ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ВСхнология изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСского проводящСго рисунка, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² осущСствляСтся ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π² Π΄Π²Π΅ стадии. Π’Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ диэлСктрик мСталлизируСтся химичСским (бСстоковым) способом, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° осаТдаСтся мСдь Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ способом Π΄ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ мСталличСского слоя. Π’ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ…… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ВСхнология изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»Π΅ Π±Ρ‹Π» Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½ элСктрохимичСский способ получСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ способ осущСствляСтся посрСдством ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… основных ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ:

  • — Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ;
  • — ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика;
  • — Ρ…имичСская мСталлизация;
  • — ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка схСмы;
  • — Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСст;
  • — ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΡ‘ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий;
  • — ΠΏΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ слоёв;
  • — ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ образования мСТслойных ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий;
  • — ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ;
  • — ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ;
  • — ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;
  • — ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;
  • — ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСского ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ исходя ΠΈΠ· Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² транспортСров, Π²Π°Π½Π½ химичСской ΠΈ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρ‹ Ρ€ΡƒΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ² сухого ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста, Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ поля ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… станков, сСткографичСских Ρ‚Ρ€Π°Ρ„Π°Ρ€Π΅Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Π³Π°Π±Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΉ, обусловлСнных Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ примСняСмого оборудования, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ с ΡƒΡ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раскроя диэлСктричСских ΠΈ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ наличия тСхнологичСского поля со Π²ΡΠ΅Ρ… Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Ρ‘Ρ… сторон ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΌ. НаиболСС ΡƒΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅Π½ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ 530X530 ΠΌΠΌ. ΠœΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ 500X500 ΠΌΠΌ. ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ выполняСтся Π² Π΄Π²Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ°. Π’ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ листы диэлСктрика рСТутся Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ‹, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ полосы рСТутся Π½Π° Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π’ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… крупносСрийного ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ производства Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π²Ρ‹Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠΎΠΉ Π² ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠ°Ρ… Π½Π° ΠΊΡ€ΠΈΠ²ΠΎΡˆΠΈΠΏΠ½Ρ‹Ρ… прСссах. Π Π°Π·Ρ€Π΅Π·ΠΊΠ° диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΡΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠ°ΠΊ прокладочная ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒ, ΠΊΠ°Ρ€Ρ‚ΠΎΠ½, триацСтатная ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΈ Π΄Ρ€., производится с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Π½Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ†.

ΠŸΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ отклонСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ± 1,5 ΠΌΠΌ для Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 0,2 ΠΌΠΌ, для Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 0,2 ΠΌΠΌ ±2,0 ΠΌΠΌ. Π—Π°Π·ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π½ΠΎΠΆΠ΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 0,02—0,03 ΠΌΠΌ; ΠΏΡ€ΠΈ большСм Π·Π°Π·ΠΎΡ€Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, сколы, происходит расслоСниС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ рСзания 2—10 ΠΌ/ΠΌΠΈΠ½. Учитывая, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ€Π΅Π·Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ΡΡ стСклотСкстолиты, Ρ‚. Π΅. ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, Π°Ρ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΡΡ‚Π΅ΠΊΠ»ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Π½ΡŒΡŽ, Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊΡ€ΠΎΠΌΠΊΠΈ Π½ΠΎΠΆΠ΅ΠΉ Π³ΠΈΠ»ΡŒΠΎΡ‚ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΈ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½ΠΎΠΆΠ½ΠΈΡ† Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ‹ ΠΈΠ· Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹Ρ… сплавов.

Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… диэлСктриков Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎ 0,25 ΠΌΠΌ рСкомСндуСтся ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°Ρ‚ΡŒ тСрмостабилизации с Ρ†Π΅Π»ΡŒΡŽ Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ процСссов ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ смолы. Π—Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΡƒΡŽ Ρ‚Π°Ρ€Ρƒ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅ΠΌ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈ ΠΎΡ…лаТдСния. Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π°: Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² Π΄ΠΎ 150 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΠΌΠΈΠ½, Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠ° ΠΏΡ€ΠΈ этой Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 ΠΌΠΈΠ½, ΠΎΡ…Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ 30 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΠΌΠΈΠ½.

Π’ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΡƒ повСрхности диэлСктрика входят Π΄Π²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ, ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ… мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° (это ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²) ΠΈ Ρ…имичСская (это ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ²). На ΡΡ‚ΠΎΠΌ этапС Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° очищаСтся ΠΎΡ‚ Π³Ρ€ΡΠ·ΠΈ, окислов, ΠΆΠΈΡ€Π° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… вСщСств.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ мСталличСского проводящСго рисунка, ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΡ‚вСрстиях Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² осущСствляСтся ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π² Π΄Π²Π΅ стадии. Π’Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π΅ диэлСктрик мСталлизируСтся химичСским (бСстоковым) способом, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° осаТдаСтся мСдь Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ способом Π΄ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ мСталличСского слоя. Π’ Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… Π°Π΄Π΄ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ проводящий рисунок ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ Π·Π° ΠΎΠ΄Π½Ρƒ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, осаТдая достаточно толстый слой ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°, Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ±Π΅Π³Π°Ρ ΠΊ Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ процСссам.

