Исследование процесса окисления наноразмерных слоев меди
Диссертация
Выяснены кинетические закономерности процессов в слоях меди различной толщины ((1=1−112 нм) в процессе термической обработки при разных температурах, оценены формальные кинетические параметры. Установлено, что лимитирующей стадией процесса окисления слоев меди является диффузия катионов меди к нейтральному центру. Предложена модель, объясняющая наблюдаемые закономерности. Установлено, что… Читать ещё >
Список литературы
- Томашов, H.Д. Теория коррозии и защиты металлов. — М.: Изд-во АН СССР, 1960.-592 с.
- Бахвалов, Г. Т. Защита металлов от коррозии. М.: Металлургия, 1964. -288 с.
- Стриха, В.И. Физические основы надежности контактов металл-полупроводник в интегральной электронике / В. И. Стриха, Е. В. Бузанева. М.: Радио и связь, 1987. — 254 с.
- Спиридонов, A.B. Современное состояние и перспективы совершенствования светопрозрачных ограждений // Строительные материалы. 1998. — № 7. — С. 4−6.
- Индутный, И.З. Фотостимулированные взаимодействия в структурах металл полупроводник / И. З. Индутный, М. Т. Костышин, О. П. Касярум, В. И. Минько, Е. В. Михайловская, П. Ф. Романенко. — Киев: Наукова думка, 1992. — 240 с.
- Суровой, Э.П. Фотолиз гетеросистем «азид свинца кадмий» / Э. П. Суровой, JI.H. Бугерко, C.B. Расматова // Известия ТПУ. — 2004. — Т. 307,-№ 2.-С. 95−99.
- Титов, И. В. Контактная разность потенциалов для азидов свинца, серебра и таллия / И. В. Титов, Э. П. Суровой, J1. Н. Бугерко // Известия ТПУ. 2005. — Т. 308. — № 2. — С. 79−83.
- Титов, И. В. Исследование состояния поверхности азидов свинца, серебра и таллия в процессе фотолиза методом КРП. / И. В. Титов, Э. П. Суровой, JL Н. Бугерко // Материаловедение. 2005. — № 7. — С. 15−20.
- Бескислородная медь / под ред. A.A. Преснякова. Алма-Ата: Наука, 1985, — 136 с.
- Технология тонких пленок / под ред. JI. Майссела, Р. Гленга. М.: Советское радио. Т. 1. 1977. — 664 с.
- Минайчев, В.Е. Нанесение пленок в вакууме. М.: Высшая школа, 1989, — 110 с.
- Лазарев, В.Б. Химические и физические свойства простых оксидов металлов / В. Б. Лазарев, В. В. Соболев, И. С. Шаплыгин. М.: Наука, 1983.-239 с.
- Вертопрахов, В.Н. Термостимулированные токи в неорганических веществах / В. Н. Вертопрахов, Е. Г. Сальман. Новосибирск: Наука, 1979.-336 с.
- Ettema, A. R. Н. F. Dipole-allowed generation of the yellow-series excitons in Cu20 due to an applied electric field / A. R. H. F. Ettema, J. Versluis // Phisical review В 2003 — V.68. — P.868−871.
- Кофстад, П. Отклонение от стехиоометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах. М.: Мир, 1975. — 396 с.
- Кофстад, П. Высокотемпературное окисление металлов. М.: Мир, 1969.-392 с.
- Хауфе, К. Реакции в твердых телах и на их поверхности. М.: Иностр. лит-ра, 1962.-415 с.
- Окисление металлов / под ред. Ж. Бернара. М.: «Металлургия». Т.1. 1969.-444 с.
- Волькенштейн, Ф. Ф. Физико-химия поверхности полупроводников. -М.: Наука, 1973.-399 с.
- Мейкляр, П. В. Физические процессы при образовании скрытого фотографического изображения. -М.: Наука, 1972. 399 с.
- Литовченко, В.Г. // Сб. «Поверхностные свойства полупроводников». Изд. АН СССР, 1962. С. 147−157.
- Тагильцев, К. М. Улучшенный кварцевый генератор на логических ИМС // Радио. 1992. — № 9. — С. 42.
- Adegboyega, G. A. Oxidation-induced changes in the electro-optical properties of thin copper films // II Nuovo Cimento D. 1989. — У.11. — № 7.-P. 969−979.
- Lee, S.M. Scanning tunneling microscopy characterization of the surface morphology of copper films grown on mica and quartz / S.M. Lee, J. Krim // Thin Solid Films. 2005. — V.489. — P. 325−329
- Zhu, Y. The effect of impurities on the formation of the inner porous layer in the Cu20 scale during copper oxidation / Y. Zhu, K. Mimura, M. Isshiki // Oxidation of Metals. -2004. -V.61. -Nos. ¾. P. 293−301.
- Richardson, T.J. Electrochromism in copper oxide thin films / T.J. Richardson, J.L. Slack, M.D. Rubin // 4th International Meeting on Electrochromism. 2000. — P. 298−304.
- Brown, K.E.R. Electrochemical synthesis and characterization of transparent nanocrystalline Cu20 films and their conversion to CuO films / K.E.R. Brown, K.-S. Choi // Chem. Commun. 2006. — P. 3311−3313.
- Akan, T. Variation in thickness of copper films deposited at various distances and angles using the thermionic vacuum arc / T. Akan, N. Ekem // Turk J Phys. 2003. — V.27. — P. 219−224.
- Papadimitropoulos, G. Deposition and characterization of copper oxide thin films / G. Papadimitropoulos, N. Vourdas, V.Em. Vamvakas, D. Davazoglou //Journal of Physics: Conference Series. -2005. V.10. — P. 182−185.
