Граничные эффекты емкостного высокочастотного разряда
Диссертация
Для исследованных симметричных ЕВЧР в Не и воздухе оценками установлено, что ~ 32 ~ уеа, поэтому развитие ППН затруднено, что подтверждается слабым обогащением полученных ЭЭС плазмы высокоэнерге-тичными электронами. Обнаружено, что в ЕВЧР в Хе при V, <600 В электронный спектр аномально обогащен «быстрыми» частицами, а при У> 600 В их число быстро уменьшается. Такое поведение ЭЭС обусловлено… Читать ещё >
Список литературы
- Chapman В. Glow discharge process-sputtering and plasma etching. N. Y.: Willey-1.terscience. 1980.
- Иванов И. Г., Латуш Е. Л., Сэм М. Ф. Ионные лазеры на парах металлов. М.: Энергоатомиздат. 1990.
- Химия плазмы: Сб. статей. Вып. 13./ под ред. Б. М. Смирнова. М.: Энерго атомиздат. 1987.
- Грановский В. Л. Электрический ток в газе. М.: ГИТТЛ, 1952 с. 543.
- Голубев B.C., Пашкин C.B. Тлеющий разряд повышенного давления. М.: Наука, 1990, 334 с.
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1992, 536 с.
- Левитский С. М. Исследование потенциала зажигания ВЧ разряда в газе в переходной области частот и давлений ЖТФ, 1957, т.27, в.5, с. 970- 977.
- Левитский С. М. Потенциал пространства и распыление электродов в вы сокочастотном разряде. ЖТФ, 1957, т. 27, в. 5, с. 1001−1009
- Райзер Ю. П., Шнейдер M. Н., Яценко Н. А. Высокочастотный емкостный разряд. М.: Наука, 1995. 310 с.
- Смирнов А. С., Орлов К. Е. Самосогласованная модель высокочастотного емкостного разряда низкого давления. Письма в ЖТФ, 1997. т. 23 с. 39−45
- Липатов Н. И., Пашинин П. П., Прохоров А. М., Юров В. Ю. Особенно сти капилллярных разрядов волноводных газоразрядных лазеров. Труды ИОФАН. 1989. т. 17 с. 53−116.
- Латуш Е. Л., Михалевский В. С.,Сэм М. Ф., Толмачев Г. Н., Хасилев В. Я. Генерация на ионных переходах металлов при поперечном ВЧ возбужде нии. Письма в ЖЭТФ, 1976, т. 24, с. 81−83.
- Технология СБИС. т. 1, 2./ под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986.
- Плазменная технология в производстве СБИС/ под ред. Н. Айнспрука и Д. Брауна. М.: Мир, 1987, с. 470.304
- Френсис Г. Ионизационные явления в газах. М.:Атомиздат, 1964, с. 302.
- Kojima S., Takayama К., Schimachi S. Probe measurements for high-frequency discharge. J.Phys. Soc. Jap. 1953. V. 8. P. 55.
- Солнцев Г. С., Порохин А. Г., Чистякова Н. М. Измерение электриче ских полей в высокочастотном разряде низкого давления с помощью электронного пучка. Изв. АН СССР. Сер.Физ.1959.т.23 с.1026−1030.
- Савинов В.П. Исследование механизма стационарного высокочастот ного разряда. Дисс. канд. физ.-мат. наук, М., 1970.
- Кузовников А.А., Савинов В. П. Пространственное распределение параметров стационарного высокочастотного разряда.
- Вестн. МГУ, сер. физ., астрон. 1973, № 2. с. 215−222.
- Годяк В. А. Стационарный высокочастотный разряд низкого давления.
- Физ. плазмы. 1976. т. 2 с. 141−151.
- Godyak V. A., Khanneh A. S. Ion Bombardment Secondary Electron Maint-nance of Steady RF Discharge.
- EE Trans. Plasma. Sci. 1986, V. PS-14. No. 2, P. 112−123.
- Gottscho R. A., Mandich M. L. Time-resolved optical diagnostics of radio fre quency plasmas J. Vac. Sci. Technol. 1985. V. A3. P. 617
- Gottscho R. A. Glow-discharge sheath electric fields: Negative-ion, power, and frequency. Phys. Rev. 1987. V. A36. P. 2233−2242.
- Belenguer Ph., Boeuf J. P. Transition between two different regimes of RF discharges. Proc. ESCAMPIG. Orleans, 1990. P. 394−395,
- Graves D. B. Fluid model simulations of a 13.56-MHz rf discharge: Time and space dependence of rates of electron impact excitation.
- J. Appl. Phys. 1987 V. 62 P. 88−94.
- Richards A.D., Thompson B. E., Sawin H.H. Continuum modeling of argon ra diofrequency glow discharges. Appl. Phys. Lett. 1987 V. 50 P. 492−494.
- Джерпетов X. А., Патеюк Г. M. Исследование высокочастотного разряда методом зондов. ЖЭТФ. 1955 т. 28 с. 3.305
- Garscadden A., Emeleus K. G. Notes on the Effect of Noise on Langmuir Probe Characteristics. Proc. Phys. Soc. 1962 V. 79 P. 535−541.
- Butler H. S., Kino G. S. Plasma Sheath Formation by Radio-Frequency Fields. Phys. Fluids. 1963 V. 6 P. 1346−1355.
- Годяк В. А., Кузовников А. А. Эффект выпрямления ВЧ поля в приэлек тродных слоях. Тез. докл. на Межвузовской конф. по химии и физике низкотемп. плазмы М., 1967, с. 59.
- Годяк В. А., Кузовников А. А., Савинов В. П., Эль Саммани А. Якуб. О стационарных полях в ВЧ разрядах низкого давления.
- Вестн. МГУ сер. физ., астрон. 1968. № 2, с. 126−127.
- Кузовников А. А., Савинов В. П. О влиянии собственных стационарных электрических полей на свойства высокочастотного разряда. Радиотехн. и электроника, 1973, т. 18 с. 816−822.
- Kuzovnikov A. A., Kovalevsky V. L., Savinov V. P., Yakunin V. G. Experimental study of the rectifying properties of HF discharge.
- Proc.XIII-th Intern. Conf. on Phen. Ionized Gases. 1977. Berlin P. I P.343−344.
- Кузовников А. А., Ковалевский В. Д., Савинов В. П. Исследование зави симости собственных постоянных электрических полей ВЧ разряда от его параметров. Вестн. МГУ сер. физ., астрон. 1983 т. 24 с. 28−32.
- Яценко Н. А. О высоком постоянном потенциале плазмы ВЧ разряда. Труды МФТИ. Сер. «Общ. и молек. физика». Долгопрудный.: МФТИ, 1978, с. 226−229.
- Bruce R. Н. Ion response to plasma excitation frequency J. Appl. Phys. 1981 V. 52 P. 7064−7066.
- Gill M. Sustaining mechanism in RF plasmas Vacuum, 1984.V.34, P.357−364.
- Kohler K., Coburn J. W., Home D. E., Kay E., Keller J. H. Plasma potentials of 13.56-MHz RF argon glow discharge in a planar system.
