Особенности получения и окисления тонких плёнок тройных халькогенидных соединений системы A I BiC VI (A I — Li, K, Rb; C VI — S, Se)
Диссертация
За последние годы тонкие плёнки многокомпонентных халькогенидных соединений благодаря своим уникальным свойствам стали базой многих устройств и приборов. Наиболее важными и перспективными среди них являются соединения А1В1СУ1 (А1 — 1л, К, ЯЬСУ1 — 8, 8е). Темпы роста объёма производства приборов на основе этих соединений, которые можно использовать для записи информации, значительно превышают… Читать ещё >
Список литературы
- Лазарев В.Б., Беруль С. И., Салов А. В. Тройные полупроводниковые соединения в системах А1 Bv — CVI. — М.: Наука, 1982. — 150с.
- Physics and Applications of Non-Crystalline Semiconductors in Optoelectronics. Edited by Andrei Andriesh and Mario Bertolotti Kluwer Academic Publishers 1997 Published in cooperation with NATO Scientific Affairs Division.
- Second International School-conference «Physical Problems in material science of Semiconductors», Chernivtsi, Ukraine, 1997.
- Sandor Kugler M. Stutzmann Proceedings of the Seventeenth International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors Science and Technology. — Budapest, Hungary, August 25 — 29, 1997. — 1389p.
- Свечников C.B., Химинец B.B., Довгошей Н. И. Сложные некристаллические халькогениды и их применение в оптоэлектронике. -К.: Наукова думка, 1992. 296с.
- Иваницкий В.П. Особенности структурных превращений в аморфных плёнках некоторых халькогенидов и возможности улучшения их эксплуатационных характеристик: Дис. канд. физ-мат. наук: 01.04.07. -Ужгород, 1982. 160с.
- Лукша О.В., Фирцак Ю. Ю., Довгошей Н. И. и др. Формирование аморфной фазы в вакуумных конденсатах системы Sb2S3 SbJ3. Изв. АН СССР. Неорганические материалы. — 1978. т.14. — № 6. — с.1236 — 1241.
- Шелест И.В. / Пат. 36 876А Украины G01N 21/17, GOIN 30/00 Пассивный дозиметр для измерения концентрации оксида азота в атмосферном воздухе // дата принятия решения 09.112 000.
- Влияние вакуумных условий получения плёнок на кинетику процессов окисления / Базакуца В. А., Гнидаш Н. И., Дьяконенко Н. Л., Рябчун А.А.
- Вопросы атомной науки и техники. Ядерно-физические исследования. ХФТИ. — 1994. — Вып. 1.(27). — С.74 — 76.
- Особенности окисления вакуумных конденсатов KBi3S5 / Базакуца
- B.А., Рябчун А. А., Дьяконенко H.JI., Шелест И. В. // Вопросы атомной науки и техники. Ядерно-физические исследования. ХФТИ. — 1998.1. C.226 228.
- Столбчатая структура аморфных плёнок системы А1В1зСУ1з / Базакуца В. А., Рябчун А. А., Дьяконенко H. JL, Шелест И. В., Белзерцева В. И. Н Функциональные материалы. 1999. — № 1. — Вып.6. — С. 151 — 153.
- Взаимодействие кислорода и оксида азота с плёнками сложных халькогенидных полупроводников / Рябчун А. А., Дяконенко H. JL, Шелест И. В., Кривонос С. С. // Вестник ХГПУ. 1999. — Вып.26. — С. 103 -106.
- Субструктура халькогенидных стеклообразных тонких плёнок ! Базакуца В. А., Рябчун А. А., Дьяконенко H. JL, Шелест И. В., Гусейнов М. И. // Труды междунар. Конф. «MicroCAD'97 International Meeting of Information Technology». Харьков. — 1997. — С.349.
- Изучение взаимодействия атмосферы, содержащей оксид азота с плёнками K2GeSe3 / Рябчун А. А., Базакуца В. А., Дьяконенко Н. Л., Гнидаш Н. И. // Труды Украинского вакуумного общества. Том 1. -Киев. — 1995. — С.300 — 305.
