Исследование и разработка конструктивно-технологических методов улучшения параметров силовых планарных МОП транзисторов
Диссертация
Проведен литературный обзор развития технологии SMART POWER 1 4—' ч схем, рассмотрены основные приборы применимые в качестве силового прибора в SMART POWER схемах. Обоснованы преимущества применения в качестве силового элемента планарного МОП транзистора. Указаны недостатки мощного планарного МОП J транзистора. Определены основные направления исследований для решения основной задачи — улучшения… Читать ещё >
Список литературы
- Отчет по НИР НПК ТЦ «Линус-9″, Москва, 1998 г.
- ISE TCAD Manuals. Release 4.1.// Zurich.-Vol/1−6/-1997
- Отчет по НИР НПК ТЦ „Лира-22″, Москва, 2000 г.
- MOS field effect transistors formed by gate masked ion implantation / R.W.Bower, H.G.Dill, K.G.Aubuchon, S.A.Thompson // IEEE Trans. Electron Devices, 1968, vol. ED-15, pp.757−761.
- Hussein Ballan, Michel Declercq „High voltage devices and circuits in standard CMOS technologies“ // Kluwer Academic Publishers, Boston, 1999.
- D.Ueda, H. Tagagi, G. Kano,"An ultra-low on-resistance power MOSFET fabrication by using a fully self-alligned process“, IEEE Trans. Electron Devices, vol. ED-34., pp. 926−930, 1987.
- A complementary pair of high-power MOSFET’s / T. Okabe, I. Yoshida, S. Ochi, M. Nagata // Proc.Int.Electron Devices Meet, 1977, pp.416−419.
- A Complementary Pair of Planar-Power MOSFET’s / T. Okabe, I. Yoshida, S. Ochi, S. Nishida, M. Nagata // IEEE Trans. Electron Devices, 1980, vol. ED-27, N2, pp.334−339.
- N.Fujishima, C.A.Salama, „A trench lateral power MOSFET using self-aligned trench bottom contact holes“,"IEEE Trans. Electron Devices», vol. 7, pp. 14.3.1, 1997.
- M.A. Королев И. А. Шумский. /Интеллектуальные силовые ИС на основе технологии кремний на изоляторе // Известия высших учебных заведений. Электроника. 1998. № 2. стр. 45−49.
- Окснер Э.С. «Мощные полевые транзисторы и их применение» // Радио связь, Москва 1985.
- Известия высших учебных заведений. Электроника. 2001 г. № 3, стр. 91−92/ Исследование влияния структуры пинч-резисторного пассивного канала на параметры МОП-транзисторов интеллектуальных силовых интегральных схем// М. А. Королёв, Р. Д. Тихонов, А. В. Швец.
- М.А.Королёв, Р. Д. Тихонов, А.В.Швец/ Исследование влияния структуры пинч-резисторного пассивного канала на параметры МОП-транзисторов// Известия высших учебных заведений. Электроника. 2001 г. № 3, стр. 91−92
- М.А.Королёв, Р. Д. Тихонов, А.В.Швец/ Исследование влияния длины затвора над активным и пассивным каналами на параметры МОП транзисторов интеллектуальных силовых интегральных схем// Известия высших учебных заведений. Электроника. 2001 г. № 5, стр. 54−58
- М.А.Королёв, Р. Д. Тихонов, А.В.Швец/ Исследование влияния длины затвора над активным и пассивным каналами на параметры мощных МОП транзисторов// Известия высших учебных заведений. Электроника. 2001 г. № 5, стр. 54−58
- М.А Королёв, Р. Д. Тихонов, А.В.Швец/ Самосовмещенная технология силовых МОП транзисторов Тезисы докладов на всероссийской научнотехнической конференции Микро- и наноэлектроника 2001(МНЭ — 2001), Звенигород, октябрь 2001 г.:
- С. Зи/ Физика полупроводниковых приборов// М. Мир. 1985.
- Блихер А./ Физика силовых биполярных и полевых тразисторов// М., Мир, 1986.
- H.Ballan, M. Declercq/ High voltage devices and circuits in standart CMOS technologies// Kluver academic publishers, Boston-London, 1999.
- D.A.Grant, J. Gowar/ Power MOSFETs theory and applications// John Wiley, New York, 1998
- B.J.Baliga / Modern Power Devices// New York: Wiley, 1987.
