Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Силикатные и гибридные нанокомпозиционные материалы, формируемые методом золь-гель технологии

Диссертация: Силикатные и гибридные нанокомпозиционные материалы, формируемые методом золь-гель технологии
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Впервые: выявлено, что получить более развитую поверхность и увеличить в 1,5−3 раза максимальную толщину образующихся наноразмерных покрытий можно за, счет примененияв процессе золь-гель синтеза олигомеров разветвленного строения, (0,5−2 мас.%), содержащих многочисленные гидроксильные группы, что повышает эффективность их использования в планарной технологии микроэлектроники в качестве… Читать ещё >

Силикатные и гибридные нанокомпозиционные материалы, формируемые методом золь-гель технологии (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • ГЛАВА 1. Современное состояние золь-гель синтеза (обзор литературы)
    • 1. 1. Становление и развитие золь-гель технологии
    • 1. 2. Нанокомпозиты, покрытия и мембраны, полученные золь-гель методом. Свойства и использование в современных промышленных технологиях
      • 1. 2. 1. Наноразмерные стекловидные покрытия, допированные гетероатомами металлов и неметаллов, в планарной, технологии микроэлектроники
      • 1. 2. 2. Стеклокерамические электроизоляционные и модифицирующие покрытия на основе золь-гель систем тетраэтоксисилан-неорганический допант-дисперсныГ, оксидный наполнитель
      • 1. 2. 3. Стекло керамические светорассеивающие покрытия на основе золь-гель систем водорастворимый щелочной силикат-неорганический допант- дисперсный оксидный наполнитель
      • 1. 2. 4. Протонопроводящие материалы на основе тетраэтоксисилана и ортофосфорной кислоты. Каталитические слои для топливных элементов
    • 1. 3. Формирование материалов из золей. Физико-химические основы и технологические особенности
      • 1. 3. 1. Что такое «золь-гель система» и «золь-гель синтез»
      • 1. 3. 2. Синтез золей
      • 1. 3. 3. Синтез дисперсий
      • 1. 3. 4. Влияние условий нанесения на свойства формируемых покрытий
      • 1. 3. 5. Физико-химические процессы, протекающие при термообработке
    • 1. 4. Материалы, получаемые золь-гель методом
    • 1. 5. Классификация гибридных органо-неорганических материалов, получаемых золь-гель методом
    • 1. 6. Пути формирования органо-неорганических материалов из золей
      • 1. 7. 0. собенности фрактальной микроструктуры органо-неорганических гибридных систем
      • 1. 7. 1. Фрактальная структура золь-гель систем
      • 1. 7. 2. Современные представления о фрактальной структуре золь-гель нанокомпозитов
    • 1. 8. Темплатный синтез материалов со структурой, упорядоченной на молекулярном уровне
      • 1. 9. 3. аключение
  • ГЛАВА 21. Формирование силикатных и гибридных нанокомпозиционных материалов и покрытий на основе многокомпонентных золь-гель систем (задачи и методы исследования)
    • 2. 1. Задачи, — стоящие в области золь-гель синтеза силикатных гибридных покрытий и мембран. Пути их использования! в промышленности. Методы и подходы
    • 2. 2. Стартовые компоненты золей и дисперсий на их основе., Особенности формирования различных гетерох енных силикатных материалов
      • 2. 2. 1. Наноразмерные стекловидные покрытия
      • 2. 2. 2. Ксерогели
      • 2. 2. 3. Стеклокерамические покрытия на основе разных прекурсоров
        • 2. 2. 3. 1. Силикатные композиционные покрытия на основе тетраэтоксисилана
        • 2. 2. 3. 2. Силикатные композиционные покрытия на основе щелочного силиката
    • 2. 2−3-3,Фосфатные композиционные покрытия на основе ортофосфорной кисгзты.,
      • 2. 2. 3. -4.Силикатные покрытия на поверхности порошков
    • 23. Методы исследования структуры и физико-химических свойств золь-гель систем и формируемых из них ксерогелей, покрытий и мембран
      • 2. 3. 1. Экспериментальная методика малоуглового рассеяния рентгеновских лучей при изучении фрактальной структуры золь-гель нанокомпозитов
      • 2. 3. 2. Методика подготовки образцов и определения характеристик ионной проводимости жидкого электролита и электролитных силикофосфатных мембран. ЮЗ
      • 2. 3. 3. Подготовка и испытания платиносодержащих каталитических слоев, нанесенных на угольные электроды топливной полуячейки
        • 2. 3. 4. 0. сновные характеристики и принцип действия газоаналитической аппаратуры для тестирования микросенсоров на различные газы при изменении относительной' влажности и концентрации тестируемых газов
    • 214. Выработка обобщенных критериев оценки свойств золей, покрытий и: мембран

Дату рождения золь-гель синтеза силикатных материалов можно связывать с 1844 годом, когда французский технолог Эбельмен (J.J. Ebelmen) впервые получил тетраэтоксисилан Si (OC2H5)4 [1,2]. Последний стал наиболее широко применяемым в промышленности прекурсором золь-гель синтеза. В 1846 году Эбельмен обнаружил способность тетраэтоксисилана (ТЭС) к гидролизу [3,4]. Эти события отделены многими годами от признания этого открытия не только научным сообществом, но и промышленниками.

Начиная со второй половины прошлого века, силикатные материалы на основе ТЭС, формируемые золь-гель методом, широко используются в различных отраслях промышленности [5]. Еще раньше из золей, образующихся из ТЭС, начали получать тонкие силикатные покрытия, в том числе содержащие различные легирующие компоненты — допанты [6−8]. Такие материалы стали применять особенно успешно в оптической, электронной, энергетической и некоторых других областях промышленности в качестве покрытий различного назначения.

У истоков разработки золь-гель технологии получения технически ценных силикатных материалов стояли советские исследователи И. В. Гребенщиков, М. Г. Воронков, А. И. Борисенко и многие другие [8−13]. Работы И. В. Гребенщикова с сотрудниками по разработке и применению силикагных покрытий, допированных неорганическими соединениями, для просветления оптики были пионерскими не только в СССР, но и в мире [9−11].

Такие понятия, как «золь-гель» процессы, «золь-гель» технология появились гораздо позже, чем первые исследования в этом направлении. Первоначально для характеристики золь-гель систем чаще всего использовали такие термины, как «коллоидный» или «полуколлоидный раствор» [13]. Сам метод получения монолитных материалов и покрытий нередко называли «растворной керамикой» или коллоидной обработкой [14−17].

Мощным толчком развития золь-гель технологии послужило осознание, что золь-гель процессы относятся? к нанотехнологии, поскольку позволяют получать нанокомпозиционные, нанопористые и наноразмерные неорганические и органо-неорганические материалы. [ 18]. Приэтом все-таки, по мнению многих ведущих: специалистов мира, дальнейшие перспективы использования: золь-гель метода* будут связаны! с получением продуктов специфического примененияв первую очередь, для" микроэлектроники и оптики. Кроме того, более половины продукции оксидных и стеклообразных материалов XXI: века могут составить новые непредвиденные монолитные и порошкообразныематериалы и покрытия, которые удастся: получить, только используя: золь-гель процессы: [19,20]. К таким материалам: относятсяв. том числе, наночастицы, нанотрубки, нановолокна. Большой, вкладв: изучение новых структурных типов наночастиц внесли российские исследователи школыВ.Я. Шевченко [20−22].

К новым материалам, — получаемым золь-гель методом, названным Маккензи (J. Mackenzie) «материалам второй генерации», относятся гибридные органо-неорганическиенанокомпозиты, которые: сталисинтезироватьи использовать лишь в последние: два? десятилетия- [23]. В настоящее времяэто? направление: стало основнымпутем совершенствованияфизико-химических свойств и технических характеристик разнообразных силикатных материалов: (покрытия, 1 порошки: и тонкослойные мембраны).

При этомдо настоящего времени^ наибольшее количество исследований посвящено • синтезу гибридныхоргано-неорганических материалов, в которых преобладает органическая? составляющаяВ то же время? насущные требования электроннойоптическойэлектротехнической и ряда других отраслей? промышленности связаны с необходимостью направленного синтезаматериалов, обладающих широким спектром практического? использования, Это возможно осуществить, в-том числе, засчет допирования? силикатных материаловразличными? металлами и металлоидами, придающими имнеобходимые физико-химические свойства (электрические, оптические, механические, каталитические и др.).

Таким образом, наметилось создание золь-гель методом третьей генерации многокомпонентных гибридных материалов. К таким материаламотносятся силикатные органо-неорганические гибриды, допированные неорганическими добавками, разработке технологии? изготовления которых ш посвящена настоящая диссертация:

Золь-гель синтез и исследование донированных органо-неорганических систем затруднен многокомпонентностью состава исходных золей, определяющих свойстваисходных золь-гель, систем и образующихся керамических: материалов.

В своих исследованиях мьь стремились выявить основные закономерности формирования многофункциональных силикатных и гибридных нанокомпозитови разработать = технологию"их получениям методом управляемого и направленного золь-гель синтеза. Приэтом избраны: наиболее приоритетные направления использования получаемых гибридных силикатных материалов (прежде всегопокрытий) в отраслях промышленности с высокими? наукоемкими технологиями (полупроводниковая планарная технология, ядернаяи, водородная энергетика, лазерная техника). Для этого было необходимо решить ряд конкретных задач более низкого уровня. К ним относятся следующие вопросы, возникшие непосредственно из практических нужд промышленностиявляющиеся актуальными до настоящего времени:

1) Улучшение чувствительности, селективности: и стабильности параметров: дешевых газовых металлооксидных сенсоров за счет применения золь-гель технологии на разных стадиях технологического процесса.

2) Создание новых силикатных и гибридных органо-неорганических защитных ифункциональных покрытий на металлах, сплавах и оксидных порошкообразных материалах с улучшенными физико-химическими и специальными электрическими, механическими или оптическими свойствами.

3) Разработка новых силикофосфатных протонопроводящих мембран, а также каталитических покрытий для топливных ячеек нового поколения, работающих при температуре выше 100 °C.

На основе анализа литературных данных и накопленного личного опыта намечены пути решения поставленных задач. Для этого требовалось обеспечить благоприятное протекание реакции гидролитической поликонденсации тетраэтоксисилана (или других прекурсоров: щелочного силиката или ортофосфорной кислоты) в присутствии неорганических допантов и органических модификаторов.

В качестве неорганических допантов использовались соли и кислоты необходимых металлов и металлоидов. Как органические модификаторы были использованы полиолы линейного и разветвленного строения, а также алкилароматические полиионгны.

При этом требовалось оптимизировать условия гидролиза и поликонденсации как на стадии образования золя, так и на стадии формирования покрытия (или созревания геля).

Помимо золей, для формирования стеклокерамических покрытий использовались дисперсии, приготавливаемые на основе золей и высокодисперсных наполнителей (оксиды металлов, природные минералы), а также ультрадисперсный (нанодисперсный) алмаз и нанодисперсные органосиликатные нанокомпозиты на основе щелочных силикатов и поливиологенов. Большое внимание при этом было уделено оптимизации приемов гомогенизации дисперсий.

