Диэлектрическая дисперсия, старение и усталость тонких пленок титаната свинца и цирконата-титаната свинца
Диссертация
Апробация работы. Основные результаты работы представлены на 11-ой Международной конференции по сегнетоэлектричеству (Бразилия /Аргентина, 2005) — XVII-ой Всероссийской конференции по физике сегнетоэлектриков (Пенза, 2005) — 8-ой Европейской конференции по применению полярных диэлектриков ¦ (Мец, Франция, 2006) — 9-ом Международном Симпозиуме по доменам в ферроиках, микрои наноскопическим… Читать ещё >
Список литературы
- Смоленский Г. А. Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики / Г. А. Смоленский, В. А. Боков, В. А. Исупов, Н. Н. Крайник, Р. Е. Пасынков, М. С. Шур. Ленинград: Наука, 1971. — 476 с.
- Иона Ф. Сегнетоэлектрические кристаллы / Ф. Иона, Д. Ширане — перевод с англ. JI.A. Фейгина- под ред. J1.A. Шувалова. М.: Мир, 1965. — 555 с.
- Лайнс М. Сегнетоэлектрики и родственные им материалы / М. Лайнс, А. Гласс — перевод с англ. под ред. В. В. Леманова, Г. А. Смоленского. М.: Мир, 1981.-282 с.
- Power Diffraction File. U.S.A.: International Centre for Diffraction Data, 1977.
- Струков Б.А. Физические основы сегнетоэлектрических явлений в кристаллах / Б. А. Струков, А. П. Леванюк. М.: Наука, 1995. — 304 с.
- Дудкевич В.П. Физика сегнетоэлектрических пленок / В. П. Дудкевич, Е. Т. Фесенко. Ростов: Изд-во Ростов, ун-та, 1979. — 192 с.
- Фесенко Е.Г. Семейство перовскита и сегнетоэлектричество / Е. Г. Фесенко. М.: Атомиздат, 1972. — 228 с.
- Damjanovic D. Ferroelectric, dielectric and piezoelectric properties of ferroelectric thin films and ceramics / D. Damjanovic // Reports on Progress in Physics. 1998. — V. 61. — P. 1267−1324.
- Желудев И.С. Основы сегнетоэлектричества / И. С. Желудев. М.: Атомиздат, 1973. — 472 с.
- Сонин А.С. Введение в сегнетоэлектричество / А. С. Сонин, Б. А. Струков. М.: Высшая школа, 1970. — 272 с.
- Холоденко Л.П. Термодинамическая теория сегнетоэлектриков типа титаната бария / Л. П. Холоденко. Рига: Зинатне, 1972. — 227 с.
- Барфут Дж. Полярные диэлектрики и их применения / Дж. Барфут, Дж. Тейлор- перевод с англ. под ред. Л. А. Шувалова. М.: Мир, 1981. — с.526
- Барфут Дж. Полярные диэлектрики и их применения / Дж. Барфут, Дж. Тейлор- перевод с англ. под ред. Л. А. Шувалова. М.: Мир, 1981. — с.526
- Stemmer S. Atomistic structure of 90° domain walls in ferroelectric PbTi03 thin films / S. Stemmer, S.K. Streiffer, F. Ernst, M. Ruhle // Philosophical Magazine A. 1995. — V. 71. — P. 713−724.
- Yang J.-K. Effect of grain size of Pb (Zr0.4Tio.6)03 sol-gel derived thin films on the ferroelectric properties / J.-K. Yang, W.S. Kim, H.-H. Park //Applied Surface Science. 2001. — V. 169−170. — P. 544−548.
- Вендик O.T. Корреляционные эффекты в сегнетоэлектрическом тонкопленочном конденсаторе / О.Т.' Вендик, С. П. Зубко, Л.Т. Тер-Мартиросян // Физика твёрдого тела. 1996. — Т. 38, № 12. — С. 36 543 665.
- Березинский В.Л. Разрушение дальнего порядка в одномерных и двумерных системах с непрерывной группой симметрии / В. Л. Березинский // Журнал экспериментальной и теоретической физики. -1970. Т. 59, вып. 3 (9). — С. 907−910.
- Waser R. Dielectric analysis of integrated ceramic thin film capacitors / R. Waser // Integrated Ferroelectrics. 1997. — V. 15. — P. 39−43.
- Tomashpolski Y.Y. Ferroelectric vacuum deposits of complex oxide type structure / Y.Y. Tomashpolski, M.A. Sevostianov, M.V. Pentegova, L.A. Srokina, Y.N. Venevtsev // Ferroelectrics. 1974. — V. 7, № 1−4. — P. 257−258.
