Электрофизическое моделирование и оптимизация параметров МДП ИС со структурой «кремний на сапфире»
Диссертация
Характер радиационных эффектов в ИС зависит от вида воздействия. Непрерывное ионизирующее излучение приводит к изменению электрофизических и конструктивных параметров ИС, сохраняющемуся длительное времяимпульсная радиация может вызывать переходные эффекты, исчезающие после окончания воздействия. Разница в характере повреждений ИС при этих видах воздействий вызвана различием физических процессов… Читать ещё >
Список литературы
- Действие проникающей радиации на изделия электронной техники/ Кулаков В. М., Ладыгин Е. А., Шаховцев В. И. и др. Под ред. Е. А. Ладыгина. — М.: Советское радио, 1980. — 224с.
- Коршунов Ф.П., Гатальский Г. В., Иванов Г. М. Радиационные эффекты в полупроводниковых приборах. Минск: Наука и техника, 1978. — 232с.
- Патрикеев Л.Н., Подлепецкий Б. И., Попов В. Д. Радиационная стойкость полупроводниковых приборов и интегральных схем. М.:МИФИ, 1975. — 127с.
- Митчел Дж., Уилсон Д. Поверхностные эффекты в полупроводниковых приборах, вызванные радиацией. М.- Атомиздат, 1970. — 94с.
- Mitcell LP. Radiation-Induced Space-Charge Buildup in MOS Structures. IEEE Trans. Electron Devices, 1967, v. ED-14, № 11, pp. 764−774
- Peel I.V., Eden R.C. Study of Ionizing Radiation Damage in MOS Structures Using Internal Photoemission. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1971, v. NS-18, № 6, pp. 84−90
- Aitken I.M., Di Maria D.I., Joung D.K. Electron Injection Studies of Radiation Induced Positive Charge in MOS Devices. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1976, v. NS-23, № 6, pp. 1526−1533
- Boesch H.E., McCarrity Ir. and I.M. Charge Field and Dose Effects in MOS Capacitors at 80 K. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1976, v. NS-23, № 6, pp. 1520−1525
- Sah С.Т. Origin of Interface States and Oxide Charges Generated by Ionizing Radiation. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1976, v. NS-23, № 6, pp. 1563−1568
- De Karsmaecker R.F., Di Maria D.J. Hole Trapping in the Bulk of Si-Si02 Layers at Room Temperatures. Journal of Applied Phys., 1980, v. 51, № 1, pp. 532−539
- Winokur P. S., Sexton F., Fleetwood D., Terry M.D. Shanegfelt M., Dressendorfer P., Schewank I. Implementing QML for Radiation Hardness Assurance. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1990, v. NS-37, № 6, pp. 1794
- Lelis A.J. et al. The Nature of the Trapped Hole Anneling Process. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1986, v. NS-33, № 6, pp. 1198−118
- Грегори Б.Л., Гуии Ч. В. Радиационные эффекты в полупроводниковых приборах. ТИИЭР, 1974, т.62, № 9, с. 98−111
- Пекарчук Т.Н., Хрулев А. К. Радиационная стойкость МДП-структур и полупроводниковых приборов на их основе. Обзоры по электронной технике, сер.2 «Полупроводниковые приборы», 1979, № 5, 61с.
