Технология ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы Ti-C-Si применительно к деталям энергетических установок
Диссертация
Разработан и предложен к внедрению технологический процесс нанесения и термической обработки многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы Т1-С-81 для защиты лопаток компрессора высокого давления ГТД для ОАО «Уфимское моторостроительное производственное объединение». Результаты исследований внедрены в учебный процесс УГАТУ в виде методических указаний к лабораторным работам… Читать ещё >
Список литературы
- Абрамов A.C., Виноградов А. Я., Косарев А. И. и др. Исследование ионной бомбардировки пленок аморфного кремния в процессе плазмохимического осаждения в высокочастотном разряде. // Журнал технической физики, 1998, том 68, № 2.-С.52−59
- Аксенов И.И., Белоус В. А., Заднепровский Ю. А. и др., Осаждение «Толстых» Металлических слоев из плазмы дугового разряда в вакууме. // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.226−231.
- Аксенов И.И., Стрельницкий В. Е. Синтез безводородных пленок алмазоподобного углерода//Харьковская ассамблея. 2003 -С.96−105.
- Алексеев Н.И., Дюжев Г. А. Статистическая модель образования фуллеренов на основе квантовохимических расчетов // Журнал технической физики, 2001, т. 71, вып.5, С-67−70
- Андриевский P.A.,. Анисимова И. А, Анисимов В. П. Формирование структуры и микротвердость многослойных дуговых конденсатов на основе нитридов Ti, Zr, Nb и Cr // Физика и химия обработки материалов № 2,1992.-С.99−103.
- Анциферов В.Н., Косогор С. П. Многослойные вакуумно-плазменные покрытия на основе карбидов титана и хрома, их структура и свойства//Физика и химия обработки материалов, 1996, № 6. -С.61−65.
- Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. 385 с.
- Белый A.B., Карпенко Г. Д., Мышкин Н. К. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. — Москва: Машиностроение, 1991.
- Бойко A.B., Блинков И. В., Полянский A.M. и др. Разработка и нанесение защитного покрытия на материал лопатки соплового аппарата турбины многоразового ракетного жидкостного двигателя // Физика и химия обработки материалов, 2004, № 1. С.48−50.
- Борисов Д.П., Гончаренко И. М., Коваль H.H. и др. Ионно-плазменное формирование износостойких слоев на поверхности конструкционной стали//Физика и химия обработки материалов, 1997. № 4.-С.40−44.
- Будилов В.В., Иванов В. Ю., Мухин B.C. Интегрированные вакуумные ионно-плазменные технологии обработки деталей газотурбинных двигателей. -Уфа, Гилем, 2004. -216с.
- Будилов В.В., Мухин B.C., Минаева О. Б. Математическое моделирование процессов осаждения вакуумных ионно-плазменных покрытий // Изв. Вузов. Авиационная техника № 1,1995.- С.92−95.
- Будилов B.B. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Диссертация на соискание доктора технических наук. -Уфа, 1994. 372 с.
- Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий // УГАТУ, Уфа, 1993. -77 с.
- Будилов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий // УГАТУ, Уфа, 1993. -74 с.
- Булатов В.П., Гинзбург Б. М., Козырев Ю. П., Красный В. А., Седаков Е. Б., Кузнецов В. Г. Влияние режимов вакуумно-дугового напыления на износостойкость карбидо-титановых покрытий. Трение и износ. -1994. -15. -№ 6. -С.1009.
- Буров И.В., Лисенков A.A. Современное состояние и перспективы развития технологии вакуумного дугового нанесения износостойких покрытий //Вакуумная техника и технология. 2002, Том 12 № 1. -С.55−59.
- Бычков С.А., Моляр А. Г., Нечипоренко О. Ю., Семенченко В.П. Многослойные и многокомпонентные ионно-плазменные покрытия
- Вершина А.К., Бельчин И. А., Пителько A.A. Защитно-декоративные свойства электродуговых вакуумных Ti и TiN-покрытий, осажденных в потоках плазмы // Физика и химия обработки материалов. -1990, -Т5. -С.93−96.
- Верещак A.C. Основные аспекты применения и совершенствования режущих инструментов с износостойкими покрытиями //СТИН № 9, 2000." С. 33−40
- Ветров Н.З., Кузнецов В., Лисенков A.A. и др. Влияние капельной фракции на газопоглощающие свойства титанового покрытия, формируемого из плазмы вакуумно-дугового разряда// Вакуумная техника и технология 1999, т. 9, № 3, С.27−30.