- Децик B.H. Кинетика начальной стадии фазового перехода первого рода в тонких плёнках / В. Н. Децик, Е. Ю. Каптелов, С. А. Кукушкин и др. // Физика твёрдого тела. 1997. — Т. 39, № 1. — С. 121−126.
- Томашпольский Ю.Я. Пленочные сегнетоэлектрики / Ю. Я. Томашпольский. М.: Радио и связь, 1984. — 192 с.
- Tagantsev А.К. Mechanisms of polarization switching in ferroelectric thin films / A.K. Tagantsev //Ferroelectrics. 1996. — V. 184, N. l-4. — P. 399./79-[407]/77.
- Tagantsev A.K. Identification of passive layer in ferroelectric thin films / A.K. Tagantsev, M. Landivar, E. Colla, N. Setter // Journal of Applied Physics. -1995. V. 78, № 4. — P. 2623−2630.
- Фридкин B.M. Сегнетоэлектрики-полупроводники / B.M. Фридкин. M.: Наука, 1976.-408 с.
- Xu Y. Ferroelectric thin films prepared by sol-gel processing / Y. Xu, J.D. Mackenzie // Integrated Ferroelectrics. 1992. — V. 1, № 1. — P. 17−42.
- Tandon R.P. Fabrication and characterization of copper contain lead titanate films prepared by sol-gel method / R.P. Tandon, V. Raman, K. Alay Arora, V.K. Hans // Ferroelectrics. 1994. — V. 152. — P. 449−504.
- Vest R.W. PbTi03 films from metallo-organic precursors / R.W. Vest, J. Xu // The 6-th IEEE International Symposium on Application of Ferroelectrics: abstracts, Bethlehem, USA, June, 1986. P. 374−380.
- Funakubo H. Film thickness dependence of dielectric property and crystal structure of РЬТЮз film prepared on Pt/SiCVSi substrate by metal organic chemical vapor deposition / H. Funakubo, T. Hioki, M. Otsu, K. Shinozaki, N.
- Mizutani // Japanese Journal of Applied Physics. 1993. — V. 32. — P. 41 754 178.
- Sheppard L.M. Advances in processing of ferroelectric thin films / L.M. Sheppard // Ceramic Bulletin. 1992. — V. 71, № 1. — P. 85−95.
- Щеглов П.А. Получение сегнетоэлектрических пленок ВаТЮз и PbTi03 модифицированным золь-гель методом / П. А. Щеглов, С. А. Меньших, Л. Ф. Рыбакова, Ю. Я. Томашпольский // Неорганические материалы. -2000. Т. 36, № 4. — С. 470−475.
- Meng X.J. Highly oriented PbZro.3Tio.7O3 thin film on LaNi03-coated Si substrate derived from a chemical solution technique / X.J. Meng, Z.X. Ma, J.L. Sun, L.X. Bo, H.J. Ye, S.L. Guo, J.H. Chu // Thin Solid Films. 2000. -№ 372.-P. 271−275.
- Meng X.J. Dependence of texture development on thickness of single-annealed-layer in sol-gel derived PZT thin films / X.J. Meng, J.G. Cheng, J.L. Sun, J. Tan, H.J. Ye, J.H. Chu // Thin Solid Films. 2000. — № 368. — P. 2225.
- Турова Н.Я. Оксидные материалы на основе алкоголятов металлов / Н. Я. Турова, М. И. Яновская // Известия АН СССР. Неорганические материалы. 1983. — Т. 19, № 5. — С. 693−706.
- Swartz S.L. Static and dynamic properties of ferroelectric thin film memories / S.L. Swartz, U.E. Wood // Condensed Matter News. 1992. — V. 1, № 5. — P. 4−11.
- Kostsov E.G. Ferroelectric films: peculiarities in their application to construction of new generations of memory devices / E.G. Kostsov // Ferroelectrics. 1995. — V. 167. — P. 169−176.
- Багинский И.JI. Тонкие сегнетоэлектрические пленки компоненты элементов динамической памяти / И. Л. Багинский, Э. Г. Косцов // Микроэлектроника. — 1997. — Т. 26, № 4. — С. 278−286.
- Сидоркин А.С. Получение и свойства тонких сегнетоэлектрических пленок титаната свинца / А. С. Сидоркин, А. С. Сигов, О. Б. Яценко // Физика твердого тела. 2000. — Т. 42, вып. 4. — С. 727−732.
- Окуяма М. Выращивание текстурированных тонких пленок PbTi03 на подложке SiCVSi / М. Окуяма, А. Фуйисава, Н. Исака, И. Хамакава // Автометрия. 1991. — № 4. — С. 91−97.
