Радиоэлектрический эффект в гетероструктурах карбид кремния на кремнии
Диссертация
Для исследования распределения поля весьма перспективно использование полупроводниковых гальваномагнитных преобразователей. Устройство с гальваномагнитным преобразователем, в отличие от зондов-антенн, выполняет одновременно функцию приемной антенны и детектора. Гальваномагнитные преобразователи могут быть использованы для исследования амплитудного распределения поля СВЧ в фокальной области… Читать ещё >
Список литературы
- Комов А. Н., Чепурнов В. И., Щербак А. В. РадиоЭДС в гетероструктурах SiC/Si на частоте ЮГТц // Физика волновых процессов и радиотехнические системы. 2003. Т.6. № 1 — С. 77−78. (автор — 30%)
- Комов, А Н., Колесникова А. А., Щербак А. В. Электрофизические свойства гетероструктур карбида кремния на кремнии в области сверхвысоких частот. // «Кремний-2003», Москва, 2003 г. С. 227 (автор 30%)
- Колесникова А. А, Щербак А. В. Бифункциональный преобразовтель давления и температуры на основе структуры SiC/Si. // тезисы ВНКСФ-9, Красноярск, 2003 г. С. 246 (автор 50%)
- Комов А.Н., Колесникова А. А., Чепурнов В. И., Щербак А. В. Инерционные явления в гетероструктурах SiC/Si // Оптика. Оптоэлектроника. Технология. Ульяновск, 2003 г. (автор 25%)
- Комов А.Н., Колесникова А:А., Чепурнов В. И., Щербак А. В. Технология датчиков физических величин на карбиде кремния. // Оптика. Оптоэлектроника. Технология. Ульяновск, 2003 г. (автор 25%)
- Воловик А.Н., Колесникова А. А., Комов, А Н., Щербак А. В. Инерция носителей заряда в гетероструктурах SiC/Si Самарский государственный университет. Самара, 2003. 5 с., 3 назв. Рукопись деп. В ВИНИТИ РАН (автор 25%)
- Комов А.Н., Чепурнов В. И., Воловик, А Н., Щербак А. В. Моделирование диффузионногою. механизма формирования эпитаксиального P-SiC/Si Самарский государственный университет. Самара, 2003. 5 с., 3 назв. Рукопись деп. В ВИНИТИ РАН (автор 25%)
- Колесникова А.А., Щербак А. В. Пленки карбида кремния и датчики на их основе // Материалы нано-, микро- и оптоэлекгроники: физические свойства и применение, Саранск, 2003 г. С. 88 (автор 50%)
- Гинзбург В.Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. М.: Физматгиз, 1960. 552 с.
- Шехтер Д. Ш. Исследование магниторезистивного эффекта в полупроводнике в высокочастотном магнитном поле и возможность его применения для измерения высоких уровней СВЧ мощности // Дис. канд. физ.-мат. наук. Саратов, 1974. 120 с.
- Бокринская А. А., Скорик Е. Т. Методы измерения мощности СВЧ. Киев: Гостехиздат УССР, 1962.171 с.
- Силаев М. А., Комов А. Н. Измерительные полупроводниковые СВЧ преобразователи. М.: Радио и связь, 1984. 152 с.
- Иванов П. А., Челноков В. Е. Полупроводниковый SiC технология и приборы //ФТП- 1995-Т.29-вып. 11-с. 1921−1943.
- Kataoka S. The measurement of 10Gc/s microwave power, employing the Hall effect in semiconductors // Res/ electrotechn. Lab. 1962. Vol. 61. № 626/ P. 7−13.
- A. c. 303 910 (СССР). Измерительная головка СВЧ-диапазона / Комов А. Н. Опубл. в Б.И. 1971. № 16.
- А. с. 951 168 (СССР). Устройство для измерения СВЧ-мощности / Комов А. Н., Смирнова Л. М., Клычков В. А. Опубл. в Б.И. 1982. № 30.
- Kataoka S. Sensitivity of a magneto-resistance wattmeter // Proc. IRE. 1962. Vol. 50. № 8. P. 1849−1850.
- O.Koike R., Barlow H.E.M. Microwave measurement of the Magnetoresistance effect in semiconductors // Proc. IEE. 1961 Vol. 109B. № 44. P.137−144.
- П.Катаока С. Чувствительность магниторезистивного ваттметра // ТИРИ (русский перевод). 1962. № 8. С. 1894−1895.
- А. с. 381 036 (СССР) Устройство для измерения проходящей мощности. Кац Л. И., Тержова В. П., Шехтер Д. А. Опубл. в Б.И., 1973. № 21.
- А. с. 356 578 (СССР) Устройство для измерения мощности СВЧ // Кац Л. И., Шехтер Д. А. Опубл. в Б.И. 1972. № 32.