- J. Appl. Phys. 1985 V. 57 P. 59−66.306
- Metze A., Ernie D. W., Oskam H. J. Application of the physics of plasma sheaths to the modeling of rf plasma reactors J. Appl. Phys. 1986.V.60 P. 3081.
- Ковалевский В. JI., Савинов В. П., Якунин В. Г. Собственные электростатические поля в безэлектродном емкостном ВЧ разряде.
- Тез. докл. IV Всес. конф. по физ. газ. разряда. 1988.Махачкала.Ч.1. с. 96−97.
- Ковалевский В. Д., Кузовников А. А., Рябый В. А., Савинов В. П., Якунин В. Г. Способ контроля параметров плазмы низкого давления в ВЧ емко стном разряде. Авт. свид. СССР на изобретение № 1 531 827, 1989.
- Райзер Ю. П., Шнейдер M. Н. Высокочастотный разряд среднего давле ния между изолированными и оголенными электродами.
- Физ. плазмы. 1988 т. 14 с. 226−232.
- Савинов В. П. «Батарейный эффект» в ЕВЧР с заземленным электродом. Тез. докл. VII конф. по физ. газ. разряда. 1994. Самара, ч. 1 с. 84−85.
- Shneider F. Zum Mechanismus der Hoch frequenzent ladung zwischen ebenen Platten. Z. Angev. Phys. 1954 B. 6, H. 5, s. 456−462.
- Асеев A.B. Фазовые соотношения в радиотехнике. M.: Радио, 1954, с. 381.
- Каган Ю. М., Перель В. И. Зондовые методы исследования плазмы. УФН, 1963 т. 81 с. 409.
- Chen Sin-Li, Sekiguchi Т. The system of instant direct recording plasma pa rameters with the aid of the triplet probe. J.Appl.Phys.l965.V.36 P.2363−2375.
- Ионов H. И. Исследование газоразрядной и космической плазмы с помо щью многоэлектродных зондов. ЖТФ. 1964 т. 34 с. 194.
- Bohm С., Perrin J. Retarding-field analyzer for measurements of ion energy distributions and secondary electron emission coefficients in low-pressure radio frequency discharges. J. Rev. Sci. Instrum. 1993 V. 64 P. 31−44.
- Godyak V. A. Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials/ Eds. O. Auciello. Netherlands: Kluwer Academic Publishers, 1990. P. 90.
- Гинзбург В. JI. Распространение электромагнитных волн в плазме. М.: Физматгиз. 1960 с. 552.307
- Allis W. P., Brown S. C., Everhart E. Electron density distribution in HF dis charge at plasma resonance. Phys. Rev. 1951 V. 84 P. 519.
- Годяк В. А. Статистический нагрев электронов на осциллирующей грани це плазмы. ЖТФ, 1971 т. 41 с. 1364−1368.
- Райзер Ю. П., Шнейдер M. Н. Динамика приэлектродных слоев, ангармо ничность тока и батарейный эффект в асимметричном высокочастотном разряде низкого давления. Физика плазмы. 1992. т. 18 с. 1211.
- Lieberman M. A. Spherical shell model of an asymmetric rf discharge J. Appl. Phys. 1989 V. 65 P. 4186−4191.
- Beck H. Zum Mechanismus der Hoch Frequenzentladung. Zeitschr. Phys. 1935 V. 97 P. 355−375.
- Яценко H. А. Связь высокого постоянного потенциала плазмы с режимом горения ВЧЕР среднего давления. ЖТФ, 1981 т. 51 с. 1195−1204.
- Яценко Н. А. Экспериментальное исследование ВЧ разряда и комбиниро ванного разряда при средних давлениях.
- Дисс. канд. физ.-мат. наук. М.: МФТИ. 1978.
- Чен Ф. Введение в физику плазмы. М.: Мир, 1987 с. 398.
- Barnes M. S., Colter F. J., Elta M. E. Large-signal time-domain modeling of low-pressure RF glow discharge. J.Appl. Phys. 1987 V. 61 P. 81−89.
- Ярамышев Г. С. Исследование высокочастотного асимметричного разря да в магнитном поле. Дисс. канд. физ.-мат. наук. М.: МГУ, 1975.
- Данилин Б. С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987, с. 327.
- Яценко Н. А. О радиальной структуре ВЧ разряда в электрическом поле плоского конденсатора. В сб. Всесоюзн. совещ. Высокочастотный разряд в волновых полях. Тез. докл. Горький. 1987 с. 22.
- Яценко Н. А. ВЧ емкостной разряд: Формы его существования и приме нение в лазерах. Дисс. докт. физ.-мат. наук. М. 1992.
- Чистяков П. Н. Зависимость нормальных катодных падений потенциала308
- V^ в инертных газах от различных факторов. Таблица величин VKn. Физическая электроника, вып. 3. Сб. статей под ред. П. Н. Чистякова. МИФИ. Атомиздат, 1966, с. 3−19.
- Кузовников А. А. Взаимодействие квазистационарного ВЧ поля с плаз мой газового разряда. Дисс. докт. физ.-мат. наук. М. 1969.
- Александров А. Ф. Импеданс плоского конденсатора, полностью или час тично заполненного плазмой. I. ЖТФ 1965 т. 35 с. 35.
- Александров А.Ф. Импеданс плоского конденсатора, полностьюили частично заполненного плазмой.И ЖТФ. 1965. т.35 с. 226.
- Тарасова В.В. Исследование низкочастотных резонансов ограниченной плазмы Дисс.канд.физ.-мат. наук. M, МГУ 1969
- Браун С. Элементарные процессы в плазме газового разряда М.: Атомиздат, 1961, с.323
- Ковалевский B. JL, Савинов В. П. Экспериментальное обоснование модели физического механизма емкостного ВЧ разряда низкого давления Физика плазмы. 1994.Т.20.С.322−334.
- Kuzovnikov A.A., Kovalevsky V.L., Savinov V.P., Yakunin V.G.The investi gation of physical properties of the near-electrode region of HF discharge
- J. de Phys. 1979. V.40. P. C7−459.
- Андреев А. Д. Изменение свечения и потенциала в плазме на границе с диэлектриком в поле высокой частоты
- Вестн. Белорусск.гос.университета. 1969.№ 2,с.78−80.
- Ковалевский B. JL, Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Пространственно-временная структура физических процессов в приэлектродных областях емкостного ВЧ разряда Материалы конф."Физика низкотемператур ной плазмы «. Петрозаводск. 1995 .Т.2, с.243−245.
- Яценко H.A. Исследование интегральных характеристик приэлектродных слоев в ЕВЧР среднего давления ТВТ.1982.т.20.с.1044−1051.
- Tsui R.T. Calculation of Ion Bombarding Energy and Its Distribution309in rf Sputtering. Phys.Rev. 1968. V. 168. P. 107−113.
- Wild C., Koidl P. Structured ion energy distribution in radio frequency glow-discharge systems Appl.Phys.Lett. 1989. V.54. P.505.
- Flamm D.L. Frequency effects in plasma etching glow discharges in argon. J.Vac.Sci.Techn. 1986. V. A4. P.729−738.