- Сидоркин А.С. Доменная структура в сегнетоэлектриках и родственных материалах / А. С. Сидоркин. М.- Физматлит, 2000. — 240 с.
- Окуяма М. Выращивание текстурированных тонких пленок РЬТЮз на подложке S1O2/S1 / М. Окуяма, А. Фуйисава, Н. Исака, Й. Хамакава // Автометрия. 1991. — № 4. — С. 91−97.
- Николаев В.И. Синтез пленок PbTi03 раздельным испарением металлов / В. И. Николаев, О. Ю. Ваганова // Неорганические материалы. 1997. — Т. 33,№ 5.-С. 858−859.
- Matthew Dawber. A model for fatigue in ferroelectric perovskite thin films. / Matthew Dawber, J.F. Scott// Applied Physics Letters. 2000 — v.76 № 8. — p. 1060.
- O. Auciello. A Review of composition structure property relationship for PZT-based heterostructure capasitors. / O. Auciello. K.R. Bellur, R. Dat, K.D. Gifford, Al. Kingon et. A1 // Integrated Feiroelectrics 1995 — v.6 — p. 173.
- L. Pintilie. Polarization fatigue and frequency-dependent recovery in Pb (ZrTi)03 epitaxial thin films with SrRu03 electrodes./ L. Pintilie, I. Vrejoiu, D. Hesse, M. Alexe // Applied Physics Letters 2006 — v.88 -p. 102 908
- J. Cross. Characterization of PZT capasitors with SrRu03 elecrodes. / J. Cross. M. Fujiki, M. Tsukada, У. Kotaka, and Y. Goto // Integrated Ferroelectrics 1998 — v.21 — p.263.
- R. A. Lipeles. Characterization of PZT films fatigue at low frequency/ R. A. Lipeles. B. A. Morgan, and M. S. Leung, // Proceedings of the 3 rd International Symposium on Integrated Ferroelectrics, ISIF-91, Colorado Springs, CO-1991-p. 368.
- I. Yoo and S. Desu. Mechanism of fatigue in ferroelectric thin films. // Physica Status Solidi 1992 — A 133 -p.565.
- M. Dawber. A model for fatigue in ferroelectric perovskite thin films. / M. Dawber and J. F. Scott // Applied Physics Letters 2000 — v.76 — p. 1060.
- T. Mihara. Electronic Conduction Characteristics of Sol-Gel Ferroelectric Pb (Zro.4Tio.6)03 Thin-Film Capacitors. / T. Mihara. H. Watanabe, and C. A. p. d. Araujo, // Jpn. Journal of Applied Physics 1994 — v.33 Part 1 — p. 5664.
- J.S. Lee Analysis of grain-boundary effects on the electrical properties of Pb (ZrTi)03 thin film. / J.S. Lee, S.K. Joo // Applied Physics Letter 2002 — v. 81-is. 14.-p. 2602.
- E. Paton. A Critical study of defect migration and ferroelectric fatigue in lead zirconate — titanate thin film capacitors under extreme temperatures. / E. Paton. M. Brazier, S. Mansour, and A. Bement. // Integrated Ferroelectrics -1997-v.18-p.29.
- P. K. Larsen. Ferroelectric properties and fatigue of Pb (ZrTi)03 thin films of varying thinkness: blocking layer model. / P. K. Larsen. G. J. M. Dormans, D. J. Taylor, and P. J. v. Veldhoven. // Journal of Applied Physics 1994 -v.76. -p.2405.
- A. K. Tagantsev. Mechanisms of Polarization Switching in Ferroelectric Thin Films // Ferroelectrics 1996 — v.79 — p. 184.
- Y. Masuda. The Influence of Various Upper Electrodes on Fatigue Properties of Perovskite Pb (Zr, Ti)03 Thin Films / Y. Masuda and T. Nozaka // Jpn. Journal of Applied Physics 2003 — v.42 part. l № 9B — p. 5941.
- J. F. M. Cillessen. Thickness Dependence of Switching Voltage in All-oxide Ferroelectric Thin-Film Capacitors Prepared by Pulsed Laser Deposition. / J. F. M. Cillessen, M. W. J. Prins, and R. W. Wolf // Journal of Applied Physics 1997-v. 81-p. 2777.
- S. B. Majumder. Optical and Microstructural Characterization of sol-gel derived Ce-doped PZT thin films / S. B. Majumder. Y. N. Mohapatra, and D. C. Agrawal // Applied Physics Letters 1997 — v.70 — p. 138.
