Комплекс методов и средств автоматизации процессов электроискровой подгонки пленочных резисторов
Диссертация
Одним из перспективных методов является электроискровая подгонка (ЭИП), заключающаяся в воздействии на резистор электроискрового разряда. На электроды, один из которых фиксируется на выводе резистора, а другой устанавливается на некотором расстоянии от резистивной пленки, подаются импульсы напряжения, достаточного для пробоя разрядного промежутка. Электроискровой разряд приводит либо к эрозии… Читать ещё >
Список литературы
- Готра З. Ю, Хромяк И. Я., Войтехов А. Н. Подгонка пленочных резисторов интегральных микросхем //Зарубежная электронная техника. — 1985, № 1. -С. 30−74.
- Усышкин A. JL, Рубинов В. И., Яковлев П. А. Импульсная токовая доводка тонкопленочных резисторов //Вопросы радиоэлектроники, сер. «Технология, производство, оборудование». 1975. — Вып. 1. -С. 52.
- Технологический процесс на электроэрозионную подгонку тонкопленочных резисторов на базе серийной установки «Зонд А-5». Учетн. № ВМШ 43.
- Демаков Ю.П., Стерхова JI.A. Электроискровая подгонка толстопленочных резисторов //Электронная обработка материалов. 1984. — № 5. -С.88−90.
- Yoshiaki Taketa and Miyoshi Haradome. High Frequency Discharge Trimming of Ru02 Based Thick-Film Resistors. Part II. Mechanism of Resistance Change //IEEE. Transactions of Parts. Hybrids and packaging. — 1973, v.9, № 2, -P.94 — 104.
- Леухин В.Н. Способы корректировки сопротивления и функциональной характеристики переменных непроволочных резисторов // Технология и Конструирование в электронной аппаратуре. 1992. — Вып.2. — С.52−54.
- Леухин В.Н. Электроискровая корректировка сопротивления толстопленочных переменных резисторов // Технология и конструирование в электроннойф аппаратуре. 1992. — Вып.З. — С.40−43.
- Леухин В.Н. Методы подгонки резистивных элементов в сторону уменьшения сопротивления // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 1992. — Вып.2. — С.47−51.
- Одинцов М.А., Леухин В. Н. Установка подгонки резисторов на подложке из бериллиевой керамики //Вторая Всесоюзная научно-техническая конференция «Технология и конструирование ГИС и вопросы их производства». Часть II. -Ярославль, 1988. С.88−89. .
- Игумнов В.Н. Влияние тепловой и электроискровой обработки на структуру и свойства толстых рутений содержащих слоев: автореф. дис. канд. физ.-мат. наук. Ижевск, 1989. — 28 с.
- П.Стерхова А. В. Математическое моделирование механизмов электропроводности толстых резистивных пленок //Проектирование и технология электронных средств. 2001. — № 2. — С.6−7.
- Н.Игумнов В. Н., Усков В. А. Процессы электроискровой обработки толстых рутенийсодержащих слоев // Новые материалы и технологические процессы микроэлектроники и прецизионной металлургии: Тезисы докладов Ижевск, 1988.-С. 45−47.
- Стерхова JI.A. Влияние электроискровой обработки на электрофизические характеристики толстых серебропалладиевых резистивных пленок: Автореф. дис.-Ижевск, 1987. -23 с.
- Гауе О.П., Семенова Т. И., Курной А. П. Подгонка сопротивления толстопленочных резисторов методом электроискровой обработки. Томск: ТИАСУР, 1988. — Деп. в Информ. приборе 10.01.89, № 4478.
- Леухин В.Н. Выбор режимов электроискровой подгонки толстопленочных резисторов // Техника средств связи сер.ТПО. 1990. Вып.2. — С. 36−45.
- Демаков Ю.П., Лекомцев В. В., Стерхова Л. А. Влияние электроискрового воздействия на характеристики толстопленочных резисторов //Физика и электроника твердого тела. Ижевск, 1982 — Вып. 5. — С. 169−176.
- Стерхова Л.А. Исследование режимов электроискровой подгонки толстопленочных резисторов // Электронная обработка материалов. 1988.- № 1. С. 5−7.
