Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов
Диссертация
Проведено исследование изменения параметров ионных пучков, формируемых ИИ с многоячеистой ионно-оптической системой (ИОС), при модификации ИОС посредством изменения взаимного расположения электродов. Установлено, что механизмом, определяющим энергетические параметры и интенсивность ионных пучков, является изменение зоны эффективной ионизации вещества в ускоряющем зазоре источника. Развит метод… Читать ещё >
Список литературы
- Ю.П. Маишев. Справочник. Инженерный журнал № 6, 1999.
- H.R. Kaufman, P.D. Reader, Experimental Performance of Ion Rockets Employing Electron-Bombardment Ion Sources, ARS Electrostatic Conference, Monterey, Calif., Nov. 3−4, 1960.
- Y.Rao, M. Li, B. Qi, F. Li, Rev.Sci.Instrum. V.67, № 3, 1996, pp. 1009−1011.
- Y.C.Feng, D.W. You, Y.Z. Kuang, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4, 1994, pp. 1304−1306.
- H.R. Kaufman, R.S. Robinson, W.E. Hughes. Characteristics, capabilities and applications of broad-beam sources. CSC, 1998, p. 38.
- W.C.Kim, K.H. Chung, B.H. Coi, Rev.Sci.Instrum., V.65, № 4, 1994, pp. 1356−1358.
- H.R. Kaufman et.al. Char.Cap. and Appl. of Broad-Beam Sources, CSC, Alexandria, Va., 1987.
- И.И. Аксенов, И. А. Белоус, В. Г. Падалка, В. М. Хорошкин, Sov.J.Plasma Phys.,№ 4, 1978, с. 428.
- S.Anders, A. Anders, I.G.Brown, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4, 1994, pp. 1253−1258.
- I.G. Brown, S. Anders, M.R. Dickinson, P.B. Fojas, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4,1994, pp. 1260−1261.
- A.A. Goncharov, I.M. Protsenko, A.N. Dobrovolsky, Rev.Sci.Instrum. V.67, № 3,1996, pp. 1073−1075.
- E. Oks, G. Yuskov, A. Nikolaev, Rev.Sci.Instrum. V.67, № 4, 1996, pp. 1213−1215.
- S.Anders, A. Anders, I.G.Brown, R.A. Mac Gill, M.R. Dickinson, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4, 1994, pp. 1319−1321.
- P. Хьюз, Р.Андерсон. Лазерные ионные источники // «Физика и технология источников ионов», п/р Я. Брауна, М.: Мир, 1998, с. 382.
- R.H. Hughes, R. J. Anderson, С.К. Manka, M.R. Carruth, L.G.Gray, J.Appl. Phys. V.51, 1980, p. 4088.
- Y.Ping, Z. Sixing, W. Baowen, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4, 1994, pp. 1275−1277.
- H. Haseroth, H. Kugler, K. Langbein et all, Rev.Sci.Instrum. V.69, № 2, 1998, pp.1051−1053.
- Л.Г. Бакуева, В. И. Ильин, С. Ф. Мусихин, Л. В. Шаронова, ФТП, Т.27, вып. 11/12, 1993, с. 1868−1870.
- R. Harkewicz, J. Stacy, J. Greene, R.C. Prado, Rev.Sci.Instrum. V.65, № 4, 1994, pp. 1104−1106.
- N. Sakudo, Rev.Sci.Instrum. V.69, 1998, p. 825.23 .L. Wartsy, С. Schwebel, J. Aubert, Rev.Sci.Instrum. V.67,1996, p. 895.
- J. Asmussen, M. Dahimene, J.Vac.Sci.Technol. В V.5, 1987, p. 328.
- V. Pichot, A. Durandet, Rev.Sci.Instrum. V.59, 1988, p. 1072.
- A. Farchi, L. Wartski, F. Boukari, V. Roy, Ph. Coste, J. Aubert, Rev.Sci.Instrum. V.65, 1994, p. 1104. ------
- G. Neumann, H.C.Scheer, Rev.Sci.Instrum. V.63, № 4, 1992, pp. 2403−2405.
