Системы управления технологическими режимами магнетронного нанесения тензорезистивных пленок
Диссертация
Чувствительным элементом многих датчиков физических величин являются тензорезисторы. Современные датчики в качестве тензорезисторов используют тонкие тензорезистивные пленки. Основными методами формирования тензорезистивных слоев являются методы вакуумного термического резистивного испарения и взрывного испарения. Несмотря на применение сложных двухкамерных испарителей и программного управления… Читать ещё >
Список литературы
- Аверин И. А. Управляемый синтез гетерогенных систем: получение и свойства: монография- Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2006 — 316 с.
- С.Александров, А. Алексеев, О. Курносова, А. Филаретов /Новое поколение российских установок электронно-лучевого напыления — Наноиндустрия, вып. 2, 2009 г., стр. 2−4.
- Арсланов И.Р., Подковыров В. Г., Сочугов Н. С. Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем. // Докл. VI конф. «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц» г. Томск, 23−29 сентября. 2002 г., с. 186−189.
- Бабаков В.В. Исследование структуры и фазового состава резистивных и диэлектрических материалов при отработке технологии создания Ч.Э.датчиков, сб/ РКТ сер. Х1У, вып.1, 1979 г.
- Берлин Е.В., Двинин С. А., Сейдман Л. А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок, Москва, Техносфера 2007 г., 176 стр.
- Берлин Е.В., Сейдман Л. А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии Москва, Техносфера 2010 г., 527 стр.
- Бурык И.П., Воробьев С. И., Однодворец JI.B. Тензорезистивные свойства пленочных материалов на основе Ni И Мо ИЛИ Сг/ ФИЛ PSE, 2009, т. 7, № 1−2 vol. 7, No. 1−2
- П.Волохов И. В. Зеленцов Ю.А., Песков Е. В. О возможности создания высокостабильных тонкоплёночных тензорезисторов // Материалы IV Межрегионального совещания «Тонкие плёнки в электронике» Москва-Улан-Удэ — 1993 — С. 221−224
- Волохов И. В. Зеленцов Ю.А., Песков Е. В. Применение тонких пленок для тонкопленочных тензорезисторов в высокотемпературных чувствительных элементах датчиков давления // Радиотехника № 10 — 1995 — С. 54
- П.Волохов И. В. Песков Е.В., Попченков Д. В. Формирование двуслойной структуры тонкой пленки с целью уменьшения температурного коэффициента сопротивления //Датчики и системы.-2005.-№ 9.-С. 57−59.
- Ворожбитов А. И Семенов В.А., Педоренко Н. П.,. Тензорезисторные датчики давления // Приборы и системы управления 1990 — № 10 — С. 10 — 11
- Гундарева В.И., Соколов Ю. В. К вопросу исследования старения металлопленочных датчиков давления в кн. Методы и средства измерения механических параметров в системах контроля и управления. Пенза, ПДНТП, 1984 г.
- Данилин Б.С., Сырчин В.К.Магнетронные распылительные системы М., Радио и связь, 1982, 72 с.
- Диаграммы состояния двойных металлических систем под ред. Лякишева Н. П. Машиностроение, 1996−2000 г.
- Дубицкий С. Д. ELCUT конечно-элементный анализ низкочастотного электромагнитного поля. — EDA Express, № 12, октябрь 2005 — С. 24 — 29.
- Евстифеев A.B. Микроконтроллеры AVR семейства Tiny и Mega фирмы «ATMEL», Додэка-ХХ1, 2004., 558 стр.
- Жунда А.Н., Ядин Э. В. Конструктивные особенности вакуумных установок для нанесения покрытий электронно-лучевым способом/: Обзорная информация, Рига, ЛатНИИНТИ, 1987.208с
- Захаров А.Н., Соловьев A.A., Сочугов Н. С. / Повышение эффективности цилиндрических магнетронных распылительных систем с вращающимся катодом./ХХХ звенигородская конференция по физике плазмы и УТС, 2003 г.
