Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники

Диссертация: Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Имеются акты подтверждающие использование результатов диссертационной работы Пасюты В. М. в следующих областях: «Применение жесткоцепного полиимида ДФ-оТД в технологии Ленгмюра-Блоджетт» (Институт высокомолекулярных соединений РАН), «Технология формирования защитно-изолирующих нанослоев полиимидов на диоксиде кремния для электретных микрофонов» (ФГУП «Центр технологий микроэлектроники… Читать ещё >

Технология пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов для устройств микросистемной техники (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. Получение, свойства и применение пленок ЛБ ПИ
    • 1. 1. Свойства ПИ
    • 1. 2. Получение наноразмерных пленок ПИ с помощью метода ЛБ
      • 1. 2. 1. Формирование пленок ЛБ преполимера ПИ: ленгмюровский монослой и его перенос на твердую подложку
      • 1. 2. 2. Получение наноразмерных пленок ПИ — имидизация пленок ЛБ преполимера
    • 1. 3. Свойства и применение наноразмерных пленок ПИ, полученных с использованием метода ЛБ
      • 1. 3. 1. Применение пленок ПИ в качестве ультратонких диэлектрических слоев
      • 1. 3. 2. Получение проводящих углеродных ультратонких пленок путем пиролиза ПИ пленок
      • 1. 3. 3. ПИ пленки как матрицы для записи информации
      • 1. 3. 4. Газоразделительные мембраны, содержащие ПИ пленки
      • 1. 3. 5. Использование ультратонких пленок ПИ для создания светоизлучающих приборов
      • 1. 3. 6. Фотопроводящие наноразмерные пленки ПИ
      • 1. 3. 7. Ультратонкие гетероэпитаксиальные пленки SiC
      • 1. 3. 8. Применение пленок ПИ в качестве ориентирующих слоев для ЖК ячеек, антифрикционных покрытий (твердых смазок), матриц, содержащих функционально активные комплексы, и фоторезистов
  • Глава 2. Аппаратура, методы получения и исследования пленок ЛБ
    • 2. 1. Конструкции и требования к исполнительным и измерительным узлам установки ЛБ
    • 2. 2. Автоматический комплекс для получения наноразмерных пленок методом ЛБ, созданный в
  • ЦМИД СПбГЭТУ
    • 2. 3. Материалы и подложки, используемые для получения ультратонких пленок
  • ПИ с применением технологии ЛБ
    • 2. 4. Методы исследования пленок ЛБ преполимера и пленок ПИ
  • Глава 3. Получение, структура и морфология пленок ЛБ преполимера жесткоцепного ПИ
    • 3. 1. Исследование ленгмюровских монослоев ПАК, ТА и соли ПАК: изотермы сжатия и кривые стабильности монослоя преполимера — соли ПАК
    • 3. 2. Формирование пленок ЛБ преполимера
    • 3. 3. Структура пленок ЛБ преполимера
    • 3. 4. Морфология пленок ЛБ преполимера
  • Глава 4. Получение, структура и морфология наноразмерных пленок жескоцепного ПИ
    • 4. 1. Наноразмерные пленки жесткоцепного ПИ, полученные методами термической и химической имидизации
    • 4. 2. Изменение структуры и морфологии пленок ЛБ перполимера в ходе термической имидизации
    • 4. 3. Особенности строения ультратонких пленок жесткоцепного ПИ полученных методом ЛБ
  • Глава 5. Применение наноразмерных пленок жесткоцепного ПИ
    • 5. 1. Применение наноразмерной пленки ПИ в структуре МТДП
    • 5. 2. Эффект стабилизации электретных свойств в структуре «S1O2-наноразмерная пленка ПИ»
    • 5. 3. Структура «наноразмерная пленка ПИ — неорганическая механическая мембрана» для устройств микросистемной техники
    • 5. 4. Применение наноразмерных пленок ПИ для формирования мультислойных органических газоразделительных мембран
    • 5. 5. Формирование матрицы наноразмерных ПИ мембран методом ЛБ

Актуальность работы. Устойчивая тенденция к миниатюризации элементов электронной и микросистемной техники (МСТ) постоянно стимулирует поиск новых веществ и методов формирования ультратонких пленок и покрытий. Метод Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ), основанный на переносе монослоев дифильного органического вещества с поверхности жидкой фазы на твердую подложку, позволяет без значительных экономических затрат (не требует высоких температур и вакуумирования) формировать на поверхности твердого тела органические нанослоевые композиции различного функционального назначения. Уникальность метода ЛБ заключается в возможности послойно увеличивать толщину получаемой пленки, причем толщина одного слоя определяется размером молекулы используемого вещества.

Для практического применения наибольший интерес представляют пленки и покрытия, обладающие высокой термостабильностью, механической, химической и радиационной стойкостью. Среди органических веществ данным требованиям наиболее полно удовлетворяют термостойкие полимерыполиимиды (ПИ). Пленки ПИ толщиной до нескольких микрон уже используются в различных устройствах МСТ: микронасосы, мембранные клапаны, микромеханические виброакустические преобразователи, микродатчики давления и потока. Метод ЛБ является основой способа, позволяющего получать ультратонкие пленки ПИ толщиной от единиц до сотен нанометров. В последнее время круг областей применения наноразмерных пленок ПИ постоянно расширяется.

