ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ИсслСдованиС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для соврСмСнных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

По Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ исслСдований ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ влияниС тСхнологичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹. НаимСньшим ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Pyralux AP 8525R, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ DuPont. Π”ΠΎ ΡƒΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ измСнСния Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ (MD) колСблСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΎΡ‚ 0,015 Π΄ΠΎ 0,02%, ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ИсслСдованиС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для соврСмСнных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠœΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ стандарт IPC — T — 50 «Terms and Definition for Printed Boards» опрСдСляСт Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ (Π“ΠŸΠŸ) ΠΊΠ°ΠΊ, «ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠΉ Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» с ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π΅Π· Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия». Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ Ρ‚ΠΈΠΏ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ (ПП) идСально ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для создания слоТных элСктронных ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€ΠΎΠ² минимального Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°, с ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½ΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ элСктронной Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½ΠΊΠΈ [1, 2].

Π’ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚рукциях ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄, ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ извСстный нСдостаток — Π½Π΅ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ гСомСтричСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ тСхнологичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ [3].

Для производства ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ высокого класса точности (обСспСчСниС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² 50/50 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ/Π·Π°Π·ΠΎΡ€), Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΌΠΈ тСхнологичСскими свойствами, для получСния Π½Π°Π΄Ρ‘ΠΆΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ конструкции. ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ»Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ провСсти исслСдования Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСнных Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ΠΎΠ².

Π‘Ρ‹Π»Π° Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ°, установлСнная ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡƒΠ½Π°Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π˜Π½ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡƒΡ‚Π° ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠŸΠ»Π°Ρ‚ (IPC) Π² ΡΡ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π΅ IPC-TM-650 «Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… диэлСктричСских ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²» ΠΏΡƒΠ½ΠΊΡ‚ 2.2.4. ΠœΡ‹ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡŒ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠΈ — «Π’», Π² ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ оцСниваСтся ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ стравливания ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ ΠΈ Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅ΠΉ стабилизации ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 23Ρ”Π‘ ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ влаТности Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° 50%.

Для испытаний Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Ρ‹Π±Ρ€Π°Π½Ρ‹ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹:

  • 1. Π­Π»ΠΈΡ„ΠΎΠΌ-ПЀ-2−18−0,11: двусторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΌΠΊΠΌ, 100 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°.
  • 2. MCF 5000 ID 1225: двусторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π±Π΅Π·Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 12ΠΌΠΊΠΌ, 25 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°.
  • 3. AS2L-AD250PT1 — двусторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π±Π΅Π·Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠΈΠ΄Π° 25 ΠΌΠΊΠΌ.
  • 4. ASL-ND1201IS1 — двусторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠΈΠ΄Π° 25 ΠΌΠΊΠΌ.
  • 5. ASL-NS1201IS1 — односторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠΈΠ΄Π° 25 ΠΌΠΊΠΌ.
  • 6. Pyralux AP 8525R — двусторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π±Π΅Π·Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 18 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠΈΠ΄Π° 50 ΠΌΠΊΠΌ.
  • 7. Π”Π›-ПМ — односторонний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π±Π΅Π·Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ с Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ 35 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠΈΠΈΠ΄Π° 25 ΠΌΠΊΠΌ. Для испытаний Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π° Π½Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π΅ химичСски ΡƒΡ‚ΠΎΠ½Ρ‡Π΅Π½Π° ΠΈ ΡΠΎΡΡ‚авляСт 18 ΠΌΠΊΠΌ.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ осущСствлялся ΠΈΠ· ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… Π½Π° Π ΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠΌ Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ самых популярных ΠΈ ΡΡ‡ΠΈΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ…ΡΡ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ΠΎΠ². КаТдого Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² взято ΠΏΠΎ 2 ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°, для большСй достовСрности ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ². Использовались Π·Π°Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΈΠ· Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… диэлСктриков (рис. 1), Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ, ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ, 27×29 см. Π”линная сторона располоТСна вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Π’ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Ρ… Π±Ρ‹Π»ΠΈ просвСрлСны Ρ‡Π΅Ρ‚Ρ‹Ρ€Π΅ отвСрстия ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π°ΠΌΠΌΠ΅ свСрлСния. Расстояния ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°ΠΌΠΈ отвСрстий 230 ΠΈ 250 ΠΌΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π°Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΎ Π² ΡΡ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π΅ IPC-TM-650. Π”ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ отвСрстий 1,0 ΠΌΠΌ. ВсС дальнСйшиС Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ ΠΏΠΎ Ρ…ΠΎΠ΄Ρƒ исслСдований ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ ΠΏΠΎ ΡΡ‚ΠΈΠΌ отвСрстиям. ΠŸΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄Ρ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π° ΠΎΡ‚ Π·Π°ΡƒΡΠ΅Π½Ρ†Π΅Π², для удобства ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† для испытания Π½Π° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ.