- Клокова Н.П. Тензорезисторы. М.: Машиностроение 1990 — 222 с.
- Костржицкий А. И., Карпов В. Ф., Кабанченко М. П., Соловьева О. Н. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / М.: Машиностроение, 1991. — 176 с: ил.
- Костржицкий А. И, Лебединский О. В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. М, Машиностроение, 1987 г.
- Костржицкий А.И., Приббе С. А. Получение вакуумных покрытий из сплавов испарением компонентов из разных источников, ж. Физика и химия обработки материалов, 1979 № 1стр. 83−86
- Кузьмичев А. И. Источник питания для магнетронных распылителей // Приборы и техника эксперимента", 1997, № 2,стр. 168−169.
- Кузьмичев А. Магнетронные распылительные системы. Кн. 1. Киев, Аверс, 2008 г., 244с.
- Кузьмичев А.И. Применение импульсных режимов при физическом осаждении покрытий в разрядах низкого давления и вакууме // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники. 1999. -Вып. 2(10). — С. 29−39.
- Лугин А. Н., Литвинов А. Н. Экспериментальные исследования тензочувствительности тонкопленочных резисторов // Сб. докл. Международного симпозиума «Надежность и качество», Пенза 1999 — С. 343−345.
- А.Н.Лугин Конструктивно-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов/Пенза, ИИЦ ПГУ, 2008 г.
- Лугин А.Н. Об анизотропии тензочувствительности резистивных материалов // Сб. докл. МНТК «Материалы для пассивных радиоэлектронных компонентов», Пенза 2005 — С. 88−92.
- Маргелов А. Датчики тока компании Honeywell //Электронные компоненты 2007.-№ 3.-С. 121−126.
- Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления, Москва, изд. МГТУ, 1990 г.
- Никоненко В. А. Математическое моделирование технологических процессов, М., МИСиС, 2001 г.
- Пипко А.И., Плисовский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчет вакуумных систем. М., Энергия, 1979, 504с.
- Рентгенофлюоресцентный анализатор сплавов на рентгеновской трубке Х-МЕТ-3000ТА. Техническое описание.
- Розанов Л.И. Вакуумная техника. М., Высшая школа, 1982, 207с.
- Сердобинцев A.A., Веселов А. Г., Кирясова O.A., Портнов С. А., Браташов Д. Н. Импульсное напыление в низкотемпературной плазме тонких пленок с наноразмерной периодичностью свойств// Физика и техника полупроводников, 2009, том 43, вып. 6, стр. 859−862.
- Технология тонких пленок Справочник Под ред. JI. Майссела, Р. Глэнга. том 1, М., Советское радио, 1977.
- Технология тонких пленок Справочник Под ред. JL Майссела, Р. Глэнга. том 2, М., Советское радио, 1977.
- Тимаков C.B. Б.В.Цыпин, Д. И. Нефедьев Анализ толщины и способы повышения равномерности покрытий./ Новые Промышленные технологии. 2010, — № 2. — С. 4318.
- Тимаков C.B., Волохов И. В. Новая технология получения тонкопленочных гетероструктур чувствительных элементов датчиков давления / Измерительная техника, 2011, № 3, стр. 4−6.
- Тимаков C.B., Разуваев Д. В. Устройство контроля остаточного давления в установках вакуумного напыления / Сб. докладов ХХУ научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, Пенза, 2005.
- Тимаков C.B. Экспериментальное исследование характеристик магнетронного распылителя. / Информационно-измерительная техника: Труды университета: Пенза: Издательство ПГУ, 2007. Вып. 32. — Стр. 132−136.
- Тимаков C.B. Цыпин Б. В., Бывшев Ю. В. Исследование равномерности толщины покрытий. / Информационно-измерительная техника: Труды университета: Пенза: Издательство ПГУ, 2009. -Вып. 34. Стр. 175−185.