- Игумнов В.Н., Одинцов М. А., Усков В. А. Влияние электроэрозионной обработки на структуру и свойства резистивного материала //Электронная обработка материалов. 1989. — № 5. — С. 81−82.
- Жарков П.Н. Сочетание электроискровой и лазерной подгонки снижает брак при изготовлении толстопленочных резисторов //Техника средств связи, сер. ТПО. 1990. — Вып. 2. — С. 91−93.
- Жарков П.Н. Исследование совместных термических электрических и лазерных воздействий при подгонке серебропалладиевых резисторов в многослойных толстопленочных структурах: Автореф. дис. Ижевск, 1993. -20 с.
- Одинцов М.А., Леухин В. Н., Игумнов В. Н. Установки электроискровой подгонки толстопленочных резисторов //Техника средств связи, сер. ТПО.1990. Вып. 1. — С.83−86.
- Одинцов М.А., Леухин В. Н., Игумнов В. Н. Установка электроискровой подгонки резистивных элементов «Искра-5» // Электронная промышленность.- 1989. Вып.8.-С. 56.
- Установка электроискровой подгонки резисторов «Искра-5″. Инф. листок № 237−88 МарЦНТИ /Сост. В. Н. Леухин, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов. -Йошкар-Ола, 1988.
- Автоматическая электроискровая настройка тонкопленочных резисторов. Heinz Borner, Dieter Pforte /Automatischer funkenerosiver Abgleich von Dunnschichtwiderstanden //Radio fernsehen Elektronik 1979, 28, nl 1. — P. 92−694.
- Савов Т.Д., Савова Ц. В., Фиминов Ф. И. Автоматизироване на установка за электроискрово настройване на резистори в хибридни интегрални схем чрез микропроцессорна система М6800 // Тродове институт микроэлектронике: Сб. 1982. 8. С. 279−284.
- А.с. 2 012 936 СССР, МКИ, НО 1С 17/22 Устройство для подгонки резисторов / М. Н. Пиганов, В. Г. Шопин, В. К. Буянов, Н. И. Буров.
- А.С. 2 063 082 СССР, МКИ Н01С. Устройство для подгонки резисторов / М. Н. Пиганов и др.
- А.С. 1 623 482 СССР, МКИ Н01С 17/24. Способ подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов / М. Н. Пиганов, Н. И. Буров, Н. Г. Чернобровкин, В. К. Буянов.
- А.с. 1 327 724 СССР, МКИ, НО 1С 17/00. Способ электроискровой подгонки толстопленочных резисторов в номинал. / JT.A. Стерхова и JI.H. Жарков.
- А.с. 16 774 634 СССР, МКИ, НО 1С 17/00. Устройство для подгонки ТПР. / П. Н. Жарков, JI.A. Стерхова, Г. А. Петухов, В. А. Стерхов, С. В. Худосов.
- А.с. 1 155 109 СССР, МПК Н01С 17/00 Способ индивидуальной подгонки резисторов в номинал / JI.A. Стерхова.
- А.с. 1 662 274 СССР, МКИ, НО 1С 17/26. Устройство для подгонки величины сопротивления ТПР / П. О. Гауе, Т. Н. Семенова, А. П. Курной.
- А.с. 1 419 378 СССР, МКИ Н01 17/22. Устройство для подгонки сопротивления пленочных резисторов / В. К. Смирнов, В. М. Горский.
- А.с. 1 468 287 СССР, МКИ, НО 1С. Устройство для подгонки величины сопротивления в номинал / И. О. Гауе, В. М. Ковин, Т. И. Семенова.
- А.с. 1 738 009 СССР, МКИ Н01С. Способ изготовления толстопленочных резисторов / В. Н. Игумнов, М. А. Одинцов, В. А. Усков, В. Н. Леухин .
- А.с. 1 482 462 СССР МКИ, НО 1С. Устройство для подгонки пленочных резисторов /В.Н.Леухин, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов, С. В. Смоленцев.
- А.с. 1 344 133 СССР, МКИ Н01С 17/00. Способ изготовления толстопленочных резисторов / Л. А. Стерхова, В. В. Юзвяк и В. В. Желтышев.
