²Π°, Ρ€Π°Π·Π±Ρ€Ρ‹Π·Π³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, элСктростатичСским распылСниСм с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 40 Π‘ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ„ΡƒΠ³Π΅ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ высыхания. Вакая ΡΡƒΡˆΠΊΠ° обСспСчиваСт Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ наносимого слоя ΠΏΠΎ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŽ фоторСзиста. Π˜Π·Π²Π΅ΡΡ‚Π½Ρ‹ установки нанСсСния ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста Π²Π°Π»ΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ способом с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΡƒΡˆΠΊΠΎΠΉ тСплонагрСватСлями. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ способ обСспСчиваСт Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ фоторСзиста Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ… с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ просвСрлСнными отвСрстиями.

Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ являСтся Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° нанСсСния ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста способом ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ вытягивания Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ с Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ° фоторСзиста. ΠŸΡ€ΠΈ этом обСспСчиваСтся Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° наносимого слоя фоторСзиста Π² 3−4 ΠΌΠΊΠΌ. Вакая установка ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ ΠΎΡ‚ 70×80 ΠΌΠΌ Π΄ΠΎ 500×500 ΠΌΠΌ, ΠΏΡ€ΠΈ объСмС Π²Π°Π½Π½Ρ‹ 0.35 ΠΌ3, скорости вытягивания Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ 0.143−0.430 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ 35−120 Π‘, Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ 20 ΠΌΠΈΠ½ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ 75 ΡˆΡ‚/Ρ‡.

Для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… свойств ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста послС экспонирования ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ проводят Π΅Π³ΠΎ тСрмичСскоС Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Для этой Ρ†Π΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρ‹ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΎΡ€ΠΈΡ„Π΅Ρ€ΠΎΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π΄ΠΎ 1500 Π‘, Ρ†ΠΈΠΊΠ» дублСния длится 4−4.5 Ρ‡. Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивным являСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ установок дублСния фоторСзиста Π² Ρ€Π°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅ солСй.

Для экспонирования рисунка схСмы Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ установки с Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ свСтовым ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΈ свСтокопирования, нСвысокой Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ Π»Π°ΠΌΠΏ для прСдотвращСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π° Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°.

Π’ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ трСбования ΠΊ Ρ‚очности ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Ρƒ схСм, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСссов ΠΈ Ρ€ΠΎΡΡ‚ объСмов выпуска ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΈ ΠΊ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ… фоторСзистов сухим ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ фоторСзистом (БПЀ). Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ сухоплСночных фоторСзистов ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ всС Π²Π΅Π΄ΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ прСдприятия-ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Ρ€Π°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚ всСм Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹ΠΌ тСхнологичСским ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ.

БПЀ состоит ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ двумя Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Для обСспСчСния возмоТности нанСсСния сухоплСночных фоторСзистов Π½Π° Π°Π²Ρ‚оматичСском ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ€ΡƒΠ»ΠΎΠ½Π°Ρ…. На ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ БПЀ наносится Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ… ламинирования. АдгСзия БПЀ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚алличСской повСрхности Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ обСспСчиваСтся Ρ€Π°Π·ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ фоторСзиста Π½Π° ΠΏΠ»ΠΈΡ‚Π΅ Π΄ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΡΠ³Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ протягивании Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π°Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Установка снабТСна Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠΌ контроля Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ фоторСзиста. На ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ БПЀ Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 600 ΠΌΠΌ со ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΎΡ…оТдСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π²Π°Π»ΠΊΠ°ΠΌΠΈ 1.0−3.0 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. ЀоторСзист нагрСваСтся Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 110−120 Π‘. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ нанСсСния ΠΎΠ΄Π½Ρƒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ с Ρ„оторСзиста ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚, Π² Ρ‚ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ другая остаСтся ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°Π΅Ρ‚ фоторСзист с Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ стороны.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС примСняСтся сухой ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ фоторСзист БПЀ-2, наносимый Π½Π° Π»Π°ΠΌΠΈΠ½Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π΅ ΠšΠŸ 63.46.4.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС рисунок схСмы ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ. Для этого ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм фоторСзиста Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 75 Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 часа, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ сторону Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ нанСсти фоторСзист, ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°ΠΌΠΈ излишки ΠΏΠΎ ΠΊΡ€Π°ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ отвСрстия ΠΎΡ‚ Ρ„оторСзиста, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ освСщСнии Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 30 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΡΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ экспонирования ΠšΠŸ 6341, снова Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ освСщСнии Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 30 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ проявлСния АРБ-2.950.000, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΠΌΡ‹Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ растворС, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² 20% -Π½ΠΎΠΌ растворС сСрной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, снова ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ. ПослС этого слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ проявлСнный рисунок. ПослС экспонирования Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ проявлСниСм, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ, Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ фоторСзист.