Введение

в состав полимерной цепи ПИ различных функциональных групп позволяет перейти от традиционно диэлектрических пленок к пленкам, обладающим проводимостью, нелинейно-оптическими, люминесцентными и фотоэлектрическими свойствами. Кроме того, ультратонкие пленки ПИ могут быть использованы в МСТ в качестве антифрикционных и гидрофобизирующих покрытий.

В классе ПИ особое место занимают жесткоцепные ПИ, которые отличаются наивысшей термостабильностью среди известных полимеров. Одним из наиболее перспективных ПИ для использования в МСТ является жесткоцепный ПИ ДФ-оТД, который является диэлектриком с высокой термостойкостью (температура, при которой потеря массы составляет 5%, равна 560°С) и значением коэффициента линейного температурного расширения (КТР) близким к значению КТР основных материалов, используемых в микроэлектронике и МСТ.

Тематика диссертационной работы соответствует одному из приоритетных направлений развития науки и технологий РФ — «Индустрия наносистем и материалов». Работа является актуальной в научном плане, т.к. направлена на исследование процессов, происходящих при формировании нанослоев высокомолекулярных органических веществ на различных подложках, и представляет практический интерес при решении задач по применению новых материалов и их нанокомпозиций для создания базовых конструктивных и функционально-активных элементов МСТ: мембран и покрытий со специальными свойствами. Результаты диссертационной работы могут быть использованы в рамках образовательного процесса по недавно открытому направлению подготовки кадров — «Нанотехнология».

Целью работы являлась разработка на основе метода Ленгмюра-Блоджетт технологии получения термостойких диэлектрических наноразмерных пленок жесткоцепных полиимидов и их применение для создания базовых конструкционных и функционально-активных элементов микросистемной техники.

В соответствии с поставленной целью в работе решались следующие задачи:

1. Разработка и изготовление двухсекционной автоматизированной установки ЛБ с симметричным расположением двух сжимающих барьеров.

2. Разработка технологии получения пленок ЛБ преполимера и технологии получения наноразмерных пленок ПИ путем термической и химической имидизации пленок ЛБ преполимера.

3. Исследование влияния условий формирования пленок ЛБ преполимера и ПИ на их структурные и морфологические характеристики.

4. Разработка методики получения наноразмерных полимерных мембран жесткоцепного ПИ на «полых» сетчатых подложках — матрицах.

5. Исследование электрических характеристик структур с использованием наноразмерных пленок ПИ.

6. Разработка методики формирования композиционной бислойной мембраны «неорганический материал — наноразмерная пленка ПИ» с уменьшенным значением внутреннего напряжения для микромеханических первичных преобразователей.

7. Разработка методики формирования композиционной газоселективной бислойной мембраны «нанопористая органическая мембрана — наноразмерная пленка ПИ», обладающей повышенным значением коэффициента разделения газов с близкими молекулярными массами.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Установлено, что использование в качестве преполимера алкиламмонийной соли полиамидокислоты (ПАК) ДФ-оТД с двумя молекулами третичного амина (ТА) позволяет формировать на поверхности раздела «вода-воздух» стабильные монослои конденсированного типа, при осаждении которых на твердую подожку методом ЛБ формируются пленки Y-типа.

2. Установлено, что характер надмолекулярной организации пленок ЛБ преполимера и ПИ зависит от давления, создаваемого в монослое при получении пленки ЛБ преполимера, количества нанесенных на подложку слоев и способа проведения имидизации.

3. Экспериментально определены области температур, характеризующие процесс формирования наноразмерных пленок ПИ в ходе термической имидизации пленки ЛБ преполимера. Установлено, что при нагревании пленок ЛБ преполимера до 250 °C происходит удаление молекул ТА из пленки, а в ходе дальнейшего подъема температуры до 400 °C увеличивается плотность укладки полимерных цепей в пленке ПИ.

4. Экспериментально показана возможность формирования наноразмерных пленок ПИ на «полых» сетчатых матрицах — металлических подложках, с отношением толщины пленки к линейным размерам ячейки порядка 1:1000.

5. Обнаружены эффекты: 1) временной стабилизации заряда электрета в системе «Si02 — наноразмерная пленка ПИ" — 2) снижения внутреннего напряжения в бислойной мембране — «неорганический материал — наноразмерная пленка ПИ» микромеханического первичного преобразователя- 3) повышения коэффициента разделения близких по молекулярной массе газов азота и кислорода при использовании композиционной мембраны «полифиниленоксид — наноразмерная пленка ПИ».

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. Разработан и изготовлен автоматизированный нанотехнологический комплекс, позволяющий получать на основе метода ЛБ монои мультислоевые органические композиции различного функционального назначения.

2. Разработана технология получения диэлектрических наноразмерных пленок ПИ, обладающего максимальной термостабильностью (до 560°С) и малым значением коэффициента температурного расширения.

— О^-Ю^К*1), которая позволяет послойно увеличивать толщину пленки на твердой поверхности, причем толщина каждого слоя составляет 0,55−0,70 нм.

3. Разработана технология формирования матриц на основе наноразмерных полимерных пленок — мембран толщиной 70−130 нм из жесткоцепного ПИ, предназначенных для микромеханических преобразователей.

