Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала
Диссертация
Оптические свойства наноразмерных тонких пленок зависят от толщины пленки, материала подложки и качества подготовки её поверхности. Так для образцов пленок Si02, полученных в условиях промышленного производства методом плазмохимического осаждения, показатель преломления увеличивается (2,0) с уменьшением толщины пленки, а при магнетронном ионно-плазменном распылении — уменьшается (1,35… Читать ещё >
Список литературы
- Шульц М.М. Современные представления о строении стекол и их свойствах / М. М. Шульц, О. В. Мазурин. JL: Наука, 1988. — 198 с.
- Горшков B.C. Физическая химия силикатов и других тугоплавких соединений / B.C. Горшков, В. Г. Савельев, Н. Ф. Федоров. — М.: Высшая школа, 1988.-400 с.
- Vinter — Klein A. Les formateurs des verres et la tableau periodique des elements /Vinter -Klein A. //Verres et reif. 1955.- Vol. 9.-P. 147- 156.
- Мюллер P.JI. Химические особенности полимерных веществ и природа стеклообразования // Стеклообразное состояние.- I960.- С. 61 71.
- Кокорина В.Ф. Влияние химической связи на стеклообразование и свойства стекол // Стеклообразное состояние. 1971.-С. 87 — 92.
- Revelli I. F. Prism coupling into clad uniform optical waveguides/ Revelli I. F., Sarid D // J. Appl. Phys. 1980. — Vol. 51, N 7. -P. 3566 — 3575.
- Просветление оптики / И. В. Гребенщиков и др.- под ред. И. В. Гребенщикова. М.: Гостехиздат, 1946. — 276 с.
- Schneider Е. Temperature dependence of the refractive index of strontium titanate and prism coupling to lithium niobate optical waveguides / Schneider E., Cressman P. I. // J. Appl. Phys. 1982. — Vol. 53, N 6. -P. 4054−4059.
- Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике / А. И. Борисенко и др.- под ред. В. В. Новикова. JL: Наука, 1972.- 114 с.
- Ю.Палатник Л. С., Сорокин В. К. Основы пленочного полупроводникового материаловедения / Л. С. Палатник, В. К. Сорокин. М.: Энергия, 1973. -295 с.
- Резвый P.P. Эллипсометрия в микроэлектронике / P.P. Резвый. М.: Радио и связь, 1983. — 120с.
- Слуцкая В.В. Тонкие пленки в технике СВЧ / В. В. Слуцкая. М.: Сов. радио, 1967. — 380 с.
- Иванов-Есипович Н. К. Инженерные основы пленочной микроэлектроники / Н.К. Иванов-Есипович. Л.: Энергия, 1968. -176. с.
- Калинкин И.П. Эпитаксиальные пленки соединений AB / И. П. Калинкин, В. Б. Алесковский, A.B. Симашкевич. Л.: Изд-во ЛГУ, 1978.- 156 с.
- Корбань В.И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике / В. И. Корбань, Ю. И. Борзанов. -М.: Радио и связь, 1988. 104с.
- Дикаев Ю. М., Копылов Ю. А., Котелянский И. М. Простой метод определения профиля диффузионных волноводов. Кв. эл., 1981, т. 8, № 2, с. 378−381.
- Грибов Б.Г. Стеклянные подложки в производстве прецизионных фотошаблонов / Б. Г. Грибов, A.M. Мазин, Р. А. Родионов, J1.H. Шевякова // Обзоры по электронной технике. сер. 6, вып. 4(1133), 1985.-Сер. 6, № 4(1133). — 38с.
- Серебренников В.В. Редкоземельные элементы и их соединения в электронной технике / В. В. Серебренников и др.- под ред.
- B.В. Козика. Томск: Изд-во Том. ун-та, 1980. — 156 с.
- Бурке Дж. Обработка поверхности и надежность материалов / Дж. Бурке.-М.: Мир, 1985.- 192 с.
- Сергеев А.Н. Тугоплавкие оксиды и их соединения в тонком слое / А. Н. Сергеев. — Томск: Изд-во Том. ун-та, 1988. 300 с.