Π›Π°ΠΊ наносится для Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ° химичСского мСднСния. Π›Π°ΠΊ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ наносится ΠΎΠΊΡƒΠ½Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π²Π°Π½Π½Ρƒ с Π»Π°ΠΊΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠΌ Π² 10−150 ΠΈΠ»ΠΈ распылСниСм ΠΈΠ· ΠΏΡƒΠ»ΡŒΠ²Π΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡΡ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 60−150 Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 Ρ‡. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ задаСтся ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ допустимой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ для навСсных элСктрорадиоэлСмСнтов, установлСнных Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ. Π›Π°ΠΊ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ свойстами: высокой Π²Π»Π°Π³ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ диэлСктричСскими ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ (ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌΠΈ диэлСктричСской ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΡ†Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Ρ‚ангСнсом ΡƒΠ³Π»Π° диэлСктричСских ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΡŒ), Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, химичСской ΠΈΠ½Π΅Ρ€Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ…аничСской ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ Π»Π°ΠΊΠ° для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия слСдуСт Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ свойства ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… для изготовлСния основания ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ Π΄Π»Ρ приклСивания ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ покрытия Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΡˆΠ»ΠΎ измСнСния свойств этих ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π‘ΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ Π»Π°ΠΊΠΈ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π»Π°ΠΊ Π‘Π‘-1с Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ»Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Π»ΡŒΠ΄Π΅Π³ΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ смолы, Π»Π°ΠΊ Π­-4100 Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ эпоксидной смолы Π»Π°ΠΊ Π£Π -231 ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия примСняСтся Π»Π°ΠΊ Π‘Π‘-1с. Для нанСсСния Π»Π°ΠΊΠ° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠΊΡƒΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² ΠΊΡŽΠ²Π΅Ρ‚Ρƒ с Π»Π°ΠΊΠΎΠΌ Π½Π° 2−3 сСк, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° Π»Π°ΠΊΠ° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 18−25 Π‘, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ слСдуСт ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡˆΠΊΠ°Ρ„Π΅ ΠšΠŸ 4506 Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‚ΠΎΡ€Π° часов ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 120 Π‘.

НаиболСС Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс Π² ΠΌΠ΅Ρ…аничСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий ΠΏΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ. Π˜Ρ… Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ свСрлСниСм, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ отвСрстия ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ Π² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… для производства ΠΏΠ»Π°Ρ‚ стСклопластиках Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ. Для свСрлСния стСклопластиков ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ твСрдосплавный инструмСнт ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ конструкции. ΠŸΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ инструмСнта ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ сплава позволяСт Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π° ΠΏΡ€ΠΈ свСрлСнии ΠΈ Π·Π΅Π½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ чистоту ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ отвСрстий. Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго свСрла ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ· Ρ‚вСрдоуглСродистых сталСй ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈ Π£-10, Π£-18, Π£-7. Π’ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ Π΄Π²Π΅ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ свСрла: ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ„ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ Ρ†ΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅. Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ стСклотСкстолит являСтся высокоабразивным ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, Ρ‚ΠΎ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ свСрл Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… свСрл — ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 10 000 свСрлСний.

ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ особСнности, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² отвСрстий Π² ΡΠΌΠ΅Π½Ρƒ, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ отвСрстий 0.4 ΠΌΠΌ ΠΈ ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅, Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ располоТСния отвСрстий 0.05 ΠΌΠΌ ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ обСспСчСния Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡŽΡ‚Π½ΠΎ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΡ… ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€ΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π±Π΅Π· заусСнцСв ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊ Π΄Π°Π»Π΅Π΅. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ свСрлСния зависит ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ станка ΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π°.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ нСсколько Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² станков для свСрлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π’ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ это ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡˆΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ высокооборотныС станки с ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ свСрлСний отвСрстий Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ производится ΠΈ Π·Π΅Π½ΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ свСрлСниС отвСрстий Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π΅ Π±Π΅Π· зСнкования.

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡˆΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠ°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ с ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ ΡΠΎ Ρ‰ΡƒΠΏΠΎΠΌ. На ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 520×420 ΠΌΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π΅ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° 12 ΠΌΠΌ. Частота вращСния шпиндСля 15 000−30 000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½ (измСняСтся ступСнчато). ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ свСрлСния 2,5 ΠΌΠΌ.

Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ являСтся Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ…ΡˆΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ станок с ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ΄Π½Ρƒ, Π΄Π²Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ (Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°) ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅. Π‘Ρ‚Π°Π½ΠΎΠΊ обСспСчиваСт частоту вращСния шпиндСля 10 000−40 000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Ρƒ шпиндСля 1000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π° 0.1−3.0 ΠΌΠΌ, Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ свСрлСния 0.5−2.5 ΠΌΠΌ.

Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π½ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ полуавтоматичСский станок с ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ для свСрлСния ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½Π΅Π³ΠΎ зСнкования отвСрстий Π² ΠœΠŸΠŸ. Π‘Ρ‚Π°Π½ΠΎΠΊ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΡƒΡŽ систСму ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ правлСния с Ρ€Π΅Π»Π΅ΠΉΠ½Ρ‹ΠΌ Π±Π»ΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ считываниСм. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΠ°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π΄Π²Π° шпиндСля — ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈ Π·Π΅Π½ΠΊΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ. Частота вращСния ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ бСсступСнчато ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0−33 000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ шпиндСль ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΡΠ½Π½ΡƒΡŽ частоту вращСния 11 040 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½. На ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ вСсти ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 350×220 ΠΌΠΌ, Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0.2−4.5 ΠΌΠΌ. ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ свСрлСния 2.5 ΠΌΠΌ, зСнкования — 3.0 ΠΌΠΌ. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ шпиндСлСй: ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ — 1960 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½, зСнковального — 1400 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.

Π‘ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования для ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ вСдСтся Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… направлСниях: увСличСния числа шпиндСлСй; ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ скорости ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΈ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Ρ‹ вращСния; упрощСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² фиксации ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° ΡΡ‚ΠΎΠ»Π΅ ΠΈ ΠΈΡ… ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠ΅; Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ смСны свСрла; ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ шага пСрСмСщСния; ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ скорости ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄Π°; созданиС систСм, ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… свСрлСниС отвСрстий ΠΏΠΎ Π½Π΅Π·Π°ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π΅ с ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΌ свСрлСниСм ΠΏΠΎ ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ½Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π΅; ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° Π½Π° Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡŒΡŽΡ‚Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ станка.

Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ возмоТности получСния отвСрстий ΠΈ ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ, Ссли это допускаСтся условиями качСства ΠΈΠ»ΠΈ опрСдСляСтся Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΎΠΉ отвСрстий. Π’Π°ΠΊ, ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ цСлСсообразно ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ отвСрстия Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΈΡ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…, Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… высокого качСства ΠΏΠΎΠ΄ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ элСмСнтов ΠΈ Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ… МПП, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ„ΠΎΡ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΡΠΌΠΎΡƒΠ³ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС свСрлСниС отвСрстий производится Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡˆΠΏΠΈΠ½Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ станкС ΠšΠ”-10. НСобходимо ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΡ‹ свСрлСния: 20 000−25 000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½, ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ осСвой ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ шпиндСля 2−10 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ свСрлСниСм отвСрстий Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅. Для этого Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ очиститСля Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² 10% растворС Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ° Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, снова ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−20 Π‘, ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ станок ΠšΠ”-10 ΠΊ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ согласно инструкции ΠΏΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ свСрло Π² ΡΠΏΠΈΡ€Ρ‚ΠΎ-Π±Π΅Π½Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ смСси, ΡΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΡ‚ΡŒ отвСрстия согласно Ρ‡Π΅Ρ€Ρ‚Π΅ΠΆΡƒ. ПослС свСрлСния Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ струТку ΠΈ ΠΏΡ‹Π»ΡŒ с ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΡ‚ΡŒ отвСрстия сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ. ПослС этого слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ количСство отвСрстий ΠΈ ΠΈΡ… Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ качСство свСрлСния. ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ сколов, Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½. Π‘Ρ‚Ρ€ΡƒΠΆΠΊΡƒ ΠΈ ΠΏΡ‹Π»ΡŒ слСдуСт ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡ‚ΡŒ сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ.

Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅, являСтся ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ этапом ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ отвСрстий. ΠŸΡ€ΠΈ этом Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π° ΠΎΡ‚ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСского основания ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚алличСскому ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΡŽ, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Π΅ коэффициСнты Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ химичСского мСднСния, основан Π½Π° Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π΄Π²ΡƒΡ…Π²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠ· Π΅Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½Ρ‹Ρ… солСй. Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя химичСски осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ 0.2 — 0.3 ΠΌΠΊΠΌ. Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ послС ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ — каталитичСской Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ, которая ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ одноступСнчатым ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡ…ступСнчатым способом.

ΠŸΡ€ΠΈ двухступСнчатой Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ сначала ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. Π”Π°Π»Π΅Π΅ слСдуСт ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ шаг Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ — сСнсибилизация, для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Π½Π° 2−3 ΠΌΠΈΠ½ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ-кислый раствор Π΄ΠΈΡ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°. Π’Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ шаг Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ — ΠΏΠ°Π»Π»Π°Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, для Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π½Π° 2−3 ΠΌΠΈΠ½ Π² ΡΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ-кислый раствор Π΄ΠΈΡ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄Π° палладия. АдсорбированныС Π°Ρ‚ΠΎΠΌΡ‹ палладия ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокоактивным ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ для любой химичСской Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ. ΠŸΡ€ΠΈ одноступСнчатой Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° (ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅) остаСтся Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠ΅, Π° Π°ΠΊΡ‚ивация происходит Π² ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΌ растворС, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ содСрТит ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΡΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ кислоту.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС процСсс химичСского мСднСния состоит ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ: ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ Ρ‚Ρ€ΠΈΠ½Π°Ρ‚Ρ€ΠΈΠΉ фосфата ΠΈ ΠΊΠ°Π»ΡŒΡ†ΠΈΠ½ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ соли Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50−60 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ горячСй ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50−60 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ Π² 10 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 3−5 сСк ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ хлористого палладия, соляной кислоты, двухлористого ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π° ΠΈ Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ ускоритСля Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; произвСсти ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ элСктрополировки с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ снятия мСталличСского палладия с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ горячСй ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2 — 3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ бязСвым раствором Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; произвСсти Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ элСктрополировки (ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ блСстящий ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π²ΠΈΠ΄, ΠΏΡ€ΠΈ появлСнии Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… пятСн, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ся Π²ΠΎ Π²Ρ€Π΅ΠΌΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ врСмя элСктрополировки Π΄ΠΎ 6 ΠΌΠΈΠ½); произвСсти ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ химичСского мСднСния Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ слой Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΊΠ° с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΊΠ° ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ растворитСли. НСкоторыС Π»Π°ΠΊΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ΠΎΠΌ.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ Π»Π°ΠΊ снимаСтся Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ 386. Для этого ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π°ΠΌΠΎΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° 2 часа Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ 386, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ слой Π»Π°ΠΊΠ° Π±Π΅Π»ΠΈΡ‡ΡŒΠ΅ΠΉ ΠΊΠΈΡΡ‚ΡŒΡŽ, послС этого ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство снятия Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°ΠΊΠ° (Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности Π»Π°ΠΊΠ° Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΡΡ‚Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ мСста, ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π»Π°ΠΊΠ°).