Обязательной составной частью исследования являлись оптимизация режимов термообработки сформированных покрытий.

Необходимо было проверить и подтвердить правильность ряда гипотез, а также выработать ряд методик и алгоритмов" проведения3 золь-гель, синтеза материалов и исследования золь-гель систем и продуктов синтеза:

1. Изменение скорости: протекания процессов гидролитической поликонденсации5 в золях на основе 'ГЭС, щелочных: силикатов" и ЬЬ^Юь, а также устойчивости золей к агрегации и седиментации в зависимости1 от природы и количества неорганических допантов, а: также природы, молекулярного веса, топологии и количества органических модификаторов (полиолы и полиионены). При этом в основном, на примере золей на основе ТЭС.

2. Выбор инструментальных: методов исследованиязоль-гель систем и: образующихся" из них продуктов!(оптическая? и-электроннаямикроскопия^ эллипсометрия, вискозиметрия) и разработка ранговых методов оценки пленкообразующих свойств, золейг на основе ТЭС, содержащих неорганические допанты и органические модификаторы.

3- Алгоритм оптимизации стартовых компонентов и условий золь-гель синтеза на основе реакциигидролитической поликонденсации ТЭС с использованием неорганических допантов (солей и кислот В, Т1, Сс1, Мп, Со, N1, /п, 1 М, 8п, Р1) и органических модификаторов (органических: полиолов) при получении новых: гибридных покрытий с ценными! свойствамив том числе за счет использования активного планирования эксперимента- 4. Использование неорганических допантов и органических модификаторов в качестве: темп латных агентов, определяющих особенности: фазового расслоения, морфологию кристаллитов, пористость, рельеф поверхности: и толщину образующихся, наноразмерных силикатных покрытий, получаемых методомзоль-гель технологии. 5. Проверка: гипотезы об идентичности явлений фазового разделенияв наноразмерных силикатных покрытиях, допированных В, Т1, Р1, Ос1, на различных пространственных масштабах.

6. Проверка гипотезы о симбатности тенденции изменения размеров нанопор и содержания допантов в наноразмерных силикатных покрытиях, допированных Бп или Р1. Возможность регулирования показателей пористости структуры силикатных допированных покрытий варьированием температуры термообработки.

Диссертационная работа состоит из введения, 8 глав, заключения, списка литературы и приложений.

289 ВЫВОДЫ.

1. Разработаны физико-химические основы золь-гель технологии (исходя из гетраэтоксисилана) нового класса практически ценных гибридных силикатных материалов с улучшенными функциональными свойствами, допированных гетероатомами металлов и неметаллов, а также модифицированных низкои высокомолекулярными органическими полиолами. При этом впервые установлено, что:

1.1. Морфологию наноразмерных допированных силикатных покрытий удается направленно изменять за счет варьирования концентрацией прекурсора ТЭС (в диапазоне 7−20 об.%), природой и концентрацией допантовприродой растворителей (одноатомные и многоатомные спирты разного молекулярного веса), а также природой аниона металла-допанта. Изменение аниона соли допанта (хлорид или нитрат кобальта), являющегося темплатным агентом, позволяет формировать в покрытиях кристаллиты различной формы (сферолиты или дендриты).

1.2. По данным электронной и оптической микроскопии морфология нанои микрофазовых структур, формирующихся в силикатных наноразмерных покрытиях из золей на основе ТЭС, допированных В, Т1, Ос1 или Р1, идентична.

1.3. В силикатной матрице покрытий, допированных марганцем или платиной, образуются равномерно распределенные агрегаты атомов металлов с различным эффективным зарядом (Мп, Мп~" и Мп или РЛ рг+, РГ4).

1.4. Фрактальность наноструктур, формирующихся в гибридных органо-неорганических силикофосфатных ксерогелях на основе ТЭС и ортофосфорной кислоты является многоуровневой, включающей массовые и поверхностные фракталы.

1.5. Размер нанопор в силикатных покрытиях, допированных атомами Мп, Р1-, увеличивается на 1−2 порядка в результате повышения температуры их термообработки (от 250 до 550°С), в то время, как для нелегированных кремнеземных покрытий этот показатель уменьшается.

1.6. Полиионены, введенные в крем незоли, — полученные из ТЭС и ортосиликата калиясущественно ускоряют процесс гелеооразования. В золь-гель системах на' основе силикатов калияполиионены (в зависимости от их концентрации) могут являться, не только активаторами процесса гелеооразованияно и вызывать кристаллизацию.

2. На основании: изучения процессов гелеооразования? и физико-химических исследований: продуктов: золь-гель синтеза оптимизированы условия реакциигидролитической поликонденсации ТЭС в присутствии неорганических веществ (допанты) и органических соединений (модификаторы), приводящие к образованию* гомогенных и устойчивых золейв дальнейшем превращающихсяв наноразмерные покрытия,-донированные гетероатомамиК, Бг, 2п, В, вс!, Т1, 8п, РЬ, Р, 8Ь, Мп, Со, N1, Рс1, Р1. При этом:

2.1. Впервые: выявлено, что получить более развитую поверхность и увеличить в 1,5−3 раза максимальную толщину образующихся наноразмерных покрытий можно за, счет примененияв процессе золь-гель синтеза олигомеров разветвленного строения, (0,5−2 мас.%), содержащих многочисленные гидроксильные группы, что повышает эффективность их использования в планарной технологии микроэлектроники в качестве каталитических покрытий или источников гетероатомов металлов и неметаллов для допирования полупроводниковых материалов. 2.2: Показано, что скоростью протекания процессовструктурированияи гелеооразования в допированных кремнезолях можно управлять, используя в качестве органических модификаторов водои спирторастворимые полиолы различной молекулярной массы и топологии. При этом выявлена корреляционная связь между температурой деструкции образующихся органо-неорганических нанокомпозитов и длительностью превращение золя в гель.

2.3. Впервые обнаруженои продемонстрировано, что протеканию нежелательных процессов фазового расслоения! и кристаллизации при гидролитической поликонденсации 'ГЭС в тонком слое раствора на поверхности подложки- (во* время формированияпокрытия) препятствует повышение температурыокружающей среды до +(25−40)°С и понижение влажности до (40−50)%.

2.4. Обнаружено, что1 повышению седиментационнош устойчивости и улучшению? кроющейспособности гетерогенных золь-гель систем (допированный кремнезоль/ АЬОз или Сг2Оз), а. также формированию на их основе целостных покрытий с равномерным распределением: стекловидной: и — керамической составляющей способствуют ультразвуковое воздействие достаточной продолжительности, а такжемодификация золей некоторыми одноатомными и многоатомными спиртами: (~ 1 мас.% глицерина, четырехлучевого гиперразветвленного полиола и др.).

3. Предложен и экспериментально обоснован метод модификации стеклокерамических покрытийна основе системы, кремнезоль/оксид хрома: посредством введения взоли органических полиолов разветвленного строения. Показано, что даже при чрезвычайно низкой их концентрации в золе (~0,4−2мас.%) на 50−300% повышается максимальная толщина покрытий и" в 1,5−3 раза* увеличивает их эластичность. Это? делает такие покрытия перспективными: для — применения? в — качестве гибкой? температуроу стойчивой: электроизоляции-на обмоточных проводах-малого сечения:

4. Впервыевыявлена возможность оказать влияние1 нафрактальную структуру силикофосфатных нанокомпозитов посредством измененияусловийзоль-гель s синтеза и модификации золь-гель" систем: органическими модификаторами- (полиионены) инано дисперснымичастицами (детонационный алмаз и органо-силикатный: гибрид). Оптимизированы условия золь-гель синтезасиликофосфатных ксерогелей на основе ГЭС и ортофосфорной кислоты, а также содержащихполиионены. На основе полученных: силикофосфатов сформированыоргано-неорганические мембраны, сохраняющие высокую протонную • проводимость (до 10″ 2 См/см) при температурах до 140 °C.

5. На основе анализа гетерофазных процессов, протекающих во время формирования силикатных покрытий на дисперсных оксидах (оксиды алюминия и хрома) выявлены особенности структурирования и фазообразования в системе силикатное покрытие-оксид. Стеклокерамический материал на основе дисперсного у-АЬОз использован для получения химически стойких защитных покрытий, наносимых плазменным напылением на сталь.

6. Создано новое композиционные платиносодержащие покрытия на основе гетерогенных: золь-гель систем (кремнезоль/углеродный порошок) на полимерных протонопроводящих мембранах, что позволило на порядок повысить эффективность электрокаталитического превращения водорода в протон по сравнению с известной методикой с использованием платиновойчерни.

7. Разработана многоступенчатая технология активации резистивного наноразмерного слоя поликристаллического диоксида олова по отношению ¦ к тестируемым газообразнымСО и С02 (на 150−300- и на 20−40%, соответственно) путем диффузии вс1 и БЬ из допированного этими элементами силикатного покрытия и дальнейшего нанесения на эту полупроводниковую структуру другого силикатного покрытия, содержащего Рг и Рс1.

8.6.

Заключение

.

В процессе выполнения диссертационной работы разработаны новые силикатные и гибридные органо-неорганические покрытия, которые обладают новыми или улучшенными свойствами. Были исследованы их физико-химические свойства и технические характеристики, установлены корреляционные связи между этими показателями и условиями синтеза золь-гель систем и режимами формирования покрытий. Это позволило более эффективно использовать достоинства золь-гель метода, в ряде случаев расширить функциональное назначение покрытий.

Производство газовых металлоксидных сенсоров на основе БпСЬ (СО-СПГ 21 01−00 на СО, СН4-СПГ 21 03−00 наСН4, 02-СПГ 11−02 на 02), в которых на 4-х технологических операциях (формирование мембраны, нагревателя, газочувствительного резистора и катализатора-активатора) используются силикатные гибридные покрытия, получаемые золь-гель методом, налажено в ЗАО «Авангард-Микросенсор») г. Санкт-Петербург (Приложение I. Технический акт внедрения).

