Методика измерения перемещений при помощи лазерных интерферометров

С О Д Е Р Ж, А Н И Е.

Стр.

1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений…3.

2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со счетом полос… …5 2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов…5 2 Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции…7.

3 Исследование погрешности измерения перемещений…10 1 Анализ основных состовляющих погрешности измерения перемещений… …10 3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха…11 3 Определение погрешности измерения расстояния…12 3.4 Определение положения ближней и дальней зоны…14.

ПРИЛОЖЕНИЯ… …15 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ … …25.

1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений.

Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена на рис. 1а.

[pic].

Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1 будем считать идеальной плоской волной.

Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отражателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фотоприемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б).

I=I0+I~* COS (4pL/l), (1).

где I0 и I~ - постоянная составляющая и амплитуда переменной составляющей сигнала соответственно; 2L — геометрическая разность хода интерферирующих пучков; l — длина волны излучения.

Расстояние от нуля интерферометра О до измерительного отражателя 4:

[pic] (2).

где P — порядок интерференции, f — фаза интерференционного сигнала I, определяемого формулой (1).

2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со счетом полос.

Метод счета полос заключается в измерении (счете) числа периодов изменения интерференционного сигнала при изменении ГРХ. Для предотвращения ложного счета вследствие механических вибраций и турбулентности воздуха осуществляют реверсивный счет, при котором определяют знак каждого счетного периода приращения порядка интерференции.

Применяют два способа реверсивного счета полос.

2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов.

Квадратурными называют два сигнала, содержащие информацию об одной и той же ГРХ, но сдвинутые по фазе на p/2:

I1(t)=I10+I1~*COS[f (t)] ,.

(3).

I2(t)=I20+I2~*SIN[f (t)] .

Фиксируя пересечения сигналами (3) среднего уровня (рис. 2б), измеряют приращения ГРХ c дискретой l/4. Знак каждой дискреты определяют по фазовому сдвигу между сигналами, который в зависимости от направления изменения ГРХ равен p/2 или 3 p /2. [pic].

На рис. 2а изображена схема ЛИС, где квадратурные сигналы получают оптическим способом. Плоскость поляризации излучения одночастотного лазера 1 составляет угол 450 с плоскостью чертежа. Фазовая пластина l/8 — позиция 3, одна из собственных осей которой лежит в плоскости чертежа, вносит в интерферометр, образованный светоделительной призмой-куб 2 и отражателями 4, разность ГРХ, равную l /4, для составляющих излучения лазера параллельной и перпендикулярной плоскости чертежа. Поляризационная призма-куб 6 разделяет эти составляющие. В результате интерференционные сигналы I1 и I2 на фотоприемниках 6 сдвинуты по фазе на p/2.

Информационный спектр сигналов (3) содержит постоянные составляющие I10 и I20. Подобные ЛИС называют системами без переноса спектра сигнала или системами «постоянного тока » .

Метод счета полос на основе квадратурных интерференционных сигналов не ограничивает скорость изменения и максимальное значение диапазона измеряемых расстояний. Время измерения в ЛИС, работающих на основе этого метода, определяется только пропускной способностью электронного тракта и может составлять сотые доли микросекунды (скорость счета полос 100 МГц), что при дискpете l/4 соответствует скорости приращения ГРХ 16 м/с. Измеряемые расстояния превышают десятки метров. Минимальную погрешность измерения расстояния определяет дискрета счета, чаще всего равная l/8. 2.2 Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции.

[pic].

На рис. 3а приведен пример схемы ЛИС. Двухчастотный лазер 1 излучает две волны с частотами n1 и n2, одна из которых поляризована параллельно, а другая — перпендикулярно плоскости чертежа. Светоделитель 2 отклоняет часть излучения каждой частоты для формирования опорного сигнала I0. Поляризационная призма-куб 3 разделяет составляющие излучения разных частот и направляет их в разные плечи интерферометра. Пластины l/4 — позиция 7, оптические оси которых составляют угол 450 с плоскостью чертежа, меняют состояние поляризации дважды прошедших пучков на ортогональное. Поляризационная призма-куб 3 обеспечивает суперпозицию пучков, возвращенных отражателями 4 и 5, в направлении I1. После поляризаторов 6, ось пропускания которых составляет угол 450 с плоскостью чертежа, в результате интерференции пучков с разными частотами образуются опорный I0 и измерительный I1 сигналы биения.