- Roy, S.K. A critical analysis of Mott-cabrera's equation in the low temperature oxidation of copper and its alloys / S.K. Roy, S.C. Sircar // Journal of Electrochem Soc. 1981. — V.30(2). — P. 179−191.
- Roy, S.K. A critical appraisal of logarithmic law in the thin film formation of copper and its alloys / S.K. Roy, S.C. Sircar // Oxidation of Metals. 1981. -V.15. -P. 9−16.
- O’Reilly, M. Investigation of the oxidation behaviour of thin film and bulk copper / M. O’Reilly, X. Jiang, J.T. Beechinor, S. Lynch, C.N. Dheasuna, J.C. Patterson, G.M. Crean // Applied Surface Science. 1991. — V.91. -P. 152−156.
- Njeh, A. Reflectometry studies of the oxidation kinetics of thin copper films / A. Njeh, T. Wieder, H. Fuess // Surf. Interface Anal. 2002. — V.33. — P. 626−628.
- Zhou, G. Self-assembly of metal-oxide nanostructures: oxidation of Cu films by In situ UHV-TEM / G. Zhou, J.C. Yang // Materials at high temperatures. 2003. — V.20(3). — P. 247−252
- Rauh, M. The oxidation kinetics of thin copper films studied by resistivity measurements / M. Rauh, H.-U Finzela, P. Wibmann // A Journal of physical sciences. 1999. — V.54. — № 2. — P. 117−123.
- Zhou, G. Dynamics of copper oxidation investigated by in situ UHV-TEM // Dissertation. Doctor of Philosophy degree. University of Pittsburgh, 2003.- 146 p.
- Koffyberg, F.P. A photoelectrochemical determination of the position of the conduction and valence band edges of p-type CuO / F.P. Koffyberg, F.A. Benko // J. Appl. Phys. 1982. — Y.53. — P. 1173−1182.
- Marabelli F. Optical gap of CuO / F. Marabelli, G.B. Parravicini, F. Salghetti-Drioli // Physical review B. 1995. — V.52. — № 3. — P. 1433−1436.
- Титов, И.В. Изучение состояния поверхности материалов модифицированным методом Кельвина // В мат. 11 Всероссийской конф. «Материаловедение, технологии и экология в третьем тысячелетиии». Томск, 2003. — С. 98−100
- Титов, И.В. Термохромный эффект в гетероструктурах WOз(MoOз)-мeтaлл / И. В. Титов, Н. В. Борисова // В мат. международной научно-практической конф. «Химия XXI век: новые технологии, новые продукты». — Кемерово, 2004. — С. 176−178.
- Титов, И.В. Изучение оптических свойств систем на основе триоксидов молибдена и вольфрама / И. В. Титов, Н. В. Борисова, C.B. Бин // В сб. мат. Международной научной конференции «Молодежь и химия». -Красноярск, 2004. С. 246−248.
- Титов, И.В. Влияние светового воздействия на системы на основе Мо03 / И. В. Титов, М. С. Куксова, Н. В. Борисова, C.B. Расматова // В сб. мат. XXXII апрельской конференции студентов и молодых ученых КемГУ. -Кемерово, 2005. С. 245−247.
- Титов, И.В. Исследование изменения оптических свойств медных пленок после теплового воздействия / И. В. Титов, Н. В. Борисова, М.Н.
- Титов, И.В. Влияние светового излучения на системы «W03-Cu» / И. В. Титов, Э. П. Суровой, Н. В. Борисова // В сб. трудов VIII Международной научно-практической конференции «Химия-ХХ1 век: новые технологии, новые продукты». Кемерово, 2005. — С. 179−181.
- Титов, И.В. Закономерности изменения свойств пленок меди в процессе термообработки / И. В. Титов, Э. П. Суровой, Н. В. Борисова // Известия ТПУ. 2006. Т. 309. — № 1. — С. 86−90.
- Титов, И.В. Исследование отражательной способности систем на основе Мо03 / И. В. Титов, М. С. Куксова, Н. В. Борисова // В сб. материалов
- Всероссийской научной конференции молодых ученых «Наука. Технологии. Инновации». Новосибирск, 2006. — С. 115−117.
- Титов, И.В. Исследование изменения оптических свойств многослойных систем Си W03 — Си — W03 в результате светового воздействия / И. В. Титов, Ю. Ю. Сорокина, Н. В. Борисова // В сб. мат. I
- XXXIII) Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Образование, наука, инновации вклад молодых исследователей». — Кемерово, 2006. — С. 237−240.
- Титов, И.В. Создание систем, чувствительных к тепловому воздействию / И. В. Титов, Н. В. Борисова // В сб. мат. Международной конференции молодых ученых по фундаментальным наукам «Ломоносов 2006». Химия. — Москва, 2006. — Т.2. — С. 67.
- Титов, И.В. Влияние термообработки (473 К) на системы WO3 Си / И. В. Титов, Э. П. Суровой, Н. В. Борисова // В сб. трудов IX Международной научно-практической конференции «Химия-ХХ1 век: новые технологии, новые продукты». — Кемерово, 2006. — С. 66−69.
- Титов, И.В. Формирование систем «медь оксид меди (I)» в процессе термической обработки пленок меди / И. В. Титов, Э. П. Суровой, Н. В. Борисова // Материаловедение. — 2006. — № 7. — С. 16−20.
- Titov, I.V. Investigation of energy action influence on W03 (M0O3) metal system / I.V. Titov, E.P. Surovoi, N.V. Borisova // Известия высших учебных заведений. Физика. — 2006. — № 10. — Приложение. — С. 338−340.