- Dennehy W.I., Holmes-Siedle A.G., Zaininger К.Н. Digital Logic for Radiation Environments: A Comparison of Metal-Oxide-Semiconductor and Bipolar Technologies. -RGA Review, 1969, № 30, pp. 666−708
- Попов В.Д. Методы расчета заряда в объеме диэлектрика МДП-структуры по ее вольтфарадной характеристике.-Микроэлектроника, 1978, т.7, № 4, с.353−360
- Патрикеев Л.Н., Поддепецкий Б. И., Попов В. Д. Образование заряда в Si02 при облучении МОП-структуры в реакторе.-Микроэлектроника, 1973, т.2, № 1, с.65−67
- Образование заряда в диэлектрике МДП-структуры при воздействии различных видов радиации /Зимин В.Н., Мингазин Т. А., Патрикеев Л. Н., Попов В.Д.-Электронная техника, Микроэлектроника, 1972, № 2(36), с.21−23
- Болисов В.А., Попов В. Д., Сизов А. В. Кинетика накопления заряда в БЮг МОП структур. Кинетические явления в полупроводниках и диэлектриках /Под. ред. А. И. Руденко. М.: Энергоатомиздат, 1985, с. 29−34
- Habing D.H., Shafer B.D. Room Temperature Annealing of Ionization Induced Damage in CMOS Circuits.-ГЕЕЕ Trans. Nucl. Sci, 1973, v. NS-20, № 6, pp.307−314
- McWhorter P.J., Miller S.L., Miller W.M. Modeling the Anneal of Radiation-Induced Trapped Holes in a Varying Thermal Environment. IEEE Trans. Nucl. Sci, 1990, v. NS-37, № 6, p. 1682
- Di Maria D.I., Weinberg Z.A., Aitken I.M. Location of Positive Charge in Si02 Films on Si Generated by VUV Photons, X-rays, and High-Field Stressing. Journal of Appl. Phys., 1977, v.48, № 3, pp. 898−906
- Burghard R.A., Gwyn C.W. Radiation Failure Modes in CMOS Integrated Circuits. -IEEE Trans. Nucl. Sci, 1973, v. NS-20, № 6, pp. 300−306−119
- Hughess H.L. Radiation-Induced Perturbation of the Electrical Properties of the Silicon-Silicon Dioxide Interface. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1969, v. NS-16, № 6, pp. 195−202
- McLean F.B. A Framework for Understanding Radiation-Induced Interface States in Si02 MOS-Structures. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1980, v. NS-27, № 6, pp. 1651−1657
- Field and Time Dependent Radiation Effects at the SiCVSi Interface of Hardened MOS Capacitors /Winokur P. S., Boesch H.E., McCarrity I.M., McLean F.B. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1977, v. NS-24, № 6, pp. 2113−2118
- Winocur P. S., Boesch H.E., Interface-State Generation in Radiation-Hard Oxides. -IEEE Trans. Nucl. Sei, 1980, v. NS-27, № 6, pp. 1647−1650
- McCarrity I.M. Considerations for Hardening MOS Devices and Circuit for Low Radiation Doses IEEE Trans. Nucl. Sei, 1980, v. NS-27, № 6, pp. 1739−1744
- Кроуфорд P. Схемные применения МОП-транзисторов. M.: Мир, 1970 — 192с.
- Валиев К.А., Карамазинский А. Н., Королев М. А. Цифровые интегральные схемы на МДП-транзисторах. М.: Сов. радио, 1971. — 384с.
- Habing D.H., Shafer B.D. Modeling and Radiation Effects Study of LST/MOS Logic System. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1971, v. NS-18, № 6, pp. 263−272
- Влияние технологических факторов на радиационную стойкость интегральных микросхем на основе МДП-транзисторов. /Коломийцев Л.Г. и др. -Спецрадиоэлектроника, сер. З, 1978, № 2, с.42−51
- Raymond I.P., MSI/LSI Radiation Response, Characterization and Testing. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1974, v. NS-21, № 6, pp. 308−314
- Brucker G.I. Inverter Hardness Predictions and Correlation with LSI Device Failure Doses. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1980, v. NS-27, № 6, pp. 1700−1703
- Neamen D., Buchunan В., Sheald W. Ionizing Radiation Effect in SOS Structures. -IEEE Trans. Nucl. Sei, 1975, v. NS-22, № 6, pp. 2197−2202
- Srour I.R. Leakage Current Phenomena in Irradiated SOS Devices. IEEE Trans. Nucl. Sei, 1977, v. NS-24, № 6, p. 211 937.1uan I.H., Harari E. High Performance Radiation Hard CMOS/SOS Technology. -IEEE Trans. Nucl. Sei, 1977, v. NS-24, № 6, pp. 2199−2204-ПО
- Зв. Brown D.B., Dozier C.M. Electron-Hole Recombination In Irradiated Si02 From A Microdosimetry Viewpoint. IEEE Trans. Nucl. Sei., NS-28, № 6, 1981. — pp. 41 424 146
- Wilson C.L., Blue I.L. Modeling of Ionizing Radiation Effect in Short-Channel MOSFETS. IEEE Trans. Nucl. Sei., NS-29, № 6, 1982. — pp. 1501−1505
- Baze M.P., Plaag R.E., Johuston A.H. A Compration of Methods for Total Dose Testing of Bulk CMOS and CMOS/SOS Devices/ IEEE Trans. Nucl. Sei., NS-37, № 6,1990.-p. 1818
- Johnston A.H. Radiation Effects in Advanced Microelectronics Technologies. -IEEE Trans. Nucl. Sei., vol. 45, № 3, June 1998, pp. 1339−1354
- Попов В. Д. Проблемы и возможности применения коммерческих интегральных схем в военной и космической технике. Журнал ChipNews № 5 1999
- Шмелев С.К. Радиационностимулированные эффекты в КМДП ИС на объемном кремнии и со структурой кремний на сапфире. Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук. М.: МЭИ, 1994. — 350с.