- Kakuta S., Makabe Т., Tochikubo F. Frequency dependence on the structure of radio frequency discharges J.Appl.Phys. 1993. V.74.P.4907−4914.
- Hebner G., Kushner M. Phase and energy distribution of ions incident on elec trades in radio frequency discharges J.Appl.Phys. 1987 V.62.P.2256.
- Allis W.P., Rose D.J. The transition from Free to Ambipolar Diffusion Phys.Rev. 1954.V.93.P.84.
- Капцов H.A. Электрические явления в газах и вакууме. М.: ГИТТЛ, 1950, с. 804.
- Riemann K.-U. Theoretical analysis of the electrode sheath in rf discharges J.Appl.Phys. 1989. V.65.P.999- 1004.
- Goedheer W. J., Meijer P.M. Ion sheath kinetics in RF discharges at frequencies close to the ion plasma frequency
- Abstr. ESCAMPIG-X. Orleans. 1990. P.388- 389.
- Перель В.И., Пинский В. И. О влиянии неоднородного переменного поляна свойства высокочастотного разряда ЖТФ. 1963 .Т.ЗЗ .с.ЗЗ.
- Брусиловский Б.А. Кинетическая ионно-электронная эмиссия. М. Энергоатомиздат. 1990.С.184
- Смирнов А.С., Цендин Л. Д. Приэлектродные слои в самостоятельном ВЧразряде среднего и высокого давления. ЖТФ. 1991. Т.61 .с.64−73
- Ковалевский В.Л.ДСондраков Р.Е., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф Физический характер проводимости приэлектродных слоев емкостного ВЧ разряда.
- Тез.докл.УШ конф. по физ.газ.разряда.1996.Рязань.Ч.2, с.60−61.310
- Энгель А. Ионизованные газы. М.: ГИФМЛД959.
- Каримов Р.Г., Муравьев И. И. О распределении интенсивности спектральных линий вдоль отрицательного тлеющего свечения Изв.ВУЗов, физика. 1975 .№ 6,с. 87−91.
- Запесочный И.П., Фельцан П.В. Возбуждение инертных газов при электронно-атомных столкновениях
- Украинский физ.журнал.1965.т.10.с.1197- 1208.
- Богданов И.П.ДОргенсон C.B. Сечение прямого электронного возбуждения уровней атомов: измерения с использованием импульсного электронного пучка и временной развертки излучения Оптика и спектроскопия.1986.т.61,с.241−245.
- Hagstrum H.D. Anger Ejection of Electrons from Molibdenum byNoble Gas1. ns Phys. Rev. l956.V.104.P.672−683.
- Малышев В.И. Введение в экспериментальную спектроскопию М.: Наука. 1979, с. 479.
- Излучательные свойства твердых материалов. Под ред.A.M. Шейндлина. М.: Энергия. 1974, с. 215.
- Голубовский Ю.Б. Об определении интенсивности излучения объемного источника света. Вестн.ЛГУ.1967.№ 10,с.64−69
- Бородин B.C., Голубовский Ю. Б. Некоторые вопросы применения объемных источников в спектроскопии плазмы Вестн. ЛГУ. 1970.№ 16,с.49−54.
- Богородский М.М., Римашевская Л. Р., Семиохин Е. А. Методика расчетаконцентрации тяжелых частиц в низкотемпературной плазме по абсо лютным интенсивностям спектральных линий Вестн.МГУ. 1976.сер. химия.т.17, с.402−406.
- Ошерович А.Л., Виролайнен Я.Ф. Времена жизни уровней гелия311
- Вестн. ЛГУ .№ 4,с. 140−141.
- Ingmar S.G., Braithwaite N.S. Ion and electron energy analysis at a surface inan RF discharge J.Phys.D.: Appl.Phys.l988.V.21.P.1496−1503.
- Казанцев С.А., Субботенко A.B. Поляризационная диагностика низкотемпературной плазмы Физ.плазмы.1984.т.10.с.135−142.
- Казанцев С.А. Астрофизические и лабораторные приложения явления самовыстраивания УФН. 1983.т. 139.С.621 -666.
- Vidaud P., Durrani S.M., Hall D.R. Alpha and gamma RF capacitive discharges in N2 at intermediate pressures.
- J.Phys.D.: Appl.Phys. 1988. V.21, P.57−66.
- Hebner G.A., Verdeyen J.T. The Spatial and Temporal Evolution of the Glow in an RF Discharge
- EE Trans. Plasma Sci., 1986, V. PS-14. P.132.
- Godyak V.A., Piejak R.B., Sternberg N. A Comparison of RF
- Electrode Sheath Models. IEEE Trans. Plasma Sci. l993.V.21.P.378−381. Юб. Смирнов A.C., Фролов K.C., Уставщиков А. Ю. Энергетическоеи временное распределение заряженных частиц, бомбардирующих электрод в ВЧ разряде
- Материалы конф."Физика низкотемпературной плазмы». Петрозаводск. 1995 .т.2.с. 178−180. 107. Sommerer T.J., Hitchon W.N., Harvey R.E., Lawler J.E.
- Self-consistent kinetic calculations of helium rf glow discharges Phys.Rev. A. 1991. V.43 .P.4452−4472. Ю8. Ковалевский В.JI., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф., Якунин В. Г. Особенности динамики электронных потоков на электроды емкостного ВЧ разряда
- Тез.докл.ХХ1Х Научн.конф.по физ.-мат.и естеств. наукам Рос. Университета Дружбы народов.Москва. 1993.4.1, с. 16.312
- Диагностика плазмы. Под ред.Р.Хаддлстоуна, С. Леонарда М.:Мир.1967.
- Яценко Н. А. Влияние диэлектрического покрытия электродов на характеристики ВЧ-генераторов плазмы
- Генераторы низкотемпературной плазмы. 1986.Минск.: Наука и техника.Ч.2, с.68−69.
- Бонч-Бруевич A.M. Радиотехника в экспериментальной физике М.: Наука, 1966.С.768.
- Капцов Н.А. Электроника. М.: ГИТТЛ.1956,с.460.
- Радиофизическая электроника. Под ред.Н. А. Капцова. М.: Изд. Моск. ун-та.1960.
- Кузовников А.А., Савинов В. П. Возникновение электронных пучков встационарном ВЧ разряде Тез.докл.П Всес.конф.по физ.низкотемп. плазмы. 1968. Минск, с. 190.
- Кузовников А.А., Савинов В.П. О возникновении электронных пучков в стационарном ВЧ разряде
- Вопросы физики низкотемпературной плазмы.Минск.: Наука и техника, 1970.313
- Alexandroy A.F., Kovalevsky V.L., Savinov V.P., Singaevsky I.F. The edge effect of electron beam generation from the walls restricting the HF discharge
- Proc.ICPIG-XXII, Hoboken, 1995. V.2,P. 167−168.