Бпособом химичСской ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹:

  • — ΡΠ΅Ρ€Π΅Π±Ρ€ΠΎ;
  • — ΠΌΠ΅Π΄ΡŒ;
  • — Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»ΡŒ;
  • — ΠΊΠΎΠ±Π°Π»ΡŒΡ‚.

Однако Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ экономичным являСтся процСсс химичСского мСднСния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ обСспСчиваСт Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π΅ сцСплСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° с Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ химичСского мСднСния характСризуСтся ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ мСньшими Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, сами растворы ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ высокой ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ ΡƒΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ‹ Π² ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡƒΠ°Ρ‚Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ слоТного оборудования.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ химичСского мСднСния являСтся Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ — Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ процСссом, ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Π² ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствии ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс относится ΠΊ ΠΊΠ°Ρ‚Π΅Π³ΠΎΡ€ΠΈΠΈ автокаталитичСских, Ρ‚. Π΅. начинаСтся ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ-Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ мСталличСского палладия, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠΈΠ΅ΡΡ кристаллы ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ сами ΠΊΠ°Ρ‚Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ дальнСйшСС Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ происходит ΡƒΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎ.

Π₯имичСскоС ΠΌΠ΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий Π² Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ… ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ являСтся вСсьма отвСтствСнной ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ качСство ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно качСство ΠΏΠ»Π°Ρ‚. ΠŸΡ€ΠΈ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ всСго комплСкса ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ процСсса ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ слСдуСт Ρ€ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½ΠΈΠΆΠ΅ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ:

  • — Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ отвСрстиями ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π²Π΅Ρ€Ρ‚ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΡΠ΅Ρ‚Ρ‹, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΠΉ стали ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ· ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΠ»Π΅Π½, фторопласт);
  • — ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ Ρ†ΠΈΠΊΠ»Π° ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ мСднСния кассСты слСдуСт ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… растворов для удалСния частиц ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡΠ΅Π΄Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π° ΠΈΡ… ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π² Π²Π°Π½Π½Π΅ химичСского мСднСния;
  • — Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ Π²Π°Π½Π½Ρ‹ химичСского мСднСния Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎ Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ для удалСния мСханичСских загрязнСний ΠΈ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΠΈΡ† ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ восстановлСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π½Π° Π²Π·Π²Π΅ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ мСханичСских примСсях;
  • — ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ активирования ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π² ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ растворС ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ Π² Π΄Π²ΡƒΡ… улавливатСлях слСдуСт ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅, содСрТащСм 20—21 Π³/Π» NaOH, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ° Π² Π²Π°Π½Π½Ρƒ химичСского мСднСния. Π’ Ρ‚ΠΎΠΌ случаС, Ссли производится элСктрополированиС, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° Π² Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΌ растворС Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ся;
  • — ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ слой химичСски осаТдСнной ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1ΠΌΠΊΠΌ, рСкомСндуСтся тСрмичСски ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 80—90 Ρ”Π‘ Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1 Ρ‡.

ЀотографичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ нанСсСния рисунка позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΈ Ρ€Π°ΡΡΡ‚ояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π½ΠΈΠΌΠΈ 0,1—0,15 ΠΌΠΌ с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ воспроизвСдСния Π΄ΠΎ 0,01 ΠΌΠΌ. Π‘ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ зрСния этот способ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π°Π±Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ, Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рисунка ΠΈ ΠΏΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ примСняСтся Π² ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠΌ ΠΈ ΡΠ΅Ρ€ΠΈΠΉΠ½ΠΎΠΌ производствС ΠΏΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ высокой плотности ΠΈ Ρ‚очности. Бпособ основан Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΉ, Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… фоторСзистами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ‚ΡŒ:

  • — Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ;
  • — Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ;
  • — ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΉ повСрхности слоСм с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΊ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹;
  • — ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ Ρ…имичСским воздСйствиям;
  • — ΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ приготовлСния, Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΈ Π±Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ примСнСния.

ЀоторСзисты Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅. НСгативныС фоторСзисты ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм излучСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ участки Ρ€Π΅Π»ΡŒΠ΅Ρ„Π° Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ Π·Π°Π΄ΡƒΠ±Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠžΡΠ²Π΅Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ участки ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΡΡ‚ΡŒΡΡ ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠŸΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисторы ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‚ рисунок Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° Π±Π΅Π· ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠŸΡ€ΠΈ свСтовой ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ экспонированныС участки Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ся.

