Исследование радиационно-термических процессов формирования ионно-легированных слоёв n-GaAs
Диссертация
Фотонный отжиг GaAs, имплантированного кремнием, по сравнению с термическим отжигом, приводит к снижению концентрации центров рассеяния электронов типа заряженных точечных дефектов и неоднородностей Вайсберга. Концентрация этих центров зависит от уровня дефектности исходного материала, температуры проведения фотонного отжига. При дополнительном фотонном отжиге ионно-легированных слоёв… Читать ещё >
Список литературы
- Арсенид галлия в микроэлектронике / Под ред. Н. Айнспрука и У. Уис-смена. — М.: Мир, 1988. — 555 с.
- Ардышев В.М. Влияние защитных покрытий на электрофизические характеристики ионно-легированных слоев n-GaAs / Автореф. дисс. канд. техн. наук. Томск: ТГУ, 1987. -18 с.
- Полевые транзисторы на арсениде галлия / Под ред. Д. В. Ди Лоренцо и Д. Д. Канделуола. М.: Радио и связь, 1988. — 495 с.
- Хайбуллин И.Б., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупроводников. Состояние проблемы и нерешённые вопросы. II ФТП. 1985. — т. 19. — № 4. -с.с.569−581.
- Двуреченский А.В., Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982. — 208 с.
- Броудай Н., Меррей Дж. Физические основы микротехнологии. / Пер. с англ. под ред. Шальнова А. В. М.: Мир, 1985. — 496 с.
- Корсунская Н.Е., Маркевич И. В., Моин М. Д., Танатар М. А., Шаблий И. Ю. Образование дефектов решётки в кристаллах CdS под действием излучения азотного лазера. II ФТТ. 1982. — т.24. -№ 11.- с.с.3223−3227.
- Корсунская Н.Е., Моин М. Д. Процессы дефектообразования в сульфиде кадмия под действием лазерного излучения. // Квант, электрон. 1985. — № 29. -с.с.83−95.
- Алфёров Ж.И., Ковальчук Ю. В., Погорельский Ю. В., Смольский О. В. Воздействие пикосекундных лазерных импульсов на Si и полуизолирующие соединения А3В5. II Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1985. — т.49. — № 6. — с.с.1069−1081.
- Черняев А.В. Метод ионной имплантации в технологии приборов и интегральных схем на GaAs. М.: Радио и связь, 1990. — 86 с.
- Заринов М.М., Хайбуллин И. Б., Штырков Е. И. Отжиг ионно-легиро-ванных слоев под действием лазерного излучения. II УФЫ. 1975. — т.120. — № 4. -с.с.706−724.
- Sealy B.J., Kular S.S., Stephens K.G., Croft R., Palmer A. Electrical properties of laser-annealed donor-implanted GaAs. II Electron. Lett. 1978. — v. 14. — № 22. — p.p.720−723.
- Tsu R, Baglin J.E., Lasher G.J., Tsang J.C. Laser-induced recrystallization and damage in GaAs. // Appl. Phys. Lett. 1979. — v.34. — № 2. -p.p.153−155.
- Pianetta P.A., Stolte C.A., Hansen J.L. // In book: Laser and electron beam processing of materials. New York: Acad. Proc, 1980. — p.p.328−333.
- Кашкаров П.К., Тимошенко В. Ю. Образование дефектов в полупроводниках при импульсном лазерном облучении. II Поверхность. Физика, химия, механика. 1995. — № 6. — с.с.5−35.
- Lowndes D.H., Feldman B.J. // In book: Laser and Electron Beam Interactions with Solids. Ed. by Appleton B.B., Celler G.K. N.-Y., Amsterdam, Oxford. North. Holland.: Elsevier Science Publishing Co., Inc., 1982. — p.p.684−687.
- Davies D.E., Lorenzo J.P., Ryan T.G. Pulse annealing deficiencies in GaAs. II Appl. Phys. Lett. 1980. — v.37. — № 7. -p.p.612−615.
- Pribat D. 11 In book: Cohesive Properties of Semiconductor under Laser Irradiation. Ed. by Laude L.D. Hague, Boston, Lancaster: Martinus Nijhoff Publ., 1983. — p.p.562−576.
- Bertolotti M. // In book: Laser Annealing of Semiconductors and Physical Processes in Laser-Material Interactions. Ed. by Bertolotti M. N.-Y., London: Plenum Press, 1982.-p.p. 175−189.