- T. Taylor, Rev.Sci.Instrum. V.63, № 4, 1992, pp. 2507−2512.
- N.A. Morrison, S.E.Rodil, A.C.Ferrari, J. Robertson, W.I. Milne, Thin Solid Films V.337, 1999, pp. 71−73.
- M. Wakatsuchi, S. Ishii, Y. Kato, M. Sunagava, F. Tani, Proc. IEEE, № 1, 1996, p. 800.3 l.H. Сакудо. СВЧ ионные источники // «Физика и технология источников ионов», п/р Я. Брауна, М.: Мир, 1998, с. 248.
- Y. Gotoh, Y. Fujimori, Н. Kubo, Н. Tsuji, J. Ishikawa, Rev.Sci.Instr. V.69, Pt.2,1998, pp. 887−889.
- J. Ishikawa, Rev.Sci.Instrum. V.67, 1996, pp. 1410.
- K. Ленг. Источники. отрицательных ионов // Физика и технология источников ионов", п/р Я. Брауна, М.: Мир, 1998, с. 382.
- Y. Mori, Rev.Sci.Instrum. V.63, № 4, 1992, pp. 2357−2362.
- G.D. Alton, M.T. Johnson, Nucl.Instr.Methods A V.328, 1993, pp. 154.
- M. Tanaka, K. Kobayashi, K. Miyake et al., Proceedings of the 5th Symposium on Beam Ingineering of Advanced Material Syntheses (Japanese), edited by J. Ishikawa (Beam Engineering Research Society of Japan, Kyoto, 1994), p. 73.
- H.Tsuji, J. Ishikawa, T. Tomita, T. Yoshihara, Y. Gotoh, Rev.Sci.Instrum. V.69, № 2, 1998, pp. 884−886.
- S. Aisenberg, R. Chabot, J. Appl. Phys., V.42, 1971, pp. 2953−2958.
- S. Aisenberg, US Patent № 3 961 103, June 1, 1976.
- L. Holland, S.M. Ojha, Thin Sold Films, V.38, L17, 1976.
- A. Gril, B.S. Meyerson, V.V. Patel, IBM J.Res.Develop. V.34, № 6, 1990, pp. 849−857.
- М.Ш. Абдулвагабов, Ю. М. Байков, H.C. Жданович, А. И. Косарев, В. Ф. Цветков, ФТП, Т.25, вып.1, 1991, с. 77−81.
- F.L. Freire.Jr., D.F. Franceschini, С.А. Achete, Phys.Stat.Sol. В V.192, 1995, pp. 493−503.
- KJ. Clay, S.P. Speakman, G.A.J. Amaratunga, S.R.P. Silva, J.Appl.Phys. V.79,1996, p. 9.
- И. Коньков, И. Н. Капитонов, И. Н. Трапезникова, Е. И. Теруков, Письма в ЖТФ, Т.23, № 1, 1997, с. 3−8.
- И. Коньков, И. Н. Трапезникова, Е. И. Теруков, ФТП, Т.28, вып.8, 1994, с. 1406−1410.
- Н. Клюй, Письма в ЖТФ, Т.24, № 10, 1998, с. 87−93.
- S.1. Sung, X.J. Guo, К.Р. Xuang, F.R. Chen, H.C. Shin, Thin Solid Films, V.315, 1998, pp. 345−350.
- А. von Keudell, Т. Schwartz-Selinger, W. Jacob, Thin Solid Films V.308−309, 1997, pp. 195−198.
- W. Scharff, K. Hammer, O. Stenzel et al., Thin Solid Films V.171, 1989, pp. 157−169.
- M. Kawarada, K. Mar, A. Kiraka, Jpn.J.Appl.Phis. V.26, 1987, pp. L1032-L1034.
- F. Gaspari, R.V. Kruzelesky, P.K. Lim, L.S. Sidhu, S. Zukotynski, J.Appl.Phys. V.79, № 5, 1996, pp. 2684−2688.