Π‘Π»ΠΎΠΉ химичСски осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ (0.2−0.3 ΠΌΠΊΠΌ), Ρ€Ρ‹Ρ…Π»ΡƒΡŽ структуру, Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ окисляСтся Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅, Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π΅Π½ для токопрохоТдСния, поэтому Π΅Π³ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‚ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π½Π°Ρ€Π°Ρ‰ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ («Π·Π°Ρ‚яТкой») 1−2 ΠΌΠΊΠΌ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Для этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² 5 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−3 сСк ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, Π·Π°Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ вСнской ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, снова Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² 5% -Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−3 сСк ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ произвСсти Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ затяТку Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 10−15 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡ… Π²Ρ‹ΡΡ‹Ρ…ания, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ затяТки (отвСрстия Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠΉ, осадок Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ, Ρ€ΠΎΠ·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ, мСлкокристалличСский).

ПослС Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ затяТки слой осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ 1−2 ΠΌΠΊΠΌ. ЭлСктролитичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Π΄ΠΎ 25 ΠΌΠΊΠΌ, Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… — Π΄ΠΎ 40−50 ΠΌΠΊΠΌ.

ЭлСктролитичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ: Ρ€Π΅Ρ‚ΡƒΡˆΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом краской НЦ-25 Π±Π΅Π»ΠΈΡ‡ΡŒΠ΅ΠΉ ΠΊΠΈΡΡ‚ΡŒΡŽ № 1; Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² 5 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−3 сСк ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; зачистка ΠΏΠ»Π°Ρ‚ вСнской ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; Π΄Π΅ΠΊΠ°ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² 5 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠΌ растворС соляной кислоты Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘; произвСсти Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ борфтористоводородной кислоты, Π±ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ кислоты, борфтористоводородной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 80−90 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘; произвСсти Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ покрытия (ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹ΠΌ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ΄Π³Π°Ρ€Π°, Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ся мСханичСскиС поврСТдСния, отслоСния ΠΈ Π²Π·Π΄ΡƒΡ‚ия).

Π§Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π½Π΅ ΡΡ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ ΠΈΡ… Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ мСталличСским ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ. БущСствуСт Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ мСталличСскиС покрытия (Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ сплавы), примСняСмыС для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС примСняСтся сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц. Π‘ΠΏΠ»Π°Π² ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц стоСк ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… растворов Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония, Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ…, Π½ΠΎ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ся Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, поэтому Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ травитСля раствор Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒ нСльзя.

Для нанСсСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ дистиллированной Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ произвСсти Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ сплавом ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ борфтористоводородной кислоты, Π±ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ кислоты, ΠΌΠ΅Π·Π΄Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ клСя, Π½Π°Ρ„Ρ‚ΠΎΡ…ΠΈΠ½ΠΎΠ½Π΄ΠΈΡΡƒΠ»ΡŒΡ„ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ кислоты, 25 ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ°, мСталличСского свинца, мСталличСского ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΡ…ΠΈΠ½ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 12−15 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ сТатым Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Π‘, ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Ρ‚ΡƒΡˆΡŒ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ΠΎΠΌ с ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство покрытия (ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½Ρ‹ΠΌ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ΄Π³Π°Ρ€Π°, Π½Π΅ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ся мСханичСскиС поврСТдСния, отслоСния ΠΈ Π²Π·Π΄ΡƒΡ‚ия).

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ травлСния фоторСзист с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΈ большом объСмС выпуска ΠΏΠ»Π°Ρ‚ это слСдуСт Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ… снятия фоторСзиста (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, АРБ-2.950.000). ΠŸΡ€ΠΈ нСбольшом количСствС ΠΏΠ»Π°Ρ‚ фоторСзист цСлСсообразнСй ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚алличСской ΠΊΡŽΠ²Π΅Ρ‚Π΅ Ρ‰Π΅Ρ‚ΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΈΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ хлористого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ»Π΅Π½Π°. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС фоторСзист ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ΡΡΡ‚ΡŒ Π² ΡƒΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ снятия фоторСзиста АРБ-2.950.000 Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, послС этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2 — 5 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘.

Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΎ для удалСния Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… участков Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ с ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ формирования рисунка схСмы.