- Hermes P., Danielzik В., Fabricius N., von der Linde D., Kuhl J., Heppner J., Stritzker В., Pospieszczyk A. Evaporation of atoms from femtosecond laser-heated gallium arsenide. II Appl. Phys. 1986. — v. A39. — № 1. — p.p.9−13.
- Tsu R, Baglin J.E., Lasher G.J., Tsang J.C. // In book: Laser-Solid Interactions and Laser Processing. Ed. by Ferris S.D., Leamy H.J., Poate J.M. N.-Y.: A.I.D., 1979. -p.p.623−635.
- Okigawa M., Nakayama Т., Morita K., Itoh N. Dependence of laser-induced damage of surface layers of GaP on pulse width and wavelength. II Appl. Phys. Lett. -1983. v.43. -№ 11.- p.p.1054−1057.
- Okigawa M., Nakayama Т., Takayama K., Itoh N. A new type of laser-induced surface damage of GaAs. И Sol. State Commun. 1984. — v.49. — № 4. — p.p.347−352.
- Inada Т., Tokunaga K., Taka S. Pulsed electron-beam annealing of selenium implanted gallium arsenide. II Appl. Phys. Lett. 1979. — v.35. — № 7. — p.p.546−550.
- Mozzi R.L., Fabian W., Piekarski F.J. Nonalloyed Ohmic contacts to n-GaAs by pulse-electron-beam-annealed selenium implants. II Appl. Phys. Lett. -1979. v.35. — № 4. — p.p.337−339.
- Исследование и разработка технологий электронного отжига имплантированных слоев GaAs для СВЧ полупроводниковых приборов. // Отчёт по НИР НИИПП. Отв. исп-ль Ардышев В. М. Томск, 1982. — 60 с.
- Pianetta Р.А., Stolte С.А., Hansen J.L. Nonalloyed ohmic contacts to electron-beam-annealed Se-ion-implanted GaAs // Appl. Phys. Lett. 1980. — v.36. -№ 7. — p.p.597−560.
- Ardyshev V.M., Verigin A.A., Koval B.A. Pulsed electron-beam-induced change in the structure of GaAs surface .// Energy Pulse Modif. Semiconductors and Related Mater. Proc. Conf. Dresden, 25−28 Sept., 1984. — v.2. — p.p.549−551.
- Bell E.C., Glaccum A.E., Hemment P.L.E., Sealy B.J. Heat treatment of ion implanted GaAs. II Radiat. Eff. 1974. — v.22. — № 4. — p.p.253−258.
- Sealy B.J., Ritchie J.M. A comparison of Si02 and Si3N4 coatings on GaAs using transmission electron microscopy. II Thin Solid Films. 1976. — v.35. — № 1. -p.p.127−130.
- Molnar В. Effect of Heat-Treatment of GaAs Encapsulated by Si02 II J. Electrochem. Soc. 1976. — v.123. — № 5. -p.p.767−771.
- Vaidyanathan K.V., Helix M.J., Wolford D.J., Streetman B.J. Study of Encapsulants for Annealing GaAs. II J. Electrochem. Soc. 1977. — v.124. — № 11. -p.p.1781−1784.
- Inada Т., Miwa H., Kato S., Kabayashi E. Отжиг GaAs после имплантации Se с бескислородным защитным покрытием Si^N^ полученным химическим осаждением из паровой фазы. // J. Appl. Phys. 1978. — v.49. — N28. — р.р.4571−4573.
- Борисенко B.E., Гапоненко Н. В., Носенко А. В. Импульсная термообработка полупроводниковых соединений АзВ5. II Заруб, электрон, техника. 1990. -№ 7. — с.с.3−27.
- Ардышев В.М., Арестова Г. А., Будишевский B.C. Отжиг арсенида галлия, имплантированного кремнием, электронным пучком секундной длительности. II Сб. трудов 6 Всесоюз. совещ. по иссл. GaAs. Томск, 1987. — с.с.55−56.
- Исследование и разработка технологического процесса селективного ионного легирования арсенида галлия для сверхскоростных интегральных схем. / Отчёт по НИР НИИПП. Отв. исп-ль Ардышев В. М. Томск, 1986. — 71 с.
- Shah N.J., Ahmed Н. Activation of low dose implants in GaAs by multiply scanned electron beam. 11 Electron. Lett. 1980. — v. 16. — № 11. — p.p.44−46.
- Винник E.B., Гурошев В. И., Прохорович A.B., Шевелёв М. В. Использование мощного СВЧ-излучения для быстрого отжига арсенида галлия. // Оп-тоэлектрон. и полупров. техника (Киев). 1989. — № 15. — с.с.48−50.
- Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. М.: Наука, 1972. — 384 с.
- Вавилов B.C., Кив А.Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М.: Наука, 1981. — 368 с.
- Винецкий В.А., Холодарь Г. А. Радиационная физика полупроводников. Киев: Наукова думка, 1979. — 336 с.
- Ардышев В.М., Данилина Т. И. Ионная технология в производстве интегральных схем. Томск: Ротапринт ТИАСУРа, 1993. — 70 с.
- Титов В.В. Имплантационное легирование полупроводников. Часть I. П Обзоры по электр. технике. Серия: полупровод, приборы. 1974. — вып. 10 (223). -61 с.
- Lee D. H, Malbon R.M. Ion implanted silicon profiles in GaAs. II Appl. Phys. Lett. 1977. — v.30. — № 7. -p.p.327−331.
- Ардышев B.M., Селиванова B.A., Коротченко O.H., Мамонтов А. П. Способ получения ионно-легированных слоёв на основе разлагающихся соединений GaAs и InP. / Авт. св-во № 235 899 от 01.04.86.
- Бурдовицын В.А. Исследование режимов получения и свойств плёнок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-реактивном распылении.! Автореф. дисс. канд. техн. наук. Томск: ТИАСУР, 1981. — 19 с.
- Крейндель Ю.Е., Лебедева Н. И., Мартене В .Я., Месяц Г. А., Проскуровс-кий Д.И. Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности II Письма в ЖТФ. -1982. вып.23. — № 8. — с.с.1465−1469.
- Алиева Б.С., Тагиров В. И. Об определении глубины залегания примесных уровней в полупроводниках. II ФТП. 1970. — т.4. — № 11. — с.2182−2185.
- Кучис Е.В. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования. — М.: Радио и связь, 1990. 264 с.
- Pauw L .J. van der. A method of measuring specific resistivity and Hall effect of disks of arbitrary shape II Philips Res. Repts. 1958. — v.13. — № 1. — p.p.1−9.
- Емельянов В.И., Кашкаров П. К. Дефектообразование в приповерхностных слоях полупроводников при импульсном лазерном воздействии. II Поверхность. 1990. — № 2. — с.с.77−85.
- Emelyanov V.I., Kashkarov Р.К. Laser-induced defect formation in semiconductors. II Appl. Phys. A. 1992. — v.55. — № 2. -p.p.161−166.
- Ахманов С.А., Емельянов В. И., Коротеев Н. И., Семиногов В. Н. Воздействие мощного лазерного излучения на поверхность полупроводников и металлов: нелинейно-оптические эффекты и нелинейно-оптическая диагностика. IIУФН. 1985. — т.147. — № 4. — с.с.675−745.
- Chiang S.Y., Pearson G.L. 11 J. Appl. Phys. 1975. — v.46. — p.2986−2992.
- Аброян И.А., Андронов A.H., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. М.: Высшая школа, 1984. — 320 с.
- Blackmore G.S. Semiconductor and other major properties of GaAs. II J. Appl. Phys. 1982. — v.53. — № 10. — p.p.R123-R181.
- Буренков A.B., Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Тёмкин М. М. Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей. -Минск: Изд-во БГУ, 1980. -286 с.
- Мейер Дж., Эриксон JL, Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников. М.: Мир, 1973. — 296 с.
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация. / Пер. с англ. под ред. Гусевой М. И. М.: Наука, 1983. — 359 с.
- МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов. / Пер. с англ. под ред. Суриса Р. А. М.: Радио и связь, 1988. — 469 с.
- Liu S.G., Wu С.Р., Magee C.W. / In book: Laser and electron beam processing of materials. New York: Acad. Press, 1980. — p.341−345.
- Kimerling L.C. Electronic stimulation of defect processes in semiconductors. / In book: Defects and radiation effects in semiconductors. Bristol -London, 1978. — p.p.56−73.
- Лаврищев T.T., Хлудков С. С. Диффузия кремния в арсениде галлия. IIВ сб.: Арсенид галлия. Томск: Изд-во ТГУ, 1971. — т.7. — вып.11. — с.2079−2081.
- МакМагон Р.А., Хаско Д. Т., Ахмед X. Электронно-лучевая установка для быстрого изотермического отжига полупроводниковых материалов и приборов. II Приборы для научн. иссл. 1985. — № 6. — с.с.56−58.