- Ковалевский В.Л., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Краевой эффект генерации стеночных электронных пучков в емкостном ВЧ разряде
- Тез.докл.VII конф. по физ.газ.разряда .Самара. 1994.4.1, с.84−85
- Ковалевский В.Л., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Наблюдение электронных пучков с диэлектрических стенок межэлектродного про межутка ВЧ разряда
- Тез.докл.У Всеросс.конф."Учебный физический эксперимент и его совершенствование".Пенза.2000,с.64−65.
- Казанцев С.А., Субботенко A.B. Наблюдение электронных пучков в емкостном высокочастотном разряде.
- Письма в ЖТФ.1984.т.10.с. 1251−1254.
- Черных К.А. Исследование зависимости физических свойствемкостного высокочастотного разряда от его внешних параметров. Дипл.работа.М. :МГУ, 1991.
- Мак-Даниель И. Процессы столкновений в ионизованных газах М.:Мир.1967,с.832.
- Казанцев С.А., Ковалевский В. Л., Кузовников А. А., Моторыгина М. Б., Рысь А.Г., Савинов В. П. Характер движения электронов в приэлектродных областях емкостного ВЧ разряда
- Вестн. ЛГУ. 1990.сер.4.№ 4,с.26−32.
- Батанов Г. М., Петров Н. Н. О вырывании электронов из стеклаионами гелия и аргона ФТТ.1959.Т.1, с.1586−1588.
- Казанцев С.А., Свелокузов А. Е., Субботенко А. В. Исследование анизотропии движения электронов в плазме емкостного высокочастотного разряда низкого давления ЖТФ.1986.т.56, с.1091−1099.
- Александров А.Ф., Богданкевич Л. С., Рухадзе А. А. Основы электродинамики плазмы.М.: Высшая школа, 1988:
- Godyak V.A., Piejak R.B., Alexandrovich В.М. Measurements of electron energy distribution in low-pressure RF discharges Plasma Source Sci.Technol.l992.V.l, P.36.
- Holstein T. Energy Distribution of Electrons in High Frequency Gas Discharges Phys.Rev.l946.V.70, P.367−384.
- Kline L.E., Kushner MJ. Computer Simulation of Material Processing Plasma Discharges Solid State and Mater.Sci. 1989.V. 16, P. 1.
- Kaganovich I.D., Tsendin L.D. The Space Time — Averaging Procedure and Modeling of the RF Discharge, Part II: Model ofCollisional Low-Pressure RF Discharge. IEEE Trans. Plasma Sci. 1992.V.20,P.66−75.
- Dilonardo M., Capitelli M., Winkler R., Wilgelm J. Electron energy distribution functions in RF molecular plasmas Mat.Res.Soc.Symp.Proc. 1986. V.68, P.287.
- Winkler R., Dilonardo M., Capitelli M., Wilhelm J. Electron energy distribution functions in RF molecular plasmas
- Plasma Chem. Plasma Proc. 1987. V.7, P. 125.315
- Makabe Т., Goto N. The time behaviour of electron transport in RFfields in gases J.Phys.D. 1988. V.21, P.887.
- Kushner M.J. Electron kinetics in RF molecular plasmas IEEE Trans. Plasma Sci. 1986. V. PS-14, P.188.
- Kline L.E., Partlow W.D., Bies W.E. Electron and Chemical kinetics in methane rf glow-discharge deposition plasmas J.Appl.Phys.1989. V.65, P. 70−78.
- Дятко H.A., Кочетов H.B., Напартович А.П. Влияние инерционности энергетического распределения электронов на частоту ионизации в слабоионизованной плазме ВЧ разряда
- Физика.плазмы.1985.т.11, с. 739.
- Волкова Е.А., Попов A.M., Поповичева О. В., Рахимова Т. В. Влияние пространственно-временной нелокальности энергетического спектра электронов на кинетические коэффициенты в плазме высокочастотного разряда Физика.плазмы.1990.т.16, с. 738.
- Горбунов Н. А, Иминов К. О., Кудрявцев А. А. Формирование нелокальной функции распределения электронов по энергиям в разрядной плазме молекулярных газов ЖТФ.1988.т.58, с.2301−2309.
- Capitelli М., Celiberto R., Gourse С., Winkler R., Wilgelm J. Electron energy distribution function in He-Co radio-frequency Plasmas :
- The role of vibrational and electronic superelastic collisions J.Appl.PhyS. 1987.V.62, P.4398.
- Хасилев В.Я., Михалевский B.C., Толмачев Г. Н. О быстрых электронах в поперечном высокочастотном разряде Физика.плазмы.1980.т.6,с.430−435.
- Shi В., Fetzer G.J., Yu Z., Meyer J.D., Collins G.J. Influence of Electron Collisions Inside the Cathode Sheath Upon the Electron Energy Spectrum in the Negative Glow Region of a Gas Discharge316
- EE J.Quant.Electr. 1989. V.25, P.948−954.
- Gill P., Webb C.E. Electron energy distribution in the negative glow and their relevance to hollow cathode lasers
- J.Phys.D.: Appl.Phys. 1977. V.10, P.299−311.
- Winkler R., Capitelli M., Gourse C., Wilhelm J. On the secondary electron beam impact on the self-consistent RF bulk plasma description Proc. ESCAMPIG-VIII. Orleans. 1990. P.390.
- Surendra M., Graves D.B., Morey I.J. Electron heating in low-pressure rf glow discharges Appl.Phys.Lett. 1990. V.56, P. 1022−1024.
- Boswell R.W., Morey I.J. Self-consistent simulation of a parallel-plate rf discharge Appl.Phys.Lett. 1988. V.52, P.21.
- Kaganovich I.D., Tsendin L.D. Low-Pressure RF Discharge in theFree-Flight Regime IEEE Trans. Plasma Sci. 1992. V.20, P.86−92.
- Godyak V.A., Piejak R.B. Abnormally low electron energy and heating-mode transition in a low-pressure argon rf discharge at 13.56 MHz
- Phys.Rev.Lett. 1990. V.65, P.996.
- Kazantsev S.A., Subbotenco A.V. Polarisation spectroscopy of a high- fre quency discharge plasma
- J.Phys.D.: Appl.Phys. 1987 V.20, P.741−753.
- Волкова JI.M., Девятов A.M., Кралькина E.A., Шушурин С.Ф.
- О возможности определения функции распределения электронов поэнергиям в плазме по интенсивностям спектральных линий Вестн.МГУ. 1975. № 6, с. 735.
- Dilecce G., Capitelli М., De Benedictis S. Electron-energy distribution func tion measurements in capacitively coupled rf discharges317
- J.Appl.Phys. 1991. V.69, P. 121.
- Kimura T., Ohe K. Electron Energy Distribution Detection in Symmetrically Driven RF Argon Discharges JapJ.Appl.Phys. 1993. V.32, P.3601−3605.
- Godyak V.A., Piejak R.B., Alexandrovich B.M. Evolution of the Electron-Energy-Distribution Function during rf Discharge Transition to the High Voltage Mode Phys.Rev.Lett. 1992. V.68, P.40.
- Lawler J., Den Hartog E., Hitchon W. Electron Energy Balance in the Nega tive Glow region Phys.Rev. 1991. V. A43, P.4427−4437.