- Анацкая Н.И. Пленки оксидов и их соединения в планарных оптических устройствах / Н. И. Анацкая, JI.A. Осадчев, А. Н. Сергеев и др. // Обзоры по Эл. тех. Сер. Материалы. М.: ЦНИИ «Электроника», 1983, вып. (846).-53 с.
- Boyd I. Т. Integrated optical silicon photodiode array / Boyd I. T., Chen С. L. // Appl. Opt. 1976, Vol. 15, N 6. — P. 1389 — 1393.
- Топорец A.C. Оптика шероховатой поверхности / A.C. Торопец. JI.: Машиностроение, 1988. — 191с.
- Осадчев Л. А. О применении призм со сферическим основанием в экспериментальных исследованиях оптических волноводных систем / Осадчев Л. А., Смирный В.В.// Оптика и спектры.- 1977. Т. 42, № 1,1. C. 552 555.
- Верещагин В.И. Поли функциональные неорганические материалы на основе природных и искусственных соединений / В. И. Верещагин и др.- под ред. В. И. Верещагина. Томск: ТГУ, 2002. — 359 с.
- Суковская Н.В. Химические методы получения тонких прозрачных пленок / Н. В. Суковская. Л.: Химия, 1971.- 230 с.
- Weber H. P. Absorption srectroscopy in scattering samples using integrated optics / Weber H. P., Dunn T. A., Liebolt W. N. // J. Appl. Phys. 1973. -Vol. 12, N5.-P. 755−758.
- Won Y. H. Three-prism loss measurements of optical waveguides / Won Y. H., Janssaud P. C., Chartier G. H. // App. Phys. Lett. 1980. -Vol. 37, N3,-P. 269−271.
- Барноски M. Введение в интегральную оптику / М. Барноски и др.- под ред. М. Барноски М.: Мир, 1977. — 367 с.
- Sasaki К. Mode coupling between slab-type optical waveguides via dichroic absorption of M-centers // Sasaki K., Kmimura T., Kaneko H. -App. Phys. 1979. — Vol. 50, N 11. — P. 6688 — 6681.
- Шандаров С. M. Использование поверхностных оптических и акустических волн для исследования материалов в тонком слое / Шандаров С. М, Сергеев А. Н. // Поверхность и новые материалы. -Свердловск: Изд-во ИХ УНЦ АН СССР, 1984 С. 144 — 145.
- Тамир Т. Интегральная оптика / Т. Тамира и др.- под ред. Т. Тамира— М.: Мир, 1978.-442 с.
- Сергеев А.Н. Волноводное распространение света как метод исследования материалов / Сергеев А. Н., Шандаров С. М. // Методы исследования неорганических веществ. Томск: Изд-во ТГУ, 1983. -С. 159- 183.
- Papuchon М. Improved ray representation for planar opyical waveguides / Papuchon M., Combemale Y., Ostrowsky D. B. // Opt. Com. 1975. -Vol. 2, N2.-P. 418−424.
- White J. M., Heichrich P. F. Optical waveguide refractive index profiles determing from measurement / White J. M., Heichrich P. F. // Appl. Opt. -1976, — Vol. 15, N 1. P. 151 — 154.
- Семченко Г. Д. Золь-гель процесс в керамической технологии / Г. Д. Семченко. Харьков, 1997. — 143 с.
- Hashimoto М. A Numerical method of determing propagation characteristics of guided waves along inhomogeneous planar waveguides / Hashimoto M. A // J. Appl. Phys. 1979. — Vol. 50, N 4. — P. 2513 — 2518.
- Парье О. О восстановлении профиля показателя преломления в диффузионных волноводах / Парье О., Сычуров В. JL, Тищенко А. В. // Кв. эл. 1980. — Т. 7, № 9. — С. 2028 — 2031.
- Войтенков А. И. Об определении профиля показателя преломления меломодовых планарных волноводов / Войтенков А. И., Могилевич В. Н. //Кв. эл. 1983.-Т. 10, № 10. — С. 2128−2131.
- Minakato М. Precise determination of refractive — index changes in Ti-diffused LiNbOs optical waveguides / Minakato M., Saito S., Shibata M. // J. Appl. Phys. 1978. — Vol. 49, N 9. — P. 4677 — 4681.