- Тимаков C.B. Контроль техпроцессов вакуумного нанесения покрытий с использованием датчиков тока. / Информационно-измерительная техника:
- Труды университета: Пенза: Издательство ПТУ, 2010. — Вып. 35. Стр. 127−131.
- Тимаков C.B. Цыпин Б. В. Особенности изучения технологии магнетронного нанесения тонких пленок. / «Университетское образование». Труды XIV Международной конференции Пенза, Издательство ПТУ, 2010.
- Тимаков C.B. Импульсный источник питания для магнетронного распылителя./ «Надежность и качество». Труды Международного симпозиума. В 2-х т. Пенза: Издательство ПТУ, 2010. т.2 Стр. 192−194.
- Тимаков C.B. Работа магнетронного распылителя при питании импульсным напряжением.// «Надежность и качество». Труды Международного симпозиума. В 2-х т. Пенза: Издательство ПТУ, 2010. -т.2 Стр. 194−197.
- Тимаков C.B., Модернизация вакуумного технологического оборудования/ Блинов A.B., Тимаков C.B., Чебурахин И. Н. // Информационно-измерительная техника: Труды университета: Пенза: Издательство ПТУ, 2011. Вып. 36. — С. 283−284.
- Тимаков C.B. Формирование хромоникелевых гетероструктур с заданным составом и свойствами. / И. А. Аверин, Р. М. Печерская, С. В. Тимаков //
- Сборник статей V международной научно-технической конференции «Аналитические и численные методы моделирования естественнонаучных и социальных проблем, Пенза, 25−28 октября 2010 г. с.261−263
- Тимаков C.B. Блок автоматического управления напряжением испарителя / Тимаков C.B., Бывшев Ю. В. //Сб. докладов ХХУ научно-технической конференции молодых ученых и специалистов Пенза, НИИФИ, 2006 г.
- Тимаков C.B. Выбор конструктивно-технических решений при модернизации технологического оборудования / Тимаков C.B., Волков Д. И //Сб. докладов XXIX научно-технической конференции молодых ученых и специалистов г. Пенза, НИИФИ, 2009 г.
- Тимаков C.B. Источник питания для магнетронного распылителя / Тимаков C.B., Северин Е. А. // Сб. докладов XXX научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, г. Пенза, НИИФИ, 2010 г.
- Тимаков C.B. Магнетронный распылитель / Тимаков C.B., Хошев А. В // Сб. докладов XXX научно-технической конференции молодых ученых и специалистов, г. Пенза, НИИФИ, 2010 г.
- Уайте Р.К. Силицидные резисторы для интегральных схем. В кн. Технология толстых и тонких пленок под. ред. А. Рейсмана, К. Роуза, М., Мир, 1977, стр53−59.
- Ширяев С. А, Атаманов М. В., Гусева М. И., Мартыненко Ю. В., Митин A.B., Московкин П. Г. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой Журнал технической физики, 2002, том 72, вып2, стр99−104.
- А.С. СССР на изобретение № 1 584 434. Испаритель / С. В. Тимаков, Б. А. Сивохин, В. И Михайлов, Б. М Раков. Заявка № 4 110 901 приоритет от 1.09.1986 Зарегистрировано 15.06.1988.
- Патент № 95 179 на полезную модель U1 Российская Федерация, МПК H01J25/00, С23С 14/00, Н02 В 99/00/. Источник питания магнетронного распылителя. /С.В.Тимаков, Е. А. Мокров, А. И. Ворожбитов, Б. В. Цыпин.
- Заявка 2 010 103 312/22, приоритет от 1.02.2010 // опубл. 10.06.2010. Бюл. № 16.
- Патент РФ № 1 820 416, МКИ, НО 1С 17/00 Высокотемпературный тензорезистор и способ его изготовления / Волохов И. В., Зеленцов Ю. А., Песков Е. В. заявка № 4 879 488/21, заявлено 30.10.90, опубл. 07.06.93, бюлл.№ 21 — 5 с.
