Динамика процессов и модели взаимодействия частиц в пылевой низкотемпературной плазме
Диссертация
Важной особенностью описания коагуляции непроводящих частиц является зависимость характера взаимодействия макрочастиц от их размеров. Во-первых, увеличение размера кластера приведет к увеличению его массы, что в конечном итоге сделает время разворота во внешнем поле большим по сравнению со временем изменения его дипольного момента, вызванного поглощением ионов и электронов из плазмы. В результате… Читать ещё >
Список литературы
- G. Selwyn, J. Singh, and R. Bennet. 1. situ laser diagnostic studies of plasmagenerated particulate contamination. J. Vac. Sci. Technol. A 7, 2758−2765, (1989).
- M. P. Garrity, T. W. Peterson, J. F. O’Hanlon. Particle formation rates in sulfur hexafluoride plasma etching of silicon. J. Vac. Sci. Technol. A 14(2), 550−555, (1996).
- L. Boufendi, J. Hermann, A. Bouchoule et al. Study of initial dust formation in an Ar-SiHi discharge by laser induced particle explosive evaporation. J. Appl. Phys. 76(1), 148−152, (1994).
- K. Spears, T. Robinson and R. Roth. Particle distributions and laser-particle interactions in an rf discharge of silan. IEEE Trans. Plasma Sci. PS-14, 179−187, (1986).
- G. Selwyn, J. McKillop, K. Haller, and J. Wu. In situ plasma contamination measurements by hene laser light scattering: A case study. J. Vac. Sci. Technol. A 8, 1726−1730, (1990).
- G. Jellum and D. Graves. Particulates in aluminum sputtering discharges. J. Appl. Phys. 67, 6490−6496, (1990).
- R. Buss, J. Babu. Synthesis of silicon nitride particles in pulsed radio frequency plasmas. J. Vac. Sci. Technol. A 14, 577−581, (1996).
- H. Hahn, R. Averback. The production of nanocrystalline powders by magnetron sputtering. J. Appl. Phys. 67, 1113−1115, (1990).
- H. Thomas, G. E. Morfill, V. Demmel et al. Plasma crystal coulomb crystallization in a dusty plasma. Phys. Rev. Lett. 73, 652−655, (1994).
- Chu J. H., I. Lin. Coulomb lattice in a weakly ionized colloidal plasma. Physica A 205, 183−190, (1994).
- Chu J. H., I. Lin. Direct observation of coulomb crystals and liquids in strongly coupled rf dusty plasmas. Phys. Rev. Lett. 72, 4009−4012, (1994).
- Ikezi H. Coulomb solid of small particles in plasmas. Phys. Fluids 29, 1764−1766, (1986).
- G. Praburam and J.Goree. Cosmic dust synthesis by accretion and coagulation. Astrophys. J. 441, 830−838, (1995).17| D. Samsonov and J. Goree. Particle growth in a sputtering discharge. J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2835−2840, (1999).
- D. Samsonov and J. Goree. Instubilities in a dusty plasma with ion drag and ionization. Phys. Rev. E 59, 1047−1058, (1999).
- G. E. Morfill, H. M. Thomas, U. Konopka et al. Condensed Plasmas under Microgravity. Phys. Rev. Lett. 83, 1598−1601, (1999).
- H. H. Hwang, M. J. Kushner. Simulation of the formation of two-dimensional Coulomb liquids and solids in dusty plasmas. J. Appl. Phys. 82, 2106−2114, (1997).
- О. Havnes, Т. К. Aanesen and F. Melandso. On dust charges and plasma potentials in a dusty plasmas with dust size distribution. J. Geophys. Res. 95, 6581−6585, (1990).
- J. Pieper, J. Goree, and R. A. Quinn. Experimental studies of two-dimensional and three-dimensional structure in a crystallized dusty plasma. J. Vac. Sci. Technol. 14, 519−524, (1996).