- Ion Beam Processing in Advanced Electronic Materials and Device Technology / Ed. by B.R. Appleton, F.H. Eisen, T.W. Sigmon. Pittsburgh, MRS, 1985. -555 p.
- Energy Beam — Solid Interactions and Transient Thermal Processing / Ed. by J.C.C. Fan, N.M. Jonson. New York, North-Holland, 1984. — 401 p.
- Podor В., Nador N. The Lattice Limited Mobility of Electrons in GaAs II ActaPhys. Acad. Sci. Hung. 1974. — v>37. — № 4. — p.317−323.
- Блатт Ф.Д. Теория подвижности электронов в твёрдых телах / Пер. с англ. под ред. Ансельма А. И. М.: Гос. изд-во физ.-мат. лит., 1963. — 224 с.
- Разработка методов электрофизического анализа полупроводниковых структур арсенида галлия / Отчёт по НИР ОКР «11 481». Отв. исп-ли Высоцкий С. А., Рылов A.M. Горький, 1983. — 73 с.
- Weisberg L.R. Anomalous Mobility Effects in Some Semiconductors and Insulators II J. Appl. Phys. 1962.- v.33. — № 5. -p.1817−1820.
- Gossick B. R Disordered Regions in Semiconductors Bombarded by Fast Neutrons //J. Appl. Phys. 1959. — v.30. — № 8. — p.p. 1214−1217.
- Stratton R. Dipole scattering from ion pairs in compensated semiconductors. II The Physics and Chemistry of Solids. 1962. — v.23. — № 7. — p.p. 1011 -1017.
- Технология ионного легирования / Под ред. Намбы С. Токио, 1971. / Пер. с япон. под ред. Павлова П. В. — М.: Сов. радио. — 1974. — 160 с. V
- Rybka V., Cerny F. Processing parameters for the diffusion redistribution of boron and phosphorous implanted in silicon II TESLA electronics. 1978. — № 2. -p.56−59.
- Bakowski A. Methodfor determination of diffusion coefficients from carrier concentration depth profiles in silicon II J. Electrochem. Soc.: Solid-State Science and Technology. 1980. — v. 127. — № 7. — p. 1644−1646.
- Родерик Э.Х. Контакты металл полупроводник. — М.: Радио и связь, 1982.-208 с.
- Ленченко В.М. Об активации смещений при релаксации электронных возбуждений в твёрдых телах. II ФТТ. 1969. — т.11. — № 3. — с.799−801.
- Lang D.V., Kimerling L.C. Observation of recombination enhanced defect reactions in semiconductor. И Phys. Rev. Lett. 1974. — v.33. — № 8. — p.489−491.
- Мильвидский М.Г., Освенский В. Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников. М.: Металлургия, 1984. — 256 с.
- Горелик С.С., Литвинов Ю. М., Постолов В. Г., Приходько А. В. Напряжения в кремние, создаваемые диэлектрическими покрытиями.// Электр, техника. Сер.З. Микроэлектроника. 1985. — вып.4. — с.с.82−87.
- Шур М. Современные приборы на основе арсенида галлия. I Пер. с англ. под ред. Левинштейна М. Е. и Челнокова В. Е. М.: Мир, 1991. — 632 с.
- Smith J. Theory of raman scattering in solid. II Phys. Rev. 1971. — v. B3. -№ 12. — p.p.4330−4337.
- Шалимова K.B. Физика полупроводников. M.: Энергия, 1976. — 416 с.
- Вавилов B.C., Кекелидзе Н. П., Смирнов Л .С. Действие излучений на полупроводники. М.: Наука, 1988. — 192 с.
- Атомная диффузия в полупроводниках. / Под ред. Б.Шоу. М.: Мир, 1975.-405 с.
- Ардышев В.М., Суржиков А. П. Радиационно-термическая активация кремния, имплантированного в арсенид галлия. II ФТП. 1999. — № 6. — с.с.687−690.
- Точечные дефекты в твёрдых телах. / Сб. статей. Пер. с англ. под ред. Болтакса Б. И., Машовец Т. В., Орлова А. Н. М.: Мир, 1979. — 379 с.
- Ардышев В.М., Пешев В. В., Суржиков А. П. Влияние различных видов отжига на свойства ионно-легированных слоев и термическую стабильность полуизолирующего GaAs. ПФХОМ. 1998. — № 3. — с.с.91 — 95.
- Ардышев В.М., Козлова JI.А., Мамонтов А. П. Способ изготовления полупроводниковых структур арсенида галлия. II АС № 1 223 786, зарегестрировано 08.12.1985.