Так, силикатные покрытия, допированные фосфором, гадолинием и сурьмой, впервые были использованы для легирования поликристаллических материалов — поликристаллического кремния и диоксида олова. Силикатные покрытия, допированные переходными элементами (Мп, Рс1, Р1-) оказалось возможным применять как эффективные катализаторы-активаторы в цикле изготовления полупроводниковых газовых сенсоров. Комбинация на одном чипе нескольких каталитических покрытий позволило не только в 1,5−3 раза увеличить чувствительность газовых сенсоров к восстановительным газам (СО, СНД, но также нивелировать вредное влияние влажности окружающей среды и обеспечить селективность при наличии в газовой смеси газов-окислителей (например, N02). Одновременное использование нескольких типов покрытий, выполняющих функции как катализаторов-активаторов, так и источников диффузии в диоксид олова, позволило создать новые адсорбционные сенсоры, чувствительные к малоактивному углекислому газу уже при концентрации его в воздухе от 0,2%, Это делает дешевые металл-оксидные сенсоры (от 3 до 25 $ за штуку) конкурентоспособными по отношениюк дорогим прецизионным оптическим сенсорам: (500−1500 $ за штуку) в данном концентрационном диапазоне: С02. Использование органических модификаторов позволило вводить в покрытие большие количествамалорастворимых допантов (например, Н3ВО3), а также увеличить (в 1,5−3 раза) толщину наноразмерных покрытий без ухудшения? состояния? поверхностипокрытий. Это улучшило свойствапокрытий как источников диффузантов,. при необходимости получать диффузионные слои с. высокой концентрацией допанта (на. уровнепредела растворимости). Такие высоколегированные покрытия* использованы в технологическом процессе: формированиястоп-слоевразличного назначения" в цикле изготовленияинтегральных схем, газовых полупроводниковых сенсоров и датчиков расхода газа, где нужныдиффузионные слои с большойглубиной залегания- 10 рм) или с высоким содержанием примеси (например, поверхностная концентрация атомов бора ~ 5−7Т0″ см").

Платиносодержащие золи, аналогичные по составу золям, применяемым в цикле: изготовления газовых сенсоров, использованы (в смеси суглеродным порошком) дляформирования композиционных каталитических покрытийна полимерноймембране типаМайоп®-. Испытания? полученных каталитических покрытий проведеныв составе анодной полуячейки, топливного элемента. При этом было показано, что использование золей позволило на порядок уменьшить количество^ платины, по? сравнению ^ с традиционным способомактивацииэлектрода смесью углеродного порошка с платиновой чернью.

Использование: органических модификаторов при формировании: стеклокерамических. покрытий позволив увеличить, их: эластичность и улучшить электрофизические характеристики. Например, сформированы? тонкослойные силикатные гибридные покрытияна нихромовой проволоке малого сечения- (0,3 мм), толщина и электрическаяпрочность которых повышена в 1,5−2 раза раза по сравнению с чисто силикатными аналогами, а эластичность либо осталась на том же уровне, либо улучшена, обеспечивание навивание на катушку диаметром 8 мм. Это делает перспективным использование таких покрытий для электроизоляции гибких обмоточных проводов в процессе изготовления температуроустойчивых датчиков (температура эксплуатации ~ 100−300°С), например, работающих в условиях АЭС (Приложение II.

Заключение

ФГУП «ВНИИ Метрологии им. Д.И. Менделеева»):

Оптимизация условий протекание реакции гидролитической поликонденсации ТЭС в процессе формирования золь-гель методом модифицирующих покрытий на порошковых материалах (на примере у-АЬОз) открывает перспективу расширения областей использования дешевых оксидных материалов за счет изменения свойств их поверхности. Дисперсный глинозем (размер зерна ~ ЮОрм) успешно апробирован в качестве стартового материала в процессе плазменного напыления защитных кислотостойких покрытий на стали.

Продемонстрирована возможности применения дешевых природных минералов (слюда, асбест и др.) вместо синтетических оксидных материалов в качестве высокодисперсных наполнителей золь-гель систем, что улучшило электрические свойства стеклокерамической фосфатной изоляции при уменьшении ее стоимости.

Введение

полиионенов в качестве модифицирующих агентов в дисперсные золь-гель системы на основе силиката калия и высоко дисперсного диоксида циркония позволилосформировать покрытия с улучшенными свойствами: высокий коэффициент рассеяния (97−97,5%), которые успешно выдерухали испытания на механическую почность и влагостойкость (даже в морской воде).

Оптимизация условий проведения реакции гидролитической поликонденсации ТЭС в присутствиии ортофосфорной кислоты, а также введение полиионенов или органо-силикатных нанокомпозитов на основе поливиол огенов (в качестве органических модификаторов) позволило сформировать силикофосфатные протонопроводящие мембраны (толщиной ~ 0,2 мм) с проводимостью (при рабочей температуре) порядка 10″ 2 om''-см" 1. При этом технически ценными для использования в ячейках топливных элементов являютсясиликофосфатные мембраны двух типов. Первые стабильны и обладают высокой проводимостью при 20 — 60°G, а вторые по этим параметрам входят, в интервал- 120 — 140 °C (Приложение IIIПротоколиспытаний, проведенных в УГХТУ, Днепропетровск).

Длярешения вопросов, связанных с совершенствованием каталитических слоев и полимерных мембран топливных элементов нами предпринята попытка использовать каталитические слои, синтезируемые с использованием методов золь-гель технологии, аналогичные успешно используемым нами в качестве активаторов-катализаторовв газовых полупроводниковых сенсорах на основе Sn02.

Весь спектр примененийсиликатных и гибридных наноразмерных и тонкослойных покрытий и материалов представлен на блок-схемах (Рис. 104 и 105).

Золь-гель системы и их компоненты:

ПРЕКУРСОРЫ: Тетраэтоксисилан Н3ГО4.

ГИДРОЛИЗУЮ1ЦИЙ АГЕНТ: Вода 3.

Золи А.

ДОПАНТЫ: о л и, кислоты.

КИСЛОТНЫМ КАТАЛИЗАТОР: Сильные минеральные кислоты.

ОРГАНИЧЕСКИЕ РАСТВОРИТЕЛИ: Простые алифатические спирты.

ОРГАНИЧЕСКИЕ 1.

МОД ИФИКАТОРЫ:

Низкои 1 высокомолекулярные 1 полполы |).

Функциональное назначение покрытий:

Источники диффузии легирующих примесейдопантов (2п, В, Ос1, Т1, $п. Р. ЭЬ, Мп, Со, №. Ра, редкоземельных и др. элементов) в монокристаллические и поли кристаллические материалы электронной техники (кремний, ниобат лития, диоксид олова и др.) для формирования р-п переходов, п±слой}, стоп слоев, а также ряда активных функциональных элементов микроэлектронных устройств (волноводов, линий задержки, резисторов, нагревателей и др.).

Плшшрпзнрующие слои при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральны?- схем.

Изолирующие н геттерные слов при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Каталитические покрытия для металлоксидных газовых сенсоров и топливных элементов.

Твердотельные протонопроводнщие мембраны для электрохимических устройс тв хранения и выработки электрической энергии.

Области применения:

МикроАвтомобилеГорнодобывающая Бытовая Специальная электроника строение промышленность техника техника.

Рис. / 04. Блок-схема: золь-гель метод получения и применения силикатных и гибридных органо-неорганических наноразмерных покрытий в планарной технологии микроэлектроники.

Золь-гель системы и их компоненты:

ЗОЛИ на основе:

• Тетраэтокенсилана.

• Ортофосфорной кислоты.

• Щелочных силикатов.

ДИСПЕРСИИ.

НАПОЛНИТЕЛИ: • оксиды металлов природные минералы L.

ЭМУЛЬГАТОРЫ, ПОВЕРХПОСТЙО-ДКТИВНЫЕ ВЕНЩС ТВА.

Функциональное назначение покрытий—.

Каталитические (илатиносодержащие) слои для электродов электрохимических устройств: топливные элементы.

Жаростойкая электроиэоляция, в т. ч. гибкая для проводников и термоэлектродных сплавов.

Композиционные стеклокерамические дисперсные материалы (порошки) как исходное сырье при напылении жаростойких и антикоррозионных покрытий.

Твердые протопоп ров оцнщпе енлмкофосфатные мембраны для топливных элементов.

Фуикци овальные покрытия:

• термостойкие.

• радиационное roii кие.

• днффузноот’ражающне для отражателей лазеров, гелиотехнической аппаратуры, для коллекторных поверхностей и оптических приборов, детекторов компьютерной томографиип, летательных аппаратов.

Области применения:

АфОКОСМи ческа я техника.

Машин остроение.

Оптика.

Лазерная техника.

Приборостроение.

Техннка связи.

Энергетика, в т. ч. ядерная.