4. Показано, что наноразмерные (1−4 нм) пленки ПИ обеспечивают получение электретов на основе структур «диоксид кремния — ПИ», не уступающих по стабильности электретного заряда композициям с покрытием из пленок политетрафторэтилена микронной толщины.

5. Разработан метод формирования бислойных мембран «неорганическая мембрана — наноразмерная пленка ПИ» для виброакустических микромеханических преобразователей, позволяющий управлять внутренним напряжением композиционной мембраны, при этом пленка ПИ может выполнять защитные и стабилизирующие электретный заряд функции.

6. Показано, что сформированная на поверхности газоселективной мембраны из полифениленоксида (ПФО) наноразмерная пленка ПИ позволяет достичь для такой композитной мембраны значения коэффициента разделения 8.5 для газов с близкими молекулярными массами — О2 и N2.

По результатам исследований получены два патента РФ: RU 2 137 250, H01L 21/208, 1999; RU 2 193 255, H01L 21/18, 2002.

Результаты работы использованы при выполнении:

— государственного контракта ТМП — ЦМИД-59 (1998;2000гг) в рамках ФЦНТП «Исследование и разработки по приоритетным направлениям науки и техники гражданского назначения» (подпрограмма «Технологии, машины и производства будущего»), проект «Интегрированные кластерные технологические микросистемы и микроинструмент»;

— проектов, выполняемых по заданию Министерства Образования.

РФ: ЦМИД-65 (2001;2003гг) и ЦМИД-74 (2004г) «Исследование микрои нанослоевых композиций широкозонных материалов неорганической и органической природы»;

— проекта МНТП «Электроника» Министерства Образования РФ ЭЛ/ЦМИД-68 (2002г) «Технология наноразмерных пленок Ленгмюра-Блоджетт жесткоцепных полиимидов»;

— хозяйственных договоров с организациями силовых ведомств РФ: ЦМИД-99 (2002;2004гг) «Исследование направлений и тенденций развития материаловедческого и технологического базисов, изготовление и проведение испытаний экспериментальных образцов изделий микросистемной техники», ЦМИД-102 (2003;2004гг) «Разработка унифицированных систем регистрации слабых аку сто вибрационных сигналов" — грантов РФФИ, коды проектов: № 00−03−32 277 А, № 02−03−32 683.

Имеются акты подтверждающие использование результатов диссертационной работы Пасюты В. М. в следующих областях: «Применение жесткоцепного полиимида ДФ-оТД в технологии Ленгмюра-Блоджетт» (Институт высокомолекулярных соединений РАН), «Технология формирования защитно-изолирующих нанослоев полиимидов на диоксиде кремния для электретных микрофонов» (ФГУП «Центр технологий микроэлектроники»), «Аппаратура и методика реализации лабораторной работы „Получение мономолекулярных слоев органических нерастворимых амфифильных веществ по технологии Ленгмюра-Блоджетт“» (Санкт-Петербургский Государственный электротехнический университет).

Научные положения, выносимые на защиту: 1. В формировании монослоя полиимидного преполимера алкилламмонийной соли ПАК ДФ-оТД, с двумя молекулами ТА на поверхности раздела «вода — воздух» основную роль играет взаимодействие между алифатическими цепями ТА, обуславливающее образование стабильного монослоя конденсированного типа с плотной укладкой полимерных цепей на поверхности воды.

2. Пленки ЛБ преполимера состоят из доменов, размер которых зависит от давления создаваемого в монослое при переносе его на твердую подложку и количества слоев в пленке, при этом цепи ТА образуют слои с плотной упаковкой алифатических цепей, ориентированных перпендикулярно подложке.

3. При проведении имидизации доменная структура пленок ЛБ преполимера сохраняется независимо от способа имидизации, однако пленки ПИ, полученные в результате термической обработки, обладают более высокой плотностью укладки полимерных цепей и меньшим значением шероховатости по сравнению с пленками, образовавшимися в результате химической обработки.

Автор выражает признательность научному руководителю профессору ЛучининуВ.В. и с.н.с. Голоудину С. И., а также Дунаеву А. Н. и Казак-Казакевичу А.З. за постоянное внимание, поддержку и помощь в работе. Автор благодарит Панова М. Ф. (проведение эллипсометрических исследований), Кудрявцева В. В., Склизкову В. П., Гофмана В. И. и Волкова А. Я. (моделирование, синтез и проведение имидизации преполимера жесткоцепного ПИ ДФ-оТД) Розанова В. В. (исследование полученных образцов пленок методом АСМ), Клечковскую В. В., Дембо К. А., Баклагину Ю. Г., Левина А. А. и Занавескину И. С. (проведение исследований методами рентгеновской малоугловой дифракции и рефлектометрии, а также методом электронной дифракции), Корлякова А. В. и Белых С. В. (измерения параметров механических мембран), Казадаеву Д. (измерения электретного потенциала), Полоцкую Г. А. (за предоставленные мембраны ПФО и проведение измерений параметров композитной газоселективной мембраны).

Основные результаты и выводы по работе:

1. Разработан и изготовлен автоматизированный комплекс, позволяющий получать на основе метода ЛБ монои мультислоевые органические композиции низкомолекулярных и высокомолекулярных веществ различного функционального назначения.