- А.с. 1 402 171 СССР, МКИ, НО 1С 17/26. Устройство для подгонки толстопленочных резисторов. / Ю. П. Демаков, А. А. Зотов., В. Н. Шихирин и Ю. В. Кашин.
- А.с. 1 385 888 СССР, МКИ Н01С 17/26. Устройство для подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов / А. А. Зотов и Ю. П. Демаков.
- А.с. 1 482 462 СССР, МКИ Н01С 17/24. Устройство для подгонки пленочных резисторов / В. Н. Леухин, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов, С. В. Смоленцев.
- А.с. 1 494 795 СССР, МКИ Н01С. Устройство для подгонки толстопленочных резисторов /В.Н. Леухин, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов, А. В. Москвичев.
- А.с. 1 562 282 СССР, МКИ, НО 1С. Устройство для подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов /В.Н. Леухин, С. А. Журавлев.
- А.с. 1 598 731 СССР, МКИ, НО 1С. Способ подгонки пленочных резисторов /В.Н. Леухин, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов.
- Медведь О.Е., Яковлев Я. В. Лазерная подгонка толстопленочных рутениевых резисторов //Приборы и системы управления. -1985. № 1.
- Пиганов М.Н. Исследование взаимодействия факельного разряда с толстой пленкой // Реконструктивная томография: Сб. науч. трудов. Куйбышев /КуАИ. — 1987.-С. 88−91.
- Гловацкая А.П. Методы и алгоритмы вычислительной математики: Учеб. пособие для вузов. М.: Радио и связь. — 1999. — 408 е.: ил.
- Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс: Пер. с англ. М.: Радио исвязь, 1988. 128 е.: ил.
- Хофер Э., Лундерштедт Р. Численные методы оптимизации: Пер. с нем. /Пер. Л
- Т.А. Летова- Под ред. В. В. Семенова М.: Машиностроение. — 1981, 192 е.: ил.
- Глудкин О.П., Обичкин Ю. Г., Блохин В. Г. Статистические методы в технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. /Под ред. В. Н. Черняева. М.: Энергия,. 1977. — 296 е.: ил.
- Численные методы условной оптимизации / Под ред. Ф. Гилла, У. Мюррэя. -М.: Мир, 1977. -290 с.
- Гаскаров Д.В., Дахнович А.А Оптимизация технологических процессов в Ф производстве электронных приборов: Учеб. пособие для студентов вузов спец.
- Промышленная электроника». -М.: Высш. шк., 1986. 191 е.: ил.
- Александровский Н.М. и др. Адаптивные системы автоматического управления сложными технологическими процессами / Под общей ред. Н. М. Александровского. -М.: Энергия, 1973. 272 е.: ил.
- Самойленко В.И., Слепушкина О. А. Адаптивные радиоэлектронные системы: Учебное пособие. -М.: МАИ, 1986. -54 е.: ил.
- Цыпкин ЯЗ. Адаптация и обучение в автоматических системах -М.: * Наука, 1968.- 400 с.: ил.
- Чабдаров Ш. М., Леухин В. Н. Оптимизация процесса электроискровой подгонки резисторов с использованием моделей автоматического регулирования // Вопросы специальной радиоэлектроники. Сер. РЛТ. 1992. — Вып.2. — С. 37−39.
- Александров А.Г. Оптимальные и адаптивные системы: Учеб. пособие для вузов. -М.: Высш. шк., 1989. 263 е.: ил.
- Шумилин А.С., Михайлов Д. Г. Анализ дефектности плоских резистивных слоев интегральных микросхем. //Вопросы радиоэлектроники, сер. ТПО. 1983. — Вып.1.-С. 32−35.
- Мартюшов К.И., Зайцев Ю. В., Тихонов А. И. Методы расчета резисторов. М.: Энергия, 1971. -208 с.
- Фукс Б.А., Шабат Б. В. Функции комплексного переменного и некоторые приложения. М.: Наука, 1964. -433 с.
- Леухин В.Н. Построение модели взаимодействия электроискрового разряда с пленочной структурой // Тонкие пленки в электронике: Материалы 7 международного симпозиума. Москва — Йошкар-Ола, 1996. — С. 305−308.
- A. Hofmann. Dostavovani vrstvovych odporu metodou pricnych rezu //Sdelovaci technica. 4/1974. P.135.