Рис. 105. Блок-схема: золь-гель метод получения и применения силикатных и гибридных органо-неорганических тонкослойных покрытий и мембран в различных отраслях промышленности.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Ebelmen.-Sur.les ethers siliciques // Journ. de Pharm. 1844. V1. 262−264.
  2. Ebelmen: Ueber die Kieselsaureather // Annalen der Chemie und Pharmacie. 1844. В. LII. S. 324−348:
  3. Ebelmen: Recherches sur les combinaisons des acides borique et silicique avec les ethers // Annales de Chemie et de Physique. 1846. Ser. 3: XVI. 129−166.
  4. Ebelmen. Untersuchungen uber die: Verbindungen der Borsaure und? Kieselsaure mit Aether// Annalen der Chemie und Pharmacie. 1846. B. LVII: S. 319−355.
  5. Gefiken W., Berger, E. Verfachren zur, Anderung Reflexinsvermogens optisches Glaser. DR Pat. No. 73 641 l.kl. 32b. Gr. 17/21. 10.VI.1943.
  6. И.В., Власов^ А.Г., Непорент Б. С.,. Суйковская II.В. Просветление оптики. Mi: Госхимиздат, 1946. 211с.
  7. И.В. Поверхностные свойства стекла / Строение стекла Под ред. Безбородова / Госхимиздат. 1933. С. 101−116.
  8. Хрустал ев С .С., Воронков М. Г., Долгов Б. Н: Повышение водостойкости природного гипсового камня // ЖПХ. 1955. Т. 28. JML> 9. С. 916−921.
  9. Н.В. Развитие работ И.В- Гребенщикова по просветляющим и: светоделительным покрытиям. Труды ГОИ. 1956. T. XXIV. № 145: С. 14.
  10. Прихидько Н. Е-, Говорова P.M., Борисенко? А.И. Способ" получения силикатных пленок. АлС. СССР № 230 995: Б.Н. 1968. №'35.
  11. А.И., Николаева JI.В. Тонкие стеклоэмалевые и стеклокерамические покрытия. Л.: Наука. 1970. 70 с.
  12. Griffits J.S., Broadstreet S.W. Solution Ceramic. New fields on coatings // Ceram. Ind. 1954. V. 63. N4. P. 77−82.w l5. Broadstreet S.W. Solution ceramic for enameling // Ceram. Age. 1955. V. 66. N6: P- 24−27.
  13. Ше"ченко В. Я. Введение в техническую керамику. М.: Наука. (Рос.АН! Межотрасл. н.-и. центр техн. Керамики). 1993. 113 с.
  14. В-А. Жабрев, М1М:. Шульц. Керамические- и- стекломатериалы. Перспективы, развития- / Стекло и Керамика: XXI. Перспективы, развития"/ Концепция акад. Шевченко В. Я. СПб.: Янус. 2001. С. 107−175.
  15. Shevchenko V. Ya, Madisom A.H., Shudegov V.E. Fragmentariness and- metamorphosis of nanostructures// Glass Phys. Chemistry. 2003. V. 29. P. 577−582.
  16. Mackenzie J.D. Sol-Gel researches— achievements since: 1981 and prospects for the future II J. Sol-Gel Sci: Tech: 2003- Vol! 26, N1−3, P: 23−27.
  17. Friedel C., Crafts J.M. Research on the ethers of silic acid // Annales de Chimie. 1Х. Л866. 5−51.
  18. Friedel C., Crafts J.M. Research on the ethers of silic acid // The American Journal of Science and Arts. Ser. 2. V. ХЕШ: N 127, 128, 129. 1867. P. 155−171.
  19. Friedel- C., Crafts J.M. The combination of silicon with alcoholic radicals // Annales de Chimie. XIX. Л 870. 334−367.
  20. Friedel С., Grafts J. M- The combination of silicon with alcoholic radicals // The American Journal of Science and Arts. Ser. 2. V. XLIX. N 145, 146, 147. 1870- P. 307−330-
  21. Siemens, Halske A.G. Герм. пат. 128 253, 1902.-С., I. 1902. 448.
  22. М.Г., Макарская В. М. Аппретирование текстильных материалов- кремнийорганическимш мономерами? и олигомерами. Новосибирск: Наука, 1978,78 с.
  23. М.Г. Химия: кремнийорганических соединений- в работах русских и советских ученых. JI.: Изд-во ЛГУ им. А. А. Жданова. 1952. 103 с.
  24. Cogan H.D., Setterstrom G.A. Properties of Ethylsilicats // Chem. Eng. News. 1946.V. 24. N18. P. 2499−2501.
  25. Cogan H.D., Setterstrom C.A. Ethylsilicates // Industr. and Eng. Chem. 1947. V. 39. P. 1364.
  26. Piekos R. Praktyczne zastosowanie krzemiann etylu // Wiadom Chem. 1962. V. 16. N. 2. S. 97−113.
  27. Schaw R.D., Emblem H.G. The use of ethyl silicate in refractory technology // Interceram. 1972. V 21. N2. P. 105−108.
  28. Anderson A. R: Silicon ethers and esters. In: Kirk-Othmer Encyclopaedia of Chemical Technology. 2nd Ed. New York-London-Sydney. Interscience Publishers. 1969. 18. P. 216−221.
  29. ЗЯ.Суйковскаяг H.B. Химические методы получения- тонких прозрачных пленок. Л.: Химия. 1971. 200 с.
  30. М.Г., Шорохов H.B. Применение растворов строительных материалов. Л-: 1956. 22 с. (ЛДНТП. Информационно-технический листок. Строительная — промышленность. № 2).
  31. A.C. СССР 112 597, Кл. 80 в, 19/01. Способ улучшения свойств строительных материалов и керамических изделий / Воронков М. Г., Голубцов G. А., Гриневич ! К. П-, Зубков: И1А., Шорохов Н. В^ № 561 316- Заявл.29−11.56- Опубл. 15.08.58, Бюл. 1958, № 5, с. 168.
  32. М.Г., Шорохов Н. В. Применение кремнийорганических соединений для: повышения водостойкости и долговечности строительных материалов // Строительные материалы. Л959.1 № 7. С. 12−17.
  33. М.Г., Шорохов Н. В. Водоотталкивающие покрытия в строительстве. Рига: Изд-во АН Латв. ССР. 1963. 190 с.
  34. М.Г., Кухарская Э. В., Макарская В. М. Способ защиты стеклоизделий. A.c. 775 006 (СССР), МКИ С03С 17/30. Заявл. 08.01.7°. № 2 710 989/29−33. Опубл. 30.10.80. Б.И. 1980. № 40- с. 115.
  35. М.Г., Кухарская Э. В., Макарская В. М. Пленкообразующий раствор для стеклянных волокон. A.c. 833 649 (СССР), МКИ С03С 17/30. Заявл. 12 102:79- № 2 724 070/29−33- Опубл. 30.05.81. Б.И. 1981. Xq 20. с. 61.
  36. А.С. СССР, МКИ С 03 С 17/30. Воронков М. Г., Кухарская Э. В., Воронкова В. М. Повышение химической и термической устойчивости стекловолокна путем поверхностного модифицирования- полиэтоксиэлементосилоксанами- // Ж1IX. 1983. Т. 52. № 4. С. 868−873.
  37. М.Г., Кухарская Э.В, Макарская В: М. Состав для обработки стеклянных волокон. A.c. 1 057 453 (СССР), МКИ С03С 17/30. Заявл. 1981. Опубл. 1983. -Б.И: 1983- № 44:
  38. iM.F., Кухарская Э.В*, Воронкова В: М- Повышение механической прочности стеклянных волокон // ЖПХ. 1984. Т. 57. № 7. С. 1671−1672.
  39. A.A., Воронков" М.Г., Свидерский В. А., Власова- Н. Н, Пестунович А. Е., Аршинников И. В/ Борсук П. С., Белоус ШТ., Сгиба С. В! A.c. 1 299 993 СССР/ Состав: для- получения- гидрофобного покрытия" на стекле. Заявл. 1985. Опубл. Л987. Б.И. — 1987 (12).
  40. А.И., Новиков- В.В., Прихидько Н. Е., Митникова- И.М., Чепик Л. Ф. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. Л.: Наука, 1972, 114 с.
  41. А.С. 1 074 318 (СССР). Способ получения борсодержащих пленок. (Борисенко А.И., Чеиик Л. Ф., Новиков В. В., Бубнов Ю. З., Митникова И. М., Возняковская (Шилова O.A.) и Пьянова Л.И.). Заявл. 09.07.82. г- - не подлежало опубликованию в открытой печати:
  42. А.С. 275 905 (СССР! (Чепик Л.Ф., Трошина Е. Щ Новиков В. В., Бубнов Ю. З., Возняковская (Шилова О.А.), Пьянова Л. И., Василенко Т. Н., Волокобинский Ю. М., Комиров И. Н. и Тимохин И. Г1.). Заявл. 30.03.87. г. -не подлежало опубликованию в открытой печати.,
  43. Пат. США 3.811.918. Process for producing protective glass coating (Leven Leon). Filled: Dec. 20, 1971. Patented: May 21, 1974.
  44. Пат. США 4 152 286. Composition and method for forming a doped oxide films. (Crosson Card A., Brewer Terry L., Ay cock Robert F.). Filled: Sep. 13, 1977. Patented: May 01, 1979. — Р.Ж. «Электроника», 1980, № Г, 1Б293П-
  45. Пат. США 4 190 458. Metal-silica solution for forming films on semiconductor surfaces. (DiBugnara Raymond). Filled: March 27, 1978. Patented: Feb. 26, 1980- - Р.Ж. «Электроника», 1980, № 12, 12Б194П.
  46. Пат. Японии 52 12 058. Источник легирования примесью пленки двуокиси кремния. (Ясудо Комицу, Ито Хидэкацу). — Filled: March 20, 1973- Patented: Apr. 04, 1977. — Р.Ж. «Электроника и ее применение», 1978, № 5, 5Б612П.
  47. Пат. Японии 52 13 956. Метод диффузии примесей в полупроводниковый прибор. (Ясуи Дзюро,* Кадзивара Такао, Комэда Таданака). — Filled: Nov. 30, 1973- Patented: June 04, 1979- - Р.Ж. «Электроника», 1980, № 6, 6Б178П.
  48. Семиченко- Г. Д. Золь-гель процесс в керамической технологии. Харьков: Харьк. политехи. ин-т. 1997. 144 с.
  49. Nishiwaki Shogo, Tadanaga Kiyoharu, Tatsumisago Masahiro and Minami Tsutomu. Preparation and proton conductivity of surfactant-templated mesoporoussilica gels impregnated with protonic acids // J. Am. Ceram. Soc. 2000. V. 83- N 12. P. 304−308.
  50. В.Я. Исследования? разработки и инновации- в области: керамических и стекломатериалов / Стекло1 и Керамика- XXI: Перспективы развития"/ Концепция акад. Шевченко В. Я. СПб.: Янус. 2001. С. 178−191.
  51. Abstracts and Conference Programme. Guildford (UK): University of Surrey. Point Research Association. International Centre for Coatings Technology. 2002. P- 2.
  52. Ravaine D., Seminel A., Charbouillot Y., Vincens M. A new family of organic-inorganic, modified- silicates prepared from gels // J. Non-Crystall. Solids, 1986 V. 82. P. 210−219.
  53. Gautier-Luneau I., Denoyelle A., Sanchez J.Y. and Poinsignon C. Organic-inorganic protonic polymer electrolytes as membrane for low-temperature fuel cell: //Electrochimica Acta. 1992. V. 37. N 9. P. 1615−1618.
  54. Betrabet C.S., Wilkes G.L. Optically abrasion resistant materials using a scl-gel approach // Polymer Preprints. 1993. V. 34. N 1. Pi 286−289-