2. Получены изотермы сжатия монослоя преполимера на поверхности воды, сопоставление параметров изотермы сжатия преполимера с моделью молекулы этого полимера показало, что в монослое образуется плотная укладка полимерных цепей.

3. Методами структурного анализа установлено, что пленки преполимера имеют структуру Y-типа, при этом в монослое при давлении 25 мН/м и выше формируется плотная упаковка ориентированных перпендикулярно подложке алифатических цепей ТА, отсутствие которой при низких давлениях приводит к уменьшению межплоскостного расстояния в пленках ЛБ. Наиболее равномерной по толщине является пленка, полученная при давлении 25 мН/м.

4. Определено, что в процессе термической имидизации в интервале температур 200−250°С происходит удаление молекул ТА из пленки. В ходе дальнейшего увеличения температуры происходит увеличение плотности укладки полимерных цепей.

5. Анализ морфологии пленок ЛБ преполимера и пленок ПИ показал, что они состоят из доменов, при этом характеристический размер доменов практически не меняется в результате проведения термической или химической имидизации.

6. Установлено, что характеристический размер доменов зависит от поверхностного давления в монослое, при котором формировалась пленка преполимера, причем увеличение давления в монослое приводит к увеличению плотности расположения доменов и уменьшению их размеров.

7. Степень шероховатости ПИ пленок зависит от способа проведения имидизации пленок ЛБ соли ПАК: после термической имидизации шероховатость пленки существенно уменьшается, а химическая имидизация не приводит к изменению шероховатости пленки.

8. Экспериментально показана возможность формирования наноразмерных полимерных мембран из жесткоцепного ПИ на «полых» металлических сетчатых матрицах, при этом соотношение между толщиной пленки и линейным размером ячейки достигает 1:1000.

9. Обнаружен эффект снижения внутреннего напряжения в мембране микромеханического устройства, который был достигнут за счет формирования мембраны в виде композиционной бислойной системы «неорганический материал — наноразмерная пленка ПИ».

10. Показано, что наноразмерные (1 — 4 нм) пленки ПИ обеспечивают получение электретов на основе структур «БЮг — ПИ», не уступающих стабильности электретного заряда композициям с покрытием из пленок политетрафторэтилена микронной толщины.

11. Использование наноразмерной пленки ПИ в составе композитной мембраны «полифениленоксид — ПИ» позволяет достичь значения коэффициента разделения 8.5 для газов (азот и кислород), имеющих близкие значения молекулярных масс.