- Воронин Н. А., Семёнов А. П. Вакуумные ионно-плазменные технологии упрочнения поверхностей деталей машин // Сб. «Методы и средства упрочнения поверхностей деталей концентрированными потоками энергий». Москва: Наука, 1991. -402 с.
- Вторичная ионная масс-спектрометрия //Методические указания по спецкурсу «Электронная микроскопия и микроанализ». — Уфа, 2000. — 25с.
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972. -356 с.
- Гальченко Н.К., Белюк С. И., Панин В. Е. и др. Электронно-лучевая наплавка композиционных покрытий на основе диборида титана //Физика и химия обработки материалов. 2002, № 4.-С.68−72.
- Гальченко Н.К., Дампилон Б. В., Белюк С. И. и др. Покрытия на основе азотистой стали с карбонитридным упрочнением, полученные методом электронно-лучевой наплавки // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 2. С.61−65.
- Гасилин В.В., Маринин В. Г., Незовибатько Ю. Н. и др. Нанесение покрытий в дуговом разряде с помощью высокочастотных полей // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001. -С.141−144.
- Гилев В.Г. Синтез нанопористых материалов и мембран на основе карбида кремния в дисперсных реакционных системах // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 2. С.79−84.
- Гнесин Г. Г., Фоменко С. Н. Износостойкие покрытия на инструментальных материалах (обзор) // Порошковая металлургия. 1996. -№ 9−10.- С. 17−26.
- Гнюсов С.Ф., Иванов Ю. Ф., Ротштейн В. П. Поверхностная и объемная модификация марганцовистой стали сильноточным низкоэнергетическим электронным пучком // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 1. С. 16−21.
- Горелик С.С., Скаков Ю. А., Расторгуев J1.H. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. -М.: МИСИС, 1994. -328 с.
- Гусев А.И. Нанокристаллические материалы: Методы получения и свойства НИСО УрО РАН, Екатеринбург, 1998
- Елисеев Ю.С., Бойцов А. Г., Крымов В. В., Хворостухин Л. А. Технология производства авиационных газотурбинных двигателей / М.: Машиностроение, 2003, -512 с.
- Ерузин A.A., Афанасьев В. Н., Гавриленко И. Б. и др. Свойства углеродистых полимерных пленок, полученных с помощью дугового разряда на полом катоде // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 4. С.28−30.
- Жоу Кесонг, Жанг Ронгуо Исследования и разработка технологии поверхностной обработки металлов в Китае // Физика и химия обработки материалов, 1997. -№ 5. -С. 64 -73.
- Захаров A.M. Диаграммы состояния двойных и тройных систем. -М: Металлургия. 1978. 294 с.
- Заявка 20 935 Англия. Механические свойства пленок нитрида титана. Плазменное осаждение пленок нитрида титана / Мюзил Дж., Вискожид Дж., Баснер Р., Уэллер Ф. Опубл. 1985.
- Иванченко Л.А., Паскал В. В., Литовченко H.A. и др. Исследование структуры и физико-химических свойств карбонитрида титана переменного состава // Физика и химия обработки материалов, 1992 ,№ 4, С.83−87
- Калашникова М.С., Белова С. А., Мазепина Ю. А. и др. Коррозионная стойкость поверхностных слоев конструкционных сталей после лазерной обработки // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 2. С.39−43.
- Карпов Ю.И., Чижмаков М. Б. Особенности формирования покрытий Ti (N, C) на твердосплавных пластинах // Вестник машиностроения. № 3. — 1992.
- Кипарисов С.С., Левинский Ю. В., Петров А. П. Карбид титана -М.: Металлургия. 1987. -216 с.
- Коваль H.H. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. Томск, 2000. -74 с.
- Когновицкий С.О., Нащекин A.B. и др. Композитные фуллереносодержащие наноструктуры C60-CdTe(-CdSe) // Журнал технической физики, 2003, т. 29, вып.11, С.79−85
- Ковивчак B.C., Попов Е. В., Михайлов К. А. и др. Модификация AI сплавов мощным ионным пучком при повышенных температурах // Физика и химия обработки материалов, 2004, № 1. С.28−30.
- Костржицкий А.И., Лебединский О. В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. -М.: Машиностроение, 1987.-208 с.
