Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΠ»Ρ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π° ΡΠΊΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΠ° ΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π°:. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² nΠΏ ΠΈ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ nΠΎΠΊΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡ Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ GaAs ΠΈ GaP Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π Π°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ-Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΌΠ΅ΡΡ: Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°.
- 1. ΠΠΠΠΠΠΠΠ 3
- 2. ΠΠΠΠΠΠΠ ΠΠΠ’ΠΠ«Π ΠΠΠΠ£Π§ΠΠ’ΠΠΠ 5
- 2.1. ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² 5
- 2.2. ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² 10
- 3. ΠΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ 14
- Π‘ΠΠΠ‘ΠΠ ΠΠΠ’ΠΠ ΠΠ’Π£Π Π« 19
1. ΠΠΠΠΠΠΠΠ.
ΠΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° (ΠΠ) — ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ Π½Π°ΡΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½Π°Ρ Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ, ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ°, ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, Ρ ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ.
ΠΠ ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ ΠΈΠ½Π΄ΡΡΡΡΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ .
Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅ΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΠΌ:
1) ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ (ΠΠΠ) Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ², Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ, ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°ΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄Ρ. Π’Π΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΡΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠ΅ΠΊ, ΠΏΡΠΈΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°ΠΌ, Π΄Π²ΡΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΌ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ Π°ΠΌ ΠΈ Ρ. Π΄.;
2) ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΠΠ, ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² (Π»ΠΈΠ½Π·, Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ, Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ ΠΈ Π΄Ρ.) ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡ Π½Π°Π΄ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠΌ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΉ Π°ΡΠΈΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΌΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΠΠ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ, ΠΠΠ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ (Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ²), ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ Π² ΡΠ΅Ρ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ , ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠΉ;
3) ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΎΠ³ΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²ΠΎΠ² ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π΄Π²ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ.
ΠΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ — Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΡΡ Π΅ΠΌΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΠ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ (Π»ΠΈΠ½Π·Ρ, Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π°, ΠΏΡΠΈΠ·ΠΌΡ, Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ), ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ (ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠΎΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΎΡΡ, Π΄Π΅ΡΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΈ Ρ. Π΄.) ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ.
Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ.
ΠΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½Π°Ρ ΠΠ Π±Π°Π·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π½Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΠ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈΠ½Π΄ΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²ΠΈΠ·ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΊΠ°Π»Ρ, ΡΠ°Π±Π»ΠΎ, ΡΠΊΡΠ°Π½Ρ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΎΠΏΡΠΎΠΏΠ°ΡΡ, ΠΎΠΏΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌΡ (ΠΠΠ‘) ΠΈ Π΄Ρ.
2. ΠΠΠΠΠΠΠ ΠΠΠ’ΠΠ«Π ΠΠΠΠ£Π§ΠΠ’ΠΠΠ.
2.1. ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ².
Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π½Π΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π½ΡΠ΅ Π»Π°ΠΌΠΏΠΎΡΠΊΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅, ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΡΠΎΡΡ, ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈ Ρ. Π΄. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΠΊ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, ΡΠ΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΡΡΡ Π»ΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ, Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡΡ ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈ ΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠΌ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ.
Π¦Π΅Π»Π΅ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° Π΄Π²Π΅ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ: 1) ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ, ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ; 2) ΠΠ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π² ΠΎΠΏΡΡΠΎΠ½Π°Ρ ΠΈ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ.
Π₯ΠΎΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ Π³ΡΡΠΏΠΏ ΠΈΠ· ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΏΠΎΠ½ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ — ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ p-n-, Π³ΠΎΠΌΠΎ — ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ.
Π‘ΠΏΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°, Ρ. Π΅. Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ, Π³Π΄Π΅ Π — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ; np — Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ p-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ; pp0 — ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄ΡΡΠΎΠΊ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ.
ΠΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π·Π²Π½, ΡΠ°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»Π° Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² Π±Π°Π·Π΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π² Π½Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΠΈΠ· ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°, Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π10−10 ΡΠΌ3/Ρ (Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π?10−14 ΡΠΌ3/Ρ). Π ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ p — ΠΈ n-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ: Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ np Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π³ΠΏ>1, Π° ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±Π°Π·Ρ Na; Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ pp0 ΡΡΠΎΡ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ. ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠΎΠΌΠΈΡΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ: ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΠΎΠ²Π΅Π½Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1017 — 1018 ΡΠΌ-3 Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ 3.1018 — 3.1019 ΡΠΌ-3 Π΄Π»Ρ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΠ°ΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ Π΄Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ². Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ΅ np ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅. ΠΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡ (Π³ΠΏ>1) ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΈΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π·ΠΎΠ½ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²: .
ΠΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠΈΡΡΡΡ Ρ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ (Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈ ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ, ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΠΈ Ρ. Π΄.). ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΡΠ±Π΅Π·ΠΈΠ·Π», ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π²Π½, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΈΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π² Π±Π°Π·Ρ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π΄Π»Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ.
Π‘Π½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ (ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ±Π΅Π·ΡΠ·Π») — ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π²Π½. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΡ: 1) ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°Ρ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Ρ. Π΄.; 2) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ, Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΠ·-Π·Π° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΡΠ»ΠΎΡΡ Ga1-xAlxAs ΠΏΡΠΈ xβΉ0.3, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΊ Π½ΡΠ»Ρ (ΡΠ±Π΅Π·ΡΠ·Π»>?), ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Π·Π²Π½ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊ 100%.
ΠΠ°ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π±ΠΎΡΡΠ±Ρ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ.
Π£ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ. ΠΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ p-n-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π² GaAs, Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (hvΠΈΠ·Π»βΉEg). ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 100 ΡΠΌ-1. Π GaAs: Si-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π·Π²Π½ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 40 — 70%. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅.
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ GaP. ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π² GaP Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ° (Π5.10−14 ΡΠΌ3/Ρ), ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ° ΠΎΠ½Π° ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. Π ΡΠΎΠΆΠ°Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π²ΡΠ±ΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½. Π’Π°ΠΊ, Π΄Π»Ρ GaP ΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ Zn-O. ΠΡΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ Π² Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π½Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ().
ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° «ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠΊΠ½Π°» Π² Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ . Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π°ΠΌ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ «ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ» ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π° ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΏΡΡΠΌΡΡ ΡΠΎΠΊΠ°Ρ . Π ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ°Π· ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π³ΠΎΠΌΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΆΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅ Π²ΠΎΠ·Π±Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ (L — Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, d — ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π±Π°Π·Ρ).
ΠΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π²Π½ Π½Π΅ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΉ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ Π·Π²Π½Ρ (ΠΈΠ»ΠΈ ΠΠΠ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ), ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π²ΡΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°, ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π²Π½ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ Π»ΠΈΡΡ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½ΡΡΡΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ: 1) Π½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ — ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ, Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ; 2) Π½Π° ΡΡΠ΅Π½Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ, ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ; 3) Π½Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π² ΠΏΡΠΈΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ .
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅Π½ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΠ΅Π»ΠΎ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΠ»Ρ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π° ΡΠΊΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΠ° ΠΈ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π°:. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ² nΠΏ ΠΈ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ nΠΎΠΊΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΊΡ Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΈ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ GaAs ΠΈ GaP Ρ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ 3.54 ΠΈ 3.3. Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π° ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°Π²Π½Ρ 16 ΠΈ 17.70. ΡΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π½Π°ΡΡΠΆΡ Π²ΡΠΉΠ΄ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»ΡΡΠΈ, ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² Π·Π°ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ΅ Ρ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ Π²Π΅ΡΡΠΈΠ½Π΅ 2ΡΠΊΡ (ΡΠΈΡ. 2.1). Π ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π½Π° ΡΡΠ΅Π½Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π° ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° GaAs — Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ΠΈ GaP — Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ 31 ΠΈ 29%.
Π ΠΈΡ. 2.1.
ΠΠ°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΡΠ΄ΡΠ±Π° ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΡΠΎΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊ, ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ, ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΡ ΠΎΡ Π΅Π³ΠΎ Π³ΡΠ°Π½Π΅ΠΉ, ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΠ½ΠΎ (ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡΠ°Π·) ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π·Π° ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°.
Π―ΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π·Π²Π½Ρ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈ Π·Π²Π½ 100%. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΈΠ΄Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΡΡ ΠΠ΅ΠΉΠ΅ΡΡΡΡΠ°ΡΡΠ°. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΈ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ 30 — 35%.
ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π²Π½ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π² ΡΡΠ΅Π΄Ρ Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ (), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ³ΠΎΠ» Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎ 25 — 300, Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² 2.5. — 3 ΡΠ°Π·Π°; Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ «ΠΏΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡ » ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ (ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ SiO, SiO2, Si3N4 ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° 25 — 30%); ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²; Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π΄ΠΎΠ»Ρ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° «ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ» ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ ΠΈ Π΄Ρ.
2.2. ΠΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ².