Заключение

.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Полиимиды — класс термостойких полимеров / М. И. Бессонов и др… — Л.: Наука, 1983.-328 с.
  2. Preparatoin of mono- and multilayer films of aromatic polyimides using Langmuir-Blodgett technique / M. Kakimoto et al. // Chem. Lett. 1986. — P.823−826.
  3. Preparation of monolayer films of aromatic polyamic acid alkylamine salts at air-water interface / M. Suzuki et al. // Chem.Lett. 1986. — P.395−398.
  4. Полимерные монослои и пленки Ленгмюра-Блоджетт. Влияние химической структуры полимера и внешних условий на формирование и свойства организованных планарных ансамблей / А. А. Арсланов // Успехи химии. 1994. — Т.63. -№ 1. — С.3−41.
  5. , Н.А. Гребнеобразные полимеры и жидкие кристаллы / Н. А. Платэ, В. П. Шибаев // М.: Химия, 1980.-304с.: ил.
  6. Yuba, Т. Morphology of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid long alkyl amine salt and polyimide, and polarity of spreading solvents / T. Yuba, M. Kakimoto, Y. Imai // Jap.J.Polim.Sci. and Technol. 1994. — V.51. — № 12. — P. 813−818.
  7. Структура растворов гребнеобразных преполимеров полиимидов / Н. А. Калинина и др. // Высокомолек. Соед. Сер.А. 2001. — Т.43. — № 4. — С. 1−6.
  8. Исследование структуры полиимидных пленок Ленгмюра-Блоджетт / Н. Д. Степина и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2001. № 8. — С.79−83.
  9. Особенности процессов имидизации амфифильных солей жесткоцепных полиамидокислот и структура пленок Ленгмюра-Блоджетт на их основе / В. В. Кудрявцев и др. // Высокомолек. Соед. Сер.А. — 2001. — Т.43. № 7. — С. 12 111 220.
  10. Ц 10. 7t-A isoterms and electrical properties of polyamic acid alkylamine salts
  11. PAAS) langmuir-Blodgett films / T.W.Kim et al. // Thin Solid Films. 1996. -V.284−285. — P.500−504.
  12. Baker, S. The preparation of high quality Y-type polyimide Langmuir-Blodgett films / S. Baker, A. Seki, J. Seto // Thin Solid Films. 1989. — V.180. — P.263−270.
  13. Stability and transferability of monolayers of polyamic acid salts / G. Tae et al. // Synthetic Metals. 1995. — V.71. — P.2097−2098.
  14. Well-ordered Langmuir-Blodgett films fro polyamic acid tert-amine salts bearing multichains / K. Hirano et al. // Langmuir. 1992. — № 8. — P.3040−3042.
  15. Yokoyama, S. Surface observasion of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid alkylamine salts and polyimide by atomic force microscopy and friction force microscopy / S. Yokoyama, M. Kakimoto, Y. Imai // Synthetic Metals. 1996. -V.81. — P.265−270.
  16. Uekita, M. Heat-stable aromatic polimer precursor as Langmuir-Blodgett materials / M. Uekita, H. Awaji, M. Murata // Thin Solid Films. 1988. — V.160. -C.21−32.
  17. Measurement of long alkyl chain tilting angle of Langmuir-Blodgett films of polyamic acid alkylamine salts / M. Kakimoto et al. // J.Coll. and Int.Sci. 1988. -V. 121. — № 2. — P.599−601.
  18. Спектрально-люминесцентные свойства и электропроводность полиимидных ленгмюровских пленок / А. С. Холманский и др. //Журнал Физической Химии. 1990. — Т.64. — № 6. — С.1630−1636.
  19. Preparation and monolayer thickness of Langmuir-Blodgett films oftrpolyimides having various chemical structures / Y. Nishikata et al. // Polymer Journal. 1988. — V.20. — № 3. — P.269−272.
  20. Jeong, S.W. A study on the preparation of aromatic polyimide Langmuir-Blodgett films / S.W. Jeong, H. S .Lim // Synthetic Metals. 2001. — V.123. — P.183−187.
  21. Sotobayashi, H. Scanning tunneling microscopy of polyimide monolayers prepared by the Langmuir-Blodgett technigue / H. Sotobayashi, T. Schilling, B. Tesche// Langmuir. 1990. — № 6. — P. 1246−1250.
  22. Fujiwara, I. Scanning tunneling microscopy study of a polyimide Langmuir-, Blodgett film / I. Fujiwara, C. Ishimoto, J. Seto // J. Vac. Sci. Technol. B. V.9.2.-1991.
  23. The morphology and electronic structure of ordered polyimide monolaers/ T. Shedel-Niedrig et al. // J.Phys.:Condens.Metter. 1991. — № 3. — P.823−828.
  24. Schoch, K.F. Deposition and characterization of polyimide Langmuir-Blodgett films / K.F. Schoch et al. // Langmuir. 1993. — V.9. — P.278−283.
  25. Исследование структурных превращений в полиимидных пленках Ленгмюра-Блоджетт методом рентгеновской рефлектометрии / Ю. Л. Емельянов и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1993. № 6. — С.95−99.
  26. Thermally simulated currents of Langmuir-Blodgett films / H.S. Lee et al. // Thin solid films. 1998. — V.327−329. — P.403−407.
  27. High-Strength High-Modulus polyimide fibers II. Spinning an& properties of fibers / T. Kaneda et al. // Journal of Applied Polimer Science. — 1986. — V.32. -P.3151−3176.
  28. , Н.Г. Молекулярная элементная база перспективных информационно логических устройств / Н. Г. Рамбиди, В. М. Замалин, Ю. М. Сандлер // Итоги науки и техники. Сер. Электроника. М.: ВИНИТИ. -1987. -Т.22. -С. 173.
