Разработка математических моделей и исследование алгоритмов измерений линейных и угловых величин дифракционным методом
Диссертация
Дальнейшие исследования в направлении повышения чувствительности, точности, упрощения аппаратуры для реализации дифракционного метода и расширения его функциональных возможностей выдвигают задачу по созданию оптической системы обработки информации (ОСОИ), в наиболее полной мере использующей амплитудно-фазовое распределение световых полей за контролируемыми объектами. Наиболее перспективными… Читать ещё >
Список литературы
- Гуриков В.А. Становление прикладной оптики XV—XIX вв.. «Наука» М., 1983
- Гуриков В.А. История прикладной оптики «Наука» М., 1993
- Макаренко В.В. Контроль малых размеров с использованием оптических квантовых генераторов. Сборник Автоматизация контроля в машиностроении. Омск 1973
- Макаренко В.В. Контроль малых диаметров с применением оптических квантовых генераторов. Сборник Технический контроль и методы проектирования в машиностроении, Омск, 1972 N2
- Иваницкий Г. Р., Куниский А. С. Исследование микроструктуры объектов методами когерентной оптики. «Энергия», М., 1981
- Линник В.П. Прибор для интерференционного исследования отражающих объектов под микроскопом (микроинтерферометр). ДАН СССР, 1933
- Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Ленинград, «Машиностроение», 1976
- Высокоточные угловые измерения, под редакцией проф. Ю. Г. Якушенкова, М., «Машиностроение», 1987
- Крылов К.И., Прокопенко В. Т., Митрофанов А. С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л.: «Машиностроение» 1978
- Быстров Ю.А., Колгин Е. А., Котлецов Б. Н. Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве. М., «Радио и Связь», 1988
- Мировицкая С.Д. Точность дифракционного метода измерения диаметров цилиндров. Измерительная техника 1985 N 4
- Лоди М.Н. Автоматизированный метод измерения малых линейных размеров дифракционным лазерным методом. Автореферат диссертации на соискание степени кандидата технических наук. 1986
- Лизунов В.Д. Бесконтактный метод измерения малых линейных размеров. Измерительная техника 1976 N 2
- Лоди М.Н. Математическая модель поля дифракции при измерении малых линейных размеров. Измерительная техника 1990 N 12
- Лизунов В.Д. Измерение толщины покрытий на цилиндрических образцах малых размеров. Измерительная техника 1978 N 2
- Тарлыков В.А. Определение характерного размера нитевидных объектов по дифракционной картине. Измерительная техника 1991 N 6
- Тарлыков В.А. Погрешности лазерного дифрактометра малых линейных размеров, вносимые оптическим Фурье-процессором. Измерительная техника 1986 N 11
- Арефьев А.А., Старостенко Б. В. Определение показателя преломления оптически прозрачных сред дифракционным методом. Измерительная техника 1986 N 5
- Дифракционный метод контроля диаметра цилиндрических деталей. С. П. Сахно, Г. С. Тымчик. «ОМП» 1987 N7
- Кларк Р. Рождение бомбы (сокращенный перевод с английского В.Н. Дульнева) Москва 1962
- Чехович Е.К. Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники, Минск, «Наука и техника», 1989
- Креопалова Г. В., Лазарева Н. Л., Пуряев Д. Т. Оптические измерения, М. 1987
- Юу Ф. Т. С. Введение в теорию дифракции, обработку информации и голографию, М., «Советское радио», 1979.
- Фотолитография и оптика, под редакцией проф. Я. А. Федотова и профессора Г. Поля, М. «Советское радио», Берлин «Техника».
- Котлецов Б.Н. Микроизображения: Оптические методы получения и контроля, JI. «Машиностроение» 1985
- Реди Дж. Промышленные применения лазеров, Издательство «Мир», Москва, 1981
- Лазарев Л.П., Мировицкая С.Д. Контроль Геометрических и оптических параметров волокон Москва «Радио и Связь», 1988
- Вагнер Е. Т., Митрофанов А. А., Барков В.Н., Лазерные и оптические мтоды контроля в самолетостроении, Москва, Машиностроение 1977
- Вагнер Е.Т. Лазеры в самолетостроении М.- «Машиностроение», 1982
- Зацаринный А.В. Автоматизация высокоточных инженерно-геодезических измерений, М.- Недра, 1976
- Ямбаев Х.К. Специальные приборы для инженерно-геодезических работ М.- «Недра», 1990
- Пронин С.П. Перспективы развития ОЭП, предназначенных для измерения малых линейных размеров", Сборник докладов четвертой международной конференции «Измерения, контроль и автоматизация производственных процессов» ИКАПП-97 том 1,2. Барнаул 1997
- Александров В.К. и др. Дифракционные и интерференционные методы контроля диаметра оптических волокон. Минск 1989
- Кирчин Ю.Г. Разработка и исследование оптико-электронных систем для контроля смещений. Автореферат диссертации на соискание степени кандидата технических наук. 1993
- Москвин А.С. Оптико-электронные датчики контроля линейных размеров объективов для систем управления. Автореферат диссертации на соискание степени кандидата технических наук.