- Koenig H.R., Maissel L.I. Application of RF Discharges to Sputtering IBM J.Res.Devel. 1970 .V.14, P.168−171.
- Смирнов A.C., Уставщиков А. Ю., Фролов K.C. Энергетическое распределение электронов и ионов, бомбардирующих электрод в вы сокочастотном разряде
- Вагнер С.Д., Игнатьев Б. К., Цендин Л. Д. Модуляция оптического излу чения ВЧ разряда в неоне, обусловленная зависимостью функции рас пределения быстрых электронов от времени1. ЖТФ. 1978 .т.48, с. 1191
- Medicus G, Simple Way to Obtain the Velocity Distribution of the Electrons in Gas Discharges Plasmas from Probe Curves J.Appl.Phys. 1956.V.27, P.352−358.
- Ионов Н.И., Тондегоде В. И. Зондовые характеристики, получаемые с помощью различного типа зондов, в плазме газового разряда ЖТФ.1964.Т.34, с.354−360.
- Вагнер С.Д., Вироланен Я. Ф., Каган Ю. М. Функции распределения элек318тронов по энергиям в ВЧ разряде в Ne ЖТФ. 1968.Т.38, с.930−931.
- Воробьева Н.А., Каган Ю. М., Миленин В. М. О функции распределения электронов по скоростям в положительном столбе ртутного разряда. И. ЖТФ.1964.Т.34, с.146−148.
- Годяк В.А. Исследование взаимодествия ВЧ поля с граничным слоем плазмы Дисс.канд.физ.-мат.наук.М.: МГУ, 1968.
- Boyd R., Twiddy N. Electron energy distributions in plasmas. I Proc.Roy.Soc. 1959. V. A250, P.53−68.
- Tonks L., Mott-Smith H.M., Langmuir I. Flow of Ions through a small orifice in a charged plate Phys.Rev. 1926. V.28, P. 104−112.
- Коваленко A.B., Рожанский Н. И., Сена JI.А. Направленный токи характеристики зондов в ртутной дуге ЖТФ. 1934. т.4, с. 1688.
- Boyd R. The collection of positive ions by a probe in an electric discharge Proc.Roy.Soc. 1950. V.201, P.329−334.
- Анго А. Математика для электро- и радиоинженеров. М.: Наука, 1965
- Кархов А.Н. О механизме образования горячей электронной компоненты при взаимодействии электронного пучка с плазмой ЖЭТФ. 1970. т.59, с.356−365.
- Kovalevsky V.L., Savinov V.P. Low Pressure Capacitive RF Discharge Mechanism Experimental Study
- Plasma Physics Reports. 1994. V.20, P.292−302
- Александров А.Ф., Ковалевский В. Л., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Электронный энергетический спектр приэлектродной плазмы емкост ного ВЧ разряда низкого давления
- Тез.докл.УШ конф. по физ.газ.разряда. Рязань. 1996. Ч.2,с.48−49
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Аномальный нагрев электронов приэлектродной плазмы асимметричного емкостного ВЧ разряда низкого давления в присутствии поперечного магнитного поля319
- Тез.докл.Международной научно-техн.конф."Проблемы и прикладные вопросы физики". Саранск. 1997.С.36−37.
- Alexandrov A.F., Savinov V.P., Singaevsky I.F. The asymmetrical capacitive HF low pressure discharge near-electrode plasma electron energy spectrum Contr. Papers of ICPIG-XXIII, Toulouse. 1997. V. l, P. 108−109
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Зависимость ЭЭС приэлектродной плазмы емкостного ВЧ разряда низкого давления от рода газа
- Тез.доклТХ конф. по физ.газ.разряда. Рязань. 1998. 4.1, с.100−101
- Савинов В.П., Сингаевский И.Ф. Методические особенности наблюдения эффекта вторичного «СВЧ-пробоя» в емкостном ВЧ разряде низкого давления
- Тез.докл.ГУ Всеросс. научно-метод.конф."Учебный физический экспе римент и его совершенствование «. Пенза. 1998, с.46
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Энергетическое распределение электронов в приэлектродной плазме емкостного ВЧ разряда низкого давления Вестн.МГУ.сер.З, физика, астрономия. 1998. № 6,с.52−55
- Ковалевский В.JI., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Временной ход физических процессов в приэлектродной плазме асимметричного ЕВЧР низкого давления
- Тез.докл. II Международной научно-техн.конф."Проблемы и прикладные вопросы физики».Саранск. 1999. с.8320
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Особенности механизма формирования квазистационарного ЭЭС приэлектродной плазмы ЕВЧР низкого давления Тез.докл.П Международной научно-техн.конф."Проблемы и прикладные вопросы физики". Саранск. 1999. с.9
- Савинов В.П., Сингаевский И. Ф. Эффекты плазмопучкового взаимодействия, поддерживающие ЕВЧР низкого давления Тез.докл.П Международной научно-техн.конф."Проблемы и прикладные вопросы физики". Саранск. 1999. с. 10
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Особенности механизма формирования квазистационарного ЭЭС плазмы ЕВЧР низкого давления
- Материалы Всеросс.конф."Физическая электроника", Махачкала. 1999, с.50−53
- Alexandrov A.F., Savinov V.P., Singaevsky I.F. Energy distribution of electrons in the near-electrode plasma of low-pressure HF capacitive discharge
- Moscow University Physics Bulletin. 1998.V.53, P.63−66
- Александров А.Ф., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф. Зависимость электронного энергетического спектра приэлектродной плазмы ВЧ разряда низкого давления от рода газа
- Известия РАН. Сер.физ. 2000.Т.64, с.1387−1392
- Alexandrov A.F., Savinov V.P., Singaevsky I.F. The dependence of low pressure RF Discharge near-electrode plasma electron energy distribution on gas type Bull. Russian Acad.Sci.Phys. 2000. V.64.№ 7, p.895−901
- Александров А.Ф., Ковалевский В.JI., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Механизмы пространственной релаксации приэлектродных электронных пучков в ВЧ разряде низкого давления Тез.докл. X конф. по физ.газ.разряда.Рязань. 2000.4.2, с. 158−160 321
- Александров А.Ф., Рухадзе А. А., Савинов В.П., Сингаевский И. Ф Электронный энергетический спектр приэлектродной плазмы асимметричного емкостного ВЧ разряда низкого давления Письма в ЖТФ. 1999. т.25, с.32−39
- Alexandrov A.F., Rukhadse A.A., Savinov V.P., Singaevsky I.F. The electron energy spectrum of the near-electrode plasma of the asymmetrical capacitive RF low pressure discharge Techn. Physics Letters. 1999. V.25, P.752−759
- Ковалевский В.JI., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф., Якунин В.Г. Относительная плотность приэлектродных электронных пучков в плазме емкостного ВЧ разряда
- Тез.докл. 1Хконф. по физ.газ.разряда.Рязань.1998.Ч.1,с.102−103
- Ковалевский В Л., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Относительная плотность приэлектродных электронных пучков в плазме емкостного ВЧ разряда
- Известия РАН.Сер.физ.2000.т.64, с. 1363−1365