- A.W.Ludikhuize/ A Versatile 700−1200-V 1С Process for Analog and Switching Applications// IEEE Trans. Electron Devices, vol. 38, № 7, pp. 1582−1589,1991.
- B.J.Baliga / Impact of VLSI technology on Power Devices// New York: Wiley, 1990.
- M.N.Darwish, M.A.Shibib/ Lateral MOS-Gated Power Devices — A Unified View// IEEE Trans. Electron Devices, vol. 38, № 7, pp. 1600−1604, 1991.
- B.J.Baliga / Special Issue on Power and High-Voltage Integrated Circuits// IEEE Trans. Electron Devices, vol. 33, pp. 1933−2045, 1986.
- E.M.S.Narayanan, G.A.J.Amaratunga, W.I.Milne, J.I.Humphrey, Q. Huang / Analysis of CMOS-Compatible Lateral Insulated Base Transistors// IEEE Trans. Electron Devices, vol. 38, № 7, pp. 1624−1632,1991.
- H.Shigekane, T. Hosen, N. Terasawa, K. Kuwabara, Y. Inakoshi/ High power transistor modules with intelligent functions// Proc. Symp. on Power semiconductor Devices and Ics, pp. 150−155,1990.
- B.J.Baliga/ Power semiconductor device figure of merit// IEEE Trans. Electron Device Lett., vol. 10, pp. 455−457,1989.
- В.Поляков, А. Барышников, Д. Панфилов/ Специализированная ИС для управления электронным балластом для люминисцентных ламп// Chip news, № 1,2000.
- M.F.Chang, K. Owyang/ Optimization of BV and RDS-ON by graded doping in LDD and other high voltage ICs// United States Patent, № 5,132,753,21,07,1992.
- Шур М./Физика полупроводниковых приборов// Ленинград, Энергоатомиздат, 1992.
- Bodde M.D./ Silicon planar ACCUFET improved power MOSFET structure// Electron Lett., v.36, № 10, pp.913−915.
- Alok D., Baliga В .J./ High voltage (450 V) 6H-SiC lateral MESFET stracture // Electron Lett., vol.32, № 20, pp.1929−1931,1996.
- Syau Т., Venkatraman P., Baliga B.J./ Extended trench-gate power UMOSFET structure with low specific on-resistance// Electron. Lett., v.28, № 9, pp. 865−867, 1992.
- Ajit J.S., Baliga В J., Tandon S., Reisman A./ The minority carrier injection controlled field-effect transistor (MICFET): a new MOS-gated power transistor structure// IEEE Transection Electron Devices, v.39, № 8, pp. 1954−1960, 1992.
- Baliga В .J./ Power semiconductor devices for variable-frequency drives// Proc. IEEE, v.82, № 8, pp.1112−1122, 1994.
- Бачурин B.B., Садковская E.A., Сопов O.B., Фёдорова Т.И./ Способ изготовления высоковольтных кремниевых приборов// А.с. 1 556 432, СССР, МКИ6 Н 01 L 21/18, 1995.
- Министерство образования Российской Федерации
- Государственное учреждение НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ КОМПЛЕКС
- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР" Московского государственного института электронной техники
- Россия, 124 498, Москва, Зеленоград. Проезд 4806.Д.5, НПКТЦМИЭТ Телефон (095)534−45−21, факс (095)913−21−92 Я E-mail: tc@tcen.ru
- Р/с 40 603 810 600 320 000 000 в АКБ «АВТОБАНК» г. Москва БИК 44 525 774, К/с 30 101 810 100 000 002 048, 4″ ИНН/КПП 7 735 096 460/773501001200г. № 1. На №ото внедрении результатов диссертационной работы
- Швеца Александра Валерьевича
- Исследование и разработка конструктивно-технологических методов улучшенияпараметров силовых планарных МОП транзисторов"
- Благодаря использованным методам самосовмещения в условиях опытногопроизводства НПК ТЦ были изготовлены и исследованы образцы силовых ключей на МОП транзисторах, обладающих повышенным быстродействием.
- К.т.н. с.н.с. НПК «Технологический центр» / /1— Р.Д. Тихонов1. УТВЕРЖДАЮ1. Генеральный директор1. Актоб использовании результатов диссертационной работы Швецаконструктивно-технологических методов улучшения параметров силовых планарных МОП транзисторов".
- Микроэлектроника и твердотельная электроника, 201 900 -Микросистемная техника.