- J. Pieper, J. Goree, and R. A. Quinn. Three-dimensional structure in a crystallized dusty plasm, a. Phys. Rev. E 54, 5636−5640, (1996).
- M. Zuzic, A. V. Ivlev, J. Goree et al. Three-Dimensional Strongly Coupled Plasma Crystal under Gravity Conditions. Phys. Rev. Lett. 85, 4064−4067, (2000).
- H. Thomas and G. Morfill. Melting dynamics of a plasma crystal. Nature 379, 806−809, (1996).
- A. Melzer, A. Homann, and A. Piel. Experimental investigation of the melting transition of the plasma crystal. Phys. Rev. E 53, 2757−2766, (1996).
- К. Takanashi, Y. Hayashi and К. Tachibana. Two-Dimentional Melting in a Coulomb Crystal of Dusty Plasmas. Jpn. J. Appl. Phys. 38(7B) Part I, 4561−4566, (1999).
- В. E. Фортов, В. С. Филинов, А. П. Нефедов и др. Формирование упорядоченных структур макрочастиц в классической термической плазме: Эксперимент, и компьютерное моделирование. ЖЭТФ 111, 889−902, (1997).
- А. П. Нефедов, О. Ф. Петров, В. Е. Фортов. Кристаллические структуры в плазме с сильным взаимодействием макрочастиц. Успехи Физических Наук 167, 1215−1226, (1997).
- О. С. Ваулина, А. А. Самарян, А. В. Чернышев и др. Определение температуры, концентрации, размеров и показателя преломления макрочастиц в термической плазме. Физика Плазмы 25, 191−200, (1999).
- А. А. Самарян, О. С. Ваулина, А. П. Нефедов, О. Ф. Петров. Анализ условий формирования упорядоченной системы макрочастиц в термической плазме. Физика Плазмы 26, 626−632, (2000).
- А. П. Нефедов, О. Ф. Петров, С. А. Храпак. Потенциал электростатического взаимодействия в термической плазме с макрочастицами. Физика Плазмы 24, 1109−1113, (1998).
- А. В. Зобинин, А. П. Нефедов, В. А. Синелыциков и др. Упорядоченные структуры пылевых частиц в плазме высокочастотного безэлектродного газового разряда. Физика Плазмы 26, 445−454, (2000).
- G. Е. Morfill et al. Plasma Crystal. Columbus Precursor Flights Proposal, ESA. (1991).
- H. U. Keller, J. Blum, B. Donn et al. CODAG dust agglomeration experiment in micro-gravity. Adv. Space Res. 13(7), 73−76, (1993).
- Sir J. Maddox. Plasma dust as model crystals. Nature 370, 411, (1994).
- John F. O’Hanlon, Jungwon Kang, L. Keith Russell, and Lazaro Hong. The Effects of Electrostatic, Molecular Drag and Gravitational Forces on the Behavior of Particle Clouds in an RF Discharge. IEEE Trans. Plas. Sci. 22, 122−127, (1994).
- J. P. Boeuf and L. C. Pitchford. Two-dimensional model of a capacitively coupled rf discharge and comparisons with experiments in the Gaseous Electronics Conference reference reactor. Phys. Rev. E 51, 1376−1390, (1995).
- G. E. Morfill, В. M. Annaratone, P. Bryant, A. V. Ivlev et al. A review of liquid and crystalline plasmas new physical states of matter? Plasma Phys. Control. Fusion 44, B263-B277, (2002).
- A. Barkan, R. L. Merlino, and N. D’Angelo. Laboratory observation of the dust-acoustic wave mode. Phys. Plasmas 2(10), 3563−3565, (1995).
- C. Thompson, a. Barkan, N. D’Angelo, and R. L. Merlino. Dust acoustic waves in a direct current glow discharge. Phys. Plasmas 4(7), 2331−2335, (1997).
- S. Nunomura, J. Goree, S. Ни, X. Wang, and A. Bhattacharjee. Dispersion relations of longitudinal and transverse waves in two-dimensional screened Coulomb crystals. Phys. Rev. E 65, 66 402 1−11, (2002).