- Kovalevsky V.L., Savinov V.P., Singaevsky I.F. The near-electrode electron beam density in the capacitive radiofrequency discharge plasma Bull. Russia Acad.Sci. Physics. 2000.V.64.№ 7, P.968−971
- Витрук П.П., Яценко H.А. Малогабаритный щелевой волноводный СОг лазер средней мощности с ВЧ-возбуждением
- Письма в ЖТФ. 1989.Т.15, с. 1−5
- Кузовников А.А., Маляров А. В., Савинов В. П., Якунин В. Г. Спектроскопическое исследование параметров плазмы ВЧ разряда Тез.докл. I Всес.совещ.по физ.электр.пробоя газов.Махачкала. 1982, с.73−74
- Кузовников А.А., Маляров А. В., Савинов В. П., Якунин В.Г. Исследование радиального распределения плотности нейтрального газа в плазме ВЧ разряда322
- Тез.докл. I Всес.совещ.по физ.электр.пробоя газов.Махачкала.1982.С.101−102
- Кузовников A.A., Маляров A.B., Савинов В. П., Якунин В.Г. Исследование параметров плазмы ВЧ разряда среднего давления спектроскопическим методом
- Вестн.МГУ. 1983. Сер. З, физика, астрономия.т.24, с.79−80
- Kuzovnikov A.A., Savinov V.P., Yakunin V.G. Study of the transversal medium pressure HF discharge plasma parameters Proc. ICPIG-XVI. Dusseldorf. 1983. P.476−477
- Кузовников A.A., Маляров A.B., Савинов В. П., Якунин В. Г. Пространственное распределение молекулярных ионов Не в поперечном ВЧ разряде в гелии Тез.докл. II Всес.совещ. по физ.электр.пробоя газов.Тарту.1984. 4.1, с.108−110
- Кузовников A.A., Савинов В. П., Якунин В. Г. Исследование зависимости кинетики электронов плазмы поперечного ВЧ разряда от физических ус ловий его создания Тез.докл. II Всес.совещ.по физ.электр.пробоя газов.Тарту.1984.4.1, с.114−116
- Kuzovnikov A.A., Malyarov A.V., Savinov V.P., Yakunin V.G. Molecular ions He spatial distribution in helium HF discharge Abstr. VII Europ.Sect.Conf.Atom.Molec.Phys.Ionis.Gases. P. 162−163
- Кузовников A.A., Маляров A.B., Савинов В. П., Якунин В. Г. Физические параметры поперечного ВЧ разряда Тез.докл.Всес.научно-техн.семин. «Контроль плазменных технологических процессов в элек тронике и микроэлектронике». Минск. 1986. с.26
- Маляров A.B., Савинов В. П., Якунин В. Г. Процесс ионизации в323плазме поперечного ВЧ разряда Тез.докл.Всес.семин."Процессы ионизации с участием возбужденных атомов". Ленинград. 1988. с. 145−146
- Ковалевский В.Л., Савинов В. П., Урьева И. А. Процессы ионизации и возбуждения в приэлектродных областях ВЧ разряда Тез.докл.Всес.семин."Процессы ионизации с участием возбужденных атомов". Ленинград. 1988.С.137−138
- Kuzovnikov A.A., Malyarov A.V., Savinov V.P., Yakunin V.G. The pecualiari ties of electron concentration dependence on pressure and gas sort in transver sal HF discharge Abstr.IXEurop.Sect.Conf.Atom.Molec.PhysicsIonis.Gases. Lisbon. 1988.P.347−348
- Двинин C.A., Кузовников A.A., Маляров A.B., Савинов В. П., Тез.докл. IV Всес.конф.по физ.газ.разряда. Махачкала. 1988.4.1, с.88−89
- Кузовников A.A., Савинов В. П., Якунин В.Г. He-Cd± лазер на попереч ном ВЧ разряде Вестн.МГУ. Сер. Физика, астрономия. 1980.Т.21, с.75−77
- Кузовников A.A., Новоселов А. Н., Савинов В. П., Якунин В.Г. He-Ne- лазер на поперечном ВЧ разряде
- Радиотехника и электроника. 1980.Т.25, с. 1677−1682
- McNeil J.R., Collins G.J., De Hoog F J. Copper ion laser: Line broadening studies. J.Appl.Phys. 1979. V.50, P.618−6189
- Кузовников A.A., Маляров A.B., Савинов В. П., Якунин В. Г. Изучение нелинейных явлений на границе плазмы ВЧ разряда среднего давления Тез.докл. III Всес.конф."Взаимодействие электромагнитных излучений с плазмой". Алма-Ата. 1982. с.114−116
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука. 1973.С.720
- Якунин В.Г. Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разря да, поддерживаемого собственными электростатическими полями Дисс.канд.физ.-мат.наук. М.: МГУ. 1985
- Исаченко В.П., Осипова В. А., Сукомел А.С Теплопередача. М. :324
- Энергоиздат. 1981. с. 416 21 З. Фриш С. Э. Оптические спектры атомов. М.: ГИФМЛ.1963.С.640
- Wulf Н. Die Lineprofile thermisch angeregter Helium linen Zeitschr.f.Phys. 1958. B.15, S.614−631
- Голубовский Ю.Б., Ржевский B.H. Атомные температуры в положительном столбе разряда при средних давлениях винертных газах Оптика и спектроскопия. 1976.Т.41, с.385−389
- Грим Г. Спектроскопия плазмы . М.: Мир. 1969.С.652
- Батенин В.М., Зродников B.C., Роддатис В. К., Чиннов В. Ф. Спектроскопическое исследование СВЧ-разряда в водороде ТВТ, 1975, т.13,№ 2, С.270
- Батенин В.М., Зродников B.C., Роддатис В. К., Чиннов В.Ф. Эксперимен тальное исследование СВЧ-разряда в гелии
- Физ.плазмы, 1976, т.2, № 5, с.831
- Drawin H.W. Validity conditions of the local thermodynamical equilibrium. In: Progress in plasma and gas electronics. Ed. by Rompe R., Steenbeck M.B. 1975. V. l, P.592
- Хасилев В.Я. Исследование активных сред ионных лазеров на парах металлов с поперечным высокочастотным разрядом Дисс.канд.физ.мат.наук. Ростов-на-Дону. 1981
- Бердичевский М.Г., Марусин В. В. Химическая активность ВЧЕ разрядов Изв.СО АН СССР, сер.техн.наук. 1982. № 3, с.28−36
- Касабов Г. А., Елисеев В. В. Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы. М.: Атомиздат. 1973. с. 159
- Малышев В.И. Введение в экспериментальную спектроскопию М.: Наука. 1979. с.480
- Спектроскопия газоразрядной плазмы .Сб.статей. Л.: Наука. 1978.С.362 325
- Фуголь И.Я., Григоращенко А. Н., Мышкис Д. А. Применение метода реабсорбции для определения концентрации метастабильных атомов гелия Труды ФТИНТ. 1969.В.5, с.50−64
- Биберман JI.M., Воробьев B.C., Якубов И. Т. Кинетика неравновесной низкотемпературной плазмы. М.: Наука. 1982.С.З76
- Бочкова О.П., Разумовская Л.П. Спектроскопические исследования вы сокочастотного разряда в гелии
- Оптика и спектроскопия. 1965. t.XVIII. с.777−784
- Hurt W.B., Robertson W.W. Atomic and Molecular Emission in the Negative Glow of Helium Discharge. J.Chem.Phys. 1965. V.42, P.556−562
- Фриш С.Э., Богданова И. П., Бочкова О. П. О роли молекулярно-ионных образований при возбуждении спектральных линий атомов ДАН СССР. 1964.T. 156, с.54−57
- Александров С.В., Елагин В.В, Фотиади А. Э. Новые лазерные переходы в He-Cd± лазере с поперечной ВЧ накачкой. Письма в ЖТФ. 1980.Т.6, с. 160−161
- Голант В.Е. СВЧ методы исследования плазмы. М.: Наука. 1968.С.327
- Хилд М., Уортон Р. Микроволновая диагностика плазмы. М.: Атомиздат. 1968.с.352
- Cooper J. Plasma spectroscopy.