- К. Aoki and Y. Fukuda. Characterization of a Sol-Gel Derived Pb (Zr, 77)03 Thin-Film Capacitor with Polycrystalline SrRu03 Electrodes.// Jpn. Journal of Applied Physics 1997 — v. 36 Part 2 — p. L690.
- D. F. Ryder. Sol-Gel Processing of Nb-doped Pb (Zr, Ti)03 Thin Films for Ferroelelctric Memory Applications / D. F. Ryder, Jr. and N. K. Raman// Journal of Electron. Materials 1992 — v.21 — p. 971.
- E.L. Colla. Direct observation of inversely polarized frozen nanodomains in fatigued ferroelectric memory capacitors. / E.L. Colla, I. Stolichnov, P.E. Bradely, N. Setter // Applied Physics Letter 2003 — v. 82 is. 10 — p. 1604.
- S. L. Miller. Device Modeling of Ferroelectric Capacitors / S. L. Miller, R. D. Nasby, J. R. Schwank, M. S. Rogers, and P. V. Dressendorfer. // Journal of Applied Physics 1990 — v.68 -p. 6463.
- C. J. Brennan. A physical model for the electrical hysteresis of thin-film ferroelectric capacitors // Ferroelectrics 1992 — № 132 — p.245.
- A. K. Tagantsev. Identification of passive layer in ferroelectric thin films from. their switching parameters. / A. K. Tagantsev. M. Landivar, E. Colla, and N.
- Setter.// Journal of Applied Physics 1995 — v. 78 — p.2623.
- Swartz S.L. Static and dynamic properties of ferroelectric thin film memories / S.L. Swartz, U.E. Wood // Condensed Matter News. 1992. — V. 1, № 5. — P. 4−11.
- J. F. Scott / C. A. P. d. Araujo, В. M. Melnick, L. D. McMillan, and R. Zuleeg// Journal of Applied Physics. -1991 v.70 — p. 382
- J. Chen. Equivalent Parameters of Embedded PZT Elements for Concrete Structure Monitoring / J. Chen, M. P. Harmer, and D. M. Smyth, // Proceedings of the IEEE 8thInternational Symposium on Applications of Ferroelectrics, Piscataway NJ.- 1992. p. 111.
- J. F. Scott / C. A. P. d. Araujo, В. M. Melnick, L. D. McMillan, and R. Zuleeg// Journal of Applied Physics. -1991 v.70 — p. 382.
- Е. М. Griswold. Phase transformations in rapid thermal processed lead zirconate titanate / E. M. Griswold. M. Sayer, D. T. Amm, and I. D. Calder, Can. // J. Phys. 1991. — v. 69. — p.260.
- R. Waser. Electronic Properties of Grain Boundaries in SrTi03 and ВаТЮЗ Ceramics // Journal American Ceramic Society 1991 -v. 74 — p. 1934.
- Cyril Verdier. Fatigue studies in compensated bulk lead zirconate titanate. / Cyril Verdier, Finlay D. Morrison, Doru C. Lupasku, James F, Scott // Journal of Applied Physics. 2005 — v. 97 — 24 107
- P. Landauer. Electrostatic Considerations in ВаТЮЗ Domain Formation during Polarization Reversal / P. Landauer. // Journal of Applied Physics. -1957.-v.28.-p. 227.
- Tagantsev A.K. Injection-controlled size effect on switching of ferroelectric thin films./ Tagantsev A.K. and Stolichnov I.A. // Applied Physics. Letters. -1999.-v. 74.-p. 1326.
- M. Grossmann. Reversible and irreversible processes in donor-doped Pb (Zr, Ti)03 / D. Bolten, U. Bottger, T. Schneller, M. Grossmann, O. Lohse, and R. Waser // Applied Physics. Letters. 2000. — V.77. — pp. 3830−3832.
- Окуяма M. Тонкие сегнетоэлектрические пленки РЬТЮз и ЦТСЛ и их применение / М. Окуяма, И. Хамакава // Автометрия. 1986. — № 2. — С. 17−30.
- Safari A. Ferroelectric ceramics: processing, properties & applications / A. Safari, R.K. Panda, V.F. Janas // Condensed Matter News. 1993. — V. 1, № 4. -P. 2−10.
- Гольцман Б.М. Сегнетоэлектрические материалы для интегральных схем динамической памяти / Б. М. Гольцман, В. К. Ярмаркин //Журнал технической физики. 1999. — Т. 69, № 5. — С. 89−92.
- Palkar V.R. Ferroelectric thin films of PbTi03 on silicon / V.R. Palkar, S.C. Purandare, R. Pinto // Journal of Physics D: Applied Physics. 1999. — V. 32. -P.R1-R18.