- Горлов М., Строгонов А. Геронтология кремниевых интегральных схем. Часть 1. Журнал ChipNews № 3 2000−121
- Горлов М., Строгонов А. Геронтология кремниевых интегральных схем. Часть 3. Журнал ChipNews № 6 2000
- Viswanathan C.R. Model for Thickness Dependence of Radiation Effects in MOS Structures. IEEE Trans. Nucl. Sei., v. NS-23, № 6,1976, pp. 1540−1545
- Fleetwood D.M., Winokur P. S., Riew L.C. Predicting Switched-Bias Response from Steady-State Irradiations. IEEE Trans. Nucl. Sei., v. NS-37, № 6,1990, p. 1806
- Shaneyfelt M.R., Schwank J.R., Fleetwood D.M., Winokur P. S. Effects of Irradiation Temperature on MOS Radiation Response. IEEE Trans. Nucl. Sei., vol. 45, № 3, June 1998, pp. 1372−1378
- Flament O., Chabrerie C., Ferlet-Cavrois V., Leray J.L. A Methodology to Study Lateral Parasitic Transistors in CMOS Technologies. IEEE Trans. Nucl. Sei., vol. 45, № 3, June 1998, pp. 1385−1389
- Способ восстановления параметров полупроводниковых приборов со структурой металл-диэлектрик-полупроводник. /Ворошиловград, машиностр. ин-т. Авт. изобрет. Бодунов Е. В., Бобровский Г. А., Шмелев С. К. Заявл. 11.04.80 № 2 909 660
- Шмелев С.К., Ковалева Т. Ю., Лесник Г. Н. Оценка влияния импульсного отжига на надежность ИМС. Международная конференция «Информационные средства и технологии». Тез. докл., том 3 — М., 1998 — с. 235−236.
- Радиационная отбраковка полупроводниковых приборов и интегральных схем. /Чернышев A.A., Ведерников В. В., Галеев А. П., Горюнов H.H. Зарубежная электронная техника, 1979, № 5, с.3−25- 122
- Першенков B.C., Попов В. Д., Шальнов A.B. Поверхностные радиационные эффекты в элементах интегральных микросхем . М.: Энергоатомиздат, 1988. -256с.
- Integrated Circuits. Pt. A. New York e.a., 1981, pp. 253−395.