- Reports on progress in physics. 1966. V.29.Part I, P.35−130
- Moore C.E. Atomic Energy levels. US GPO, Washington D.C. 1971 NSRDS-NBS. V. l, P. 183
- Двинин C.A. Исследование механизма формирования пространственных структур в стационарном СВЧ разряде внутри волновода326
- Дисс.канд.физ.мат.наук. М.: МГУ. 1983.
- Марков Г. Т., Сазонов Д. М. Антенны. М.:Энергия.1975. с.384−398
- Григоренко Г. В., Душин Л. А., Скибенко А. И. Влияние рефракции на точность определения плотности плазмы при микроволновой интерферометрии
- В сб. Высокочастотные свойства плазмы. Киев. 1968. в.З., с.178−187
- Ковалевский В.Л., Кондраков P.E., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф ВАХ-метод диагностики параметров приэлектродных слоев и плазмы емкостного ВЧ разряда Материалы конф. «Физика и техника плаз мы». Минск. 1994.Т.1, с.373−376
- Савинов В. П. Изучение физических свойств и параметров емкостного ВЧ разряда методом вольт-амперных характеристик
- Тез.докл. II научно-метод.конф. «Использование научно-технически дос тижений в демонстрационном эксперименте».Саранск. 1994. с. 179
- Ковалевский В.Л., Кондраков P.E., Савинов В. П., Сингаевский И.Ф Физические свойства одноэлектродного емкостного ВЧ разряда пони женного давления Тез.докл. Международной научно-техн.конф. «Проблемы и прикладные вопросы физики». Саранск. 1997. с.36−37
- Беннет В.Р. Газовые оптические квантовые генераторы УФН.1963 .т.81,с.119−184
- Белоусова И.М., Знаменский В.Б. Об особенностях механизма генерации гелий-неоновой смеси, возбуждаемой разрядом в полом катоде
- ЖПС. 1976 .т.25, с.434−440
- Криндач Н.И., Туницкий Л.Н. Сравнительные исследования дугового и высокочастотного разрядов, применяемых в He-Ne лазере327
- ЖТФ. 1968 .т.28, с.865−870
- Хирд Г. Измерение лазерных параметров . М.: Мир. 1970
- Аллен JL, Джонс Д. Основы физики газовых лазеров. М.: Наука. 1970
- Виттеман В.Я., Илюхин Б. И., Кочетов И. В., Очкин В. Н., Петере П. Я., Удалов Ю. Б., Цхай С. Н. О влиянии частоты возбуждающего поля на ха рактеристики активных сред С02 лазеров с ВЧ накачкой Препринт ФИАН № 31. Квантовая электроника. 1994, 28 с.
- Heeman-Ilieva М.В., Udalov Yu.B., Witteman W.J., Peters P.J., Hoen K., Ochkin V.N. RF excited 1.1 W/cm waveguide C02 laser J.Appl.Phys. 1993, v.74, № 7, p.4786−4788
- Могильницкий Б.С. Усиление некоторых видов генерации в разряде по лого катода Оптика и спектроскопия . 1974 .т.37, с.231−236
- Муравьев И.И., Солдатов А. Н., Климкин В. М., Янчарина A.M. Исследо вание условий разряда в полом катоде для получения генерации на
- Л 1,15 мк неона Изв.ВУЗов. Физика. 1968.T.12, с. 125−127
- Дятлов М.К., Касьян В. Г., Левин В. Г. Самоселекция частот в гелий-кадмиевом лазере с поперечным ВЧ возбуждением Письма в ЖТФ. 1977.T.3, с.644−646
- Годяк В.А., Кузовников A.A., Савинов В. П., Эль Саммани А.Я. Стационарные поля в ВЧ разряде низкого давления Тез.докл. Меж вуз.конф.по физ. и хим.низкотемп.плазмы .1967. М.: Изд.МГУ. с. 18
- Александров А.Ф., Кузовников A.A., Рухадзе A.A., Савинов В. П. Пространственное распределение параметров в ВЧ разряде Тез.докл. II Всес.конф.по физ.низкотемп.плазмы. 1968.Минск. Изд. АН БССР. с.5
- Kuzovnikov A.A., Kovalevsky V.L., Savinov V.P., Yakunin V.G. Study of the boundary region of the HF discharge plasma by the optical method Proc. III Europ.Conf.Atom.Molec.Phys.Ionis.Gases. Bratislava. 1976. P.67
- Кузовников A.A., Ковалевский В. Л., Савинов ВП., Якунин В. Г. О физи ческих свойствах приэлектродных областей ВЧ разряда Тез.докл. V328
- Всес.конф.по физ.низкотемп.плазмы.1979. Киев.: Изд. АН УССР, с.367
- Кузовников A.A., Ковалевский В. Л., Савинов В. П. О динамике процессов в приэлектродных областях ВЧ разряда Труды VIII Всес.конф.по гене рат.низкотемп.плазмы. 1980. Новосибирск. Ч. Ш, с. 127−130
- Kuzovnikov A.A., Kovalevsky V.L., Savinov V.P. The physical mechanism of arising of highly non equilibrium HF discharge plasma Kurzfass.Vortr. V Tagung «Physik und Techn. Plasmas». 1980. Greifswald. s. 107−108
- Елисеев H.B., Кузовников, А А., Савинов В. П., Якунин В. Г. Об одном ме ханизме ВЧ нагрева электронов ограниченной плазмы Тез.докл. III Всес.конф."Взаимодействие электромагнитного излучения с плазмой". Алма-Ата. 1982. с.37−38
- Казанцев С.А., Ковалевский В. Л., Кузовников A.A., Савинов В. П Характер движения электронов в емкостном ВЧ разряде Тез.докл.Всес.совещ. «ВЧ разряд в волновых полях». Горький. 1987. с. 13
- Бояршинов Ю.А., Маляров A.B., Рябый В. А., Савинов В. П., Якунин В. Г. Плазмохимический реактор. Авт.свид. СССР на изобрет.№ 1 463 115,1987.