- J, B. Pieper and J. Goree. Dispersion of Plasma Dust Acoustic Waves in the Strong-Coupling Regime. Phys. Rev. Lett. 77, 3137−3140, (1996).
- R. L. Merlino, a. Barkan, C. Thompson, and N. D’Angelo. Laboratory studies of waves and instabilities in dusty plasmas. Phys. Plasmas 5(5), 1607−1614, (1998).
- N. N. Rao, P. K. Shukla, and M. Y. Yu. Dust-acoustic waves in dusty plasmas. Planet. Space Sci. 38, 543−546, (1990).
- Дж. А. Гори, Г. Морфилл, В. Н. Цытович. Излучение коллективных плазменных мод при столкновении пылевых частиц и формирование плазменно-пылевых кристаллов. Физика Плазмы 24, 534−541, (1998).
- A. Piel, V. Nosenko, and J. Goree. Experiments and Molecular-Dynamics Simulation of Elastic Waves in a Plasma Crystal Ratiated from a Small Dipole Source. Phys. Rev. Lett. 89, 85 004 1−4, (2002).
- S. Nanomura, J. Goree, S. Hu et al. Phonon Spectrum in a Plasma Crystal. Phys. Rev. Lett. 89, 35 001 1−4, (2002).
- X. Wang, A. Bhattacharjee, and S. Hu. Longitudinal and Transverse Waves in Yukawa Crystals. Phys. Rev. Lett. 86, 2569−2572, (2001).
- R. A. Quinn and J. Goree. Particle Interaction Measurements in a Coulomb Crystal Using С aged-Particle Method. Phys. Rev. Lett. 88, 195 001 1−4, (2002).
- D. Samsonov, J. Goree, Z. W. Ma et al. Mach Cones in a Coulomb Lattice and a Dusty Plasma. Phys. Rev. Lett. 83, 3649−3652, (1999).
- D. Samsonov, J. Goree, H. M. Thomas and G. E. Morfill. Mach cone shocks in a two-dimensional Yukawa solid using a complex plasma. Phys. Rev. E 61, 5557−5572, (2000).
- G. Praburam and J. Goree. A new method of synthesizing aerosol particles. J. Aerosol. Soc. 27, 1257−1268, (1996).
- S. J. Choi, P. L. G. Ventzek, R. J. Hoekstra and M. J. Kushner. Spatial distribution of dust particles in plasmas generated by capacitively coupled radiofrequency discharges. Plas. Sour. Sci. Technol. 3, 418−425, (1994).
- H. H. Hwang and M. J. Kushner. Regimes of particle trapping in inductively coupled plasma processing reactors. Appl. Phys. Lett. 68, 3716−3718, (1996).
- H. H. Hwang, E. R. Keiter, M. J. Kushner. Consequences of three-dimensional physical and electromagnetic structures on dust particle trapping in high plasma density material processing discharges. J. Vac. Sei. Technol. A 16, 2454−2462, (1998).
- Heon Chang Kim and Vasilios I. Manousiouthakis. Dust transport phenomena in a capacitively coupled plasma reactor. J. Appl. Phys. 89, 34−41, (2001).
- T. Fukuzava, H. Kawasaki, M. Shiratani, Y. Watanabe. Study on Growth Processes of Subnanometer Particles in Early Phase of Silane RF Discharge. Jpn. J. Appl. Phys. 33(7B) Part I, 4212−4215, (1994).
- H. Kawasaki, T. Fukuzava, H. Tsuruoka et al. Investigation of Particulate Growth Processes in RF Silane Plasmas Using Light Absorption and Scanning Electron Microscopic Methods. Jpn. J. Appl. Phys. 33(7B) Part I, 4198−4201, (1994).