- H.Barlow H.E.M. The Design of Semiconductor Wattmeter for Power-Frequency and Audio-Frequency Application. Proc Inst. Elec. Enges. 1955.102 В. P.186.
- Barlow H.E.M. Microwave Power Measurements Trans. Inst. Radio Engrs. 1962. Т. 11.P.257.
- Могшевский Б.М., Чудновский А. Ф. Теплопроводность полупроводников. М.: Наука, 1972. 536 с.
- Каганов М. К, Шапиро А. А. О влиянии термоэлектрических сил на радиоэлектрический эффект в проводниках // ФТТ. Т. 12. Вып. 10. С.3019−3021.
- Гуляев Ю. В. О возникновении постоянной ЭДС при распространении электромагнитной волны в проводящей среде // Радиотехника и электроника. 1968. Т. 13. № 4. С.688−694.
- Перель В. К, Пинский Я. М. Постоянный ток в проводящей среде, обусловленный высокочастотным электромагнитным полем // ФТТ. 1973. Т. 15. Вып.4. С.996−1003.
- Гуревич Л. Э., Мезрин О. А. Свето- и термоэлектрические эффекты, создаваемые электромагнитной волной в проводящей среде // ФТТ. 1974. Т.16. № 3. С.773−384.
- Carter D.L., Libhaber A. Helicon induced d.c. voltage in InSb // Solid State Communication. 1964. V.2. P.313−316.
- Хайкин M. С., Якубовский А. Ю. Возбуждение постоянных разностей потенциалов полем СВЧ в висмуте // ЖЭТФ. 1971. Т.60. № 6. С.2214−2219.
- Ящин Э. Г. Радиоэлектрический эффект в висмуте // ЖЭТФ. 1975. Т.68.№ 3. С. 1127−1136.
- Гуляев С .В., Кармазин С. В., Любченко В. Е. Медленные волны и радиоэлектрический эффект в структуре полосковая замедляющая система -полупроводник// Радиотехника и электроника. 1978. Т.23. № 9. С. 1948−1955.
- Кармазин С. В. Поперечный радиоэлектрический эффект в полосковой линии передачи на слоистой подложке диэлектрик полупроводник // Радиотехника и электроника. 1983. Т.28. № 8. С. 1642−1648
- Толмачев М. М, Трифонов В. И., Новичихин Е. ПО детектировании излучения миллиметрового диапазона датчиками холловского типа //Радиотехника и электроника. 1980. Т.25. № 9. С. 1965−1972.
- Толмачев М. М., Трифонов В. И., Новичихин Е. П О детектирующих свойствах полупроводниковой пластины в прямоугольном волноводе миллиметрового диапазона // Радиотехника и электроника. 1982. № 1.С.170−172.
- Усанов Д. А., Кабанов Л. Н. Применение теории возмущений к расчету резонаторов, частично заполненными полупроводником // Физика полупроводников и полупроводниковая электроника. Саратов, 1981. С. 9396.
- Комов А. Н., Трещев В. М., Яровой Г. П. Гальваномагнитные СВЧ преобразователи. М.: Радио и связь, 2000. С. 264.
- Хилсум К, Роуз-Инс А. Полупроводники типа AmBv. М.: Иностр. Лит-ра, 1963. С. 323.
- Карамышева А. Ф. Датчик ЭДС Холла на основе мышьяковистого индия // Вестник электропромышленности. 1962. № 1. С.59−62.
- Kancellakos D. P., SchuckR. P., Todd А. С. Hall effect wattmeters // Trans. Inst. Radio Engrs. 1961. AU-9,5. № 1. P.5−9.
- Lely, J.A. II Ber. Deut. German. Ges. 1955, 32. — p. 229
- Campbell, R.B., Chang, H.C. II Semiconductors and Semimetals. 1970, 7B. — P. 625
- Vodakov, Yu.A., Mokhov, E.N., Ramm, M.G., Roenkov, A.D. II Kristal und Technik. 1979, 14.-p. 729
- Мохов, E.H., Водаков, Ю.А., Ломакина, Г. A. II Проблемы физики и технологии широко зонных полупроводников. 1979. — С. 136.
- Tairov, Yu.M., Tsvetkov, V.F. II J. Cfyst. Growth. 1978,43. — P. 209
- Tairov, Yu.M., Tsvetkov, V.F. II J. Cryst. Growth. 1979, 46. — P. 403
- Райхелъ, Ф., Таиров, Ю.М., Цветков, В.Ф. II Изв. АН СССР. Неорг. матер. -1983,19.-С. 67
- Левин, В.И., Таиров, Ю.М., Траваджян, М.Г., Цветков, В.Ф. И Изв. АН СССР. Неорг. матер. 1978,14. — С. 1062
- Barrett, D.L., McHugh, J.P., Hobgood, Н.М., Hopkins, R.H., McMullin, P.G., Clarke, R.C. И J. Cryst. Growth. 1993, 128. -C. 358
- Davis, R.F., Carter, C.H., Hunter, C.E. II USA Patent N 4, 866, 005 (Sept. 12, 1989).
