ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

Аннотация. 
ИсслСдованиС возмоТности сниТСния сопротивлСния покрытия ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° Π² конструкции Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ элСктролита ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ диоксид ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° (MnO2), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСдставляСт собой Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π». Диоксид ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° формируСтся Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ солСй ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π°. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ изготовлСния кондСнсатора ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ Π³ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚ΡƒΡŽ структуру ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ солями ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Ρƒ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π°… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Аннотация. ИсслСдованиС возмоТности сниТСния сопротивлСния покрытия ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° Π² конструкции Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы Π·Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π²Π΅ΠΊΠ° своСго сущСствования ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π·Π°Ρ€Π΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈ сСбя Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ соврСмСнных Смкостных элСмСнтов для радиоэлСктронной Π°ΠΏΠΏΠ°Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹. Π’ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ‹ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы ΠΏΡ€ΠΈΠΎΠ±Ρ€Π΅Π»ΠΈ Π² Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΡ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π½Ρ‹Ρ… схСмах, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ сниТСния сопротивлСния ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв. Одним ΠΈΠ· ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΉ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ ΠΈ, Π² Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя, пСрспСктивным Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов являСтся модификация процСссов нанСсСния Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ слой ΠΈ Ρ‚СрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ рСзистивного покрытия ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°. ΠšΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ слой согласно Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ наносят ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚ΠΊΠΈ сСкций Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов Π² Π²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ суспСнзии ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° (ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΠΎΡ€Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ производства), Π°, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ, производят Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΡƒ Π½Π° Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π΅ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅. Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ прСдставлСны Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ исслСдований влияния условий нанСсСния ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСскиС характСристики сСкций Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов, Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности Π½Π° ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС. ΠŸΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ° нанСсСния суспСнзии ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° (Π°ΠΊΠ²Π°Π΄Π°Π³Π°) отСчСствСнного производства. ΠŸΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ описана конструкция Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора, Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΈ Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΊΠ»Π°Π΄ Π² Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρƒ эквивалСнтного ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния кондСнсатора. ΠŸΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ‹ для Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π° ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ производствС кондСнсаторов.

ΠšΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Π΅ слова: оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы, ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚, сопротивлСниС кондСнсатора, ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅, суспСнзия, иммитанс, Π°ΠΊΠ²Π°Π΄Π°Π³.

Π’ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡŽΠ΄Π°Π΅Ρ‚ΡΡ устойчивая тСндСнция ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² элСктронных устройств ΠΈ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ частот ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ: Π·Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΡΡ‚ΡŒ Π»Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΠ΅ частоты ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ возросли с 10ΠΊΠ“Ρ† Π΄ΠΎ 100ΠΊΠ“Ρ† ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅. Π’Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ высоких Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… частот ΠΈ ΠΌΠ°Π»Ρ‹Ρ… Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚ΠΎΠ² приводят ΠΊ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡŽ примСнСния Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… кондСнсаторов. Π’Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ характСристиками: высокой ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ‘ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ, ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌΠΈ Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π°ΠΌΠΈ. Π—Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ЭПБ (эквивалСнтного ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния) Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… кондСнсаторов остаСтся Π½Π΅ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ частоты ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ, Π° Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ импСданса Π½Π° Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΎΡ‚Π°Ρ… 100 ΠΊΠ“Ρ† ΠΈ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ достигаСт минимального значСния. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΎΠ½ΠΈ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ высокой Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΠΌΡ‹ со Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ общСпринятыми тСхнологиями ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° [1]. ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ По ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ролитичСскими, оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ мСньшСС ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ элСктричСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Ρ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ нСбольшого Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π½ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Они Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ ΠΏΡ€ΠΈ напряТСниях Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ номинального значСния, Π° ΡΡ‚ΠΎ позволяСт ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… ΡΡ€ΠΎΠΊ минимальной Π½Π°Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ [2]. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы Π²Ρ‹Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡ΠΈΡ… Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€, Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΠ΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ. Рассмотрим Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ€ΠΎΠ±Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹Ρ… кондСнсаторов ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ тСхнологичСскиС стадии формирования элСмСнтов, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ЭПБ кондСнсатора.

Π’Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ кондСнсаторы ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ элСктролитичСскими кондСнсаторами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ состоят ΠΈΠ· Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅Ρ… основных частСй: Π°Π½ΠΎΠ΄Π°, диэлСктрика, Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ элСктролита ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π° (рисунок 1).

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты конструкции Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора.