- W. Bohme, W. E. Kohler, M. Romheld et al. Observation of Dust Particle Growth and Fallout in RF-Excited Silane Discharges. IEEE Trans. Pias. Sei. 22, 110−115, (1994).
- M. Shiratani, T. Fukuzawa, Y. Watanabe. Formation Processes of Particulates in Helium-Diluted Silane RF Plasmas. IEEE Trans. Pias. Sei. 22, 103−109, (1994).
- Y. Watanabe, M. Shiratani, H. Kawasaki et al. Growth processes of particles in high frequency silane plasmas. J. Vac. Sei. Technol. A 14(2), 540−545, (1996).
- Y. Watanabe, M. Shiratani. Growth Kinetics and Behavior of Dust Particles in Silane Plasmas. Jpn. J. Appl. Phys. 32(6B) Part I, 3074−3080, (1993).
- A. Bouchoule, L. Boufendi, J. Hermann et al. Formation of dense submicronic clouds in low pressure Ar-SiH4 RF reactor: Diagnostics and growth processes from monomers to large size particulates. Pure & Appl. Chem. 68, 1121−1126, (1996).
- H. Kawasaki, K. Sakamoto, S. Maeda et al. Transition of Particle Growth Region in SiHi RF Discharges. Jpn. J. Appl. Phys. 37(10) Part I, 5757−5762, (1998).
- T. Fukuzava, S. Kushima, Y. Matsuoka et al. Growth of particles in cluster-size range in low pressure and low power SiH$ rf discharges. J. Appl. Phys. 86, 35 433 549, (1999).
- K. Koga, Y. Matsuoka, K. Tanaka et al. In situ observation of nucleation and subsequent growth of clusters in silane radio frequency discharges. Appl. Phys. Lett. 77, 196−198, (2000).
- M. Shiratani, T. Fukuzawa, Y. Watanabe. Particle Growth Kinetics in Silane RF Discharges. Jpn. J. Appl. Phys. 38(7B) Part I, 4542−4549, (1999).
- H. Kawasaki, J. Kida, K. Sakamoto et al. Study on growth processes of particles in germane radio frequency discharges using laser light scattering and scanning electron microscopic m, ethods. J. Appl. Phys. 83, 5665−5669, (1998).
- Y. Hayashi, K. Tachibana. Analysis of Spherical Carbon Particle Growth in Methane Plasma by Mie-Scattering Ellipsometry. Jpn. J. Appl. Phys. 33(7B) Part I, 4208−4211, (1994).
- Y. Hayashi, K. Tachibana. Observation of coulomb-crystal formation from carbon particles grown in a methane plasma. Jpn. J. Appl. Phys. 33(6A) Part II, L804-L806, (1994).
- P. Haaland, S. Ibrani, H. Jiang. Fluid dynamics and dust growth in plasma enhanced chemical vapor deposition. Appl. Phys. Lett. 64, 1629−1631, (1994).
- Y. Matsuoka, M. Shiratani, T. Fukuzava et al. Effects of Gas Flow on Particle Growth in Silane RF Discharges. Jpn. J. Appl. Phys. 38(7B) Part I, 4556−4560, (1999).
- M. Shiratani, S. Maeda, K. Koga, Y. Watanabe. Effects of Gas Temperature Gradient, Pulse Discharge Modulation, and Hydrogen Dilution on Particle Growth in Silane RF Discharges. Jpn. J. Appl. Phys. 39(1) Part I, 287−293, (2000).
- Y Watanabe, M Shiratani, M Yamashita. Study of growth kinetics and behaviour of particles in a helium-silane RF plasma using laser diagnostic methods. Plasma Sources Sci. Technol. 2, 35−39, (1993).
- L. Boufendi, J. Gaudin, S. Huet, and M. Dudemaine. Detection of particles of less then 5 nm in diameter formed in an argon-silane capacitively coupled radio-frequency discharge. Appl. Phys. Lett. 79, 4301−4303, (2001).