- Borkan H. Radiation Hardening of CMOS Technologies: An Overview. IEEE Trans. Nucl. Sei., v. NS-24, № 6,1977, pp. 2043−2046
- Fleetwood D.M., Tsoo S.S., Winokur P. S. Total Dose Hardness Assurance Issues for SOI MOSFITS. IEEE Trans. Nucl. Sei., v. NS-35, № 6,1988, p. 1361
- Kub F.J., Yao C.T., Waterman J.R. Radiation Hardened SOS MOSFIT Technology for Infrared Focal Plane Readouts. IEEE Trans. Nucl. Sei., v. NS-37, № 6, 1990, p. 2020
- Hofstein S.R. An Analysis of Deep Depletion Thin-Film MOS Transistors. IEEE Trans. Electron Devices, ED-13, 1966, pp. 846−855
- Heiman F.P. Thin-Film Silicon-on-Sapphire Deep Depletion MOS Transistors. -IEEE Trans. Electron Devices, ED-13,1966, pp. 855−862
- Grove A.S., Deal B.E., Snow E.H., San C.T. Investigation of Thermally Oxidized Silicon Surfaces Using Metal-Oxide-Semiconductor Structures. Solid State Electr., 1965, № 8, pp. 145−163
- Borhan H., Weimer P.K. An Analysis of the Characteristics of Insulated-Gate Thin-Film Transistors. RCA Rev., 1963, NS-24, pp. 153−165
- Worley E.R. On the Characteristic of the Deep-Depletion SOS Transistor. IEEE Trans. Electron Devices, ED-24, № 12,1977, pp. 1342−1345
- Электрофизическое моделирование и машинный анализ радиационно-стимулированных изменений в МДП/КНС элементах БИС и электронных схемах. Отчет по НИР, ч. З, М90 709, МЭИ, рук. Миронов В. Г., Шмелев С. К. -М., 1988.-45с.
- Pecherar М.С., Brown D.V., Zin Н.С., Ma D. Modeling Total Dose Effects in Narrow Channel Devices. IEEE Trans. Electron Devices, ED-30, № 9, 1983, pp. 1159−1164
- Гравитационный метод безусловной глобальной оптимизации/ Жихалкина Н. Ф., Кисель И. В., Назаренко М. А., Файзуллин Р. Т. -Дубна, 1997. -14с.
- Методы оптимизации. Введение в теорию решения экстремальных задач: Учеб. пособие/ Альбрехт Э. Г., Каюмов Р. И., Соломатин A.M., Шелементьев Г. С. -Екатеринбург, 1993. -165с.
- Методы оптимизации. Введение в теорию решения экстремальных задач: Учеб. пособие/ Альбрехт Э. Г., Каюмов Р. И., Соломатин A.M., Шелементьев Г. С. Екатеринбург, 1993. -165с.
- Дроздов Н.Д. Методы оптимизации: Вводные разд.: Учеб. пособие/ Дроздов Н. Д., Ильин В. И. -Тверь, 1997. -47 с.
- Ильин В.А. Методы оптимизации: Курс лекций. Красноярск, 1992. -54с
- Оптимизация: модели, методы, решения: Сб. науч. тр./ Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Сиб. энерг. ин-т- Отв. ред. В. П. Булатов. Новосибирск: Наука, 1992. -358с.
- Комбинаторика и оптимизация/Урал.политехн.ин-т им. С. М. Кирова Вып. 1. -1991. -85с.
- Оптимизация/АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т математики. Вып. 51(68): К 80-летию академика Л. В. Канторовича (1912−1986)/ Редкол.: В. Л. Макаров (гл. ред.) и др. -1992. -159с.
- Новикова Н.М. Дискретные и непрерывные задачи оптимизации. Основные сведения по теории и методам решения. М.: ВЦ РАН, 1996. -64с.
- Юкаева H.A. Численные методы решения задач оптимизации: Учеб. пособие для студентов втузов. Владивосток, 1996. -166с.
- Численные методы/ Соболь Б. В., Садовой H.H., Виноградова И. Ю. и др. -Ростов-н/Д, 1999. -85с.-124
- Дьяконов В .П., Абраменкова И.В. MATLAB 5.0/5.3. Система символьной математики. М.:Нолидж. 1999. — 640с.
- Плис А.И., Сливина Н.А. Mathcad 2000. Математический практикум для экономистов и инженеров: Учеб.пособие. М .:Финансы и статистика, 2000. -656с.
- Очков В.Ф. Mathcad 8 Pro для студентов и инженеров. М.: КомпьютерПресс, 1999.-523с.
- Разработка теоретических основ исследования электрофизических характеристик параметров передающих сред оптоэлектронных систем // Отчет по НИР, ч.1, гос. per. № 1 990 000 552, МЭИ, рук. Шмелев С. К., отв. исп. Лесник Г. Н.-М., 2000. -30с.
- Архангельский А.Я. Программирование в Delphi 5 М.: ЗАО «Издательство БИНОМ», 2000 г. — 1072с.-125