БущСствуСт нСсколько Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² травлСния: Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ с Π±Π°Ρ€Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΆΠ΅ΠΌ, Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·Π±Ρ€Ρ‹Π·Π³ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ распылСниСм. Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ с Π±Π°Ρ€Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΆΠ΅ΠΌ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раствора большого количСства ΠΏΡƒΠ·Ρ‹Ρ€ΡŒΠΊΠΎΠ² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ приводят ΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раствора Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ объСмС, Ρ‡Ρ‚ΠΎ способствуСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ скорости травлСния.

БущСствуСт Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ нСсколько Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² растворов для травлСния: раствор Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, раствор ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония, раствор Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅. Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ раствор Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°.

Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ травлСния большС всСго зависит ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ раствора. ΠŸΡ€ΠΈ сильно ΠΈ ΡΠ»Π°Π±ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ растворС Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ происходит ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ. ΠΠ°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ травлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ плотности раствора 1,3 Π³/см3. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ травлСния зависит Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ травлСния. ΠŸΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 25Π‘ процСсс ускоряСтся, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΡ€Ρ‚ится защитная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° растворяСтся Π·Π° 30 сСк Π΄ΠΎ 1 ΠΌΠΊΠΌ.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия использован сплав ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раствора примСняСтся раствор Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ случаС примСняСтся Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ с Π±Π°Ρ€Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΆΠ΅ΠΌ. Для этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−20Π‘, ΠΏΡ€ΠΈ нСобходимости произвСсти Ρ€Π΅Ρ‚ΡƒΡˆΡŒ рисунка Π±Π΅Π»ΠΎΠΉ краской НЦ-25, Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 500 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² 5% -Π½ΠΎΠΌ растворС Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°ΠΌΠΌΠΈΠ°ΠΊΠ°, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 3−5 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50−60 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−5 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5−10 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство травлСния (Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π° Π² ΠΌΠ΅ΡΡ‚Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ Π½Π΅Ρ‚ рисунка. ΠžΡΡ‚Π°Π²ΡˆΡƒΡŽΡΡ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² мСдь ΠΏΠΎΠ΄Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ скальпСлСм. На ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π²ΠΎΠ²).

ΠžΡΠ²Π΅Ρ‚Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ покрытия ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎ-свинСц проводится Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ двухлористого ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°, соляной кислоты ΠΈ Ρ‚ΠΈΠΎΠΌΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ½Ρ‹. Для этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π½Π° 2−3 ΠΌΠΈΠ½ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ освСтлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 60−70 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ горячСй ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−20 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ дистиллированной Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−50 Π‘.

ОплавлСниС ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ производится с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ покрытия ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстий оловянно-свинцовым ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ. НаиболСС часто ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ установку инфракрасного оплавлСния ПР-3796.

Для оплавлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ КП-4506 Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 часа ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 80Π‘, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠΌ Π’Π€-130 Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20−50 Π‘, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ Π² Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 15 — 20 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 80−50 Π‘, ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ установку оплавлСния ПР-3796 согласно инструкции ΠΏΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Π²Π΅ΠΉΠ΅Ρ€ установки, ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 20 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50−100 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΎΠ² Ρ„Π»ΡŽΡΠ° горячСй ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 50−100 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Ρ…ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 18−25 Π‘, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ дистиллированной Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20−50 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 45 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 85−50 Π‘ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ КП-4506, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ качСство оплавлСния Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Π² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… отвСрстиях Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

ΠŸΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚ΡŒ Π±Π»Π΅ΡΡ‚ΡΡ‰ΡƒΡŽ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. ДопускаСтся Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ слСдов кристаллизации припоя ΠΈ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π½Π΅ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