- O. S. Vaulina, S. V. Vladimirov, O. F. Petrov and V. E. Fortov. Criteria of Phase Transititions in a Complex Plasma. Phys. Rev. Lett. 88, 245 002 1−4, (2002).
- О. В. Козлов. Электрический зонд в плазме. Атомиздат, Москва, (1969).
- М. S. Barnes, J. Н. Keller, J. С. Foster, et al. Transport of Dust Particles in Glow-Discharge Plasmas. Phys. Rev. Lett. 68, 313−316, (1992).
- J. Goree. Charging of particles in a plasma. Plasma Sources Sci. Technol. 3, 400 406, (1994).
- В. H. Цытович. Плазменно-пылевые кристаллы, капли и облака. Успехи Физических Наук 167, 57−99, (1997).
- Фортов В. Е., Якубов И. Т. Неидеалъная плазма. Энергоатомиздат, Москва, (1994).
- Chunshi Cui and J. Goree. Fluctuations of the Charge on a Dust Grain in a Plasma. IEEE Trans. Plas. Sci. 22, 151−158, (1994).
- А. Ф. Паль, А. О. Серов, А. Н. Старостин и. др. Несамостоятельный разряд в азоте с конденсированной дисперсной фазой. ЖЭТФ 119, 272−285, (2001).
- А. В. Зобнин, А. П. Нефедов, В. А. Синелыциков, В. Е. Фортов. О заряде пылевых частиц в газоразрядной плазме низкого давления. ЖЭТФ 118, 554 559, (2000).
- А. М. Игнатов. Гравитация Лесажа в пылевой плазме. Физика Плазмы 22, 648−653, (1996).
- А. М. Игнатов. Квазигравитация в пылевой плазме. УФН 171, 213−217, (2001).
- М. D. Kilgore, J. Е. Daugherty, R. К. Porteous, and D. В. Graves. Ion drag on an isolated particulate in a low-pressure discharge. J. Appl. Phys. 73, 7195−7203, (1993).
- Я. К. Ходатаев, P. Бингхем, В. П. Тараканов и др. Механизмы взаимодействия пылевых частиц в плазме. Физика Плазмы 22, 1028−1038, (1996).
- А. М. Игнатов. Простейшая модель плазменно-пылевого облака. Физика Плазмы 24, 731−737, (1998).
- A. Piel and A. Melzer. Dynamical processes in complex plasmas. Plas. Phys. Control. Fusion. 44, R1-R26, (2002).
- D. Samsonov, I. V. Ivlev, G. E. Morfill, J. Goree. Long-range attractive and repulsive forces in a two-dimensional complex (dusty) plasma. Phys. Rev. E. 63, 2 5401R 1−4, (2001).
- Dezhen Wang and Xiaogang Wang. Spatial distribution of trapped microparticles in a plasma sheath. J. Appl. Phys. 89, 3602−3605, (2001).
- S. V. Vladimirov and N. F. Cramer. Equilibrium and levitation of dust in а, collisional plasma with ionization. Phys. Rev. E 62, 2754−2762, (2000).
- M. Nambu, S. V. Vladimirov, P. K. Shukla. Attractive forces between charged particulates in plasmas. Phys. Lett. A 203, 40−42, (1995).
- S. V. Vladimirov. Collective behaviour and particle motions in a dusty plasma. Plasma Phys. Control. Fusion 41, A463-A468, (1999).
- S. V. Vladimirov, M. Nambu. Attraction of charged particulates in plasmas with finite flows. Phys. Rev. E 52, R2172-R2174, (1995).
- O. Ishihara, S. Vladimirov, N. F. Cramer. Effect of a dipole moment on the wake potential of a dust grain in a flowing plasma. Phys. Rev. E 61, 7246−7248, (1999).
- V. A. Schweigert, I. V. Schweigert, A. Melzer, A. Homann et al. Alignment and instability of dust crystals in plasmas. Phys. Rev. E 54, 4155−4166, (1996).