  55. Messaddeq S.H., Pulcinelli S.H., Santilli C.Vol., Guastaldi A.C., Messaddeq Y. Microstructure and corrosion resistance of inorganic-organic (Zr02-PMMA) hybrid coating on stainless steel // J Non-Crystal- Solids. 1999. V. 247. P. 164−170.
  56. А.Д. Гибридные полимер-неорганические нанокомпозиты // Успехи химии- 2000- Т. 69. № 1. С. 60−83.
  57. Помогайло А. Д1, Розенберг А. С., Уфлянд И. Е. Наночастицы металлов в полимерах. М.: Химия. 2000. 672 с.
  58. Chen D. Anti-reflection (AR) coatings made by sol-gel processes: a review // Solar Energy Materials & Solar Cells. 2001. V. 68. P: 313−336.
  59. Phani A.R., Santucci S. Structural characterization of iron titanium oxide synthesized bv sol-gel spin-coating technique7/ Materials Letters:. 2001. V. 50. P. 240−245:
  60. Martucci A., Bassiri N., Guglielmi M., Armelao L., Gross S., Pivin J. C. NiO-Si02 sol-gel nanocomposite films for optical gas- sensor // J. Sol-Gel Science and Technology. 2003. V. 26. N 1−3. P. 993−996.
  61. Langlet M., Jenouvrier P., Kim A., Manso M., Trejo Valdez M. // Functionality of aerosol-gel deposited Ti02 thin films processed at low temperature // J. Sol-Gel Science and Technology. 2003. V. 26. N 1−3. P. 985−988.
  62. Д., Пикро G.T. Энергетика и химическая, промышленность / Нанотехнология! в ближайшем десятилетии. Прогноз направлений исследований / Под ред. М. К. Роко, P.O. Уильямса, П. Аливисатоса. Пер. О англ. М.: Мир. 2002: G. 170:
  63. Wongchare К., Brungs Mi Sol-Gel processing by aging and pore creator, addition' for porous silica antireflective coatings // J. Sol-Gel Sci Tech. 2002: V. 25. P. 215 221.
  64. Vorotilov K.A., Petrovsky V. I, Vasiljev V.A., Sobolevsky M.V., Valeev A.S. // J. Sol-Gel Sci Tech. 1997. V. 8. P. 581−584.
  65. Vorotilov K.A., Vasiljev V.A., Sobolevsky M.V., Sigov A.S.// J. Sol-Gel Sci Tech. 1998. V. 13. P. 467−472.
  66. Пат. США 3.846.181. Semiconductor wafer stabilization} solution therefore. (Flowers Dervin L.) Filled Oct. 23,, 1973, Patented: Nov. 5, 1974.
  67. Ашкенадзе H. B-, Горячева Т. Ф., Грабек Л. В., Зитта Н. Ф., Привалова Е. А., Прихидько Н. Е. Создание пленочной межслойной изоляции с помощью пленкообразующих растворов // Электронная техника. .1974: № 5 (53). С. 124 130-
  68. Flowers D.L., Wu S.-Y. Diffusion in silicon from a Spin-On Heavily Phosphorus Doped Oxide // J. Electrochemical Soc. 1982. V. 129. N 10. P. 22 992 302. -EEA. 1983. V. 86 N1021. P- 1509. EEA. 1983. V. 86. N. 1021. P. 1509.
  69. Prasad P.M., Sundangh V.P. Diffusion characteristics of antimony and phosphorus spin-on sources // Microelectron- J- 1983- V. 14, N 1. P. 49−60. Р.Ж. «Электроника». 1983- № 7. 7Б364.
  70. Ю4.Борисенко Л. И., Волокобинский Ю. М., Коковина В.H., Чепик Л. Ф., Трошина Е. П. Легирование кремния редкоземельными, элементами из кремнеземных пленок // Докл. АН СССР. 1982. Т. 26. № 6. С. 1409−1412 с.
  71. Wu S.-Y. Antimony Diffusion from Spin-On Doped Oxide // J. Electrochem. Soc. 1981. V. 128. N 8. P. 1804−1808. EEA, 1982. V. 85. N 1010. P. 5688.
  72. В.В. Характеристики? кремния, легированного редкоземельными: элементами. Известия ЛЭТИ. 1976. Вып. 186. С. 51−55.
  73. Э.П., Гришин В. П., Карпов Ю. А., Марунина Н. И. О сегрегации гадол иния? при? выращивании : монокристаллов: кремния методом «Чохральского / Свойства легированных полупроводников / М.: Наука. 1977. С. 88.
  74. В.А., Фролова Т. Н. Кремниевый преобразователь давления с диффузионными тензорезисторами на основе редкоземельных элементов. Известия ЛЭТИ. 1979. Вын. 250. С. 92−98.
  75. С.Н., Карпов Ю. А., Шаховцов В. И., Шиндич В. Л. Особенности структуры кремния, легированного гадолинием. Известия АН СССР. Сер. Неорганические материалы. 1981. Т. 17 (145). С. 757−761.
  76. Ю.А., Петров В. В., Просолович B.C., Ткачев В. Д. Радиационные дефекты в кремнии, легированном эрбием. ФТГ1. 1983. Г. 17. № 8. С. 15 301 532.
  77. H.T., Власенко Л. С., Воле В. М., Воронков В. Б., Грехов Н. В., Карпов ЮЛ., Гуровский Б. М. Термостабильность кремния, легированногопримесями редкоземельных элементов, при выращивании методом Чохральского. ЖТФ. 1984. Т. 54. № 1. G. 204−209.
  78. Ю.А., Мазуренко В. В., Петров В. В., Просолович B.C.,. Ткачев В. Д., О взаимодействии: атомов редкоземельных элементов с кислородом в кремнии. ФТГ1. 1984. Т. 18. № 12. С. 368−369-
  79. А.Г. Совместная диффузия' бора? и редкоземельных элементов в кремний. Известия ЛЭТИ. 1983- № 322. С. 105−106.
  80. А.Г. Исследование электрофизических, свойств слоев- кремния, легированного редкоземельными- элементами: Известия ЛЭТИ. Вып. 338. 1984. С. 79−82.
  81. В.Г., Соснин М. Г., Шаховцов В. И., Шиндич В. Л. Дефектообразование в n-кремнии с примесью гадолиния- ФТП1 1981. Т. 15. № 4. С. 786−788.
  82. В.В., Просолович5 B.C., Ткачев В. Д. Природа и: температурная- устойчивость донорных центров в кремнии с эрбием. Доклады АН БССР. 1984. Т. 28. № 3. С. 219−221. Р. Ж. Физика. 1984. 7Е696.
  83. Syms R.R.A., Holmes A. SI Deposition of thick silica-titania sol-gel films on Si-substrates // J. Non-Cryst. Solids. 1994: V. 170. P. 223−233.
  84. Liu Yu., Cui Т., Sunkam R.K., Coane P.J., Vasile M.J., Geoettert J: Novel approached to form and pattern sol-gel polymethiylsilsesquioxane-based spin-on- glassthin and thick films // Sensors and Actuators-B:Chemical.2003. V. 88. N 1. P. 75−79.
  85. Levy D-, Esquivias L. Sol-gel processing of optical and electrooptical: materials // Adv. Mater. 1995. N 7. P. 120−129.
  86. .Е., Марахонов B.M., Коковина B.H., Коробков Н. Н. Диффузия доноров в GaAs из кремнеземных пленок. Вопросы радиоэлектроники. Сер. ТПО. 1983. Вып. 1. С. 3−8.
  87. Туз В.Ф., Новиков В. В., Груша С. А. О возможности применения стеклообразных пленок, легированных Zn, для создания варакторных диодовна арсениде галлия. Вопросы радиоэлектроники. Сер. ТПО. 1977. Вып. 3- С. 68−76.
  88. В.Л., Новиков- В.В., Прихидько Н. Е., Борисенко Л. И. Диффузия фосфора в германий из стекловидных пленок. Вопросы- радиоэлектроники. Сер. ТПО. 1973- Вып. 1. С. 30−34.
  89. Arnold М.А. О. Диффузия в полупроводники? III-V групп- из источников, нанесенных центрифугированием.!- J. Phys. Di (G.B.). 1984. V. 17. N. 3. P. 443 474 (англ) — ЕЕА. 1984. V. 87. Е4876.
  90. W. Gopel, J. Hesse and J.N. Zemel (eds.), Sensors, A Comprehensive Survey, V. 1. Fundamentals and General Aspects., VCH. Weinheim: 1989. 311 p.
  91. G. Sulz, G. Kuhner, H. Reiter, G. Uptmoor, W. Schweizer, H. Low, M. Lacher and K. Steiner Ni, In and Sb implanted Pt and V catalysed thin-film Sn02 gas sensrs // Sensors and Actuators, B. 1993. N 15−16. P- 390−395.
  92. N. Butta, L. Cinquegrani, E. Migno, A. Tagliente and S. Pizzini, A family of tin-oxide-based sensors with improved- selectivity to methane: // Sensors and-Actuators, B. 1992. N 6. P. 253−256.
  93. A.M., Николаева JI.B., Говорова Р.М, Хашковский С. В., Рудюк В .Я. Гибкие неорганические электроизолирующие покрытия // Журнал прикладной химии. 1972. Т. 45. № 10:2258−2261.
  94. Г. В., Чекмарева З.Ф- Электроизоляционные высокотемпературные покрытия- на основе стеклоэмалей- // Труды ГИЭКИ. 1969. Вып. 11. 136−140.
  95. A.C. № 128 427, СССР, Класс 7а, 8. Способ непрерывного изготовления микропроволоки в стеклянной изоляции / Улитовский A.B., Маянский И. М., Авраменко А. И. (СССР). — № 426 837/4622/22- Заявлено 8.09.50- Опубл. 15.05.60.- Б.И. № 10.- 14 с.
  96. Nikolaeva L.V. and Borisenko A.I. The use of gel-forming solutions for preparing glasses and glass-ceramics. // J: Non-Crystah Solids. 1986. V. 82. 343 348.
  97. Л.H., Борисенко А. И., Григорьева:И.М., Трусова Е. М. Понижение газопроницаемости плазменных покрытий // Жаростойкие и теплостойкие покрытия (Труды IV Всесоюзного совещания). Л.: Наука. 1969: 269−273.
  98. Park S.-L., Kim Y.-M., Kang Y.-M., Kim K.-T., Lee P. S., Lee J.-Y. Improvement of the rate capability of LiM^O.^ by surface coating with LiCoG2 // J. Power Sources. 2001. V. l 03. P. 86−92.
  99. Selmi Fathi A., Amarakoon Vasanta R.W. Sol-gel coating of powders for processing electronic ceramics // J.Am.Ceram.Soc. 1988- V.71. NT 1. P. 934−937.
  100. Walker Jr. W.J., Brown M.C., Amarakoon V.R.W. Aqueous powder, coating methods for preparation of grain: boundary engineered ceramics // JLEurop.Ceram.Soc. 2001. V.21. P: 2031−2036.
  101. П.Н., Матвеев М:А. Растворимое стекло. Получение, свойства и применение. М.: Промстройиздат, 1956.-443 с.
  102. Ю.С. Химия полимерных неорганических вяжущих веществ. Л.О.: Химия. 1967. 224 с.
  103. В.И., Данилов В.В- Жидкое и растворимое стекло. Спб.: Стройиздат СПб., 1996.-214 с.
  104. ЫЗ.Лйлер Р. Химия кремнезема (в 2частях) Ml: Мир, 1982. 712с.
  105. Корнеев В. И- Вяжущие системы на основе водорастворимых силикатов // Цемент. 1999: № 1−2. С. 73−76.
  106. Е.Ф., Злотников И.И, Плескачевский Ю. М. Модифицирование жидкого стекла активными добавками: (обзор) // Материалы. Технологии. Инструменты. 2000. Т. 5. № 2. С. 36−40.
  107. М.М. Неорганические клеи. Л: Химия. 1986. 153.