- Воздействие газовой фазы на подготовку поверхности сложных халькогенидных полупроводников к металлизации / Базакуца В. А.,
- Рябчун A.A., Дьяконенко Н. Л., Гнидаш Н. И. // Труды Украинского вакуумного общества. Том 2. — Харьков. — 1996. — С. 186 — 191.
- Базакуца В.А., Дьяконенко Н. Л., Подьячая E.H. Фазовые переходы в соединениях A! GeCVI и АтОе2СУ1 // Труды 2-й Укр. конф. «Матер1алознавство i ф1зика нашвпровщникових фаз змшного складу». -Часть 3. Нежин. — 1993. — С.379.
- Распределение адсорбированных газов в плёнках KBi3S5 / Рябчун А. А., Базакуца В. А., Дьяконенко H. JL, Никитюк А. В. // Труды Междунар. конф. «MicroCAD'94 International Meeting of Information Technology». -Харьков 1994. — С.143.
- Воздействие условий вакуумной конденсации плёнок KBi3S5 на кинетику процессов окисления / Труды Междунар. конф. по физике и технологии тонких плёнок. Часть 2. — Ивано-Франковск. — 1995. — С.271.
- Моделирование межфазной поверхности в системе СХП-газ. / Рябчун А. А., Базакуца В. А., Дьяконенко H. JL, Гнидаш Н. И. Труды Междунар. конф. «MicroCAD'96 International Meeting of Information Technology». Харьков — 1996. — C.349.
- Bazakutsa V.A., Ruabchun A.A., Dyakonenko N.L. The Substructure of chalcogenide Glass Thin Films // Proc. Second International School-Conference Physical Problems in Material Science of Semiconductors. -Chernivtsi, Ukraine. 1997. — P.163.
- Горюнова Н.А. Сложные алмазоподобные полупроводники. М.: Сов. радио, 1968, 240с.
- Борисова З.У. Халькогенидные полупроводниковые стёкла. Л.: ЛГУ, 1983. — 344с.
- Фельц А. Аморфные и стеклообразные неорганические твёрдые тела.- М.: Мир, 1986. -556с.
- Базакуца В.А., Лазарев В. Б., Гнидаш Н. И. и др. Синтез и свойства соединений в системах А.2СУ1 В12СУ13 (А1 — Ы, Ыа, К, Ш>, Сб- СУ1 — 8, Бе, Те) //Неорганические материалы. — 1986. — Т.22. — № 8. — С. 1890 — 1895.
- Лазарев В.Б., Беруль С. И., Триппель А. Ф. Диаграмма состояния системы 1Л28 В1283 // Журнал неорганической химии. — 1977. — № 22. -С.2251 -2254.
- Беруль С.И., Лазарев В. Б., Триппель А. Ф. и др. Диаграмма состояния системы К28 В1283 // Журнал неорганической химии. — 1977. — № 22. -С.2563 — 2567.
- Базакуца В.А., Гнидаш Н. И., Перекрестов В. И. и др. Фотоэлектрические свойства полупроводниковых фаз в системах А.2СУ1 -В2СУ13 (А1 и, N3, К, ЯЬ, Сэ- В — Аз, ЯЪ, В1- СУ1 — 8, 8е, Те) // Журнал неорганической химии. — 1987. — № 23. — С. 1144 — 1147.
- Базакуца В.А. О взаимосвязи между химическим составом, структурой и физическими свойствами некоторых тройных халькогенидных полупроводников // Вопросы физики полупроводников.- Калининград: Калининградский гос. Университет. 1975. — С.29 — 35.
- Дембовский С.А., Чечёткина Е. А., Стеклообразование. М., Наука, 1990. — 231с.
- Уббелоде А.Р. Расплавленное состояние вещества: Пер. с англ. М.: Металлургия, 1982. -376с.
- Lanin J.S. Local structure order in amorphous semiconductors // Physics Today. 1988. — July. — p.28 — 35.
- Philips J.S. Topology of covalent non-crystalline solids. Medium-range order in chalcogenide alloys and a-Si (Ge) // J. Non-Crystalline Solids. -1981. V.43h. — P.3777.
- Philips J.S. Chemical bounding find heats of formation in chalcogenide network compounds As2(S, Se)3 and Ge (S, Se)2 // Physical Review. 1983. -V.28 312. — P.28.