Для получСния рисунка схСмы ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста экспонированиС производят Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ², ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ — Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ². ΠŸΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисты ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ±ΡŠΡΡΠ½ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ различиями Π² ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ излучСния Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ слоСм. На Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слоя Π²Π»ΠΈΡΡŽΡ‚ Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ³ΠΈΠ±Π°Π½ΠΈΠ΅ свСта Π½Π° ΠΊΡ€Π°ΡŽ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ элСмСнта шаблона ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ свСта ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

Π’ Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌ фоторСзистС дифракция Π½Π΅ ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ€ΠΎΠ»ΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ шаблон ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ ΠΊ Ρ„оторСзисту, Π½ΠΎ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ отраТСния Π²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… участков появляСтся ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ», ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ сниТаСт Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΡƒΡŽ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π’ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста ΠΏΠΎΠ΄ влияниСм Π΄ΠΈΡ„Ρ€Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡΡ ΠΈ Π²Ρ‹ΠΌΠΎΠ΅Ρ‚ся ΠΏΡ€ΠΈ проявлСнии Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ вСрхняя ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ фоторСзиста ΠΏΠΎΠ΄ Π½Π΅ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ участками Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎ скаТСтся Π½Π° Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… свойствах слоя. Π‘Π²Π΅Ρ‚, ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ»Π΅Π³Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΠΊ Π½Π΅ΠΉ области, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ эту ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Π²Π°Π΅Ρ‚, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… сил слой опустится Π²Π½ΠΈΠ·, вновь образуя Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΈΠΉ ΠΊΡ€Π°ΠΉ изобраТСния Π±Π΅Π· ΠΎΡ€Π΅ΠΎΠ»Π°.

Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΡƒΡ…ΠΈΠ΅ (ΠΏΠ»Ρ‘Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ фоторСзисты. Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ фоторСзисты — ΠΊΠΎΠ»Π»ΠΎΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ растворы синтСтичСских ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ², Π² Ρ‡Π°ΡΡ‚ности ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта (ΠŸΠ’Π‘). ЀоторСзист Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта наносят Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ окунания Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΎΠΌ с ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ„ΡƒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ слой фоторСзиста ΡΡƒΡˆΠ°Ρ‚ Π² Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΡˆΠΊΠ°Ρ„Π΅ с Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΡƒΠ»ΡΡ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 40 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 30—40 ΠΌΠΈΠ½. ПослС экспонирования осущСствляСтся проявлСниС фоторСзиста Π² Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅. Для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ химичСской стойкости фоторСзиста Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ химичСскоС Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ рисунка ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π°, Π° Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ тСрмичСскоС Π΄ΡƒΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 120 Β°C Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 45—50 ΠΌΠΈΠ½. БнятиС фоторСзиста проводят Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 3—6 с Π² Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€Π΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ состава: 200—250 Π³/Π» Ρ‰Π°Π²Π΅Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ кислоты, 50—80 Π³/Π» хлористого натрия, Π΄ΠΎ 1000 ΠΌΠ» Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 20 Β°C.

Достоинства фоторСзиста Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта — Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΎΠΊΡΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΏΠΎΠΆΠ°Ρ€ΠΎΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, проявлСниС с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹. К Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ Π΅Π³ΠΎ относят эффСкт Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ дублСния (поэтому срок хранСния Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΊ с Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ фоторСзистом Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ 3—6 Ρ‡), Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ кислотои Ρ‰Ρ‘Π»ΠΎΡ‡Π΅ΡƒΡΡ‚ΠΎΠΉΡ‡ΠΈΠ²ΠΎΡΡ‚ΡŒ, Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ процСсса получСния рисунка, Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄ΠΎΡ‘ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ приготовлСния фоторСзиста, Π½ΠΈΠ·ΠΊΡƒΡŽ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ основана Π½Π° Π²Ρ‹Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π½Π΅Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Ρ‘Π½Π½ΠΎΠΉ повСрхности Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ диэлСктрика химичСским ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ проводится ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΎΡ‚ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠ°. ПослС всСго этого дСлаСтся ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΏpΠΎΡ‚pΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, свСряСтся с ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠΌ. Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΎΠΊ микропроцСссор ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ — слоТный, ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ — Π²ΠΎΡΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ процСсс Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ окислитСлСм являСтся Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ раствор, пСрСводящий мСдь ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚алличСского состояния Π² ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… растворов зависит ΠΎΡ‚ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ²:

  • — Ρ‚ΠΈΠΏΠ° примСняСмого фоторСзиста;
  • — Ρ‚ΠΈΠΏΠ° оборудования, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса травлСния;
  • — Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΡ‚ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½Ρ‹ коэффициСнта подтравливания;
  • — ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ скорости травлСния.

ΠŸΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ растворы Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅ΠΏΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚Π° аммония, Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, смСси Ρ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ кислоты, пСрСкиси Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π°, Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π° натрия (Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ растворы). Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ раствора опрСдСляСтся Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ примСняСмого фоторСзиста ΡΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ травлСния, Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ подтравливания, ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ оборудования, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Ρ€Π΅Π³Π΅Π½Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ всСх стадий процСссов.

Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ — опСрация процСсса изготовлСния ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π° ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ отвСрстия с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ Ρ€Π΅ΠΆΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ инструмСнта. Иногда свСрлСниСм Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий.

Π’ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈ Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΡ отвСрстий ΠΈΡ… ΡΠ²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ производится Π½Π° Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… этапах процСсса изготовлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π’Π°ΠΊ Π³Π»ΡƒΡ…ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отвСрстия свСрлятся Π΄ΠΎ ΡΠ±ΠΎΡ€ΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ послС частичной сборки слоСв ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, сквозныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия— послС ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ сборки слоСв, Π° Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½Ρ‹Π΅ отвСрстия — послС получСния проводящСго рисунка.

Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ прСдставляСт достаточно ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡƒΡŽ Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Ρƒ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π° отвСрстий, большого ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π°, слоистой структуры ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΡ армирования, Π° Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΠ·-Π·Π° высоких Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ Ρ‚очности располоТСния. Для свСрлСния ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ спСциализированныС высокооборотныС ΠΊΠΎΠΎΡ€Π΄ΠΈΠ½Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ станки с Ρ‡ΠΈΡΠ»ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Для ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ для свСрлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΡΠΎΠ±ΠΈΡ€Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Ρ‹.

Π’ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ свСрлСния Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΊΡ€Π΅ΠΏΠ΅ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎ — Ρ„Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ станок CМ — 600 — Π€2 со ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΎΠΌ D=3mm. ΠŸΡ€ΠΎΠ΄Π΅Π»Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ 4 отвСрстия для совмСщСния слоСв ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

Π’ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ прСссованиС слоёв ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ формируСтся ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚ ΠΈΠ· 3-Ρ… слоСв, слои ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΏΠΎ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ отвСрстиям Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ укладываСтся Π² ΠΏΡ€Π΅ΡΡ — Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ ΠΈ ΠΏΡ€Π΅ΡΡΡƒΠ΅Ρ‚ся. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ производится ΡΡƒΡˆΠΊΠ° всСго этого ΠΏΠ°ΠΊΠ΅Ρ‚Π°. ΠŸΡ€Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ производится автоматичСской Π»ΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ прСссованиС.

ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ образования мСТслойных ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ½Ρ‹Ρ… отвСрстий выполняСтся Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ ЧПУ CМ — 600 — Π€2. ПослС образования отвСрстий трСбуСтся ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΈ ΠΊΡ€Π°Ρ отвСрстий ΠΎΡ‚ Π·Π°ΡƒΡΠ΅Π½Ρ†Π΅Π² ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΈΠΏΡˆΠΈΡ… ΠΊΡ€ΠΎΡˆΠ΅ΠΊ стСклотСкстолита. Π­Ρ‚Π° опСрация ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π³ΠΈΠ΄Ρ€ΠΎΠ°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ диэлСктрика, ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΎΡ‚ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠ°.

По ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Π½ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π½Π° ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ располоТСния отвСрстий ΠΈ ΠΈΡ… Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°.

ПослС ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ опСрация ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠΈ, сСнсибилизация ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ опСрация химичСского мСднСния. Π­Ρ‚ΠΈΠΌ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ нанСсСния Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ отвСрстий Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ³ΠΎ слоя ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ опСрация Π³Π°Π»ΡŒΠ²Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ осаТдСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° Π°Π²Ρ‚ΠΎΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ АГ— 44. На Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой осаТдаСтся мСдь Π΄ΠΎ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹. ПослС этого производится ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ ΠΈ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ Π΅Ρ‘ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Π­Ρ‚Π° опСрация ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ CМ — 600 — Π€2 с Π½Π°ΡΠ°Π΄ΠΊΠΎΠΉ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ дисковой Ρ„Ρ€Π΅Π·Ρ‹. Π’ ΡΡ‚ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ удаляСтся Π½Π΅Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ стСклотСкстолит ΠΏΠΎ ΠΊΡ€Π°ΡΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΠ½ΠΊΠ° Π΄ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°.

Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ сСткографии ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ΠžΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π½ΠΊΠ΅ CΠ”C —1, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹ΠΌ ΡˆΡ‚Π°ΠΌΠΏΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ оттиск Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ.

Π’Π΅ΡΡŒ Ρ†ΠΈΠΊΠ» производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ заканчиваСтся ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

Π—Π΄Π΅ΡΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ автоматизируСмая ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° Π½Π° ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… стСндах.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