  108. Л.А., Борисенко А. И., Прихидько Н. Е. Неорганические покрытия? с высоким интегральным коэффициентом! отражения- света- / Неорганические и органосиликатные покрытия / Л.: Наука. 1979. 383−390.
  109. А.И., Кузнецова Л. А., Насельский С. П., Трошкин: С.В., Голубева Т. Ю. Некоторые свойства! диффузноотражающих покрытий: Известия АН СССР. Сер. Неорганические материалы, 1985, т.21, № 9. С.1593−1596-
  110. С.В., Чепик Л. Ф., Кузнецова- Л.А. Растворная- технология- получения стекловидных неорганических пленок и> стеклокерамических: покрытий/ Физикохимия силикатов и оксидов/СПб.: Наука. 1998. С. 277−286.
  111. Mehta V., Cooper J.S. Review and analysisbof РЕМ fuel cell. Design and manufacturing // J. r Power Sources, V. l 14, No. l :32 (2003) P.32−53-
  112. Ishikawa М*, Ihara М., Morita М., Matsuda Y. Electric double layer. capacitors with new gel electrolytes// Electrochimica Acta. 1995: N.13−14 V.40. P.2217−2222.
  113. Ingram m. D, Pappin A. J, Delalande F., Poupard D., Terzulli G. Development of electrochemical-capacitors incorporating processable polymer gel electrolytes // Electrochimica Acta. 1998. P.16 V.43. P.1601−1605.
  114. Pell W.G., Conway В: E. J. /Analysis of power limitations at porous supercapacitor. electrodes under cyclic voltametry modulation and DC charge // Power Soureces. 2001. V.96 P.57−67.
  115. Agrawal R.C., Gupta R. K Superionic-solid composite phase an overview // Journal of Materials Science. 1999. V. 34. N 6. P. 1131−1162.
  116. Matsuda A., Honjo II., Mirata K., Tatsuminago- M., Minami T. Proton conductive silica gels doped with several acids and their application to electric double-layer capacitor // Chemistry Letters. 1998. 1189-Г190:
  117. Matsuda A., Kanzaki T., Tadanaga k., Tatsumisago M: Minami T. Medium temperature- range characterization- as a proton conductor for phosphosilicate drygels containing large amounts of phosphorus // Electrochimica Acta. 2001. V.47. N 6. P.939−944:
  118. Gillett S.L. FORESIGHT Institute. Nanotechnology: Glean- energy and resources for. future. White paper for Foresight Institute-. 2002. University of Nevada. 91 p.
  119. Marr C., Li X. Composition and performance modelling"of catalyst layer in a proton exchange membrane fuel cell // J. Power Sources. 1999. V. 77. P. 17−27.
  120. Shin S.-J., Lee J.-K., Ha H.-Y., Hong S.-A., Chun H.-S., Oh I.-H. Effect of the catalytic in preparation method on the performance of polymer electrolyte membrane fuel cells // J. Power Sources. 2002. V. 106. N 1−2. P. 146−152.
  121. Urban P.M., Funke A., Muller J.T., Himmen M., Docter A. Catalytic processes in solid polymer electrolyte fuel cell systems // Appl. Catalysis A: 2001. General 221. N 1−2. P. 459−470.
  122. Matsuda A., Yoshitaka-N., Tadanaga K., Minami TV,-Tatsumisago M. Protoni conductivity at medium-, temperature range and, chemical durability of phosphorosilicate gels added with a third component// Solid State Ionics. 2003- V. 162−163. P: 253−259.
  123. Matsuda A., Hirata K., Tatsuminago M, Minami T.J. Proton-conductive composed of phosphoric acid-doped silica gel and organic polymers with sulfo groups //Journal of the Ceramic Society of Japan. 2000. V. 108. N 1. P. 45−50.
  124. Д.А. Курс коллоидной химии. СПб: Химия СПбО., 1995, 399 с.
  125. Р.С., Сайфуллин А. Р. Универсальный лексикон: химия, физика и технология (на русском и английском языках). М.: Логос
  126. Федеральная целевая программа: Господдержка интеграции высшего образования и фундаментальной науки на 1997−2000 г. г.). 2001. 448 с.
  127. К.А. Кремнеорганические соединения. М.: Госхимиздат. 1955. 520 с.
  128. .Н. Химия кремнеорганических соединений. Л.: ГОСХИМТЕХИЗДАТ (ОНТИ). 1933. 206 с.
  129. Yoldas В.Е. Introduction and effect structural variations in inorganic polymers and glass network// J. Non-Crystal. Solids. 1982. V. 51. N 105. P. 105−121.
  130. Bernards T.N.M., Janssen M.J.C.H., van Bommel MJ. Influence of butanol on hydrolisis-condensation behaviour of TEOS // J. Non-Cryst. Solids. 1994. V. 168. P. 201−212.
  131. М.Г., Згонник B.H. Кремнеорганические производные бэрной кислоты трис(триалкил)бораты и полиборорганосилоксаны // ЖОХ. 1957. Т. XXVII. № 6. С. 1476−1483.
  132. М.Г., Згонник В. Н. Новые методы синтеза трис(триалкилсилил)фосфатов // ЖОХ. 1957. Т. XXVII. № 6. С. 1483−1486.
  133. М.Г., Малетина Е. А., Роман В. К. Кремнекислородные соединения неметаллов. Производные азота и фосфора. Новосибирск: Наука. Сиб. Отд-ние. 1988. 365 с.
  134. В.А., Воронков М. Г., Клименко B.G., Клименко С. В. Гидролитическая поликонденсация тетраэтоксилана с солями и оксидами металлов в золь-гель процессе // ЖПХ. 1997. Т. 70. № 10. С. 1698−1703-
  135. В.А., Воронков М. Г., Клименко B.C., Быстров Д. Н. Гидролитическая? сополиконденсация этилсиликата с солями кобальта и марганца // ЖПХ. 2003- Т. 76. № 5. С. 810−813.
  136. Zhao G., Kozuka П., Sakka S. Preparation of ТЮ2 coating films containing Pd fine particles by sol-gel method // J. Sol-Gel Sci. Tech. 1995. V. 4. P. 37−47.
  137. Ryu Dong: Hwan, Kim Seong Chul, Koo Sang Man. Deposition of titania nanoparticles on spherical: silica // J. Sol-Gel Sci. Tech: 2003. V. 26. N 1 -3. P. 489 493-
  138. В.А., Воронков М. Г., Клименко>В1С., Клименко С. В: Влияние природы растворителя: и- соотношения реагентов на золь- гель процесс синтеза кремнекислородных ксерогелей // ЖПХ. 1996. Т. 69. № 6. С. 951−957.
  139. .В., Вихлянцев О. Ф., Пелипас В. П., Бескова Э. С. Физико-химическое исследование боросодержащих: пленок, полученных гидролизом тетраэтоксисилана // Неорганические материалы. Известия АН СССР. 1976 Т. 12. № 3. С. 388−391.
  140. Kuhn J!, Gleissner Т., Arduini-Schuster M.C., Korder S., Fricke J. Integrationof mineral powders into Si02 aerogels // J: Non-Cryst. Solids. 1985. V. 186.291−295
  141. Greil P. Near net shape manufacturing-of polymer derived- ceramics // J. Eur. Ceram. Soc- 1998. V. 18. N 13, P. 1905−1914.
  142. Garcia-Gerda L.A., Perez-Roblez J.F., Gonzalez-Hernandez J., Mendoza-Galvan A., Vorobiev Yu.V., Pokhorov E.F. Dielectric properties of Si02 thin- films prepared by the sol-gel technique // J. Vac. Sci. Technol. B. 2000. V 18. N 1. P. 288−292.
  143. Hubert Th., Shimamura A., Klyszcz A. Tailoring Electrical Properties of modified-Si02 films // Abstracts of XII International Workshop on Sol-Gel Science and Technology. Sidney (Australia). 2003-
  144. А.А. Температуроустойчивые неорганические покрытия. Л-: Химия. 1967.240 с.198Шетцольд А. Эмаль. Пер с нем. М.: Металлургия. 1958.
  145. Kazuki М., Yi Ни, Mackenzie J. D. The effects of Ultrasonic irradiation on the Preparation and Properties of Ormosils // J. Non-Crystal. Solids. 1994. N 3.-P. 109 116-
  146. Takashi Iwamoto, J.D. Mackenzie-. Hard- ormosils prepared with- ultrasonic irradiation // J. Sol-Gel Sci. Tech- 1995. N4. P. 141−150.
  147. Химический^энциклопедический словарь. Гл. ред. И. Л. Кнунянц. М.: Сов. Энциклопедия. 1983. 792 с.
  148. И. Кавитация. Пер. с англ. Ю. Ф. Журавлева. Ред., предисл. и дополн. Л. А. Эпштейна. М.: Мир, 1975. 95 с. (Pearsall I.S. Cavitation. Milles and Boon Limited. London, 1972.).
  149. И.Ф. Периодические коллоидные структуры. JL: Химия. 1971. 192 с.
  150. А.А. Полимерсодержащие дисперсные системы. Киев: Наукова думка. 1986. 201.
  151. Stravvbridg I., James P.F. The factors affecting the thickness of sol-gel derived silica coatings prepared by dipping // J. Non-Crystal. Solids. 1986. V. 86. P. 381 393:
  152. Haas D.E., Quijada J.N., Picone S.J.,. Effect of solvent rate on 2skin2 formation during spin coating of complex solutions / Sol-Gel Optics (SPIE Proc. 3943). Ed. V.B. Dunn, E. Pope, I I.K. Schmidt, M. Yamane / 2000. P. 280−284.
  153. Haas D.E., Birnie D-P. Real-time of striation development during spin-on-glass deposition // Proc. Am. Ceramic. Soc. Symp. On Sol-Gel Commercialization and Application. 2000: P. 1−6.
  154. Fidalgo A., Ilharco L.M. Thikness, morphology and structure of sol-gel hybrid films: II the role of the solvent // J. Sol-Gel Sci. Tech. 2003. V. 26. N 1−3. P. 357 362.
  155. Г. Зиновьев K. B: Влияние условий-формирования на свойства пленок 3i02, полученных из растворов тетраэтосисилана. Электронная техника. Сер. Материалы. 1980. № 5. С. 72−77.
  156. Peeters M-P.Ji, Bohmer M.R. Optical application of (pigment) sol-gel coatings III. Sol-Gel Sei. Tech. 2003. V. 26. N 1−3. P. 57−62.
  157. De Sousa E.M.B., de Sousa A.P.G., Mohallem N.D.S., Lago R. M-. Coper-silica catalyst: structural changes of Cu species upon thermal: treatment*// J. Sol-Gel Sei. Tech. 2003: V. 26. N1−3. P. 873−877.
  158. B.A., Воронков М. Г., Клименко B.G., Клименко C.B. Термические превращения: полиметаллосилоксанов, полученных золь-гель методом //ЖПХ. 2001 Т. 74. № 7. С. 1131−1141.
  159. Hutlova A., Nizhansky D., Plocek J., Bursik J, Rehspringer J.-L. Nanocomposites NiFe204/Si02 and CoFe204/Si02 preparation by sol-gel: method and physical properties II J- Sol-Gel Sei. Tech. 2003. V. 26. N 1−3. P. 473−477.
  160. Технология тонких пленок (справочник). Под ред. JI. Майссела, Р. Глэнга. Т. 2. М.: Советское радио. 1977. 768 с.