- А.Ф. Белянин, А. П. Семенов, И. А. Семенова. Труды Международной конференции «Алмазы в технике и электронике», Москва, Полярон, 1998, с. 158−167.
- В.Х. Кудояров, В. Л. Аверьянов, А. В. Чернышев, М. Б. Цолов, ФТП, Т.29, вып.9, 1995, с. 1662−1673.
- L. Nobili, P.L. Cavallotti, G. Coccia Lecis, G. De Ponti, C. Lenardi, Thin Solid Films V.317, 1998, pp. 359−362.
- A.A. Данченко, В. А. Лигачев, А. И. Попов, ФТП, Т.28, вып.12, 1993, с. 1233−1239.
- В.А. Лигачев, А. И. Попов, С. Р. Стукач, ФТП, Т.28, вып.12, 1994, с. 2145−2155.
- S. Hirono, S. Umemura, Y. Andoh, Т. Hayashi, R. Kaneko, IEEE Tranc. Mag. V.34, № 4, 1998, p. 1729.
- D.R. McKenzie, D. Muller, B.A. Pailthorpe et al., Diamond and Related Materials, V. l, 1991, pp. 51−59.
- P.J. Fallon, V.S. Veerasamy, C.A. Davis, J. Robertson, G.A.J. Amaratunga, W.I. Milne, J. Koskinen, Phys.Rev. B, V.48, № 7, 1993, pp. 4777−4782.
- Shi Xu, B.K.Tay, H.S.Tan, Li Zhong, Y.Q.Tu, S.P.P.Silva, W.I.Milne, J.Appl.Phys. V.79, № 9, 1996, pp. 7234−7241.
- Yusuke Taki, Osamu Takai, Thin Solid Films, V.316, 1998, pp. 45−50.
- S.R. Kasi, H. Kang, J.W. Rabalais, J.Chem.Phys. V.88, 1988, p. 5914.
- J. Kulik, G.D. Lempert, E. Grossman, D. Marton, J.W. Rabalais, Y. Lifshits, Phys.Rev.B V.52, № 22, 1995, pp. 15 812−15 822.
- L.Yu. Khriachtchev, M. Rasanen, R. Lappalainen, J.Appl.Phys. V.82, № 1, 1997, pp. 413−420.
- J. Robertson, Pure&Appl.Chem, V.66, № 9, 1994, pp. 1789−1796.
- J. Angus, F. Jansen, J.Vac.Sci.Tech. A., № 6, 1988, p. 1778.
- D.L. Pappas, K.L. Saenger, J. Bruley, W. Krakow, J.J.Cuomo, T. Gu, R.W. Coilins, J.Appl.Phys. V.71, 1992, p. 5675.
- H. Pan, M. Pruski, B.C. Gerstein, F. Li, J.S. Lannin, Phys.Rev. В V.44, 1991, p. 6741.
- Y. Lifshitz, S.R. Kasi, J.W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. V.68, 1989, p. 620.
- Y. Lifshitz, G.D. Lempert, E. Grosman, Pys. Rev. Lett. V.72, 1994, p. 2753.
- Koponen, M. Hakovirta, R. Lappalainen, J.Appl.Phys. V.78, 1995, p. 5837.
- C.A. Davis, Thin Solid Films V.226, 1991, p. 30.
- R. Berman, F. Simon, Z.Electrochem., № 59, 1955, p. 338.
- L. Ponsonet, C. Donnet, K. Varlot, J.M. Martin, A. Gril, V. Patel, Thin Solid Films V.319, 1998, pp. 97−100.
- Ch. Lioutas, N. Vouroutzis, S. Logothetidis, H. Lefakis, Thin Solid Films V.319, 1998, pp. 144−147.
- S. Logothetidis, C. Charitidis, Thin Solid Film V.353, 1999, pp. 208−213.
- L.Yu. Khriachtchev, M. Rasanen, R. Lappalainen, Thin Solid Films, V.325, 1998, pp. 192−197.