- A. Melzer, V. A. Schweigert, I. V. Schweigert, A. Homann et al. Structure and stability of the plasma crystal. Phys. Rev. E 54, R46−50, (1996).
- И. В. Швейгерт, В. А. Швейгерт, В. M. Беданов и др. Неустойчивость и плавление кристалла микрочастиц в плазме высокочастотного разряда. ЖЭТФ114, 1672−1690, (1998).
- V. A. Schweigert, I. V. Schweigert, A. Melzer, A. Homann et al. Plasma crystal melting: a nonequilibrium phase transitition. Phys. Rev. Lett. 80, 5345−5348,1998).
- V. A. Schweigert, V. M. Bedanov, I. V. Schweigert, et al. Structure of a microparticle crystal in a radio-frequency discharge plasma. JETP 88, 482−491,1999).
- I. V. Schweigert, V. A. Schweigert, A. Melzer and A. Piel. Melting of dust plasma crystals with defects. Phys. Rev. E 62, 1238−1244, (1999).
- V. A. Schweigert and I. V. Schweigert, V. Nosenko and J. Goree. Acceleration and orbits of charged particles beneath a monolayer plasma crystal. Phys. Plasmas 9, 4465−4472, (2002).
- M. А. Олеванов, Ю. А. Манкелевич, Т. В. Рахимова. О влиянии пылевых частиц на свойства низкотемпературной плазмы. ЖЭТФ 123, 503−517, (2003).
- В. В. Иванов, А. Ф. Паль, Т. В. Рахимова и др. Влияние пылевой компоненты на скорости элементарных процессов в низкотемпературной плазме. ЖЭТФ115, 2020−2036, (1999).
- S. J. Choi, М. J. Kushner. Simulation of the shielding of dust particles in low pressure glow discharges. Appl. Phys. Lett. 62, 2197−2199, (1993).
- S. A. Maiorov, S. V. Vladimirov, N. F. Cramer. Plasma kinetics around a dust grain in an ion flow. Phys. Rev. E 63, 17 401 1−4, (2000).
- S. A. Maiorov, S. V. Vladimirov, N. F. Cramer. Dynamics of charging and motion of a macroparticle in a plasma flow. Phys. Rev. E 63, 45 401 1−3, (2001).
- E. R. Keiter and M. J. Kushner. Plasma transport around dust agglomerates having complex shapes. J. Appl. Phys. 83, 5670−5677, (1998).
- T. J. Sommer, M. S. Barnes, J. H. Keller et al. Monte carlo-fluid hybrid model of the accumulation of dust particles at sheath edges in rf discharges. Appl. Phys. Lett. 59, 638−640, (1991).
- Д. В. Хеерман. Методы компьютерного эксперимента в теоретической физике. Москва, Наука, (1990).
- М. P. Allen, D. J. Tildesley. Computer simulation of liquids. Clarendon Press, Oxford, (1987).
- Ю. П. Райзер. Физика газового разряда. Москва, Наука, (1987).
- A. Barkan, N. D’Angelo, R. I. Merlino. Charging of Dust Grains in a Plasma. Phys. Rev. Lett. 73, 3093−3096, (1994).
- Ю. А. Манкелевич, M. А. Олеванов, Т. В. Рахимова. Поляризационный механизм взаимодействия пылевых частиц в плазме. ЖЭТФ 121, 1288−1297, (2002).
- D. Lopaev, Y. Mankelevich, М. Olevanov, Т. Rakhimova. Polarizational mechanism of dust particles interaction in plasma. Proc. of ESCAMPIG16 and ICRP5 2, 63−64, (France, July 2002).
- J. Goree, G. E. Morfill, V. N. Tsytovich, and S. V. Vladimirov. Theory of dust voids in plasmas. Phys. Rev. E 59, 7055−7067, (1999).
- V. N. Tsytovich, S. V. Vladimirov, G. E. Morfill, J. Goree. Theory of collision-dominated dust voids in plasmas. Phys. Rev. E 63, 56 609 1−11, (2001).