Рис. 1 ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† для испытания Π½Π° Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ

ПослС свСрловки ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹Π΅ измСрСния. ВсС измСрСния ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠΌ стСкла с Ρ†Π΅Π½ΠΎΠΉ дСлСния 25 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом ΠœΠ‘Π‘-9.

Π‘Ρ‹Π»Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° стабилизация, Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ 4 ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹Ρ… суток, стандартом прСдусматриваСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ 1 сутки, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅. ПослС стабилизации Π±Ρ‹Π»ΠΈ сдСланы ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹. По ΠΈΡ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ стабилизация Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ измСняСт измСряСмыС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Ρ…, происходит это ΠΎΡ‡Π΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° свойств ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π»Π°Π³Ρƒ ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ атмосфСры, поэтому опСрация стабилизации являСтся ΠΎΠΏΡ€Π°Π²Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ вычислСний послС Π΅Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ достовСрны.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ слСдуСт Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ². Π’ ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Π΅ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² 1, 2, 3, 4 ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ»ΠΎΡˆΠ½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Ρƒ с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны. ПослС ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠ³ΠΎ травлСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ с ΡΠΎΠΏΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ опСрациями очистки ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ, слСдуСт стабилизация Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 23Ρ”Π‘ ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ влаТности Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° 50% Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ 2 суток. Π”Π°Π»Π΅Π΅ слСдуСт ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² послС стравливания ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ стороны Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ с ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΈ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ 5−1, 5−2 Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΡƒΡ‡Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ… Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚, ΠΎΠ½ΠΈ Π΄ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π΄ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ состояния — ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½ΠΎΠ΅ основаниС Π±Π΅Π· ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ этих ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ для 5−1, 5−2 ΠΏΠΎΠΉΠ΄ΡƒΡ‚ Π² ΠΈΡ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ расчСты. МоТно ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ASL-NS1200IS1 ΠΏΠΎ ΡƒΡ…ΠΎΠ΄Ρƒ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² довольно Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎ Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ качСствС Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π°. ΠžΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ 1, 2, 3, 4 Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π½Ρ‹ Π½Π° Π΄Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΡƒΡŽ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ травлСния ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ.

Π‘ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² химичСски удаляСтся ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΡˆΠ°ΡΡΡ Π½Π΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½ΡƒΡ‚ΠΎΠΉ Ρ€Π°Π½Π΅Π΅ Π½Π° Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ сторонС мСдная Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³Π°. ПослС провСдСния ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ очистки ΠΈ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ Π±Ρ‹Π»ΠΈ сдСланы измСрСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. По ΠΈΡ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² 3−1 ΠΈ 3−2 AS2L-AD250PT1 ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ довольно большиС ΡƒΡ…ΠΎΠ΄Ρ‹ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² (Π½Π° 600 ΠΌΠΊΠΌ), ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ Π² ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ этот ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ выдСляСтся срСду Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠΌ — Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎ-Π·Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ. Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½Π° ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 23Ρ”Π‘ ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ влаТности Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π° 50% Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ 2 суток.

ΠžΠ±ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² послС Ρ„ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ стабилизации прСдставлСны Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ № 1.

ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° № 1.

ΠžΡΠ½ΠΎΠ²Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ испытаний Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ.

Sβ„–.

1−1.

1−2.

2−1.

2−2.

3−1.

3−2.

4−1.

4−2.

AB1, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,9.

249,9.

249,95.

249,925.

249,925.

249,9.

249,9.

AB2, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,9.

249,85.

249,45.

249,45.

249,75.

249,8.

CD1, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,9.

249,9.

249,9.

249,9.

249,925.

249,875.

249,9.

CD2, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,85.

249,8.

249,4.

249,45.

249,8.

249,8.

AC1, ΠΌΠΌ.

AC2, ΠΌΠΌ.

230,2.

230,2.

229,95.

230,05.

230,05.

BD1, ΠΌΠΌ.

BD2, ΠΌΠΌ.

230,3.

230,2.

229,9.

230,15.

230,05.

Sβ„–.

5−1.

5−2.

6−1.

6−2.

7−1.

7−2.

AB1, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,9.

249,85.

249,85.

249,5.

249,5.

AB2, ΠΌΠΌ.

249,95.

249,875.

249,9.

249,9.

249,3.

249,4.

CD1, ΠΌΠΌ.

249,875.

249,9.

249,875.

249,85.

249,5.

249,5.

CD2, ΠΌΠΌ.

249,9.

249,825.

249,9.

249,9.

249,2.

249,5.

AC1, ΠΌΠΌ.

229,8.

AC2, ΠΌΠΌ.

230,1.

230,05.

229,925.

229,95.

229,6.

229,6.

BD1, ΠΌΠΌ.

BD2, ΠΌΠΌ.

230,1.

230,1.

229,7.

229,8.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΉ, расчСты Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΡ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡŒ ΠΏΠΎ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒΠ»Π°ΠΌ:

MD = [(AB2 — AB1)/AB1 + (CD2 — CD1)/CD1]*50; (1).

TD = [(AC2 — AC1)/AC1 + (BD2 — BD1)/BD1]*50; (2).