  161. J.D. / Science of Ceramic Chemical Processing. Edited by L.L. Hencj and D.R. Ulrich / New York: John Willey & Sons. 1986. 113 p.
  162. Mackenzie J. D: / Ultrastructure Processingof Advanced Ceramics. Edited by J. D- Mackenzie and D. Ri Ulrich / New York: John Willey & Sons. 1988. 589 p.
  163. Avnir D., Levy D., Reisfeld R. The nature of the silica cage as reflected by spectral chenges and enhanced photostabiliti of rhodamin 6G// Phys. Ghem. 1984. V.88 P. 5956.
  164. GelmantF., Blum J., Schumann H., Anvir D. One-pot reactions with sol-gel entrapped catalysts, acids abd bases // Ji Sol-Gel Sci. Tech. V. 26. N 1−3. P.1 43−46.
  165. Gautier-Luneau I., Denoyelle A.,. Sanchez J.Y. and Poinsignon C. Organic-inorganic protonic polymer electrolytes as membrane for low-temperature fuel cell //Electrochimica Acta. 1992. V. 37. N9. P. 1615−1618.
  166. Latella B.A., I gnat M., Barbe G.J., Cassidy D.J., Bartlett J.R. Adhesion behaviour of organically-modified silicate coatings on: stainless steel // Sol-Gel Sci. Tech. V. 26. N 1−3. P. 765−770.
  167. JudeinsteinP., Aegerter M.A. New Li+ ion-conducting ormolytes // Solar Energy Materials and Solar Cells. 1998. V. 54. P. 1−8.
  168. Schubert U. Silica-based andl transition? metal-based inorganic-organic, hybrids materials a comparison // Sol-Gel Sci. Tech- 2003. V. 26. N 1−3. P. 47−55.
  169. Pinero M., La Rosa-Fox N. D, Erce-Montilla R., Esquivias L. Small angle neutronsscatteringj study of PbS quantum dots synthetic routes via sol-gel // J. SolGel Sci. Tech. 2003. V. 26. N1−3. P. 527−531.
  170. Haruvy Y., Ryabov Y., arkhipov V., Gutinz A., Axelrod E., Feldman Y.// J. „Non-Crystal-Solids. 2002: V.305,N 1−3 P.226−234.
  171. Honma. I:',. Nakajima H, Nishikawa 0/, Sugimoto T., Nomura- S. Organic/inorganic nano-composites for high temperature proton conducting polymer electrolytes// Solid State Ionics. 2003- V. 162−163. P.' 237−245-
  172. Voronkov M.G., Vlasova N. N-, Pozhidaev Yu.N. Organosilicon ion-exchange and complexing adsorbents // J. Appl. Organometal. Chem. 2000. V. 14. P. 287 303.
  173. Hidalgo A., Ilharco L.M. Thikness, morphology and structure of sol-gel hybrid films: I the role of the precursor solution’s ageing // J. Sol-Gel Sci. Tech. 2003. V. 26. N 1−3. P. 363−367.
  174. D.L. Ou, Chevalier P.M. Studies on highly porous hybrid prepared by a novel fast gellation process under ambient pressure // J. Sol-Gel Sci.&Tech. 2003. V. 26. P. 657−662.
  175. Rao M.S., Gray J., Da^/e B.C. Smart glasses: molecular programming of dynamic responses in organosilica: sol-gels // J. Sol-Gel-Sci. Tech. 2003i V. 26. N 13. P. 553−560.
  176. Krakovsky I, Urakawa H., Kajiwara K., Kohjiya S. Time resolved small angle X-ray scattering gel formation kinetic // J. Non-Cryst. Solids. 1998. V. 231. P. 3140.
  177. Ю.С. Фазоворазделенные взаимопроникающие сетки.: Днепропетровск: УГХТУ. 2001. 326 с. (англ.) Lipatov Yuri S. Phase-separated interpenetrating polymer networks. Dnepropetrovsk: USGhTU. 2001. 326 p.
  178. Chaker J. A., Dachmouche K., Santilli C.V., Pulcinelli S.H., Briois V., Flank A.-M., Judeinstein P. Siloxane polipropyleneoxide hybrid ormolytes: structure -ionic conduktivity relationships // Jf Non-Crystal Solids. 2002.V.304, N1−3. P. 109 115:
  179. Sysel P., Hodzova R., Sindelar V., JiBrus. Preparation and characterization of crosslinked: polyimide-poly (dimethylsiloxane)s // Polymer 2001. V. 42. P. 1 007 910 085.
  180. Chung C.-M., Lee S.-J., Kim J.-C. Jang D.-O. Organic-inorganic polimer hybrids based on unsaturated polister// J. Non-Crystal Solids. 2002.V.311, N2* P. 195−198.
  181. Brusatin G., Innocanzi P., — Guglielmi M. Basic catalyzed synthesis of hybrid sol-gel materials based on 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane // J. Sol-Gel: Sci. Tech. V. 26. N 1−3. P. 303−306.
  182. Chang T. C“ Yeh T. F» Yang C. W" Hong Y. S., Wu T. R. Chain dynamics and stability of the poly (3-methacryloxypropyltrimethoxysilane)-covinylimidazole // Polimer. 2001. V.42. N2, P.8565−8570.
  183. Kasseh A., Ati-Kadai A., Riedl B., Pierson J.F. Organic/inorganic hybrid composites prepared by polymerization- compounding and controlled free radical polymerization //. Polimer. 2003 V.44. N5., P. 1367−1375.
  184. Davis S R., brough A. Rl, Atkinsons A., Formation- of silica lepoxy hybrid- network polimers// J. Non-Crystal Solids. 2003.V.315, N1−2. P. 197−205.
  185. Р. Фрактальные агрегаты. Усп. физ.наук. 1989: Т. 157. № 2. С. 339−357. (Перевод G.A. Виткалова: Jullien R'. Fractal aggregates // Comm. Cond. Mat. Phys. (Comm. Mod. Phys. Pt. В). 1987. V. 13. N 4. P. 177−205.).
  186. Ю.Д. Процессы самоорганизации в химии материалов // Успехи химии. 2003. Т. 72. № 8. С. 731−762.
  187. Schaefer D.W., Keefer K.D.1 /Better Ceramics Through Chemistry. Eds. C.J.Brinker, D.E.Clark, and D.R.Ulrich / New York: Elsevier North-Holland. 1984. P. 1.
  188. Brinker C.J., Keefer K. D-, Schaefer D.W., Ashley C.S. Sol-gel transition in simple cilicates T//. J. Non-Crystaf Solids. 1982.V.48, P.47.
  189. D.W., Martin J.E., Keefer K.D. / Physics of Finely Divided Matter. Eds. N. Bocarra and Mi Daoud. Berlin: Springer-Verlag. 1985. P.31.
  190. Nogami M., Moriya Y. Glass Formation hydrolysis of Si (OC2H5)j with NH4OH and HC1 solution.// J. Non-Crystal Solids. 1980.V.37, N2 P. 191 -201.
  191. Vollet D.R., Donatti D.A., Ibanez Ruiz A. A SAXS study of the nanostructural characteristics os TEOS-derived sonogels upon heat treatment up to 1100 °C // J. Non-Cryst Solids. 2002. V. 306. P. 11−16.
  192. Adeogun M. J, Fairclough J.P.A., Hay J.N. and Ryan A.J.Structure control- insol-gel silica synthesis, using ionene polymers-evidence from X-ray scattering // J.
  193. А.И., Флат А.Я- Использование концепции фрактала в физике конденсированной среды // Ven. физ- наук. 1989. Т. 163: № 12. С. 1−50.
  194. В.И. Свойства фрактальных дисперсных систем // Успехи химии. 2003- jY" 11. С. 1028−1054:
  195. Park Y. Fractal geometry of porous materials // Fractals. 2001. V. 8, N 3. P. 301−306.
  196. Roberts A.P., Knackstedt iVl.A. Transport and: elastic: properties of fractal- media // Physica A. 1996. V. 233. P. 848−858.
  197. Fricke J., Emmerling A. Structure and- Bonding 77. Berlin-Heidelberg: Springer-Verlag. 1992. P: 38.
  198. Schaefer. D.W., Hurd A J. /Chemistry and Physics of Composite Media/ Eds. M. Tomkiewicz and P.N. Sen / Pennington: Electrochemical Society. NJ. 1985. N 85−88. P. 54.
  199. Srebnik S., Lev O. Theoretical investigation of imprinted crosslinked silicates IIУ. Sol-Gel Sci. Tech. 2003. V. 26. N 1−3. P. 107−113.
  200. Hay J. N., Porter D., Raval H.M. A Versatile route to organically-modified silicas and porous silicas via the non-hydrolytic sol-gel process // J. Material Chemistry. 2000. N 10. 1811−1818.
  201. Gray G.M., Hay J- N. Self-assembled organic-inorganic silica hybridr from polyviologens // http://www.rsc.org/suppdata/jm/a9
  202. Vonk C.G. Programme for the processing of small-angle: X-ray scattering data FFSAXS. Version 3 (Geleen, Netherlands, DSM, 1977) 173 p.
  203. Beaucage G. Approximation- leading to a unified exponential/pow^r-law approach to small-angle scattering // J.Appl.Cryst. 1995 V. 28, P. 717−728.
  204. Beaucage G. Small-angle scattering from polymeric mass fractals of arbitrary mass-fractal dimension//J.Appl.Cryst. 1996. V. 29, P. 134−146.
  205. Hyeon-Lee J., Beaucage G., Pratsinis S.E. Aero-sol-gel synthesis of nanostructured silica powders // Chem: Mater. 1997. N 9. P. 2400−2403.
  206. Hyeon-Lee J., Beaucage G., Pratsinis S.E., Vemury S. Fractal analysis of flame-synthesyzed nanostructured- silica- and titania powders using small-angle x-ray scattering // Langmuir. 1998. N 141 P. 5751−5756.
  207. Kammler H.K., Beaucage G., Mueller R., Pratsinis S.E. Structure of Лате-made silica nanoparticles by ultra-small-angle X-ray scattering // Langmuir. 2004. V. 20. N 5. P. 1915.
  208. А.П., Шилов В. В., Шилова О. А., Куницкий Ю. А. Диагностика наносистем. Многоуровневые наноструктуры. Ч. IL Киев: Академпериодика. 2004. 112 с.
  209. G., Pratsinis S.E., Mark J.E. 'Nano-springs' for elastomer reinforcement / Sixth Foresight Conference on Molecular Nanotechnology / Foresight Materials on the Web: http://www.foresight.org/Conference/MNT7/Abstracts/Beaucage/index.html.
  210. Suh Y.J., Friedlander S.K. Origins of the elastic behavior of nanoparticle chain aggregates: Measurements using nanostructure manipulation device // Journal of Applied Physics. 2003. V. 93, N 6. P. 3515−3523.
  211. Friedlander S.K., Jang H.D., Ryu K.H. Elastic behavior of nanoparticle: chain aggregares // Applied Physics Letters. 1998. V. 72. N 2. P. 173−175.
  212. Park K.Y., Ullmann M., Friedlander S.K. Nanoparticle microreactor: Application, to synthesis of titania by thermal decomposition of titanium tetrapropoxide // Journal of Nanoparticle Recearch. 2001. V. 3. P. 309−319.