- Minakato M. Two-dimensional distribution of refractive index changes in Ti-diffused LiNb03 strip waveguides / Minakato M., Saito S., Shibata M. // J. Appl. Phys. 1979. — Vol. 50, N 5. — P. 3063 — 3066.
- Сергеев А.Н. Исследование диэлектрических пленок соединений РЗЭ методом ВРОКИ / Сергеев А. Н, Серебренников В. В., С. М. Шандаров С.М. // Физика диэлектриков. Караганда: Изд-во КПИ, 1978. -С. 86- 88.
- Чопра К. JI. Электрические явления в тонких пленках/ K.JI. Чопра. — М.: Мир, 1972.-386 с.
- Мустафаев Г. А. Способы получения тонких диэлектрических пленок для ИС / Мустафаев Г. А., Саркаров Т. Э., Тешев Р. Ш., Мустафаев А. Г. // Зарубежная электронная техника. 2000. — Вып.4. — С.62 — 89.
- Бабкин С.И. Процессы и оборудование физического осаждения из газовой фазы в технологии интегральных микросхем / Бабкин С. И., Киреев В. Ю. // Известия вузов. Электроника. 2002. — № 1. — С.7 — 22.
- Иванов Р.Д. Катодный метод создания пленочных элементов микросхем/Р.Д. Иванов. — М.: Энергия, 1972. 112 с.
- Федер Е. Фракталы: пер. с англ. / Е. Федер. М.: Мир, 1991. — 254 с.
- Бриггс Д. Анализ поверхности методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии / Д. Бриггс, М. П. Сих. М.: Мир, 1987.- 600 с.
- Карпасюк В.К. Современные физические методы исследования материалов / В. К. Карпасюк. Астрахань: Изд-во АПИ, 1994. — 232 с.
- Данилин Б.С. Высокочастотное ионное распыление / Данилин Б. С., Логунов В. Н. // Зарубежная электронная техника. — 1971. Вып. 3. -С. 3 — 24.
- Андросюк В.Н. Исследование равномерности высокочастотного катодного распыления пленок Ta2Os для оптических покрытий / Андросюк В. Н., Пашкевич В. И., Тушина С. Д., Романов Б. А. // Электронная техника. Сер.6. Материалы. 1985. — Вып.12 (211). -С. 17−21.
- Мандельброт Б.Б. Фрактальная геометрия природы / Б. Б. Мандельброт. М.: Институт компьютерных исследований, 2002. — 656 с.
- Горин A.B. Получение прозрачных диэлектрических пленок на основе окислов и оксинитридов металлов ВЧ-магнетронным распылением / Горин A.B., Кыласов В. А., Мартынов A.B. и др. //Электронная техника. Сер.6, Материалы 1991. — Вып. 1. — С.26 — 32.
- Новиков В.В. Теоретические основы микроэлектроники. Учебное пособие / В. В. Новиков. М.: Высшая школа, 1972. — 352 с.
- Данилин Б.С. Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления / Данилин Б. С. // Зарубежная радиоэлектроника. 1978. — № 4. — С.87 — 105.
- Данилин Б.С. Устройства со скрещенными полями и перспектива их использования в технологии микроэлектроники / Б. С. Данилин, В. К. Сырчин // Обзоры по электронной технике М.: Электроника, 1991. — Вып. 2. Сер. Микроэлектроника. — 90 с.
- Данилин Б.С. Исследование разряда в магнетронных системах ионного распыления / Данилин Б. С., Неволин В. К., Сырчин В. К. // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1977. — Вып. З (69). — С.37.
- Данилина Т.И., Смирнов С. В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов.- Томск: Томск.гос.ун-т систем управления и радиоэлектроники, 2000.- 140 с.
- Hosokawa N. Self-sputtering phenomena in high-rate coaxial-cylindrical magnetron sputtering / Hosokawa N., Tsukada Т., Misumi T. // J. Vac. Sci. Technol. 1977. — Vol. 14, N 1. — P. 143 — 146.
- Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел //Сборник статей. М.: Мир, 1989. — 349 с.
- Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА / В. Н. Черняев. -М.: Высшая школа, 1987. 375 с.
- Uzunoglu N. К. Scattering from an inhomogeneity inside a dielectric-slab waveguide / Uzunoglu N. K., Fikioric J. G. // J. Opt. Soc. Amer. 1982. -Vol. 72, N 5. — P. 628 — 637.
- Рахманин H.M. Методы изготовления резистивных слоев при повышенных требованиях к стабильности и точности / Н. М. Рахманин,
- A.М.Писаревский // Обзоры по электронной технике. М.: Электроника, 1974. — Вып. 10. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. — 36 с.
- Готра З.Ю. Технологические основы гибридных интегральных схем / З. Ю. Готра, Э. М. Мушкарден, JI.M. Смеркло. Львов: Вища школа, 1977.- 168 с.
- Чистоедова И.А. Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала // Автореферат кандидатской диссертации: Томск, ТПУ. 2005. — 19с.
- Шепелин В.А. Применение элипсометрического метода в коррозионно-электрохимических исследованиях. Эллипсометрия -метод исследования поверхности / Шепелин В. А. Новосибирск: Наука, 1983.-С. 43−50.
- Тауц Я. Оптические свойства полупроводников в видимой и ультрафиолетовой областях спектра: пер. с анг. / Тауц Я. М.: Мир, 1967.-74 с.
- Смирнов С.В. Физика твердого тела. Учебное пособие / С. В. Смирнов.- Томск: Томск, гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники, 2002.- 185 с.
- Гавриленко В.И. Оптические свойства полупроводников. Справочник /
- B.И. Гавриленко, A.M. Грехов. Киев: Наукова думка, 1987. — 570 с.
- Раков А.В. Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур / А. В. Раков. М.: Сов. Радио, 1975. — 115 с.
- Берштейн В.А. Механогидролитические процессы и прочность твердых тел / В. А. Берштейн. Л.: Наука, 1987. — 318 с.
- Киселев В.Ф. Адсорбционные процессы на поверхности полупроводников и диэлектриков / В. Ф. Киселев, О. В. Крылов. М.: Наука, 1987.-256 с.
- Мандельброт Б.Б. Фрактальная геометрия природы / Б. Б. Мандельброт. М.: Институт компьютерных исследований, 2002. — 656 с.
- Family F. Dynamics of Fractal Surfaces / F. Family, T. Vicsek. Singapore: World Scientific, 1991.-376 c.
- Гимпельсон В.Д., Радионов Ю. А. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники/ В. Д. Гимпельсон, Ю. А. Радионов. — М.: Машиностроение, 1976. 328 с.
- Лабунов В.А. Современные магнетронные распылительные устройства / Лабунов В. А., Данилович Н. И., Уксусов А. С., Минайчев В. Е. // Зарубежная электронная техника. — 1982. Вып. 10. — С. 3 — 62.
- Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л. Миронов. Нижний Новгород: РАН Институт физики микроструктур, 2004. — 111 с.
- Weiss В. L. Fabrication of GaAs devices / Weiss В. L. London: The Institute of Electrical Engineers, 2005. — 350 p.
- Брандон Д. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля / Д. Брандон, У. Каилан. — М.: Техносфера, 2004. 384 с.
- Пентин Ю.А. Физические методы исследования в химии / Ю. А. Пентин, Л. В. Вилков. М.: Мир, 2003. — 683 с.
- Фелдман Л. Основы анализа поверхности и тонких пленок / Л. Фелдман, Д. Майер. М.: Мир, 1989. — 344 с.
- Вудраф Д. Современные методы исследования поверхности / Д. Вудраф, Т. Делчар. М.: Мир, 1989. — 564 с.
- Попов В.Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно -ионной технологии: Учебное пособие для вузов / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. — М.: Высшая школа, 1988. 255 с.
- Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. М.: Радио и связь, 1986. -232 с.
- Павлов П.В. Физика твердого тела / Павлов П. В., Хохлов А. Ф. М.: Высшая школа, 2000. — 494 с.
- Верещагин И.К. Физика твердого тела / И. К. Верещагин и др.- под ред. И. К. Верещагина. М.: Высшая школа, 2001. — 237 с.