Поскольку номенклатура двухчастотных лазеров и значения разности частот, которые они обеспечивают, ограничены, в качестве источника излучения часто используют одночастотный лазер, сдвигая частоты ортогональных составляющих его излучения акустооптическими модуляторами, которые устанавливают на входе, выходе или в одном из плечей интерферометра. В этом случае опорный сигнал I0 может быть получен непосредственно из модулирующих сигналов, подаваемых на акустооптические модуляторы.

Частота частотной модуляции, аналогично частоте фазовой модуляции, ограничивает время измерения. Однако при использовании акустооптических модуляторов она может быть установлена достаточно большой, чтобы этим ограничением можно было пренебречь. Тогда время однократного измерения фазы определяется временем задержки фазоизмерительного устройства и составляет для современных ЛИС около 10 мкс .

Так как ЛИС на основе частотной модуляции обеспечивают время измерения на порядок меньше, чем ЛИС на основе фазовой модуляции, допустимые скорости изменения ГРХ в них на порядок выше. Эти ЛИС считаются в большей степени подходящими для высокоточных измерений в реальном масштабе времени. При равной погрешности они имеют несколько больший диапазон измерения ГРХ.

На основе методов прямого измерения фазы разрабатывают ЛИС для измерения медленно меняющихся во времени и незначительных по величине расстояний с высокой точностью. Основная область применения таких ЛИС — контроль профиля и шероховатости поверхностей, в том числе оптических. Другая обширная сфера применения — интерференционные датчики физических величин, изменение которых можно преобразовать в изменение еометрической или оптической разности хода интерферирующих лучей (давление и влажность атмосферы, температура, напряженность электрического и магнитного полей и др.). Частотную модуляцию интерференционного сигнала обеспечивают путем суперпозиции двух волн разной оптической частоты. В этом случае закон изменения интенсивности имеет вид.

[pic](4).

где I1 и I2 — интенсивности, n1 и n2 — оптические частоты, f1 и f2 — фазы интерферирующих волн.

Все переменные составляющие сигнала (4), кроме последней, вследствие высокой частоты не могут быть детектированы фотоприемником непосредственно.

Выбирая близкие оптические частоты интерферирующих волн, получают частоту fb= n1- n2 последней составляющей, удобную для обработки в фотоэлектронной системе. Эту частоту называют сигналом биения.

Особенность сигнала биения в том, что даже в отсутствие изменения ГРХ между интерферирующими волнами интенсивность изменяется по гармоническому закону. Если одна из интерферирующих волн проходит дополнительный геометрический путь 2L, то сигнал биения получает дополнительный фазовый сдвиг f=4pL/l, эквивалентный фазе немодулированного интерференционного сигнала на длине волны l при ГРХ интерферирующих лучей, равной 2L.

Чтобы определить ГРХ, измеряют фазовый сдвиг (рис. 3б) f (t)=2p*t*fb между опорным и измерительным сигналами биения:

I0(t)=A0 *COS[2p (n1- n2) t+(f1-f2)] ,.

(5).

I1(t)=A1 *COS[2p (n1- n2) t+(f1-f2)+ f (t)] ,.

где A0 и A1 — их амплитуды.

Вместо непрерывного измерения разности фаз между сигналами подсчитывают число биений каждого из них N0 и N1 и отслеживают разность DN=N1-N0 (рис. 3в). Если ГРХ в интерферометре не меняется, частоты опорного и измерительного сигналов равны f0=f1= u1 -u2, и DN=0. При движении отражателя 4 частота биения измерительного сигнала становится равной f1= u1- u2+Du, где Du=Df (t) / Dt. Изменение ГРХ равно 2DL= DN*l=(N1-N0)*l.

Знак при Dn зависит от направления движения отражателя 4. Связь между знаками DL и D u остается однозначной до тех пор, пока [D u]7.91 м |>0.079 м | | | p/16 |>98.87 м |>0.98 м |>9.88*10−3| | | | | |м | |Ближняя зона | p/2 |.