- Sidorkin A.S. Synthesis and study of dielectric properties of PbTi03 thin films /A.S. Sidorkin, L.P. Nesterenko, I.A. Bocharova, V.A. Sidorkin, G.L. Smirnov // Ferroelectrics. 2003. — V. 286. — P. 335−342.
- Сидоркин А.С. Сегнетоэлектрические пленки титаната свинца на монокристаллическом кремнии / А. С. Сидоркин, А. С. Сигов, A.M. Ховив, О. Б. Яценко, В. А. Логачева // Физика твердого тела. 2002. — Т. 44, № 4. — С. 745−749.
- Сидоркин А.С. Диэлектрические свойства тонких пленок PbTi03 / А. С. Сидоркин, A.M. Солодуха, Л. П. Нестеренко, С. В. Рябцев, И. А. Бочарова, Г. Л. Смирнов // Физика твердого тела. 2004. — Т. 46, № 10. — С. 18 411 844.
- Antony R. West. Characterization of Electrical Materials, Especially ferroelectrics, by impedance spectroscopy. / Antony R. West, Derek C.
- Sinclair, Naohiro Hirose // Journal of Electroceramics 1997 — v. l — pp. 6571.
- F. Kremer. Dielectric spectroscopy yesterday, today and tomorrow. // Journal of Non-crystalline Solids — 2002 — v. 305 — pp. 1−9.
- О.Г. Вендик. Моделирование и расчет емкости планарного конденсатора, содержащего тонкий, слой сегнетоэлектрика. / О. Г. Вендик, С. П. Зубко, М. А. Никольский. // Журнал технической физики. -1999-т. 69 в. 4 с. 1
- О.Г. Вендик. Учет нелинейности сегнетоэлектрического слоя в модели планарного конденсатора. / О. Г. Вендик, М. А. Никольский // Письма в Журнал технической физики. 2003 — т. 29 в. 5 — с. 20
- A.M. Солодуха. Определение диэлектрических параметров керамики на основе дисперсии комплексного электрического модуля. / A.M. Солодуха, З. А. Либерман. // ВЕСТНИК ВГУ, Серия физика, математика. 2003 — № 2 — с. 67 .
- М.М. Некрасов. Исследование дисперсии диэлектрической проницаемости в сегнетоэлектриках типа титаната бария на сантиметровых волнах. / М. М. Некрасов, Ю. М. Поплавко // Известия академии наук СССР. Серия физическая. 1964 — т. 28 № 4 — с. 714.
- В.Н. Мурзин. Температурные исследования диэлектрической дисперсии поликристаллических ВаТЮз и SrTi03 в широком спектральном диапазоне. / В. Н. Мурзин, А. И. Демешина // Известия академии наук СССР. Серия физическая 1964 — т. 28 № 4 — с. 695.
- В.К. Ярмаркин. Диэлектрическая релаксация в тонкопленочных структурах металл-сегнетоэлектрик PZT металл. / В. К. Ярмаркин, С. П. Тесленко // Физика твердого тела. — 1998 — т. 40 № 10 — с. 1915.
- A.S. Sidorkin. Dispersion of dielectric permeability in polydomain ferroelectrics. / A.S. Sidorkin, A. S. Sigov // Вестник ВГУ, Серия физика, математика. 2002 — № 1 — с. 52−58.
- Даринский Б.М. Колебания доменных границ в сегнетоэлектриках и сегнетоэластиках с точечными дефектами. / Дариинский Б. М., Сидоркин
- A.С., Косцов A.M.// Известия АН СССР, Серия физическая. 1991 — т.55 № 3 — с.583−590.
- ЮО.Томин В. Г. Диэлектрические свойства тонких кристаллов ТГС. / Томин
- B.Г., Новик В. К., Селюк Б. В., Копуген В. А., Гаврилов Н. Д., Мелешина В.А.//Кристаллография.- 1974-т. 19.№>4-с. 809−814.
- Горбунов В.В., Даринский Б. М. Изгиб доменной границы в поле наклонной дислокации в сегнетоэластике. // Известия АН СССР. Серия физическая. 1989 — т.53 № 7 — с. 1292−1295
- Смоленский А.Г. Физика сегнетоэлектрических явлений / А. Г. Смоленский, В. А. Боков, В. А. Исупов, Н. Н. Крайник, Р. Е. Пасынков, А. И. Соколов, Н. К. Юшин. J1.: Наука, 1985. — 396 с.
- ЮЗ.Веневцев Ю. Н. Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики семейства титаната бария / Ю. Н. Веневцев, Е. Д. Политова, С. А. Иванов. М.: Химия, 1985.-256 с.