НС Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ отслаиваниС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΎΡ‚ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСской основы ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ отвСрстий Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ большим 0,8 ΠΌΠΌ. НС Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π±Π΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π»Π΅Ρ‚Π° ΠΎΡ‚ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΡ‹Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„Π»ΡŽΡΠ° Π½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ… ΠΈ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° для ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌ (ΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° тСхнологичСского поля) ΠΈ ΡΠ½ΡΡ‚ия фаски. БущСствуСт нСсколько способов мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ. БСсструТСчная ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ отличаСтся Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ использовании ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… инструмСнтов. ΠŸΡ€ΠΈ этом ΠΈΡΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π°Π΅Ρ‚ΡΡ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. ΠžΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° осущСствляСтся дисковыми Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°ΠΌΠΈ. Линия Ρ€Π΅Π·Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½Π° Ρ‚Π°ΠΊ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»ΠΎ расслоСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π’Π½Π΅ΡˆΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€ односторонних ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… сСриях формируСтся Π½Π° ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚Π½Ρ‹Ρ… прСссах со ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠΌ инструмСнтом. ΠœΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ½Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ бСсструТСчным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±Π°Ρ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ расслоСния.

ΠœΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ со ΡΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ струТки осущСствляСтся Π½Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… дисковых ΠΏΠΈΠ»Π°Ρ…, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ°Ρ… для снятия фаски. Π­Ρ‚ΠΈ станки снабТСны инструмСнтами ΠΈΠ»ΠΈ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… сплавов ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹ΠΌΠΈ инструмСнтами. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… станков 500−2000 ΠΌΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. эти станки ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ особСнности: Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ твСрдосплавных ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½Ρ‹Ρ… инструмСнтов, Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ с ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ инструмСнта, обСспСчСниС Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… допусков, простая ΠΈ Π±Ρ‹ΡΡ‚рая Π·Π°ΠΌΠ΅Π½Π° инструмСнта.

Π¨ΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΡƒΠ½ΠΈΠ²Π΅Ρ€ΡΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ станок ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ точности Ρ‚ΠΈΠΏΠ° 675П. На ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‚ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ цилиндричСскими, дисковыми, фасонными, Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π²Ρ‹ΠΌΠΈ, ΡˆΠΏΠΎΠ½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌΠΈ Ρ„Ρ€Π΅Π·Π°ΠΌΠΈ.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ тСхнологичСском процСссС ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ дисковых Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†, Π° ΡΠ½ΡΡ‚ΠΈΠ΅ фасок — Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ для снятия фасок Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π“Π€-646. Для этого Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π΅Π·Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° Π΄ΠΈΡΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†Π°Ρ…, ΡΠ½ΡΡ‚ΡŒ фаски Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ для снятия фасок Π“Π€-646, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡Π΅ΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ с ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡ‚ΠΈΡ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ-ΠΌΠΎΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ срСдства Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 2−3 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 55+/-5 Π‘, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Π΄ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ»Π»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1−2 ΠΌΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20+/-2 Π‘, ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΡˆΠΊΠ°Ρ„Ρƒ ΠšΠŸ 4506. ПослС этого слСдуСт Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π½Π° ΠΎΡ‚слаиваниС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

Π’Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ° бСзопасности

К Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ Π»ΠΈΡ†Π°, Π΄ΠΎΡΡ‚ΠΈΠ³ΡˆΠΈΠ΅ восСмнадцатилСтнСго возраста, ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΄ΡˆΠΈΠ΅ инструктаТ ΠΏΠΎ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠ΅ бСзопасности Π½Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅ΠΌ мСстС.

ВсС тСхнологичСскиС ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с ΠΈΠ½ΡΡ‚рукциями.

ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ°, свСрлСниС, мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Π² Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΡ‡ΠΊΠ°Ρ…, Ρ…Π°Π»Π°Ρ‚Π΅ Ρ…/Π± Π’Π£ 17.543−70 ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°Ρ….

ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ связанныС с Ρ…имичСскими растворами Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ‚ΡŒ Π² Ρ…Π°Π»Π°Ρ‚Π΅ кислостойком Π“ΠžΠ‘Π’ 12.4.015−76, ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°Ρ… Ρ€Π΅Π·ΠΈΠ½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ…, ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠ°Ρ… хирургичСских Π“ΠžΠ‘Π’ 12.4.029−76, Ρ„Π°Ρ€Ρ‚ΡƒΠΊΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΠ½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ.

Π’ ΡΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ попадания раствора Π½Π° ΠΊΠΎΠΆΡƒ ΠΏΠΎΡ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ мСсто срочно ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ.

ΠŸΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ вытяТными устройствами.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