  213. O.A. «Spin-on glass» films for semiconductor technology // Surface Coatings International- Part В: Coatings Transactions, September 2003- 86, B3. P. 195−202.
  214. В. А., Мошников В. А, Таиров Ю. M., Федотов А.Золь-гель технология: Учеб. Пособие. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2004. 144 с.
  215. Шилова O.A., C.B. Хашковский Золь-гель метод получения композиционных стекловидных и стеклокерамических пленок на основе неорганических полимеров // Материалы. Технологии. Инструменты. Т. 6. № 2. 2001. с. 64−70-
  216. В.А., Хавин З. Я. Краткий химический справочник. Под ред. В. А. Рабиновича. Л.О.: Химия. 1977. 376 с.325- Лурье Ю. Ю. Справочник по аналитической химии. М.: Химия. 1979. 480 с.
  217. Справочник химика- Основные свойства неорганических и органических соединений: Л.-М.: Госхимиздат. 1951. 1447 с.
  218. Pope E.J.A., Mackenzie J.D. Sol-gel processing of silica. II. The role of the catalyst//J. Non-Cryst. Solids. 1986.V. 87. P. 185−198.
  219. B.B., Шилова O.A., Ефимова Л. Н., Цветкова И. Н., Гомза Ю. П., Миненко H.H., Бурмистр М. В., Сухой K.M. Золь-гель синтез ионпроводящихкомпозитов и использование их для * суперконденсаторов // Перспективные материалы, 2003- № 3, с. 31−37.
  220. Bemards T.N.M.5, Janssen M.J.C.H., vab Bommel M: J. Influence of butanо 1 on the hydrolysis-condensationt behaviour of TEOS // J. Non-Cryst. Solids. 1994. V. 168- P. 201−212.
  221. О.А. (Шилова О.А.) Разработка растворов на основе тетраэтоксисилана: для4 получения легированных кремнеземных пленок, с: целью модификации свойств кремния и ниобата лития. Дис. канд техн. наук. Л.: 1984.309 с.
  222. .В. Теория! устойчивости коллоидов- и тонких пленок. М.: Наука. 1986. 206 с.
  223. Derjaguin B.V., Churaev N-V. Inclusion of structural forces in the theory of stability of colloids films // J. Colloid. Interface Sci. 1985. V. 103, N 2- P: 542−553 .
  224. И.Ф., Усьяров О. Г. Взаимодействие коллоидных часлщ и других микрообъектов на дальних расстояниях и образование периодических коллоидных структур // Успехи химии. 1976. Т. 45. Вып. 5. С. 877−907.
  225. Шилова- O.A. Формирование гибридных органо-неорганичсских материалов- золь-гель методом? // Вопросы химии и химической5 технологии 2002, № 3, с. 248−253.
  226. Shilova O.A., Hashkovsky S.V., Tarasyuk E.V.,. Shilov V.V., Shevchenko V.V., Gomza Yu.P., Klimenko N.S. Organic-Inorganic Insulating' Coatings based- on sol-gel technology// J. Sol-Gel and Technology, 2003, Vol. 26, N1−3, p. 11 311 135.
  227. П.А., Измайлова В. Н. Структурообразование в белковых системах. Mi: Наука. 1974. 268 с.
  228. Quartarone Е., Tomassi С., Mustarelli P., Magistris A. Long-term stability of PE0-Li20:3B203-LiC104 composite solid! electrolyte // Electrochemica Acta. 1998. V. 43. N10−11. P. 1321−1325.
  229. И.В., Шилова O.A., Мошников В. А. Применение наноразмерных гибридных органо-неорганических пленок в качестве источниковвысокотемпературной диффузии бора в монокристаллический кремний // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2004: Вып. 2. С. 3−9.
  230. Matsuda A-, Malsuno" Y., Tatsumisago M., Minami T. Fine patterning and. characterization of gel- films derived* from: methyltriethoxysilane and: tetraethoxysilane // J. Am. Ceram. Soc. 1998. V. 81. N 11. P.2849−2852.
  231. H.H., Круглицкая В .Я. Дисперсные структуры- в- органических и кремнийорганических средах. Киев: Наук. думка. Л981. 316е.
  232. Е.В. Автореферат докт. дис. Роль граничных слоев водьг в устойчивости дисперсных систем: СПб. 2004. 32 с.
  233. Shilov V., Burmistr М., Shilova О. Solid state polymer electrolyte fuel cells as ecologically acceptable power sources of clean energy. Perspectives and problems of application / Proceedings of 4th International Conference on Carpathian
  234. Алексенскиш AE,. Байдакова: M: B-,. Вуль- AJL, Сиклитский B!№. Структура алмазных нанокластеров // Физика, твердого тела: 1999. Т. 41. С. 740−743:
  235. Власов- А.Г., Флоринская В. А., Венедиктов A.A., Зубарева Е. П., Куриновская Р. И., Морозов В. Н., Смирнова Е. В., Яскинд А. К. Структура и физико-химические свойства неорганических стекол. JL: Химия- 1974. 360 с.
  236. Г. Б. Введение: в кристаллографию. М.: Изд-во Московского университета: 1954. 491 с.
  237. Бурмистр М. В1, Привалко В. П., Липатов Ю. С. Энергетика растворения алкилароматических полиионенов в воде // Докл. АН УССР. Сер. Б. 1991. № 10. С. 135−138-
  238. Е.В., Лисенков А. Н. Планирование эксперимента в условиях неоднородностей. М.:Наука. 1973: 220 е.
  239. Бурмистр: MiBJ, Сухой К. М-, Шилова^ OiA., Гармонова"T.Hi, Шилов В. В Применение полиионенов? в золь- гель * синтезе материалов// Вопросы- химии и химической технологии 2002, № 3, С. Л53−157.
  240. Burmistr M.V., Sukhoy K.M., Shilova O.A., Garmonova T.N., Shilov V.V. Polyionenes in Sol-Gel Synthesis of Materials // Chemical Industry of Ukraine, 2002, jY" 6, c. 34−38.
  241. O.A., Кузнецова? Л ! А., Гармонова.Т.Н., Хашковский C.B., Шилов ^
  242. B.В., Шевченко В. В, Бурмистр¦ М.В., Сухий K.M. Синтез золь-гель методом стеклокерамических покрытий из модифицированных щелочесиликатных прекурсоров // Вопросы химии и химической технологии. № 4. 2001. 74−77.
  243. O.A., Шилов В. В., Тарасюк Е. В., Беседникова И.Н., Хашковский
  244. Zhang J., Gao L. Synthesis and-characterization of antimony-doped tin oxide (ATO) nanoparticles // Inorganic Chemistry Communications. 2004. N 7. P. 91−3:.
  245. KOTOH Ф., Уилкинсон- Дж. Современная: неорганическая г химия- Ч: 3: Химия переходных элементов: М: Мир: 1969: 592 с.
  246. Ю.З., Козлов К.ВМ Забашта М. А., Шилова О. А., Чепик Л. Ф. Легирование ноликремния фосфором из- пленок, полученных из растворов на основе: ТЭОС // Температуроустойчивые функциональные покрытия. Тр. XVII Совет. Т.2. СПб: ООП НИИХ. 1997. С. 88−90.
  247. Kim D.H., Yoon J.Y., Park H.Ch., Kim K.H. C02-sensing characteristics of Sn02 thick films by coating lantanium oxide // Sensors and Actuators. B. 2000- V. 62. P. 61−66.
  248. Marsal A., Cornet A., Morante J: R: Study of CO and humidity interference in La doped tin oxide CO2 gas sensor // Sensors and Actuators. B. 20 031 V. 94. P- 324 329-
  249. Seidell H., Csepregi L., Heuberger A., Baumgartel H. Anisotropic etching of crystalline silicon in alkaline solutions // J. Electrochem. Soc. 1990- V. 137. N 11. I 3626−3633.
  250. А. И. Курносов, В-. В- Юдин-, Технология- производства- полупроводниковых приборов- Учеб. Пособие. М.: Высшая школа. 1974. 233 с.
  251. Ralpf, T.R. and Hogarth, М-Р. Catalysis for Low-Temperature Fuel Cells // Platinum Met. Rev. 2002. V. 46. N. 3: P. 117−135.
  252. Giorgi L., Antolini E., Pozio A., Passalacqua E. Influence of the PTFE content in the diffusion layer of Low-Pt loading Electrodes for Polymer: Electrolyte Fuel Cells // Electrochimica Acta 1998. V. 43- N. 24. P. 3675−3680.
  253. Havre R. O', Lee S.-J-, Cha S.-W., Prinz F.B. A Sharp Peak in the Performance of Sputtered Platinum Fuel Cells at Ultralow Platinum Loading // J. Power Sources. 2002 V. 109. N.2. P. 483−493.
  254. Г. Б. Нанохимия металлов // Успехи химии. 2001. Т. 70- № 10. 915−933.
  255. Усов i J1.H., Борисенко А. И.,. Григорьева И. М., Тру сова Е. М. Понижение газопроницаемости плазменных покрытий // Жаростойкие и теплостойкие покрытия (Труды IV Всесоюзного совещания). JI.: Наука. 1969. 269−273.
  256. С.В., Лапенкова В. Я., Ефимова JI.H., Шилова O.A. Композиционное: покрытие- на основе: стеклокерамических порошков // Материалы 1 Г съезда Российского керамического общества: СПб. 1999.
  257. Shilova O.A., Hashkovsky S.V., Kuznetsova L. A Sol-gel preparation of Coatings for Electrical, Laser, Space Engineering and power // J. Sol-Gel Tech. 2003, Vol. 26, N 1−3- p. 687−691.
  258. Шилова- O.A., Хашковский С. В., Кротиков В. А., Шилов В. В. Гибкаяжаростойкая изоляция- для- ядерной? энергетики- // Scientific Papers of the1. stitute for Nuclear, Researches, National Academy of Sciences of Ukraine. 2002. 28. 97−104. (русск.).
  259. Хашковский: С.В., Шилова: O.A., Тарасюк Е. В. Способ получения стеклокерамического покрытия? МПК СО 1ВЗЗ/149- ВО 1J13/00, СОЗС10/14) (Заявка № 2 003 138 185/04(41 212), дата подачи заявки 31.12.2003 г. (Заявка прошла формальную экспертизу).
  260. Тарасюк Е. В, Шилова 0: А., Хашковский С. В. Формирование гибридной органо-неорганической, изоляции на обмоточных проводах непрерывным — способом нанесения- из золей * Материалы. Технологии- Инструменты. 2003, Т.8, № 3, с. 82−87.
  261. М.В., Сухой K.M., Шилова O.A., Гармонова Т. Н., Шилов В.В Применение полиионенов в золь-гель, синтезе материалов// Вопросы химии и химической технологии 2002, № 3- с. 153−157.
  262. В.В., Блен Е. В., Корнеев В. И., Агафонов Г. И. О состоянии кремнезема? в концентрированных низкощелочных, растворах силикатов тетрабутиламмония // ЖПХ. 1987. Т. 60. № 7. С. 1508−1512.
  263. Burmistr M.V., Sukhoy K.M., Shilova O.A., Garmonova TN., Shilov V.V. Polyionenes in Sol-Gel Synthesis of Materials // Chemical Industry of Ukraine, 2002, № б, с. 34−38.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!