- Костюк Г. И., Волошко А.Ю.,.Гулый С. В и др. Исследование влияния стационарного ВЧ-разряда на процесс формирования покрытий, наносимых методом КИБ // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001.-С.239−250.
- Кузьмичев А.И. Импульсные магнетронные распылительные системы // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков. 2001.-С.221−245.
- Лахтин Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов: Учебник для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. -М.: Металлургия, 1983. -360 с.
- Лазарев Э.М., Бецофен С. Я. Фазовый состав, структура, текстура и остаточные напряжения в покрытиях из нитрида и карбида титана натвердых сплавах и сталях // Физика и химия обработки материалов 1993,№ 6, С. -60−64 ^
- Литвинов А. А. Изучение физических основ получения композиционных покрытий в тройной системе Ti-Zr-N //Физика и химия обработки материалов, 2001. № 4. -С.76−81.
- Ляшенко Б.А., Рутковский A.B., Сорока Е. Б. и др. Свойства TiN покрытия, нанесенного на сталь Х18Н9Т методом КИБ //6-я Международная конференция «Пленки и покрытия 2001» С. 173−175.
- Максимович Г. Г., Шатинский В. Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. -Киев: Наукова думка, 1983. -264 с.
- Малыхин C.B., Першин Ю. П., Пугачев А. Т. и др. Структура многослойных периодических пленочных композиций W/Si, полученных магнетронным распылением // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.334−336.
- Маринин В.Г. Эрозия PVD-покрытий при воздействии кавитации и пароводяного конденсата // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С. 177−180.
- Масленков С.Б., Масленкова Е. А. Стали и сплавы для высоких температур: Справ. Изд. В 2-х кн. Кн.1/-М.: Металлургия, 1991, 383 с.
- Мацевитый В.М., Борушко М. С., Береснев В. М., Романова Л. М., Удовенко Е. С. Структура и механические свойства вакуумно-плазменных покрытий TiCN // Известия высших учебных заведений. Черная металлургия. -1984.-№ 3.
- Мелехов В.Д., Романьков С. Е., Волкова Т. В. Влияние температуры и ионного облучения на динамику структурной перестройки сплава Ti48AL-2Nb при искусственном старении // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 1. С.5−11.
- Металловедение и термическая обработка стали: Справ. Изд. В 3-х т./ Под ред. Бернштейна M.JT. Т. 1. Методы испытаний и исследования. В 2-х кн. М., Металлургия, 1991.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под. ред. Паута Дж.М. М.: Машиностроение, 1987.-424 с.
- Мухин B.C. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИД990.-75 с.
- Мухин B.C., Смыслов A.M., Боровский С. М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995, -190 с.
- Мухин B.C., Шустер Л. Ш. Износ инструмента и долговечность из авиационных материалов. -Уфа: Уаи, 1987. -215 с.
- Насыров Ш. Г. Особенности создания и использования ионно-плазменных покрытий // М.: Машиностроитель, 1999. № 11, — С.54−55.
- Новиков И.И., Строганов Г. Б., Новиков А. И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.:МИСИС, 1994. -480с.
- Панфилов Ю.В., Осипов A.B., Авцинов Р. И. Синтез тонкопленочных покрытий с повышенными прочностными свойствами //Вакуумная наука и техника: Материалы VIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов.-М.:МГИЭМ.2001.-С.145−152.
- Пашнев В.К., Опалев O.A., Выровец И. И. и др. Тлеющий разряд для нанесения алмазных покрытий на большие поверхности // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: -Харьков, 2001.-С.61−64.
- Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С. А., Сулима A.M., Ягодкин Ю. Д. и др.// Авиационная промышленность. -1992. -№ 9. -С. 9−12.
- Пятыхин Л.И., Падалка В. Г., Купченко В. В. и др. Исследование коррозионных свойств вакуумно-плазменных нитридно-титановых покрытий на сплаве ВТ-8 // Защита металлов. -1988. -T.XXIV. -№ 6.-С.996−998.
- Ройх И.Л., Колтунова JI.H., Лебединский О. В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -350 с.
- Савинков H.A. Адгезионные свойства пленок оксида и нитрида титана на поверхности диэлектриков и методика неразрушающего контроля адгезионной прочности // Физика и химия обработки материалов, 2004, № 1. С.58−61.