- H. Hofsass, H. Feldermann, R. Merk, M. Sebastian, C. Ronning, Appl.Phys. A V.66, 1998, pp. 153−181.
- Y. Lifshitz, S.R. Kasi, J.W. Rabaliis, Phys.Rev.Lett. V.62, 1989, p. 1290.
- J. Robertson, Surf.Coat.Technol. V.50, 1992, p. 185.
- B.K. Tay, X. Shi, L.K. Cheah, D.I. Flynn, Thin Solid Films V. 308−309,1997, pp. 199−203.
- S. Anders, J.W. Ager III, G.M. Pharr, T.Y. Tsui, I.G. Brown, Thin Solid Films V. 308−309, 1997, pp. 186−190.
- A. Reyes-Mena, J. Gonzalez-Hernandez, R. Asomosa, B.S. Chao, J.Vac.Sci.Technol.A V.8, № 3, 1990, pp. 1509−1513.
- A.C. Сигов, В. И. Ткачев, В. И. Свитов, Ю. А. Концевой, Труды международной конференции «Алмазы в технике и электронике», Москва, 1996, с. 130−135.
- В.В. Слепцов, В. М. Елинсон, Г. Ф. Ивановский и др., Ваккумная техника и технология, Т.2, № 4, 1992, с. 69−72.
- S.L. Sung, X.G. Guo, К.Р. Xuang, F.R. Chen, H.C. Shih, Thin Solid Films V.315, 1998, pp. 345−350.
- J. Seth, S.V. Babu, J.Appl.Phys. V.73, № 5, 1993, pp. 2496−2504.
- X. Shi, H. Fu, J.R.Shi, L.K. Cheah, B.K. Tay, P. Hui, J.Phys.: Condens. Metter V. 10, 1998, pp. 9293−9302.
- J. Robertson, C.A. Davis. Diamond Relat. Mater. № 4, 1995, p. 441.
- L.K. Cheah, X. Shi, J.R. Shi, E.J. Liu, S.R.P. Silva, J. Non-Cryst.Sol. V.242,1998, pp. 40−48.
- Y.L. Bai, E.Y. Jiang, Thin Solid Films V.353, 1999, pp. 157−165.
- J.H. Moon et al, J.Vac.Sci.Technol. В V.17, № 1, 1999, p. 241.
- B.Racine, M. Benlahsen, K. Zellama et.al., Appl.Phys.Lett., V.73, № 22, 1998, p.3226−3229.
- M.Weiler, S. Sattel, K. Jung, H. Ehrhardt, V.S.Veerasamy, J. Robertson, Appl.Phys.Lett., V.64, 1994, p.2797.
- Н.И. Ионов, ЖТФ, T.34, вып.5, 1964, с. 769−788.
- Ю.П. Маишев. Вакуумная техника и технология, Т.2, № 4, 1992, с. 53−58.
- К.А. Валеев, JI.B. Беликов, Ю. П. Маишев. Прецизионное селективное травление пленок Si02 и Si3N4 пучками ионов химически активныхгазов. Труды Физико-технологического института РАН, Т. 15, 1999, с. 3−17.
- Плешивцев Н.В., Бажин А. И., Физика воздействия ионных пучков на материалы, М.: Вузовская книга, 1998, с. 392.
- Ивановский Г. Ф., Петров В. И., Ионно-плазменная обработка материалов, М.: Радио и связь, 1986, с. 232.
- Техническое описание ЛЭМ-2М (см. Резвий P.P., Эллипсометрия в микроэлектронике. М.: Радио и связь, 1985).
- V.V. Khvostov, М.В. Guseva et al.// Surface Sci.Lett., V.169, № 1, 1986, pp. 1253−1258.
- P. Аззам, H. Батара, Эллипсометрия и поляризованный свет. Пер. с англ. под ред. А. В. Ргианова. М.: Мир, 1981, с. 583.
- В. Dishler, Proc. Eur. Mater. Res. Meet. V.17, 1987, p. 189.