- Филлипс Дж. Физика за рубежом: Пер. с англ. М.: Мир, 1983. -С.154 — 178.
- Займан Дж. Модели беспорядка. М.: Мир, 1982. -59с.
- Тарасов В.В. Проблемы физики стекла. М.: Стройиздат, 1979. -190с.
- Попов Н.А. Новая модель дефектов в халькогенидных стеклообразных полупроводниках // Письма в ЖЭТФ. 1980. — Т.31, № 8.. С. 437 — 440.
- Пиментел Г., Спротли Р. Как квантовая механика объясняет химическую связь: Пер. с англ. М.: Мир, 1973. — 331с.
- Pooke D., Buchley R.G., Devine S., Trodahl H.I. Amorphous GeiySey alloys: ESR study of GAP states // Solid State Commun. 1987. — V.62, № 5. — P.341 — 343.
- Чаркин О.П. Проблемы теории валентности, химической связи, молекулярной структуры. М.: Знание, 1987. — 47с.
- Moos S.C., Price D.L. // Physics of Disordered Materials / Eds. D. Adler, H. Fritzshe, S.R.Ovshinsky. NY L: Plenum Press. — 1985. — P.77 — 95.
- Busse L.E. Temperature dependence of the structures of As2Se3 and AsxSi. x glasses near the glass transition // Phys. Rev. B. 1984. — V.29, № 6. -P. 3639 — 3651.
- Lin С., Busse L.E., Nagel S.R., Farber J. Temperature dependence of the structure factor of GeS2 glass // Phys. Rev. B. 1984. — V.29, № 9. — P.5060 -5062.
- Чечёткина E.A. // Новые идеи в физике стекла. M.: МХТИ, 1987. -Т.2. — С.149 -156.
- Клингер М.И., Кудрявцев В. Г., Рязанов М. И. Современные проблемы физики стекла//Природа. 1988. — № 12. — С. 18 — 25.
- Cervinka L. Medium-range order in amorphous materials. // J. Non-Cryst. Solids. 1988. — № 106. — P.291 — 300.
- Arsova D., Vateva E., Petkov V., Skordeva E. New features in the medium-range order in GexAs4o-xSe6o glasses // Solid State Comm. 1996. -V.98, № 6. — P.595 — 598.
- Vateva E., Savova E. New medium-range features in Ge-Sb-S glasses // J. Non-Cryst. Solids. 1995. — У.192 & 193. — P.145 — 148.
- Бакай А.С. Поликластерные аморфные тела. M.: Энергоатомиздат, 1987. — 150с.
- Технология тонких плёнок. Справочник / Под ред. Майсела JI. Гленга. М. — Советское радио, 1977. — Т.1. — 662с. — Т.2. — 768с.
- Палатник JI.C., Папиров И. И. Эпитаксиальные плёнки. М.: Наука, 1971. — 315с.
- Палатник JI.C., Фукс М. Я., Косевич В. М. Механизм образования и субструктура конденсированных плёнок. М.: Наука, 1972. — 325с.
- Иевлев В.М., Трусов Л. И., Холмянский В. А. Структурные превращения в тонких плёнках. М.: Металлурги я, — 1982. — 270с.
- Морохов И.Д., Петинов В. И., Трусов И. Л., Петрунин В. Ф. Структура и свойства металлических частиц // Успехи физических наук. 1981. -Т.133, № 4. — С.653 -692.
- Porai-Koshits E.A. Modern possibilities and some new results of studying the structure of inorganic glasses by diffraction methods // J. Non-Cryst. Solids. 1980. — V.38 -39, № 1. — P.27 — 32.
- Гельмонт Б.Л., Шкловский Б. И. Новые идеи в физике аморфных полупроводников // Физика сложных полупроводниковых материалов (по материалам IX Зимней школы по физике полупроводников). Л.: ЛМЯФ, 1979.-С. 5−21.
- Гладких Н.Т. Фазовый размерный эффект в конденсированных плёнках: Автореф. дис. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / ХГУ. Харьков, 1976. — 38с.
- Федоренко А.И. Эффекты межфазного взаимодействия в тонких плёнках: Автореф. дис. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / ХГУ. Харьков, 1978. — 36с.