- Нереттер В. Расчет электрических цепей на персональной ЭВМ: Пер. с нем. -М.: Энергоатомиздат, 1991. — 220 е.: ил.
- Установка для корректировки сопротивления толстопленочных переменных резисторов: Инф.л. № 90−4 МарЦНТИ /Сост. В. Н. Леухин. Йошкар-Ола, 1990.
- Установка электроискровой подгонки резисторов «Импульс»: Инф.л. № 66−90 Мар. ЦНТИ /Сост. С. А. Журавлев, В. Н. Леухин, М. А. Одинцов, В. М. Шарапов. -Йошкар-Ола, 1990.
- Леухин В.Н., Сухов A.M. Установка электроискровой подгонки резисторов «Искра-5М»: Инф. листок № 19−00 МарЦНТИ. Йошкар-Ола, 2000.
- А.с. 1 760 895 СССР, МКИ, НО 1С. Устройство для подгонки сопротивления толстопленочных резисторов на подложке / В. И. Митрофанов, С. В. Смоленцев, М. А. Одинцов, В. Н. Игумнов, В. Н. Леухин.
- А.с. 1 729 233 СССР, МКИ, НО 1С. Устройство для корректировки сопротивлений толстопленочных переменных резисторов /В.Н.Леухин.
- Леухин В.Н. Влияние электроискрового разряда на структуру толстопленочных резистивных пленок. // Тонкие пленки в электронике: V международная научно-техническая конференция. Москва — Йошкар-Ола, 1994. С.119−125.
- Леухин В.Н., Сухов A.M. Основные требования к автоматизации процессов электроискровой подгонки // Тр. науч. конф. по итогам науч.-исслед. работ,
- Йошкар-Ола, 25 марта 1999 /Map. гос. техн. ун-т. Йошкар-Ола. — 1999. — С. 27−31. — Деп. в ВИНИТИ 28.10.99 № 3205В99.
- CS101A/CS5102A 16-bit, 100 kHz / 20 kHz A/D Converters // DS45F2. Cirrus Logic, Inc. Crystal Semiconductor Products Division. 1997. — 47 p.
- Пейтон А.Дж., Волш В. Аналоговая электроника на операционных усилителях М.: БИНОМ, 1994. — 352 е.: ил.
- Аш Ж. и др. Датчики измерительных систем: В 2-х кн. Кн. 1: Пер. с франц. -М.: Мир, 1992.-480 е., ил.
- Пиотровский Я. Теория измерений для инженеров: Пер. с польск. -М.: Мир, 1989. -335 е., ил.
- Муке Predko. Programming and Customising the 8051 Microcontroller. McGraw-Hill, 1999.
- Новочеркасск: НАБЛА, 2001. С. 40.
- Опыт применения автоматизированной системы для исследования режимов электроискровой подгонки // Труды научно-методической конф. МарГТУ, 2001.-С. 60−67. Деп. в ВИНИТИ 29.11.01 № 163−235/2001.
- Сухов A.M., Леухин В. Н. Автоматизированная система подгонки пленочных резисторов // Проектирование и технология электронных средств. 2002. — № 2. — С. 55−61.
- Игумнов В. Н, Одинцов М. А., Яблоков Ю. А., Митрофанов В. И. Электроимпульсная юстировка толстопленочных резисторов на основе рутения // Физические и технологические основы микроэлектроники: Региональная научно-техническая конференция. Йошкар-Ола, 1989.
- Игумнов В.Н., Одинцов М. А., Усков В. А. Деградация параметров толстопленочных резистивных элементов после электроискровой обработки //Низкотемпературные технологические процессы в электронике: Тезисы докладов. Ижевск, 1990. — С. 118.
- Леухин В.Н. Исследование влияния разрядной среды на показатели электроискровой подгонки // Сборник научных работ к 125-летию Русского технического общества. Йошкар-Ола, 1991. — С. 14−15.
- Демаков Ю.П., Стерхова Л. А., Стерхов В. А. Прогнозирование постепенных отказов толстопленочных резисторов, подвергнутых электроискровойподгонке // Испытания и защита радиоаппаратуры: Межвузовский сборник. -М.: 1983.-С. 113−120.