- Сайдахмедов Р.Х. Прогнозирование фазового состава и свойств ионно-плазменных покрытий на основе карбидов титана и ниобия //Физика и химия обработки материалов, 2002.-№ 5,-С. 18−20.
- Синолицин Э.К. Получение прочного сцепления с подложкой при низкоскоростном напылении жидких металлических частиц // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 1. С.49−52.
- Соболь Е.А., Гладких Л. И., Соболь О. В. и др. Механизм ?-WC—>a-W2C превращения при отжиге пленок карбида вольфрама, полученных магнетронным распылением // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий:-Харьков 2001.-С.330−333.
- Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Колл. авторов- Под ред. А. Г. Братухина, Г. К. Язова, Б. Е. Карасева. -М.: Машиностроение, 1997.-416с.
- Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / Костржицкий А. И., Карпов В. Ф., Кабанченко М. П. и др. -М.: Машиностроение, 1991. -176 с.
- Сулима A.M., Шулов В. А., Ягодкин Ю. Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин. М.: Машиностроение, 1988.-241с.
- Сухова H.A. Анализ методов получения высокотвердых покрытий на основе графита и композиции графит-металл / Сухова H.A.// Технологические проблемы развития машиностроения в Башкортостане.: Сборник научных трудов.-Уфа, 2001.-С. 124−134.
- Сухова Н. А Разработка метода получения высокотвердых композиционных металлографических покрытий. //Вестник УГАТУ -Уфа, 2002-С.211−214.
- Табаков В.П. Применение покрытий на основе карбонитрида титана для повышения стойкости режущего инструмента // Станки и инструменты-№ 11.-1991.
- Токмань В.В.,. Проценко И. Е, Чорноус А. Н. Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Со. // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий. -Харьков. 2001.-С.23−26
- Третьяков И.П., Верещака A.C. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. Москва: Машиностроение, 1986
- Тушинский Л.И., Плохов A.B. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. Новосибирск: Наука, 1986. — 197 с.
- Углов В.В., Кулешов А. К., Самарцев М. П. и др. Термическая стабильность углеродных композиционных покрытий //Физика и химия обработки материалов № 1, 2001. С.55−60.
- Углов В.В., Приходько Ж. Л., Ходасевич В. В. и др. Влияние состава на механические свойства покрытий (Ti, Zr) N, сформированных методом конденсации с ионной бомбардировкой // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 5. С.48−52.
- Файнер Н. И., Румянцев Ю. М., Косинова М. Л. Твердофазные превращения в тонких слоях карбонитрида кремния в процессе высокотемпературного отжига // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.247−251.
- Фокин М. Н. Жигалова К. А. Методы коррозионных испытаний металлов. Под ред. Колотыркина Я. М. -Москва: Металлургия, 1986. -80с.
- Фукс-Рабинович Г. С. Особенности структуры и свойств комбинированных покрытий для режущего инструмента // Трение и износ. -1994. 15. -№ 6. — С.994.
- Хамчуков Ю.Д., Бобровский В. В., Сычов И. Ю. и др. Свойства углеродных покрытий, синтезированных из импульсных плазменных потоков и обработанных потоками газовых ионов // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 5. С.35−39.
- Ходасевич В.В., Солодухин И. А., Углов В. В. и др. Влияние ионной обработки поверхности подложки на физико-механические свойства осаждаемых покрытий //Вакуумная техника и технология, 1997, № 2,.-С.3−6.
- Черный О.В., Кривуля С. С., Свинаренко А. П. Сверхпроводящие характеристики многослойного композита Nb-Ti/Ti// Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001. -С.183−185.
- Ширяев С.А., Атаманов М. В., Гусева М. И. и др. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой // Журнал технической физики, 2002, том 72, вып.2. С. 99−104
- Шмитт-Томас К. Г. Металловедение для машиностроения //Справочник Москва «Металлургия», 1995. -512 с.
- ШуловВ.А., Ночовная Н. А., Ремнев Г. Е. и др. Кинетика испарения и абляции при облучении мощными ионными пучками изделий из жаропрочных сплавов с защитными покрытиями // Физика и химия обработки материалов, 2003, № 1. С.22−28.
- Sundgren J.-E., Hentzell T.G. A review of the present state of art in hard coatings growns from the vapor phase // J. Vac. Sci. and Technol A. 1998. -V.4-N5. — P.2259−2279.
- Koval N.N. Elion nitriding of steels // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -327−329p.