- Бандаровская И.К., Зюбрик А. И., Киркач Е. Ф., Пашковский М. В., Середин В. Г. Халькогенидные стёкла материал для голографической записи информации // Зарубежная электронная техника. — 1976. — Т. 128, № 7.
- Закис Ю.Р. Простейшие термические дефекты в стёклах // Физика и химия стеклообразных систем. Рига, 1980. — № 7. — С. З — 36.
- Biegelsen D.K., Street R.A. Photoinduced defects in chalcogenide glasses // Phys. Rev. Lett. 1980. — V.44, № 12. — P.803 — 806.
- Дембовский С.А., Зюбин А. С., Григорьев В. Ф. Моделирование гипервалентных конфигураций пар с переменной валентностью деформированной структуры и свойств a-S и a-As2S3 // Физика и техника полупроводников. 1998. — т.32. — № 8. — С.944 — 949.
- Pollard W.B., Joannopoulos J.D. Vibrational exitations of defect sites in amorphous group-V semiconductors // Phys. Rev. 1980. — V. B21, № 2. -P.760 — 766.
- Watanabe I., Maeda Т., Shimizu T. Difference in properties of amorphous Ge42S58 between bulk and film forms // J. Non-Cryst. Solids. 1980.
- V.Krisciunas, Br. Petretis and R. Rinkunas Anisotropic properties and structure of amorphous films of selenium. Thin Solids Films. 102(1983)11−116.
- Dirks A.G., Leamy H.J. Columnar microstructure in vapor-deposited thin films // Thin Solid Films. 1977. — V.47, № 1,2,3. — P.219 — 233.
- Находкин Н.Г., Новосельская А. И., Бардамид А. Ф. Структура плёнок аморфного Ge // Физика и техника полупроводников. 1985. — Т. 19, вып.11. — С.1918 — 1927.
- Панченко JI.H., Семененко А. И., Базакуца В. А., Белозерцева В. И. Применение эллипсометрии для изучения фотоиндуцированных изменений оптических параметров тонких плёнок соединений Ag2(Tl3)SbS3 // Квантовая электроника. 1995. — № 47. — С.58.
- Мткла B.I. Релаксащя метастабшьних сташв в нос1ях запису шформаци на основе склопод1бних нашвпровщниюв: Автореф. дис. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 /. Ужгород, 1998. — 35 с.
- K.Tanaka Structural phase transitions in chalcogenide glasses // Phys. Rev. 1989. — V.39. — P.1270 — 1278.
- Кеннет P. Лоулесс Окисление металлов. США.: Университет Вирджиния, Шарлоттесвиль, 1976. — 154с.
- Осовський В.Д., Птушинський Ю. Г., Сукретний В. Г., Чуйков Б. О. Ф1зичш аспекта адсорбцн на поверхш метал1 В // УФЖ. 1995. — Т.40, № 8. — С.842.
- Visuranath L., Sanders G., Schmidt L.D. Adsorbate densities on (100) W // Surface Sci. 1976. — V.59, № 1. — P.297 — 301.
- Васько Н.П., Птушинский Ю. Г., Митряев А. А. Исследование взаимодействия кислорода с гранью 111 монокристалла вольфрама методом вспышки // ФТТ. 1973. — Т.15, вып.Ю. — С.2907 — 2912.
- Loumour C.L. and King D.A. Coadsorption of oxygen and carbon monoxide on tungsten: desorption spectra electron simulated desorption and fild emission microscopy // Surface Sei. 1973. — V.35. — P.246 — 270.
- Агеев B.H. Изучение кинетики взаимодействия кислорода с ниобием методом вспышки // ФТТ. 1971. — Вып.11. — С.3353 — 3360.
- Агеев В.Н., Ионов Н. И. Изучение кинетики взаимодействия кислорода с танталом методом вспышки // ФТТ. 1971. — Т.13, вып.6. -С.1557 -1563.
- Катализ. Физико-химия гетерогенного катализа / Под ред. Д. Д. Елея. -М.: Мир, 1967. 480 с.
- Полупроводниковая электроника / Под ред. Д. В. Чепур. Ужгород.: Изд. Ужгородского университета, 1971.
- Comrie С.М., Weinberg W.H., Lambert R.M. The adsorption of nitric oxide on Pt (111) and Pt (110) Surface // Surface Sei. 1976. — Y.57. — P.619 — 631.