  29. , О.В. Сверхплотная запись информации / О. В. Чечель, В. Н. Николаев // Зарубежная радиоэлектроника. -1989. -№ 11. С.30−38.
  30. , О.В. Использование пленок Ленгмюра-Блоджетт в качестве регистрирующих слоев оптических носителей информации / О. В. Чечель, В. Н. Николаев // Успехи химии. -1990. -Т.59. -Вып.11. -С.1888−1903.
  31. , П.А. Применение сверхтонких слоев органических материалов в перспективных устройствах твердотельной электроники / П. А. Тодуа,
  32. Е.Ф. Шестакова // Сер. Образцовые и высокоточные измерения. Изд-востандартовю: ВИНИТИ. -1989. -№ 4.
  33. , С. 2D monomolecular inorganic semi-conductors inserted in a Langmuir-Blodgett matrix / C. Zylberajch, A. Ruaudel-Teixier, A. Barraud // Synth. Met. 1988. -V.27/ -№ 3−4. -P.609−614.
  34. Ultrathin Fe-oxided layers made from Langmuir-Blodgett films / A. Brugger et al. // Thin Solid Films. -1999. -V.338. -№ 1−2. -P.231−240.
  35. , JI.M. Двумерные сегнетоэлектрики / JI.M. Блинов и др. //1.
  36. Успехи физических наук. -2000. -Т. 170. -№ 3. С.246−262.
  37. Capan, R. Pyroelectric figure of merit for a heterogeneous alternate layer Langmuir-Blodgett film system / R. Capan, Т.Н. Richardson, D. Lacey // Thin solid films. -2002. —V.415. P.236−241.
  38. Capan, R. Cd2+ and Mn2+ incorporation in copolysiloxane/eicosylamine alternate layer LB films: influence on pyroelectric activity / R. Capan, Т.Н. Richardson, D. Lacey // Thin solid films. -1998. -V.327−329. P.369−372.
  39. Pyroelectric Langmuir-Blodgett films prepsred using preformed polymers / M. Petty et al. // J.Phys. D: Appl. Phys. -1992. -V.25. P. 1032−1035.
  40. Blinov, L.M. Ferroelecyric polymer Langmuir films / L.M. Blinov et al. // Thin solid films. -1996. -V.284−285. P.469−473.
  41. , Ю.М. Ленгмюровские пленки — получение, структура, некоторые применения / Ю. М. Львов, Л. А. Фейгин // Кристаллография. -1987. -Т.32. -Вып.З. -С.800−814.
  42. , B.C. Искусственные мембранные структуры и перспективы их практического применения / B.C. Гевод, О. С. Ксенжек, И. Л. Решетняк // Биологические мембраны. -1988. -Т.5. -№ 12. -С.1237−1269.
  43. An electrical investigation into multilayer assemblies of charge-transfermaterials / J.J. Alekna et al. // J.Phys. D: Appl. Phys. -1991. -V.24. -P.l422−1429.
  44. Ultraviolet photoelectron spectroscopy and surface potential of л-conjugated Langmuir-Blodgett films on gold electrode / E. Itoh et al. // Jpn.J.Appl.Phys. -2000. V.39. P.5146−5150.
  45. Well-organized phtalocyanine Langmuir-Blodgett films incorporated into symmetrical (metal/thin organic film/metal) sandwich structures / M. Burghard et al. // Synthetic metals. -1994. -V.67. -P.193−195.-s
  46. Electronic properties of poly (fumarate) Langmuir-Blodgett films / K. Shigehara et al. //Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.287−292.
  47. The study of metal-insulator-semiconductor structures with Langmuir-Blodgett insulator / A.S. Dewa et al. // Thin Solid Films. -1985. -V.132. P.27−32.
  48. Electrical evolution of ultrathin organic films on solid substrate / S. Sha et al. //Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.277−282.
  49. Optical and electrical properties of selectively adsorbed Langmuir-Blodgett films / C. Okazaki et al. // Thin Solid Films. -1989. -V.179. P.503−507.
  50. The transport mechanism of stearic acid LB films on metal and semiconductorsubstrates / N. Gemma et al. // Synthetic metals. -1987. -V.18. -P.809−814.
  51. , JI.M. Физические свойства и применение ленгмюровских моно- и мультимолекулярных структур / JI.M. Блинов // Успехи химии. -1983. -Т.52. -Вып.8. -С.1263−1300.
  52. , JI.M. Ленгмюровские пленки / Л. М. Блинов // Успехи физических наук. -1988. -Т. 155. -Вып.З. -С.443−480.
  53. Nyffeneger, R.M. Nanometr-Scale surface Modification using the Scaning Probe Microscope: Progress since 1991 / R.M. Nyffeneger, R.M. Penner // Chem. Rev. -1997. -V.97. -P.l 195−1230.
  54. Carpick, R.W. Scratching the surface: Fundamental Investigations of Tribology with Atomic Force Microscopy / R.W. Carpick, M. Salmeron // Chem. Rev. -1997. -V.97. -P.l 163−1194.
  55. Larkins, G.Z. Planar silicon field-effect transistors with Langmuir-Blodgett gate insulators / G.Z. Larkins, C.D. Fung // Thin Solid Films. -1985. -V.32. P.33−39.
  56. Larkins, G.Z. Mobile ion drift in Langmuir-Blodgett films / G.Z. Larkins, C.D. Fung, S.E. Reckert // Thin Solid Films. -1989. -V.179. -P. 313−317.
  57. , A.C. О поверхностных состояниях МДП-структур с диэлектриком из слоев Ленгмюра-Блоджетт на основе фталоцианина кобальта / А. С. Дешевой, Н.К. Матвеева// Микроэлектроника. -1989. -Т. 18. -Вып.6. -С.565.
  58. Пленки Ленгмюра -Блоджетт на основе цианакриловой кислоты в качестве диэлектрических покрытий на полупроводниках / И. В. Гаврилюк и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1991. -№ 11. -С. 93.
  59. Электропроводность пленок Ленгмюра — Блоджетт четырехзамещенных фталоцианинов ванадила (4К!-УОРс) и меди (4К2-СиРс) / З. И. Казанцева и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. -1991. -№ 8. -С. 87.