- G. Socrates. Infrared characteristic group frequencies, Willey, New York, 1994, p. 9.
- B.A. Плискин, С. Ж. Занин // Толщина и химический состав пленки// «Технология тонких пленок», Справочник, М., «Советское радио», Т.2, 1977, с. 176.
- K.L. Enisherlova, Y.A. Kontsevoi, Е.А. Mitrofanov, Y.P. Maishev, Diamond-like carbon and SiC films obtained by the industrial system equipped by the source with cold cathode // Spring Meeting Materials Research Society. San Francisco, 1995, p. 188.
- V. Chu, N. Barradas, J.C. Soares, J.P.Conde, J. Jarego, P. Brogueira, J. Rogriguez, J.Appl.Phys., V.78, № 5, 1995, p. 3164.
- R.A.C.M. van Swaaij, A.J.M. Berntsen, W.G.J.H.M. va Sark, H. Herremans, J. Bezemer, W.F. van der Weg, J.Appl.Phys., V.76, № 1,1994, p. 251.
- S.H. Lee, D.C.Lee, Thin Solid Films, 325, 1998, pp. 83−86.
- J. Niemann, W. Bauhofer, Thin Solid Films, V.352, 1999, pp. 249−258.
- F. Fujii, M. Yoshimoto, T. Fuyuki, H. Matsuami, JpJ.Appl.Phys. Pt. l, V.36, 1997, p. 289.
- M.T. Kim, J. Lee, Thin Solid Films, V.303, 1997, p. 173.
- S.F. Durrat, R.T. Marcal, S.G. Castro, R.C.G. Vinhas, M.A. Bica de Moraes, J.H. Nicola, Thin Solid Films, V.259, 1995, p. 139.
- A. Grill, V. Patel, J.Appl.Phys., V.85, № 6, 1999, pp. 3314−3318.
- W.J. Wu, M.H. Hon, Thin Solid Films, V.345, 1999, pp. 200−207.
- J.P. Conde, V. Chu, M.F. da Silva et al, J.Appl.Phys. V.6, № 6, 1999, pp. 3327−3338.
- T. Fujii, M. Hiramatsu, M. Nawata, Thin Solid Films, V.343−344, 1999, pp. 457−460.
- A. Tabata, Y. Kuno, T. Suzuoki, Y. Mizutani, J. Non-Cryst.Solids, V. 164−166, 1993, p.1043.
- F.H.C. Goh, Ph.D. thesis, University of Arkansas, 1992, p. 151.
- D.R. McKenzie, D.A. Muller, E. Kravtchinskaia, D. Segal, D.J.H. Cockayne, G. Amaratunga, R. Silva, Thin Solid Films, V.206, 1991, p. 198.
- S. Scaglione, G. Emiliani, J.Vac.Sci.Technol.A, V.4, 1989, p. 2303.
- J. Robertson, Philosoph. Mag. B, V.66, № 2, 1992, pp. 199−209.
- J. Robertson, Diamond Rel.Mat., V.4, 1995, p.297.
- Н.И. Файнер, Ю. М. Румянцев, M.JI. Косинова, Е. А. Максимовский. Нанокристаллические функциональные материалы на основе пленок карбонитрида кремния. Сборник докладов 12-ого Международного симпозиума «Тонкие пленки в электронйке», 2001, с. 242−246.
- В процессе проведения совместных исследований были получены следующие результаты:
- Для элементов солнечных батарей, имеющих чувствительность к свету как на лицевой, так и на тыльной стороне, нанесение АПП на тыльнуюсторону на 10% повысило спектральную чувствительность в диапазоне 600 800 нм-
- В дальнейшем предполагается проведение новых исследований на основе диссертации C.JI. Шевчука и внедрение полученных результатов при проведении ОКР и организации производства солнечных элементов с улучшенными параметрами.
- Начальник отделения, к.т.н.
- Лауреат Государственной премии РФ / А.С. Скрылев
- Главный научный сотрудник, д.т.н. Лауреат Ленинской премии ' Ю.А. Концевой