- В. А. Коромыслов, А. И. Григорьев. О поляризационном взаимодействии двух проводящих шаров в однородном электростатическом поле при малых расстояниях меэюду ними. ЖТФ 72, 10−14, (2002).
- М. А. Олеванов, Ю. А. Манкелевич, Т. В. Рахимова. Скорость коагуляции пылевых частиц в низкотемпературной плазме. ЖТФ 73, 51−60, (2003).
- М. А. Олеванов, Ю. А. Манкелевич, Т. В. Рахимова. Механизмы коагуляции и роста пылевых частиц в низкотемпературной плазме. ЖЭТФ 124(12), 1−21, (2003).
- A. Garscadden. Nucleation, growth, and morphology of dust in plasmas. Pure Sz Appl. Chem. 66, 1319−1326, (1994).
- M. T. Swihart, S. Nijhawan, M. R. Mahajan et al. Modeling the nucleation kinetics and aerosol dynamics of particle formation during CVD of silicon from silane. J. Aerosol Sci. 29, S79-S80, (1998).
- U. R. Kortshagen, U. V. Bhandarkar, M. T. Swihart, M. T. Girshick. Generation and Growth of Nanoparticles in Low-Pressure Plasmas. Pure & Appl. Chem. 71, 1871−1877, (1999).
- M. T. Swihart, S. L. Girshick. Thermochemistry and Kinetics of Silicon Hydride Cluster Formation during Thermal Decomposition of Silane. J. Phys. Chem. В 103, 64−76, (1999).
- U. V. Bhandarkar, M.T. Swihart, S.L. Girshick and U.R. Kortshagen. Modelling of silicon hydride clustering in a low-pressure silane plasma. J. Phys. D: Appl. Phys. 33, 2731−2746, (2000).
- Kio-Seon Kim, M. Ikegawa. Particle growth and transport in silane plasma chemical vapor deposition. Plas. Sour. Sci. Technol. 5, 311−322, (1996).
- В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин. Моделирование процесса разложения силана в высокочастотной плазме. ЖТФ 72, 109−114, (2002).
- В. И. Струнин, А. А. Ляхов, Г. Ж. Худайбергенов, В. В. Шкуркин. Расчет химического состава аргон-силановой плазмы. 3-й Международный Симпозиум по Теоретической и Прикладной Плазмохимии ISTAPC-2002, Сб. Мат. Том 1, Иваново, 2002.
- P. Haaland, A. Garscadden, В. Ganguly. Ionic and neutral growth of dust in plasmas. Appl. Phys. Lett. 69, 904−906, (1996).
- S. J. Choi, M. J. Kushner. The role of negative ions in the formation of particles in low-pressure plasmas. J. Appl. Phys. 74, 853−861, (1993).
- V. A. Schweigert and I. V. Schweigert. Coagulation in a low temperature plasma. J. Phys. D 29, 655−659, (1996).
- F. Y. Huang, H. H. Hwang, M. J. Kushner. A model for transport and agglomeration of particles in reactive ion etching plasma reactors. J. Vac. Sci. Technol. A 14(2), 562−566, (1996).
- F. Y. Huang, M. J. Kushner. Shapes of agglomerates in plasma etching reactors. J. Appl. Phys. 81, 5960−5965, (1997).
- K. Watanabe, K. Nishimura and T. Sato. Advances in Dusty Plasmas. World Scientific, Singapore, (1998). p. 394.
- M. Horanyi, C. K. Goerts. Coagulation of dust particles in a plasma. Astrophys. Journal 361, 155−161, (1990).
- R. A. Quinn and J. Goree. Single-particle Langevin model of particle temperature m dusty plasmas. Phys. Rev. E 61, 3033−3041, (2000).
- R. A. Quinn and J. Goree. Experimental investigation of particle heating in a strongly coupled dusty plasma. Phys. of Plasmas 7, 3904−3911, (2002).