- Аникин, M.M., Гусева, Н.Б., Дмитриев, В.А., Сыркин, А.Л. II Изо, АН СССР. Неорг. матер., 20,1768 (1984).
- Konstantinov, А.О., Ivanov, P A. II Silicon Carbide and Related Materials, ed. by M.G. Spencer, R.P. Devaty, J.A. Edmond, M. Asif Khan, M. Rahman (inst. Phys.: Conf. Ser. N 137- Inst. Phys. Publ., Bristol and Philadelphia, 1993) p. 37.
- Yoo W., Nishino S., MatsunamiH. Epitaxial Growth of Thick Single Crystal in Cubic Silicon Carbide by Sublimation Method. // Mem. Fac. Eng. Univ. 1987, V.49, No 1. — pp21−31
- Дмитриев, В.А., Иванов, П.А., Коркин, И.В., Морозенко, Я.В., Попов, И.В., Сидорова, Т.А., Стрельчук, A.M., Челноков, В.Е. //ЖТФ. 1985, 11.-С. 238
- Бритун, В.Ф., Дмитриев, В.А., Емельянова, И.В., Иванова, Н.Г., Попон, И.В., Чернов, М.А., Циунелис, В.Г. II ЖТФ. 1986, 56. — С. 214
- Davis, R.F., Kelner, G., Shur, M., Palmour, J. W., Edmond, J.A. И Proc. IEEE. -1991,79.-p. 677
- Nishino S., Suhara H., Ono H., Matsunami H. Epitaxial Growth and electric characteristics of cubic SiC on Silicon. // J. Appl. Phys. V.61, 1987, p.p. 48 894 892
- Kong, H.S., Glass, J.T., Davis, R.F. II J. Appl. Phys. 1988, 64. — p. 2672
- Saidov, Kh.A. Shamuratov, M.A. Kadyrov Study of Growth conditions of Silicon Epitaxial layers. M.S. // Crystal Growth, V.87,1988, p.p. 519−522
- Иванов А.Н., Челноков И. Р. Полупроводниковый SiC технология и приборы. // ФТП.-1995, т.29, № 11. — С.1921−1943
- Водаков Ю.А., Moxoe Е.Н. Диффузия бора и алюминия в n-SiC // ФТТ. -1966, т.8, в.4.-С. 1298−1299
- Сгшахин Ю.Ф., Зверев Б. П., Жумаев Н. И. и др. Исследование диффузионного распределения бора в карбиде кремния // Свойства легированных полупроводников. М.: Наука, 1977, — С.135−139
- Водаков Ю.А., Moxoe Е.Н., Прохоров Н. А. и др. Замедление дислокациями диффузии примесями в карбиде кремния // ФТТ. 1976, т. 18, № 7. — С.2101−2104
- Водаков Ю.А., Зверев Б. П., Жумаев Н. И. и др. Карбид кремния, легированный бором // ФТП. 1977, т.11, № 2. — С.373−378
- Мохов Е.Н., Зверев Б. П., Рамм М. Г. и др. Поверхностное распределение бора при диффузии ф карбиде кремния // Изв. АН СССР. Неорг. Мат. 1980, т. 16, № 12. -С.2153−56
- Вейнгер А. И, Водаков Ю. А., Козлов Ю. И и др. Примесные состояния бора в карбиде кремния // Письма в ЖТФ. 1980, т.6, № 21. — С.1319−1323
- Водаков Ю.А., Ломакина Г. A., Мохов Е. Н. и др. Особенности диффузии бора в карбиде кремния // ФТП. 1980, т. 24, в.2. — С.377−379
- Мохов Е.Н., Водаков Ю. А., Ломакина Г. А. и др. Диффузия бора в карбиде кремния // ФТП. 1972, т. 6, в.З. — С. 482−487
- Мохов Е.Н., Гончаров Е. П., Рябова Г. Н. Изоконцентрационная диффузия бора в карбиде кремния // ФТТ. 19 886 т. 30, № 1. — С. 248−251
- Константинов, А О. О механизме диффузии бора в карбиде кремния // ФТТ. 1988, т. 22, № 1. — С. 143−145
- Таиров Ю.М., Цветков В. Ф. Исследование эпитаксиальных слоев SiC, легированных алюминием // Изв. АН СССР. 1973, т. 14, № 10. — С. 17 851 789
- Гук Н.Г., Зиновьев В. Б., Сафаралиев Г. К. и др. II Изв. ЛЭТИ. 1976, в. 186. -С. 68
- Мохов Е.Н., Водаков Ю. А., Ломакина Г. А. Диффузия алюминия в SiC // ФТТ, 1969, т. И, в. 2.-С. 519−522
- Vodakov Yu.A., Mokhov Е.М. Diffusion and solubility of impurities in silicon carbide// Silicon-Carbide-1973, Columbia, SC., 1974. p. 508−519
- Водаков Ю.А., Ломакина Г. А., Мохов Е. Н. Карбид кремния, легированный алюминием и галлием // Свойства легированных полупроводников. М.: Наука, 1977.-С. 48−53
- Vodakov Yu.A., Lomakina G.A., Mokhov E.M. Silicon Carbide doped with gallium // Phys. Stat, sol.(a), 1976, 35, № 1. p. 37−42
- Мохов E.H., Усманова M.M., Юлдашев Г. Ф. и др. II Изв. АН СССР. Неорг. Мат. 1981, т. 17, № 2. — С. 258−261
- Swiderski /., szczutowski W., Niemyski Т. Preparation of nitrogen-doped and phosphorus-doped epitaxial a-SiC layers on silicon carbide crystals // J. Cryst. Growth/ 1974, 23, № 31 — p. 185−189
- Водаков Ю.А., Махмудов Б.с., Мохов Е. Н. и др. Легирование карбида кремния фосфором и индием // Легирование полупроводников. М.: Наука, 1982, — 89с.