- Филатов В.П. Влияние повышенного напряжения на электрические параметры толстопленочных резисторов на основе серебра и палладия //Электронная техника, сер. 5. 1976. — Вып. 1. — С. 26.
- Филатов В.Н., Сушка Ж. В., Пчелкин Ю. В. Исследование влияния электроимпульсного метода подгонки толстопленочных резисторов на их стабильность //Техника средств связи, сер. ТПО. 1978. — Вып. 2. — С. 19−25.
- Colin Marshall. Temperature Coefficients of Resistance: A New Approach //IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology, Vol. CHMT-2, N0.2, June 1979, — P. 265 269.
- Рогов B.H., Григорьев О. В. Методы и средства измерения температурной зависимости сопротивления керметных резисторов. ДР 3372 пр. деп. в библ. указателе ВИНИТИ «Депонированные НИР», № 1 1, 1986, -С. 125.
- Гауе П.О., Семенова Т. И., Иванчик А. В. Возможность использования элементов температурной зависимости (ТЗС) в качестве высокоинформативных параметров надежности керметных пленочных резисторов. Деп. в ВИНИТИ, № ДР 4477, 1989.
- Леухин В.Н. Зависимость стабильности сопротивления толстопленочных резисторов от условий электроискровой подгонки // Техника средств связи, сер. ТПО. 1991. — Вып.2. — С. 41−48.
- Сухов A.M. Результаты исследования электроискровой обработки рутениевых резистивных пленок // Тонкие пленки в электронике и оптике. Ч. 1: Сборник докладов 14-го Междунар. симпозиума. Харьков: ННЦ ХФТИ, ИПЦ «Контраст», 2002. — С.256.
- Сухов A.M., Грачев А. В. Исследование процессов электроискровой подгонки резисторов // Материалы 54-й межвуз. Студ. науч.-технич. конф. (Йошкар-Ола, 16−26 апр 2001 г.). Вып. 9. -Йошкар-Ола, 2001,-С.325.
- Климов А.К., Лопухин В. А., Шеханов Ю. Ф. Регулировка электронной аппаратуры в микроэлектронном исполнении Л.: Энергоатомиздат, 1983. -94 с.
- Гурский Л.И., Зеленин В. А., Жебин А. П., Вахрин Г. Л. Структура, топология и свойства пленочных резисторов. Минск: Наука и техника, 1987. 264 с.
- ЮбГКушенко Е. И. Автоматизированная система контроля и токовой подгонки резисторов толстопленочных ГИС //Электронная промышленность, 1981. -Вып. 3. С. 42.
- Волков А.В., Пиганов М. Н. Подгонка сопротивления резисторов методом факельного разряда // Техника средств связи, сер. ТПО. 1985. — Вып. 2. -С. 29−35.
- Пиганов М.Н., Буров Н. И., Лофицкий И. В. Автоматизированная установка для подгонки толстопленочных резисторов // Техника средств связи, сер. ТПО.- 1989. Вып. 2.-С. 50−53.
- Резисторы: Справочник /В.В. Дубровский, Д. М. Иванов, И. Я. Протусечвич и др.- Под ред. И. И. Четверткова. и В. М. Терехова. -М.: Радио и связь, 1991.- 528 с.
- Технология и автоматизация производства радиоэлектронной аппаратуры /И.П. Бушминский, О. Ш. Даутов, А. П. Достанко и др.- Под ред. А. П. Достанко, Ш. М. Чабдарова. М.: Радио и связь, 1989. — 624 с.
- Основы научных исследований / Под ред. В. И. Крутова, В. В. Попова. М.: Высшая школа, 1989. — 400 с.
- Новицкий П.В., Зограф И. А. Оценка погрешностей результатов измерений. -Л.: Энергоатомиздат, 1991.-304 с.
- Пытьев Ю.П. Математические методы интерпретации эксперимента М.: Высш. шк., 1989.-351 с.
- Тихонов А.Н., Уфимцев М. В. Статистическая обработка результатов экспериментов: М.: Изд-во Моск. ун-та, 1988. — 174 с.
- Свешников А.А. Основы теории ошибок — Л.: Изд-во Ленингр. ун-та, 1972. 12 с.