Π—Π΄Π΅ΡΡŒ MD — ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² исслСдуСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; TD — ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² исслСдуСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ; 2 — ИндСкс, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΈΡ‚ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹; 1 — ИндСкс, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ исходныС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹; AB — Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ отвСрстиями, А ΠΈ Π’; AC — Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ отвСрстиями A ΠΈ Π‘; CD — Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ отвСрстиями C ΠΈ D; BD — Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ расстояниС ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ отвСрстиями B ΠΈ D.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ значСния Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ испытанных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² (МD ΠΈ TD) прСдставлСны Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 2, ΠΏΡ€ΠΈ этом ΡƒΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ ΠΊΠ°ΠΊ усрСднСнныС ΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ… экспСримСнтах Π½Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Ρ‹.

РазмСрная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Рис. 2 РазмСрная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

По Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ исслСдований ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΡ‚ΡŒ влияниС тСхнологичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹. НаимСньшим ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Pyralux AP 8525R, ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ DuPont. Π”ΠΎ ΡƒΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ измСнСния Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² вдоль Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ (MD) колСблСтся Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡƒΡ‚ΠΊΠ΅ ΠΎΡ‚ 0,015 Π΄ΠΎ 0,02%, ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π½Ρ‚Π½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ машинной ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ (TD) ΠΎΡ‚ -0,012 Π΄ΠΎ -0,018%. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ высокого класса точности ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ слоТности (6 — 7 класс точности ΠΏΠΎ Π“ΠžΠ‘Π’ Π  53 429−2009), Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π΅Π΅, Ρ‚.ΠΊ. ΠΎΠ½ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ свои гСомСтричСскиС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ². ИсслСдованиС Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для производства Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΡ… ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎ-ТСстких ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ обосновано экономичСски. По Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΎΡ‚Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΎΠ² ассоциации IPC (The Institute for Interconnecting and Packaging Electronics Circuits) ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ производство ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ выросло Π² 2010 Π³ΠΎΠ΄Π° Π½Π° 19% ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с 2009 ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π΄ΠΎ 55 ΠΌΠ»Ρ€Π΄. Π΄ΠΎΠ»Π»Π°Ρ€ΠΎΠ² ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ΅ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΡ‹ роста ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ производство Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎ-ТСстких ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ [4, 5].

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, рассмотрСв соврСмСнныС направлСния развития ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚, Π±Ρ‹Π»ΠΈ Π²Ρ‹Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ пСрспСктивныС Ρ‚ΠΈΠΏΡ‹ конструкций. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ исслСдованиС Π±Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΈΠΌΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² для многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ слоТности ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Pyralux AP 8525R ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π΅Π΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ², Ρ‚.ΠΊ. ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ наибольшСй ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ гСомСтричСских Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ².

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π° Π² ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствии с Π”ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΡ€ΠΎΠΌ № 13.G25.31.0098 ΠΎΡ‚ 22 ΠΎΠΊΡ‚ября 2010 Π³. ΠΏΡ€ΠΈ финансовой ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠ΅ ΠœΠΈΠ½ΠΈΡΡ‚Π΅Ρ€ΡΡ‚Π²Π° образования ΠΈ Π½Π°ΡƒΠΊΠΈ Российской Π€Π΅Π΄Π΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

  • 1. К. Π€. ΠšΡƒΠΌΠ±Π·, А. М. МСдвСдСв. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹: Π‘ΠΏΡ€Π°Π²ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ. Π’ 2-Ρ… ΠΊΠ½ΠΈΠ³Π°Ρ…. Книга 1. Москва: ВСхносфСра, 2011. 1016 с.
  • 2. А. М. МСдвСдСва, Π“. Π’. ΠœΡ‹Π»ΠΎΠ²Π°. Π’Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²Π΅ элСктроники. Π§Π°ΡΡ‚ΡŒ 3. Π“ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. М.: Π“Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ° Π˜Π”Π’, 2008. 488 с.
  • 3. Π‘.Чигирский. ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Π°Ρ элСктроника — Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ‚Π²ΠΎ. «Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° НВБ», № 2, 2011 Π³. Π‘. 33−35.
  • 4. Π’. Π’. ΠœΠ°ΠΊΠ°Ρ€ΠΎΠ², И. Π’. Π¨Π°Π½Ρ…Π΅Π²ΠΈΡ‡, О. М. ОвсиСнко. Π‘Π΅ΡΡˆΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ производство: ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‚ΡŒ дСньги. «ΠŸΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ», № 1, 2011 Π³. Π‘. 4−10.
  • 5. Evertiq New Media AB. «World PCB production shows 19% growth in 2010». [Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ рСсурс] // Π Π΅ΠΆΠΈΠΌ доступа: http://evertiq.com/news/20 283 (доступ свободный). Π—Π°Π³Π». с ΡΠΊΡ€Π°Π½Π°. Π―Π·. Π°Π½Π³Π».
ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