Рис. 1. — ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ элСмСнты конструкции Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора

Π’Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Π° эквивалСнтного ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния (ЭПБ, ESR) Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора закладываСтся с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ конструкционных особСнностСй, ΠΏΡ€ΠΈ расчСтС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², пористости Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π°Π±Π»Π΅Ρ‚ΠΊΠΈ, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π° Ρ‚СхнологичСских стадиях формирования ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ покрытия диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… слоСв ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ΅Ρ€Π΅Π±Ρ€Π°.

Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ элСктролита ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ диоксид ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° (MnO2), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ прСдставляСт собой Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π». Диоксид ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° формируСтся Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ солСй ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° [3−5]. Π’ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ изготовлСния кондСнсатора ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ Π³ΡƒΠ±Ρ‡Π°Ρ‚ΡƒΡŽ структуру ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ солями ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Ρƒ Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΡ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Ρ‚ΠΎΡ€ΡΡŽΡ‚ нСсколько Ρ€Π°Π·, Π΄ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия всСй структуры [6].

Для ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ стСпСни ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ слоСм Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°, Π° Π½Π° Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ наносят проводящСС мСталличСскоС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ сСрСбро.

Как извСстно, эквивалСнтная схСма замСщСния кондСнсатора (рисунок 2) ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Смкостной ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ содСрТит ряд Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов:

  • Β· ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΡƒΡŽ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰ΡƒΡŽ (L), которая ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΈΠ½Π΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ²;
  • Β· ΠΏΠ°Ρ€Π°Π»Π»Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС (Rp), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ позволяСт ΡƒΡ‡Π΅ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠΊ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· диэлСктрик ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностныС Ρ‚ΠΎΠΊΠΈ ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡ΠΊΠΈ;
  • Β· ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ эквивалСнтноС сопротивлСниС («Equivalent Series Resistance», ESR, ЭПБ) [7].
ЭквивалСнтная схСма кондСнсатора.

Рис. 2. — Π­ΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½Ρ‚ная схСма кондСнсатора

ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ напряТСнии кондСнсатор ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ сопротивлСниСм. На Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… частотах это сопротивлСниС опрСдСляСтся сопротивлСниСм диэлСктрика (Ta2O5). На Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΡ… частотах Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ сопротивлСниС элСктролита (MnO2). Виповая частотная Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ опрСдСляСт ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ESR с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ частоты Π²ΠΏΠ»ΠΎΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎ ΠΌΠ΅Π³Π°Π³Π΅Ρ€Ρ†ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°. Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ сопротивлСниС диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΎΡ€Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, Ρ‚ΠΎ ESR Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора Π½Π° Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΡ… частотах ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ°Π΅Ρ‚ΡΡ с Ρ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ слой ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° наносят Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ элСктропроводного покрытия с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ сниТСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ слоСм диоксида ΠΌΠ°Ρ€Π³Π°Π½Ρ†Π°, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΌ элСктролитом ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠΈ кондСнсатора, ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ мСталличСского покрытия, слуТащим Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ для обСспСчСния Π²ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ кондСнсаторного элСмСнта Π² ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡ. По Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя наносят ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ элСктропроводноС ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅, Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности ΠΈΠ· ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°.

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ прСдставлСны Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ исслСдования возмоТности сниТСния ЭПБ Ρ‚Π°Π½Ρ‚Π°Π»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ оксидно-ΠΏΠΎΠ»ΡƒΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ кондСнсатора ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ тСхнологичСских ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ² нанСсСния ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°. НаправлСния исслСдования Π±Ρ‹Π»ΠΈ основаны Π½Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ· ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ элСктричСского сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°:

R=сl/S, гдС.

R — элСктричСскоС сопротивлСниС ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Ом;

с — ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ сопротивлСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Ом*ΠΌ;

l — Π΄Π»ΠΈΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΌ;

S — ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΡŒ ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ сСчСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, ΠΌ 2.

Π‘Ρ‹Π»ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π΄Π²Π° ΠΏΡƒΡ‚ΠΈ сниТСния сопротивлСния рСзистивного покрытия ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°: Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΎΡ€Π° ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌΠ° тСрмичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ суспСнзии ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° (Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ измСнСния Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ сопротивлСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°) ΠΈ/ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ покрытия (сниТая ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΡƒΡΠΏΠ΅Π½Π·ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡ€Π°Ρ ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ состав основы суспСнзии).

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