- Pryor T. R, North W.P.T. The Diffractographic Strain Gage, Experimental Mechanics, December 1971 pp. 565−568
- Vafidakis A.P., Theocaris P. S., Liakopoulos C. Experimental Investigation on Amplitude Diffraction-Grating Imaging, Journal of the Optical Society of America, Vol. 59, Number 5, May 1969 pp.568−572
- Патент Франция МКИ G 01 b N 1 603 129, опубл.22 марта 1971 заявка 4 июля 1968 г. Устройство для измерения диаметра волокон и нитей небольшой толщины.
- Патент Франция МКИ G01 b 11/00 N 2 146 752, опубл. 1973 Дифракционный способ измерения размеров мелких объектов путем сравнения
- Патент Франция МКИ G01 b N 1 506 288, заявка от 23 .02.1966, опубл. 22.12.1967
- Патент США МКИ GO lb 9/02 N 3 785 737 Опубл. 15 января 1974 Separation measurement method and devices employing diffraction waves
- Hageniers O. I, Pryor T. R, Pastorius W. J., North W.P.T. Straight Edge Profile Analysis by the Diffractographic Method with Application to Razor Blades, The review of scientific instruments, volume 43, number 11, November 1972
- Патент Великобритания МКИ G01B 15/00 N 1 293 348, опубликован 18 октября 1972 A method of and apparatus for analysing objects with two or three dimensional shapes and/or patterns.
- Патент Великобритания МКИ GO IB 19/40 N 1 324 003, опубликован 18 июля 1973
- Betz H.D. An asymmetry method for high precision alignment with laser light, Applied Optics, vol. 8, 1969 r. N5 pp. 1007−1012
- Митрофанов A.C., Тарлыков B.A. Исследование дифракционного способа контроля диаметра проводов и волокон, Известия ВУЗов. Приборостроение, 1976, т. 19 N 1
- Тарлыков В.А., Кийко В. В. Погрешность дифракционного метода измерения микроотверстий с локальными дефектами. Измерительная техника 1988 N1 стр. 19−21
- Тарлыков В.А., Кийко В.В, Дифрактометрия микроотверстий с локальными дефектами Дефектоскопия 1988, N11, стр. 16−21
- Тарлыков В.А. использование дифракции для измерения площади микронного отверстия, Метрология, 1987 N 8, стр. 27−32
- Виноградов И.Р., Тарлыков В. А. Трансляционная симметрия картины дифракции Фраунгофера от многоугольной апертуры, Оптика и Спектроскопия, 1995, том 79, N6, стр. 1005−1008
- Тарлыков В.А. Лазерная дифрактометрия микрообъектов типовой формы. Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук. СПбГИТМО (ТУ), Санкт-Петербург, 2000
- Назаров В.Н. и др. Способ измерения линейных размеров объектов и устройство для реализации способа. А.С. СССР N 521 456, Б.И. 1976 N26
- Назаров В.Н. и др. Оптическое устройство для измерения расстояний до подвижного объекта А.С. СССР N 533 140, Б.И. 1976, N 39
- Гущо Ю.П. Фазовая рельефография. М., Энергия, 1974
- Обреимов И.В. О приложении Френелевской дифракции для физических и технических измерений, M.-JI., Издательство АН СССР, 1945
- Зверев В.А. Радиооптика, М., Советское радио, 1975
- Назаров В.Н. Исследование оптической системы обработки информации (F-Ф} для дифракционных измерений. Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. ЛИТМО, Ленинград, 1978
- Линьков А.Е., Назаров В. Н. Дифракционный автоколлиматор. Международный оптический конгресс «Оптика XXI век», VII Конференция «Прикладная оптика», 16−20 октября 2000 г., Сборник трудов т.1, ВНЦ ТОЙ им. С. И. Вавилова, Санкт-Петербург 2000 г.157
- Калитиевский Н. И. Волновая оптика, Москва, «Высшая школа», 1995
- М.Борн, Э. Вольф Основы оптики. М., «Наука», 1970
- Андреев A. JL, Ишанин Г. Г., Мусяков B. JL, Полыциков Г. В. Выбор и расчет схем включения позиционно-чувствительных и многоэлементных фотоприемников. Учебное пособие. JL: Лен. Ин-т точн. Механики и оптики, 1987, с. 68
- Павлов А.В., Черников А. И. Приемники излучения автоматических оптико-электронных приборов. М., Энергия, 1972, 239 с.
- Першиков В. И., Савинков В. И., Толковый словарь по информатике, М., «Финансы и статистика», 1991
- Справочник конструктора оптико-механических приборов под общей редакцией д-ра техн. Наук В. А. Панова, Л., «Машиностроение», 1980
- Латыев С.М. Конструирование точных (оптических) приборов, Часть 1, Принципы конструирования оптических приборов и их элементов. Учебное пособие.-СПб-ИТМО. 1996.
- Латыев С.М. Конструирование точных (оптических) приборов, Часть 2, Основы теории точности и понятие надежности приборов и элементов. Учебное пособие.-СПб-ИТМО. 1999.