- Патент РФ № 2 133 514, МКИ HOIC 17/22 Способ изготовления тонкопленочного терморезистора / Власов Г. С.- Лугин А.Н.- Проскурин Л.С.- Шутенко C.B.- заявка № 96 103 139/09, заявлено 19.02.1996, опубл. 20.07.1999.
- Патент США N 4 929 923, МКИ H 01 С 1/012, В 23 К 26/00, ИСМ N 12, 1991 г.
- Свидетельство о государственной регистрации программ для ЭВМ № 2 010 614 404. Программа управления током магнетронного распылителя./ С. В. Тимаков, А. Г. Дмитриенко. // Зарегистрировано в реестре программ для ЭВМ 7.07.2010.
- Свидетельство о государственной регистрации программ для ЭВМ № 2 010 614 403. Программа управления током резистивного испарителя./ С. В. Тимаков, А. Г. Дмитриенко. // Зарегистрировано в реестре программ для ЭВМ 7.07.2010.
- Ю.Angls J. A. Sputter deposition of a metastable equiatomatic tin-nickel alloy / Angis J.A., Bennwet J.E. // Jonrn. electrochem. Soc. — 1977. — v. 124, № 9. — P. 1455−1458.
- Z%.Bridgman P. W. Effekt ofpressure on binary alloys. Part V-VI/Proceeding of the American Academy of arts and science. 1957, March. Vol. 84 #2 p/131−216.
- Gulbinski W. / Sputtering sources -magnetron sputtering// Plasma Physics in Science and Technology- GREIFSWALD, September 2007
- Fully Integrated, Hall Effect-Based Linear Current Sensor with 2.1 k VRMS Voltage Isolation and a Low-Resistance Current Conductor, Allegro Micro Systems, Inc.
- Musil J., VicekJ. // 5th Conf on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. Tomsk, 2000. P. 393.398.
- Musil J., Baroch P,. Vlcek J. Nam K.H., Han J.G. Reactive magnetron sputtering of thin films: present status and trends/ Thin solid filvs 475 (2004), p. 208−218.
- Necmi Bilir and Long Do Stress and Other Challenges with Evaporated Ni-Cr Thin Film Resistors Used in the Manufacture of ASICs Internacional cjnference on compound semiconductor MFG, 2003.
- Sethuraman A. R. Diffraction studies on Ni-Co and Ni—Cr alloy thin films, J. Mater. Res., 1996, Vol. 6, No. 4, p. 749.
- Sigmund P Theory of Sputtering. I. Sputtering Yield of Amorphous and Poly crystalline Targets/ Physical Review, Vol. 184, No. 2. (1969), 383
- Schiller S., KirchhojfV., Goedicke K., Schiller N. Pulsed plasma a new era ofPVD-technique//FEP Annual Report. — 1996. — P. 23−30.
- Specht E D, Rack P D, Rar A, Pharr G M, George E P and Hong H 2004 Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 804 45.
- Spellman high voltage electrjnics Installation list /MG120−12OkW Supply.
- Stelter R., Schilling M., Welk A., Padua C., Li C., Devine M. /Method to Design Magnetrons that Match Preferred Erosion Patterns Technical Paper Dexter Magnetic technologies, 2005.
- Thornton J. A. Greene J.E. Sputter deposition processes In handbook of deposition technologies for films and coatings/Ed. R.F. Buenshah, Usa, Noues publications 1992.
- TALYSTEP Operating instructions, Rank Taylor-Hobson Limited, Leicester LE47JQ, England
- Thin film systems, Alcatel cit, Modidar magnetron sputtering system for advanced industrial applications, 1993 —
- Walter Umrath Fundamentals of vacuum technology, Cologne, 1998, 198 p. 234.
- Was a k. Hayakava S. Handbook of sputter deposition technology, USA, Noues publications 1992.
- US Patent 4 226 899 МКИ HOI С 17/22, Method for fabricating controlled TCR thin film resistors