- Быстров Ю.А. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве / Ю. А. Быстров. — М.: Радио и связь, 1988.- 168 с.
- Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев. Киев: Техника, 1990.-206 с.
- Божков В.Г. Вольт-амперная характеристика туннельного контакта металл-полупроводник с барьером Шоттки / Божков В. Г., Зайцев С. Е. //Физика. Изв. ВУЗов. 2006. — Т. 49, № 3. — С.18−25.
- Alperovich V. L. Surface passivation and morphology of GaAs (100) treated in HCl-isopropanol solution / Alperovich V. L., Tereschenko О. E., Rudaya N. S., Sheglov D. V., Latyshev A. V., Te-rekhov A. S // Appl. Surf. Sci. 2004. — Vol. 235. — P. 249−259.
- Бекезина Т. П. Формирование поверхности заданного состава у арсенида галлия / Бекезина Т. П., Мокроусов Г. М // Неорганические материалы. -2000. Т.36, № 9. — С. 1029 — 1032.
- Божков В. Г. Исследование свойств поверхности GaAs методом сканирующей АСМ / Божков В. Г., Торхов Н. А., Ивонин И. В., Новиков В. А // ФТП. 2008. — № 42(5). — С. 546−554.
- Мокроусов Г. М. Перестройка твердых тел на границах раздела фаз/ Г. М. Мокроусов. Томск: Изд-во Том. ун-та, 1990. — 230 с.
- Palm Н., Arbes М., Schulz М. Fluctuations of the Au-Si (100) Schottky barrier height / Palm H., Arbes M., Schulz M // Phys. Rev. Lett. — 1993. — 71(4).-P. 2224−2227.
- Sadowska D. Optimization of the epy-ready semi-insulating GaAs wafer preparation procedure / Sadowska D., Gladki A., Mazur K., Talik E. // Vacuum. 2004. — № 72. — P. 217−223.
- Миронов В. JI. Основы сканирующей зондовой микроскопии /
- B. JI. Миронов. — Нижний Новгород: РАН Институт физики микроструктур, 2004. — 111 с.
- Мандельброт Б.Б. Фрактальная геометрия природы / Б. Б. Мандельброт. М.: Институт компьютерных исследований, 2002. -656 с.
- Rhoderick Е. Н. Metal-semiconductor contacts/ Е. H. Rhoderic. — New York: Oxford University Press, 1988. 251 p.
- Николаев И.М. Оборудование и технология производства полупроводниковых приборов / И. М. Николаев. М.: Высшая школа, 1977.-269 с.
- Физика и технология источников ионов / Я. Браун и др.- под ред. Я. Брауна. М.: Мир, 1998. — 496 с.
- Вендик О. Г. Корпускулярно-фотонная технология / О. Г. Вендик, Ю. Н. Горин, В. Ф. Попов. М.: Высшая школа, 1984. — 240 с.
- Смирнов C.B., Литвинова В. А., Чистоедова И. А. Оптические свойства тонких пленок оксида тантала // Тезисы докладов 12 Всероссийской научной конференции молодых ученых, Новосибирск, НГУ. — 2006.1. C. 131 132.
- Смирнов C.B., Чистоедова И. А., Литвинова В. А. Структура и свойства тонких пленок тантала, полученных магнетронным распылением // Доклады ТУ СУР. № 4(12). — 2005. — С. 80 — 84.
- Изображение поверхности образцов
- ТМ-10 000 782 2008.06.13 15:14 I. хЮк 10 ит
- Рисунок А.1 Поверхность образца I. Увеличение 10 000 раз
- ТМ-10 000 780 2008.06.13 15:06 Ь хЮк 10 ит
- Рисунок А.2 Поверхность образца II. Увеличение 10 000 раз136
- ТМ-10 000 776 2008.06.13 14:48 L хЮк 10 um
- Рисунок А. З Поверхность образца III. Увеличение 10 000 раз
- ТМ-10 000 762 2008.06.13 13:23 L хЮк 10 um
- Рисунок А.4 Поверхность образца IV. Увеличение 10 000 раз