  60. Полевой транзистор с МТДП контактами и подзатворным диэлектриком на основе ленгмюровских пленок /B.C. Банников и др. // Письма в ЖТФ. -1989. -Т.15. -В.6. -С.15
  61. Iwamoto, М. Electrical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films sandwiched between superconducting electrodes: detection of microwaves / M. Iwamoto, T. Kubota, M. Sekine // Thin Solid Films. 1989. — V.180., -P.185−192.
  62. Electrical Transport Properties of Josephson Junctions Using Polyimide Langmuir-Blodgett Films / M. Iwamoto et al. // Jpn.J.Appl.Phys. 1990. V.29. P.116−119.
  63. Петли гистерезиса на зависимостях тока от напряжения в магнитных туннельных переходах / A.M. Баранов и др. // Радиотехника и электроника. -2001. Т.46. — № 1. — С.102−108.
  64. Iwamoto, М. Electrical properties of Au/Polyimide/Squarylium-arachidic acid junctions fabricated by Langmuir-Blodgett technique / M. Iwamoto, S. Shidon // JpnJ.Appl.Phys. -1990. -V.29. -№ 10. -P.2031−2037.
  65. Kubota, Т. Measuriment of Surface energy states in polyimide Langmuir-Blodgett tunneling barrier / T. Kubota, S. Kuragasaki, M. Iwamoto // JpnJ.Appl.Phys. 1998. V.37. P.4428−4432.
  66. Iwamoto, M. Electrical transport and electrostatical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films / M. Iwamoto, T. Kubota // Synthetic Metals. 1995. -V.71. P.1981−1984.
  67. Iwamoto, M. Electrical properties of polyimide Langmuir-Blodgett films deposited on noble metal electrodes / M. Iwamoto, T. Kubota, M. Sekine // J.Phys. D: Appl. Phys. 1990. — № 23. — P.575−580.
  68. Fukuzava, M. Electrical breakdown of ultra-thin polyimide Langmuir-Blodgett films under a needle-plane electrode system / M. Fukuzava, H. Ikedou, M. Iwamoto // Thin Solid Films. 2003. — V. 438−439, -P.243−247.
  69. Itoh, E. Electronic density of state in metal/polyimide Langmuir-Blodgett film interface and its temperature dependence / E. Itoh, M. Iwamoto // J. Appl. Phys., -1997. V. 81. — № 4. — P.1790−1797.
  70. Iwamoto, M. Surface potential of polyimide Langmuir-Blodgett films Deposited on metal electrodes / M. Iwamoto, A. Fukuda // Jpn.J.Appl.Phys. 1990. -V.29. — № 4. -P.638−640.
  71. Iwamoto, M. Nano-electrostatic phenomena in Langmuir-Blodgett films / M. Iwamoto, E. Itoh//Thin Solid Films. 1998.- V.331. P. 15−24.
  72. Construction of nanostructured carbonaceous films by the layer-by-layer self-assembly of poly (diallydimethylammonium) chloride and poly (amic acid) and subsequent pyrosis / I. Moriguchi et al. // Chem.Mater. 1999. — V.ll. — P. 16 031 608.
  73. Highly conductive Langmuir-Blodgett films of pyrolytic polyimide/ et al. // Chemistry letters. 1990. — P.975−978.
  74. Switching and memory phenomena in Langmuir-Blodgett films with scanning tunneling microscope/ K. Takimoto et al. // Appl. Phys. Lett. 1992. — V.61. — № 25. -P.3032−3034.
  75. Nanometer scale conductance change in a Langmuir-Blodgett film with the atomic force microscope / K. Yano et al. // Appl.Phys.Lett. 1996. — V.68. — № 2. -P.188−190.
  76. Writing and reading bit arrays for information storage using conductance change of a Langmuir- Blodgett film induced by scanning tunneling microscopy/ K. Takimoto et al. //J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. — V.15. — № 4. — P. 1429−1431.
  77. Ried, T. Gas permeability of Langmuir-Blodgett (LB) films: characterization and application / T. Ried, W. Nitsch, T. Michel // Thin Solid Films. 2000. — V.379. P.240−252.
  78. Ultrathin self-assembled polyelectrolyte multilayer membranes/ B. Tieke et al. // The European Physical Journal E. 2001. — № 5. — P.29−39.
  79. Marek, M. Ultra-thin polyimide film as a gas-separation layer for composite membranes / M. Marek, E. Brynda, M. Houska, J. Schaer // Polymer. 1996. — V.37. -№ 12. — P.2577−2579.
  80. Crosslinced ultra-thin polyimide film as a gas separation layer for composite membranes / M. Marek et al. // Eur. Polym.J. 1997. — V.33. — № 10−15. — P.17 171. Щ' 1721.
  81. New fluorescent polyimides for electroluminescent devices based on 2,5-distyrylpyrazine / A. Wu et al. // Thin solid films. 1996. — V.273. — P.214−217.
  82. SiC films grown on silicon by pyrolysis of polyimide Langmuir- Blodgett films containing dispersed silicon nanoparticles / Z. Fu et al. // Materials Letters. 1998. — V.37. — P.294−297.m
  83. Photoemmission study of P-SiC growth by a polyimide Langmuir-Blodgett film on silicon / H. Pan et al. // Journal of electron spectroscopy and related phenomena. 1999. — V. 101−103. — P.685−688.
  84. Orientation of liquid crystal molecules on polyimide Langmuir-Blodgett films evaluated by the attenuated total reflection measurement / B. Akira et al. // Mol. Cryst. Liq. Cryst. Sci. Technol. Sect.A. 1998. — V.316. — P.231−234.
  85. Avaluation of tilt angles of nematic liquid crystal molecules on polyimide Langmuir-Blodgett films using the attenuated total reflection measurement method / B. Akira et al. // Jpn. J. Appl. Phys. Part. 1998. — V.37(5A). — P.2581−2586.