- Мурадян A.A., Саакян Э. Ф., Гарибян Т. А. Взаимодействие NO и N02 с медьсодержащими фазами иттриевой ВТСП керамики по данным ЭПР // Неорг. мат. 1993. — Т.29, № 5. — 679с.
- Кировская И. А. Поверхностные свойства алмазоподобных полупроводников. Адсорбция газов. Иркутск.: Изд. Иркутского университета, 1984. — 138с.
- Кировская И.А. Возможные пути регулирования свойств поверхности алмазоподобных полупроводников и некоторые аспекты их практической реализации // Неорганические материалы. 1994. — Т.30, № 2. — С.147 — 152.
- Галш П.В., Непчук Т. М., Савчин В. П., Oraxipa Н.М. Дослщження адсорбцшноГ активносп шаруватих нашвпровщникових кристал1 В селенщ1 В шдш та галш // УФЖ. 1995. — Т.9. — 995с.
- Мельник П.В., Находкин М. Г., Федорченко М. И. Накопичення кисню на амор<|изованш шнами аргону поверхш кремнш // УФЖ. 1995. — Т.40, № 6. — 632 с.
- Fromm Е., Mayer О. Interaction of oxygen and nitrogen with clean transition metal surfaces // Surface Science. 1978. — V.74, № 1. — P.259 -275.
- Судзуки К., Фудзимоко X., Хасимото К. Аморфные металлы. М.: Металлургия, 1987.
- Бенар Ж. Окисление металлов. М.: Металлургия, 1968. — С.1 — 2.
- Барре П. Кинетика гетерогенных процессов. М.: Мир, 1976. — 400с.
- Колобов Н.А., Самохвалов М. М. Диффузия и окисление полупроводников. М.: Металлургия, 1975. — 454с.
- Бокштейн Б.С., Копецкий Ч. В., Швиндлерман JI.C. Термодинамика и кинетика границ зёрен в металлах. М.: Металлургия, 1986. — 224с.
- Поут Дж. Тонкие плёнки. Взаимная диффузия и реакции. М.: мир, 1982. — 576с.
- Горелик С.С., Дашевский М. Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков: Учебник для вузов. М.: Металлургия, 1988. — 574 с.
- Палатник JI.C., Федоренко А. И., Гладких Т. П., Рябчун А. А. Адсорбция Н2, 02, СО и NO на плёнках (111) платины//Поверхность. Физика, химия, механика. 1984. — № 1. — С.37 — 46.
- Быковский Ю.А., Неволин В. Н. Лазерная масс-спектрометрия. М.: Энергоатомиздат, 1988. — 123с.
- Белоусов В.И. Современная лазерно-плазменная масс-спектрометрия метод количественного элементного анализа // Журнал аналитической химии. — 1984. — Т.29, № 5. — С.909 — 927.
- Чупахин М.С., Крючкова О. И., Рамендик Г. И. Аналитические возможности искровой масс-спектрометрии. М.: Атомиздат. — 1972. -213с.
- Энерго-масс анализатор ЭМАЛ-2. Техническое описание и руководство к эксплуатации. Сумы, 1990. — 97с. Препринт.
- Масс-спектрометр типа МИНИ-ВИМС. Методика валового послойного анализа непроводящих проб / Рамендик Г. И. М. — 1987, -45с. Препринт.
- Татаринова Л.И. Структура твёрдых аморфных и жидких веществ. -М.: Наука. 1988. — С. 150.
- Аморфные полупроводники / Бродски М.: Мир, 1982. — С.420.
- Хирш Г., Хови А., Николсон Р. и др. Электронная микроскопия тонких кристаллов. М.: Мир. — 1968. — С.574.
- Приборы и методы физического металловедения / Вайнберга Ф. -М.: Мир. 1978. — 27с.
- Микайло И.Л., Лазарев В. Б. и др. Энтальпия плавления соединений в системах Na2(F2)S (Se) GeS2(Se2) соединениях // Журнал неорг. химии. — 1989. -Т.34 — С. 2319 — 2327.