- Воробьев В.В., Кондаков М. И., Маляров A.B., Рябый В.А., Савинов В. П. Способ плазмохимического удаления с поверхности полупроводнико вых пластин органических соединений
- Авт.свидетельство СССР на изобретение № 1 429 842. 1988
- Бояршинов Ю.А., Рябый В. А., Савинов В. П., Спорыхин A.A. Плазмохимический реактор
- Авт.свидетельство СССР на изобретение № 1 524 739. 1989
- Gordeev A.I., Malyarov A.V., Ryaby V.A., Savinov V.P., Yakunin V. G Changing of oxygen plasma parameters in RF discharge over photoresist sur face Abstr. IX Europ.Sect.Conf.Atom.Molec.Physics Ionised Gases. Lisbon. 1988. P.347−348
- Ковалевский В.Л., Савинов В.П., Урьева И. А. Экспериментальное исследование электронной эмиссии на электродах ВЧ разряда329
- Тез.докл. 1УВсес.конф. по физ.газ.разряда. Махачкала.1988.4.1, с.98−99
- Савинов В.П. Изучение газового разряда В кн. Спецпрактикум по газо вой электронике и физике плазмы М.: Изд.МГУ. 1988. с.4−19
- Кузовников А.А., Савинов В. П. Физический механизм ВЧ разряда низко го давления Тез.докл. Всес.семин. по высокочастотному пробою газов. Тарту. 1989. с. 16−20
- Гордеев А.И., Ковалевский В. Л., Савинов В.П, Урьева И. А., Якунин В. Г. Приэлектродные потоки заряженных частиц в емкостном ВЧ разряде Тез.докл.Всес.семин. по ВЧ пробою газов. Тарту. 1989. с.81−83
- Гордеев А.И., Савинов В. П., Якунин В. Г. Динамика электронных потоков в приэлектродных областях ЕВЧР Тез.докл.Х1 Всес.конф.'Тенераторы низкотемп. плазмы".Новосибирск. 1989.4.2., с. 127−130
- Savinov V.P., Yakunin V.G. Charge particles flows dynamics to HFdischarge electrodes
- Proc. XIX Intern.Conf.Phen.Ionis.Gases. Belgrad. 1989. Part 1, P. 123−124
- Бояршинов Ю.А., Маляров А. В., Рябый B.A., Савинов В. П., Спорыхин А. А. Плазмохимический реактор Авт.свид. СССР на изобрет. № 4 474 132. 1989
- Ершов А.П., Кузовников А. А., Савинов В. П. Физика граничных слоев плазмы. М. :Изд.МГУ. 1990, 80 с.
- Гордеев А.И., Ковалевский В. Л., Савинов В. П., Шорин А. В. Эффекты квазистационарных полей в приэлектродных областях емкостного ВЧ разряда Тез.докл. VIII Всес.конф.по физ.низкотемп.плазмы. Минск. 1991. 4.1, с.59−60
- Gordeev A.I., Kovalevsky V.L., Savinov V.P., Shorin A.V.
- Гордеев А.И., Ковалевский В. Л., Савинов В. Динамика физических процессов в приэлектродной области емкостного ВЧ разряда Тез.докл.У1 конф. по физ.газ.разряда.Казань.1992.Ч.2,Р.166−167
- Гордеев А.И., Ковалевский B.JL, Савинов В. П., Черных К. А. Зависимость характера перехода между режимами емкостного ВЧ разряда от физических условий
- Тез.докл.У1 конф. по физ.газ.разряда.Казань.1992.4.2,с.168−169
- Киреев В.Ю., Ковалевский В. Л., Рябый В. А., Савинов В. П., Спорыхин A.A., Сухоруков С. С., Шейко Л. И., Якунин В. Г., Ястребов В. Г. Плазмохимический реактор баррельного типа Патент России. № 2 024 990. кл. 5 H01L 21/302, 1992.
- Александров А.Ф., Рябый В. А., Савинов В. П., Якунин В. Г. Физические процессы при обработке полупроводниковых пластин в плазме ВЧ раз ряда Тез.докл. Российской конф. с участием зарубежных ученых «Микроэлектроника-94». Звенигород. 1994. 4.1, с.239−240
- Alexandrov A.F., Riaby V.A., Savinov V.P., Yakunin V.G. Electrophysical interaction of silicon wafers with glow discharge Plasmas Contr. Papers XI Intern.Conf. on Gas Discharges and Their Applications. Tokyo. 1995. Part 1, P.498−502
- Рябый В.А., Савинов В. П., Спорыхин A.A., Якунин В.Г.
- Об экспериментальной оценке электростатического напряжения, возни кающего на МОП-структурах при плазменной обработке ,
- Труды ФТИРАН. 1995.№ 10, с. 150−157
- Рябый В.А., Савинов В. П., Спорыхин A.A., Якунин В. Г. Электрические331пробои МОП-структур важнейший фактор плазменной деградации микроэлектронных чипов Микроэлектроника . 1996. т.25, с. 127−134
- Riaby V.A., Savinov V.P., Sporikhin А.А., Yakunin V.G. The MOS-structures electrical damage the most important factor of microelectronic chip plasma degradation Russian Microelectronics. 1996. V.25, P.45−52
- Ковалевский B.JI., Савинов В. П., Сингаевский И. Ф. Особенности меха низма возбуждения оптического излучения емкостного ВЧ разряда низ кого давления Сб. Вопросы прикладной физики под ред. В. К. Свешникова.Саранск.Изд.МГПИ. 1996.С. 14−18
- Савинов В.П., Сингаевский И. Ф. Особенности транспорта заряженных частиц на электроды емкостного ВЧ разряда низкого давления Тез.докл.УШ конф. по физ.газ.разряда.Рязань.1996. 4.2, с.81−82
- Ковалевский В.Л., Савинов В. Методика измерения параметров элек тронных пучков в емкостном ВЧ разряде низкого давления Тез.докл. IV Всеросс. научно-метод.конф. «Учебный физический экспе римент и его совершенствование». Пенза. 1998. с.47
- Александров А.Ф., Рябый В. А., Савинов В. П. Особенности электрофи зического взаимодействия кремниевых пластин с газоразрядной плазмой Тез.докл. XXVI Звенигородской конф. по физ. плазмы и УТС. Звенигород. 1999. с.269
- Савинов В.П., Якунин В. Г. Особенности газовых лазеров с накачкой емкостным ВЧ разрядом Межвузовский сб. научных работ «Источники излучения» под ред. В. К. Свешникова. Саранск.1999. Изд.МГПИ. с.8−11
- Савинов В.П., Сингаевский И.Ф. Дискретный механизм переноса электронов плазмы на электроды ВЧ разряда
- Тез.докл. X конф. по физ.газ.разряда. Рязань.2000. 4.1, с.11−13
- Ковалевский В.Л., Савинов В. П. Частотная зависимость процесса электронной эмиссии с электродов ВЧ разряда низкого давления Тез.докл. X конф. по физ.газ.разряда.Рязань.2000.Ч.2,с. 160−161