  86. Optical switching of nematic liquid crystal by means of photoresponsive polyimides as an alignment layer / G.H. Kim et al. // Appl. Phys. Lett. 1999. -V.75. — № 22. — P.3458−3460.
  87. Liquid crystal orientation by holographic phase gratings recorded on photosensitive Langmuir-Blodgett films / L.M. Blinov et al. // Liq. Cryst. 1999. -V.26(3). — P.427−436.
  88. Maboudian, R. Critical review: adhesion in surface micromechanical Ц structures/ R. Maboudian, R.T.Howe // J. Vac. Sci. Technol. B. 1997. — V. 15. — № 1.
  89. Bliznyuk, V.N. Nanotribological properties of organic boundary lubricants: Langmuir films versus self-assembled monolayers / V.N. Bliznyuk, M.P. Everson, V.V. Tsukruk // Journal of Tribology. 1998. — V.120. — P.489−495.
  90. Pattering of photosensitive polyimide LB film and its application in the fabrication of biomolecular microphotodiode array / S. Young at al. // Biosensor and bioelectronics. 2003. — V.19. — P. 103−108.
  91. Fabrication of micro array of polyimide Langmuir- Blodgett film and its application in bioelectronics device / S. Young at al. // Molecular Crystals and Liquid Crystals. Science and Technology. Sec.A. 2002. — V.377. — P.241−244.
  92. Application of polyimide Langmuir-Blodgett films to deep UV resists / M. Uekita at al. // Thin Solid Films. 1989. — V.180. — P.271−276.
  93. Langmuir I. Trans. Farad. Soc. 1920, V.15, p.62
  94. Gaines, G.L. Insoluble Monolayer on a Liquid-Gas Interface / G.L. Gaines // New York: Willey Inersci. 1966.
  95. Surface pressure distribution of spread monolayers during compression / S. Egusa et al. // Thin solid Films. 1989. — № 178. — P.165−169.
  96. Origin of orientation phenomena observed in layered Langmuir-Blodgett structures of Hairy-Rod polymers / S. Schwiegk et al. // Macromolecules. 1992. -№ 25.-P.2513−2525.
  97. In plane orientation of polyimide Langmuir-Blodgett films / Y. Nishikata et al. // Thin solid Films. 1992. — № 210/211. — P.29−31.
  98. Miyano, K. Langmuir trough with movable barriers / K. Miyano, T. Maeda // Rev. Sci. Instrum. 1987. — V.58. — № 3. — P.428−435.
  99. , О.В. Устройства для получения пленок Ленгмюра-Блоджетт / О. В. Чечель, Е. Н. Николаев // Приборы и техника эксперимента. 1991. — № 4. -С. 19−29.
  100. Виброизолированная гидравлическая система с регулируемой скоростью перемещения подложки для осаждения пленок методом Ленгмюра-Блоджетт / Л. Мангер и др. // Приб. науч. исслед. 1987. — № 2. -С. 121−125.
  101. Nathoo, М.Н. Preparation of Langmuir films for electrical studies / M.H. Nathoo // Thin Solid Films. 1973. — V. 16. — № 2. — P.215−226.
  102. Stenhagen, E. Determination of organic structures by physical method / E. Stenhagen // New York: Acad. Press. Inc. 1995. — P.325−368.
  103. Lundqist, M. Condensed phases in insoluble monomolecular films on water / M. Lundqist // Suomen Kemists. 1963. — V.72. — № 1. P. l 14−27.
  104. , А.А. Об агрегатном состоянии монослоев ПАВ на поверхности жидкости / А. А. Абрамзон, С. И. Голоудина // В кн. Успехи коллоидной химии.-Л.: Химия. 1991. — С.239−261.
  105. , А.И. Молекулярные кристаллы / А. И. Китайгородский // -М.: Наука, 1971.-424с.
  106. Формирование молекулярно-упорядоченных моно- и мультислоев ограниченно-растворимых аналогов фосфолипидов методом Ленгмюра-Блоджетт / П. П. Карагеоргиев и др. // Письма в ЖТФ. 1994. — Т.20. — Вып.9. -С.42−46.
  107. Получение гетероструктур на основе пленок Ленгмюра-Блоджетт амфифильных веществ / В. В. Лучинин и др. // Петербургский журнал электроники. 1995. — № 2. С.24−36.
  108. Parrat, L.G. Surface studies of solids by total reflection of X-rays / L.G. Parrat // Phys. Rev. 1954. — V.95. — P.359−369.
  109. Sinha, S.K. X-ray and neutron scattering from rough surfaces / S.K. Sinha et al. // Phys. Rev. B. 1988. — V.38. — P.2297−2311.
  110. , B.K. Введение в эллипсометрию: Учеб. Пособие / В. К. Громов // -Л.: Ленинградский ун-т, 1986.
  111. , А.А. Миграция зарядов вдоль поверхности термически выращенной плёнки Si02 / А. А. Теверовский, А. И. Зонов, Г. И. Епифанов // -1984. М.: — МИЭМ. 1
  112. , Ю.И. Перколяционное шунтирование электризованной поверхности / Ю. И. Кузьмин // Письма в ЖТФ. 1999. — Т.25. — Вып.21. — С.78−85.
  113. The first low voltage, low noise differential silicon microphone, technology development and measurement results / P. Rombach et al. // Sensors and Actuators A: Phisycal. 2002. -V.95. — № 2−3. — P. 196−201.
  114. A silicon micromachined microphone for fluid mechanics research / C. Huang et al. I I Journal of Micromechanics and Microengineering. 2002. — V.12. — № 6. -P.767−774.
  115. Thielemann, C. Inorganic electret membrane for a silicon microphone / C. Thielemann, G Hess // Sensors and Actuators A: Phisycal. 1997. — V.61. № 1−3. -P.352−355.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!