- Бойко Б.Т., Новиков В. А., Панчеха П. А., Черников А. И. Морфология и особенности кристаллической структуры тонких диоксидных плёнок олова // Функциональные материалы. 1997. — № 4. -С.348 — 353.
- A.c. 1 142 996 СССР, А кл G 01N, 30/00. Абсорбция использование для анализа материалов. Нагиев Т. М., Байрамов Ф. Г., Байрамова P.A. Опубл. 28.02.1985, Бюл. № 8.
- Муравьёва С.И., Буковский М. И., Прохорова Е. К. Руководство по контролю вредных веществ в воздухе рабочей зоны. М.: Химия. — 1991. — 368с.
- Франко Р.Т., Кадук Б. Г., Кравченко А. А. Газоаналитические приборы и системы. М.: Машиностроение. — 1983. — 152с.
- Защита атмосферы от промышленных загрязнений: Справочник. Т. 1,2: Пер. с англ./Под ред. Калверта. М.:Металлургия. — 1988. — 120с.
- Перегуд Е.А., Горелик Д. О. Инструментальные методы контроля загрязнения атмосферы. Л.:Химия. — 1981. — 93с.
- Benecke W. Microme chamical sensor // VLSI and comput. Peripheral: VLSI and microelectron -appe. Interconnect. Networks. Hamburg., may 8 -12, 1989: Proc. Washington (D.C.) — 1989, P.39 — 47/
- Nishizava Koichi. Optical chemical sensors // Chem. Sensor. Technol. -V.l. Tokyo, Amsterdam. — 1988. — P.237.
- Spiegel I., Santiago-Aviles Chemical and physical sensor of patentical utilization in process control // Adv. Instrum. and contr. Proc. ISA. Int. Conf. and Exhib. Philadelphia, 1989. V.44 Pt/Peseareh Triangle Park (N.C). 1989. -P.273 282.
- Takahata K. Tin dioxide sensor development and application // Chem. Sensor. Technol. Vol.1. — Tokyo, Amster. — 1988. — P.39.
- Многопараметрические сенсорные датчики. Chemosensoren nach dem ECOS-Prinzip // Chem. Techn. (BRD). 1989. — IB, № 9. — P.66 — 69.
- Новиков Ю.В., Калашников O.A., Гуляев С. Э. Разработка устройств сопряжения для персонального компьютера типа IBM PC. М.: ЭКОМ, 1997, 222с.
- Федорков Б.Г., Телец В. А. Микросхемы ЦАП и АЦП: функционирование, параметры, применение. М.: ЭНЕРГОАТОМИЗДАТ, 1990, 320с.
- Базакуца В.А., Рябчун А. А., Дьяконенко Н. Л., Шелест И.В.155
- Особливоси окисления вакуумних конденсатов KEH3S5 / Доповщ1 Нащонально'1 академй' наук Украши. 1999. — № 8. — С.81 — 84.
- Базакуца В.А., Рябчун A.A., Дьяконенко H.JL, Шелест И. В, Белозерцева В. И. Макроструктура аморфних пл1вокнашвпровщникових матер1ал1 В системи A^Bi?C^s / Ф1зика i х1м! я твердого тша. 2000. — том 1. — № 1. — С.89 — 94.
- Базакуца В.А., Рябчун A.A., Дьяконенко Н. Л., Шелест И.В, Белозерцева В. И. Особенности структуры аморфных плёнок системы1. Т VT
- А В13С 5 / Материаловедение. 2000. — № 4. — С.32 — 35.
- Карасов A.A., Шелест И. В. Программируемый контроллер процесса напыления / Карачаево-Черкесский государственный технологический институт, Черкесск, 2000. 6 с. Деп. в Научно-исследовательском институте высшего образования 01.02.2000, № 19−2000.
- Шелест И.В. Особенности структуры аморфных плёнок системы AIBi3C5VI. Нижний Архыз, 2002. — 8 с. (Препринт АН РФ, Специальная астрофизическая обсерватория: 148Т).
- Шелест И.В. Микроструктура и особенности окисления аморфных плёнок системы AIBi3CVI5 / Карачаево-Черкесский государственный технологический институт, Черкесск, 2002. 14 е.: 3 ил. — Библиогр.: 12 назв. — Деп. в ВИНИТИ 01.02.2002, № 210-В2002.