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Ρ Π»ΡΠ±ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ· GaAs ΠΈΠ»ΠΈ GaP. ΠΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ° ΡΠΎ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠΉ 0.35 — 0.5 ΠΌΠΌ. ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΎΠΉ.
ΠΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ ΠΊ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°ΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ — Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠΈΠΏΠ° Au — Zn, Au — Be, Au — Ni, Aa — Ge — Ni ΠΈ Π΄Ρ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΈΡ Π²ΠΆΠΈΠ³Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ 500 — 6000Π‘.
ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΡ Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² Ρ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ²Π°ΡΠΊΡ, Π° Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΡ — ΠΏΡΠΈΠΏΠΎΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ»Π΅ΠΈ. ΠΠ΅ΡΡ Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π° Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½, Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, Π° Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠΈ, ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° (ΡΠΈΡ. 2.1).
ΠΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ ΠΈ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π±ΠΎΡΠ° ΡΠΎΡΠ΅ΠΊ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² Ρ ΠΏΡΠΎΠ·ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ. Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ.
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 2.2. ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΡΠΈ ΡΠΈΠΏΠ° ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ²: Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΡΠ΅ΠΊΠ»ΡΠ½Π½ΠΎΠΌ (ΠΠ 102), ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ (ΠΠ 307) ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ΅ ΠΈ Π±Π΅ΡΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ½ΡΠ΅ (ΠΠ 301). ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΡΠΈΠΏ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π° Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ — ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ, Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡΡ ΠΊ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΡ ΠΈ Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΎΠΊ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΈΡ. 2.2.
ΠΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π» ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ³Π»ΡΠ±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²Π΅Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π² ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΈΡΡΠΈΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ΅ΠΉΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠ»Π°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°. Π§Π°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π·Ρ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΏΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΡΠ½Π΄ΠΎΠ² Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ Π½Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ: ΡΠΈΠ»ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ° IV, Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ Π»max (ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ), ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ? Π», Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ³Π»ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ), ΠΏΡΡΠΌΡΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ UΠΏΡ ΠΏΡΠΈ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΌ ΡΠΎΠΊΠ΅ IΠΏΡ, ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΊΡ, Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π·Π²Π½Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΠΠ,. ΠΠ»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π·Π²Π½Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π²Π΅Π½ ΠΠΠ.
ΠΠ»Ρ ΠΠ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ° IV ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠΈΠ»Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (, Π³Π΄Π΅ ΠΊ — Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ). Π Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΊΠ°ΠΊ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΈΠ»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ° (ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ) ΠΎΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°.
Π’Π°Π±Π».2.1.
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π». | Π‘ΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·ΠΎΠ½. | Π¦Π²Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. | ΠΠ»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π»max, ΠΌΠΊΠΌ. | Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΠ°. | ||
ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½Π°Ρ. | ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ. | |||||
GaP: ZnO. | ΠΠ΅ΠΏΡΡΠΌΠ°Ρ. | ΠΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ. | 0,699. | 0,4. | 3,0. | |
GaP: N. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΠ΅Π»Π΅Π½ΡΠΉ. | 0,570. | 0,3. | 4,0. | |
GaP: N. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΠ΅Π»ΡΡΠΉ. | 0,590. | 0,2. | 0,5. | |
GaAs0.35P0.65. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΡΠ°Π½ΠΆΠ΅Π²ΡΠΉ. | 0,632. | 0,4. | 0,9. | |
GaAs0.15P0.85: N. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΠ΅Π»ΡΡΠΉ. | 0,589. | 0,2. | 0,9. | |
GaAs0.6P0.4. | ΠΡΡΠΌΠ°Ρ. | ΠΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ. | 0,649. | 0,15. | 0,4. | |
Ga0.7Al0.3As. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ. | 0,675. | ; | 0,4. | |
In0.42Ga0.58P. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΡΠ°Π½ΠΆΠ΅Π²ΡΠΉ. | 0,617. | ; | 0,3. | |
SiC. | ΠΠ΅ΠΏΡΡΠΌΠ°Ρ. | ΠΠ΅Π»ΡΡΠΉ. | 0,590. | ; | ; | |
GaN. | ΠΡΡΠΌΠ°Ρ. | ΠΠ΅Π»Π΅Π½ΡΠΉ. | 0,575. | ; | ; | |
GaxAl1-xAs. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΠ. | 0,82−0,9. | ; | ; | |
GaInAsP. | Π’ΠΎ ΠΆΠ΅. | ΠΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡΠΉ, ΠΠ. | 0,55−3,4. | ; | ; | |
ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΈ ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π».2.1. ΠΠ½Π°Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅, Π½Π΅ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π³ΠΎΠ»ΡΠ±ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠΈΠ½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠΈΡΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π±ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠ° ΠIIIΠV Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Πg > 3,0 ΡΠ: GaN, SiC, A1N ΠΈ Π΄Ρ.
ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°. ΠΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΊΠΈ, Π° Π² Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ . ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ InGaAsP Πg ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡ 0,36 Π΄ΠΎ 2,2 ΡΠ (Π» = 0,55−3,4 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈ T = 300 Π). Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ GaAs ΠΈΠ»ΠΈ GaAsP.
ΠΠ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs, GaAlAs ΠΈ GalnAsP. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ· Π²ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ GaAs/GaAlAs, Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ Π·Π²Π½, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΊ 100%, Π° Π·Π²Π½Ρ — Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 45% Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ 0,82−0,9 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², Ρ. Π΅. Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠ»Ρ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² GaAs/Ga1-Ρ AlΡ As ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π² ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² ΡΡΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ — ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ.
3. ΠΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠΏ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ — ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ (ΠΠΠ). ΠΠ½ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°Π½Π°ΡΠ½ΠΎ-ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊ-ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ. Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΡ ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ.
Π ΡΠΈΡΠ»Ρ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ ΠΎΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΠΊ IΠΏΠΎΡ (ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° JΠΏΠΎΡ), Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π» ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ? Π», ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π , Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ f ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ², Π΄ΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ (ΡΠ³ΠΎΠ» ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ), ΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΠΠ, ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ, ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π΄Ρ.
Π‘ΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΠΠ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΠΠ Π·Π΄ΠΈΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π½Π³Π΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ³Π»Π° Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π° Π²Π°ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ. Π’Π°ΠΊ, Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π³ΠΎΠΌΠΎΠ»Π°Π·Π΅ΡΠ° JΠΏΠΎΡ104−105Π/ΡΠΌ2, Π·Π΄ΠΈΡ10% (ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ JΠΏΠΎΡ ΠΈ Π·Π΄ΠΈΡ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΈΠΌ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ²ΡΠΈΡ ΡΡ Π² 1969 Π³. ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄, ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ JΠΏΠΎΡ Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 103Π/ΡΠΌ2 ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ Π·Π΄ΠΈΡ Π΄ΠΎ 40%. ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅. ΠΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Ρ Π Π = 10 — 30 ΠΡ, f 25 ΠΊΠΡ, Ρ100 Π½Ρ.
Π ΡΠΎΠΌ ΠΆΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ Π. Π. ΠΠ»ΡΡΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΠΠ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Ρ JΠΏΠΎΡ 400 — 800 Π/ΡΠΌ2 ΠΈ Π·Π΄ΠΈΡ > 55%, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅.
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°ΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ»Π°Π·Π΅ΡΡ Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ JΠΏΠΎΡ 100 Π/ΡΠΌ2, Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΎΡ 0,3 Π΄ΠΎ 32 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠ· Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΡΡΠ΅Ρ — ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΡΠ΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, Π²ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ, ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs — ΠΈΠ»ΠΈ GaP-ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΠ³Π»Π°ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠ° GaAs/GaAlAs, InP/GalnAsP, InP/AlGaAsSb, CdTe/CdHgTe ΠΈ Π΄Ρ.
Π ΠΈΡ. 3.1.
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 3.1. ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ. ΠΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ, ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π³ΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ (ΡΠΈΡ. 3.1, Π°, Π±). ΠΠ»Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²Π° Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²Π°Ρ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡ (ΡΠΈΡ. 3.1, Π²) ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ W Π΄ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ 3−25 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ° ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ — Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΊΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΈ (ΡΠΈΡ. 3.1, Π²), ΠΌΠ΅Π·Π°ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠΌΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Ρ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½, ΠΈ Π΄Ρ. ΠΡΠΈ W < 10 ΠΌΠΊΠΌ ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΡΡ «ΡΠ½ΡΡΠΎΠ²»), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Ρ. ΠΠ° ΡΠΈΡ. 3.2. ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΌΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ W. ΠΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ W = 10 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΌΠΎΠ΄Π°, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π³Π°ΡΡΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ.
Π ΠΈΡ. 3.2.
ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Ρ ΠΊΠ°Π½Π°Π²ΠΊΠΎΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ Π²ΡΡΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² (ΡΠΈΡ. 3.1, Π³), ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΡΡ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΡ. ΠΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ, Π° ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡΡ Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π² ΠΠΠ «ΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ» ΡΠΈΠΏΠ° (ΡΠΈΡ. 3.1, Π΄). ΠΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΏΡΡΠΎΠΊ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ ΠΠΠ Ρ «Π·Π°ΡΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ» ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ (ΡΠΈΡ. 3.1, Π΅), Ρ V-ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ (ΡΠΈΡ. 3.1, ΠΆ) ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ (ΡΠΈΡ. 3.1, Π·).
ΠΠ°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΠΠ Ρ «Π·Π°ΡΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ» ΠΌΠ΅Π·Π°ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠΎΠΉ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΡΡΠΌΠΎΡΠ³ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ dW < 1 ΠΌΠΊΠΌ2, ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π² ΡΡΠ΅Π΄Ρ Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ Π²Π½Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΠΊΠΈ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°ΠΌΠΏΠ΅Ρ, Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ — Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΠΠ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠ, ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΡ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ (fΠΌΠΎΠ΄ > 2 ΠΠΡ). Π‘ΡΠΎΠΊ ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 10 000 Ρ.
ΠΡΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΡΡ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΠΠ Ρ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ, Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΌΠΈ BOG-Lasers (Π»Π°Π·Π΅ΡΡ Ρ «Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ» ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ). Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° 300 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ 2−4 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ 0,1 ΠΌΠΊΠΌ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΠΎΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 10 ΠΌΠΡ (Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ Π½Π° Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π°Ρ Π΄ΠΎ 30 ΠΌΠΡ) ΠΏΡΠΈ ΠΠΠ Π²ΡΡΠ΅ 30%. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ JΠΏΠΎΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ 1,4−1,8 ΠΊΠ/ΡΠΌ2, ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΎΠΊ Π² Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ 9 ΠΌΠ.
Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π²Π΅Π΄ΡΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ, Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π½Π° ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠΊΠ° ΠΈΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ, ΠΠΠ, ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ². ΠΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π·Π°Π΄Π°Ρ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΡΡ Π»Π°Π·Π΅ΡΠΎΠ², — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ Π΄ΠΎ 100 000 Ρ, Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π»Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΡΠΈΠΌ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΡ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ «ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ» ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°.
Π Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΡΡ ΡΡΠΈ Π³ΡΡΠΏΠΏΡ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ²: 1) ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ; 2) ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ; 3) ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½Π°Ρ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ.
ΠΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π» ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° (Π ΠΊΡ 1,5−106 ΠΡ/ΡΠΌ2), ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π²Π±Π»ΠΈΠ·ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ Ρ. Π΄. ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΠΎΡΡΠ±Ρ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ — ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠΎΡΠ²ΠΎΠ΄Π°, Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ ΠΈ ΠΎΡΠ±ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΊ.
ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΠΊΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΠΠ ΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π½ΡΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°. Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΡΠΊΠΎΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ IΠΏΠΎΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ.
ΠΡΠ»ΠΈ ΡΡΡΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΡΡΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΡ ΠΈΠ·-Π·Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ, ΠΠΠ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π»Π΅Ρ Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π΅ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ΅ΠΉ Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°ΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΈ Ρ. Π΄. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²ΡΠ·Ρ: ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ IΠΏΠΎΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΠΠ.
ΠΡΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌ ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ: Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΡΠ³Π»ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ½Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½Π° Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ (ΠΈII 10Β°) ΠΈ Π² ΠΏΠ΅ΡΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ (ΠΈ+ 35−60Β°) (ΡΠΈΡ. 3.4). ΠΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΠΠ Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°.
1. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π»Π°Π·Π΅ΡΡ. Π‘ΠΏΡΠ°Π²ΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ: 2 ΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΠ΄ ΡΠ΅Π΄.Π. Π. ΠΠΎΠ½ΡΠ°ΡΡ, Π. Π. ΠΠΎΠ»ΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ², Π., — 1991 Π³.
2. Π. Π. Π’ΡΠ³ΠΎΠ², Π. Π. ΠΠ»Π΅Π±ΠΎΠ². ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ. Π., — 1990 Π³.
3. Π. Π. Π‘ΠΌΠΈΡΠ½ΠΎΠ². ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°. Π., — 1987 Π³.
4. Π. Π. ΠΠ°ΡΡΠ½ΠΊΠΎΠ², Π. Π. Π§ΠΈΡΠΊΠΈΠ½. ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ. Π., — 1978 Π³.