- Вейнгер А. К, Забродский А. Г., Ломакина Г. А. и др. // ФТТ. 1986, т. 28, № 6. -С. 1659−1664
- Moxoe Е.Н., Горнушкина ЕД, Дидик В.А. и др. Диффузия фосфора в карбиде кремния // ФТТ. 1992, т.34, № 6. — С. 1956−1958
- Водаков Ю.А., Moxoe Е.Н., Одинг ВТ. Междоузельная диффузия В и Be в SiC // Изв. АН СССР. Неорг. Мат. 1983, т. 19, № 7. — С. 1086−1088
- Маслаковец Ю.П., Мохов Е.Н,. Водаков Ю. А. и др. Диффузия бериллия в карбиде кремния // ФТТ. 1968, т. 10, № 3. — С. 809−814
- Сафаралиев Г. К., Таиров Ю. М., Цветков В. Ф. Исследование растворимости и коэффициента распределения Be в SiC // Изв. АН СССР. Неорг. Мат. -1977, т. 13, № 10. С. 1763−1766
- Водаков Ю.А., Ломакина Г. А., Мохов Е. Н. Бериллий как донорная примесь в карбиде кремния // ФТТ. 1978, т. 20, № 2. — С. 448−451
- Чепурнов В.И. Способ получения карбида кремния / АС СССР № 1 436 544 от 08.07.1988.
- Чепурнов В.И., Комов А. Н., Смыслов В. И., Блатов В. Г., Соколова А. А. / АС СССР № 179 902 от 10.10.1982.
- Комов А.Н., Кочетков В. Ю., Чепурнов В. И. / АС СССР № 223 477 от 24.10.1984
- Barlow H.E.M., KataokaS. A Hall effect and its application to power measurement at lOGc/s. Proc. IEEE. 1958.Vol.105B. P. 53−60.
- Lippmann H.J., Kuhrt F. Der Geometriee flup auf den Hall-Effekt bei rechterkingen Halbleiterplatten. Z-t Naturforschung, 1958. Vol. 6. S. 474−483.
- Sikorsky S. Kobus A. Influence of the skin-effect on Hall voltage in semiconductors I I Solid-State Electronics Pergamon Press. 1968. Vol. 10. P. 10 631 068.
- Harrison R. J., Zucker J. Hat-carrier microwave detector // J. Proc. IEEE. 1966. Vol. 54. № 4. P.588−595.
- Пресс Ф. П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. М., «Энергия», 1968. 200 С.
- Ulman R., Trans N. Y. Acad. Sci., 1958, Vol. 20, P. 483.
- Anikin M.M., Rastegaeva M.G., Syrkin A.L., Chuico I.V. Ohmic contacts to silicon carbide devises. // Abstr. of 3-rd Int. Conf. of Amorph. and Crystalline SiC. USA. Washington. 1990. P.53.
- Anikin M.M., Rastegaeva M.G., Syrkin A.L., Chuico I. V. Ohmic contacts to silicon carbide devises. // Proc. of 3-rd Int. Conf. of Amorth. and Crystalline SiC, ed. by G.L. Harris etal, Springer-Verlag. Berlin. 1992. P. 183−189.
- Arnodo C., Tyc S., Wyczisk F., Brylinski C. Nickel and molybdenum ohmic contacts on silicon carbide I I Silicon carbide and Related Mat. Conf. Kyoto Japan. 1996. Ser. N142. P.577.