- Сухов A.M., Ахматаев А. В. Программно-аппаратный комплекс для измерения температурного коэффициента сопротивления резисторов. // Измерение, контроль, информатизация: Материалы междунар. науч.-техн. конф. Барнаул: АГТУ, 2000. — С. 205.
- Леухин В.Н., Сальников В. К. Автоматизированный комплекс для исследования процесса электроискровой подгонки резисторов // Планирование и автоматизация эксперимента в научных исследованиях: IX Всесоюз. конф. -М.:, МЭИ, 1989.-С. 89.
- Резисторные и конденсаторные микросборки /Ю.В. Зайцев, А. Т. Самсонов, Н. М. Решетников и др. -М.: Радио и связь, 1991. -200 е.: ил.
- Гончаров В.Д., Одинцов М. А., Леухин В. Н. Обеспечение точности резисторов микросборок электроискровой подгонкой // Состояние и перспективы развития основных направлений радиотехнологии и спецмашиностроения, Казань. 1989.-С. 167−169.
- Леухин В.Н., Соколов А. В. Многоканальный автоматизированный комплекс для исследования временной нестабильности сопротивления резисторов // Микропроцессорные системы автоматики: 11 Всесоюзная науч.-техн. конф.: Новосибирск, 1990.-С. 229−230.
- Захаров Ю.В., Леухин В. Н. Построение физической и математической модели процесса электроискровой подгонки резисторов // Электронная техника, сер.8. 1991. — Вып.З. — С. 39−43.
- Леухин В.Н. Оптимизация процесса электроискровой подгонки резистивных элементов по критериям точности и производительности // Сборник научных работ к 125-летию Русского технического общества. Йошкар-Ола, 1991. — С. 25−27.
- Леухин В.Н. Построение модели измерительной системы установок подгонки резисторов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. 1993. — Вып.1. — С.45−49.
- Электронный коммутатор-компаратор: Информационный листок № 60−99 МарЦНТИ /Сост. В. Н. Леухин, Е. В. Головин. Йошкар-Ола, 1999.
- Пат. 2 158 979 РФ, МКИ Н01С. Способ подгонки толстопленочных резисторов /В.Н.Леухин.
- Леухин В.Н., Сухов A.M. Исследование возможности применения электроискровой подгонки для тонкопленочных резистивных элементов // Тонкие пленки в электронике: 11 междунар. науч.-техн. конф. Йошкар-Ола, 2000. — С. 39−40.
- Сухов A.M. Автоматизированная установка экспресс-оценки ТКС резисторов // Труды научно-методической конф. МарГТУ, 2001. -С. 27−29. Деп. в ВИНИТИ 29.1 1.01 № 163−235/2001.
- Сухов A.M., Леухин В. Н. Повышение показателей электроискровой подгонки пленочных резисторов // Труды научно-методической конф. МарГТУ, 2001. -С. 68−78. Деп. в ВИНИТИ 29.1'1.01 № 163−235/2001.
- Сухов A.M. Способы повышения производительности и точности подгонки резисторов электроискровым методом / Map. гос. техн. ун-т. Йошкар-Ола, 2002.-11 е.: ил.-Деп. в ВИНИТИ 28.01.02, № 149-В2002.
- Пат. 2 185 674 РФ, МКИ HOIC. Способ подгонки величины сопротивления толстопленочных резисторов и устройство для его осуществления / В. Н. Леухин, А. М Сухов.
- Пат. 2 190 273 РФ, МКИ HOIC. Способ подгонки величины сопротивления пленочных резисторов / В. Н. Леухин, А. М Сухов.
- Пат. 2 190 274 РФ, МКИ, НО 1С. Способ электроискровой подгонки пленочных резисторов / A.M. Сухов.
- Пат. 2 199 756 РФ, МКИ Н01С. Способ корректировки характеристики датчика угла поворота резисторного типа /В.Н.Леухин, А. М. Сухов, 1. A.В. Ахматаев.
- Исследование процесса электроискровой подгонки резисторов: Методические указания к выполнению лабораторной работы /Сост.
- B.Н. Леухин, А. М. Сухов. Йошкар-Ола: МарГТУ, 2002. — 15с.