ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ гидростатичСскиС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ являСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…чистой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ крСмния Достоинством Смкостного сСнсора ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…чистой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ являСтся простота конструкции, высокая Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠΉ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ давлСния ΠΈ ΡΠ»Π°Π±Ρ‹ΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ благодаря ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ масла. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ гидростатичСскиС ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ гидростатичСскиС Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡ‹Ρ… эффСктивных Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΉ для Π½Π΅ΠΏΡ€Π΅Ρ€Ρ‹Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ измСрСния уровня ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ… срСд с ΠΏΠΎΡΡ‚оянной ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π² ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Ρ… Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π²ΡƒΠ°Ρ€Π°Ρ…. Благодаря ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠΌΡƒ спСктру ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² корпуса (Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ, ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»Ρ…Π»ΠΎΡ€ΠΈΠ΄, Ρ„Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠ²ΠΈΠ½ΠΈΠ»ΠΈΠ΄Π΅Π½Π°), ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ (Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ, ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠ°), Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ‚ΡŒΡΡ для измСрСния уровня Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π²ΠΎΠ΄Ρ‹, Π½ΠΎ ΠΈ Π°Π³Ρ€Π΅ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… срСд. ΠšΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡ ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ части Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ позволяСт ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π΅Π½ΡŒ вязких ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡ‚ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… срСд.

Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ ΡƒΡΡ‚Π°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π²ΡƒΠ°Ρ€Π΅ Π² Π½ΠΈΠΆΠ½Π΅ΠΉ Π΅Π³ΠΎ Ρ‚ΠΎΡ‡ΠΊΠ΅ Π½Π° ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ Π½ΡƒΠ»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ — условного Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° отсчСта. Π’ ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡ Ρ€Π΅Π·Π΅Ρ€Π²ΡƒΠ°Ρ€Π° ввариваСтся Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ приспособлСниС — Π±ΠΎΠ±Ρ‹ΡˆΠΊΠ° с Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ Ρ€Π΅Π·ΡŒΠ±ΠΎΠΉ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π°, ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€Ρƒ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° давлСния рис. 3.9, Π±ΠΈΠ². Π§Π°Ρ‰Π΅ всСго для измСрСния уровня ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ давлСния с ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ Π·Π°ΡΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ ΠΊ ΠΌΠ°Π»Ρ‹ΠΌ измСнСниям уровня Π²Π²ΠΈΠ΄Ρƒ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΡ… Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹.

Π”Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊ давлСния состоит ΠΈΠ· ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡ€Π°, модуля прСобразования сигнала сСнсора ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡΠ°. Π’ Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ распространСны тСнзомСтричСскиС сСнсоры с ΠΌΠ΅Ρ‚алличСской ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ. ВсС Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ находят СмкостныС сСнсоры с ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…чистой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ (99,9% АЬОз), ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ сСнсоры.

Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ гидростатичСского давлСния.

Рис. 3.9. Π’Ρ€Π΅Π·Π½Ρ‹Π΅ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΈ гидростатичСского давлСния: схСма ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ (a), NIVOPRESS-D (Π±) ΠΈ DMP 331 BD (Π²)

Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ срСды воспринимаСт Π½Π° ΡΠ΅Π±Ρ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° ΠΈ, Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡΡΡŒ, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Π΅Ρ‚ эту Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΡŽ входящСму Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° сСнсору.

ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия тСнзосСнсоров с ΠΌΠ΅Ρ‚алличСской ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ основан Π½Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ тСнзорСзисторов, сформированных Π² Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ крСмния Π½Π° ΡΠ°ΠΏΡ„ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ΅ (КНБ), припаянной Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Ρ‹ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ ΠΊ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π΅. Π’ Ρ€ΡΠ΄Π΅ случаСв вмСсто ΠΊΡ€Π΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²Ρ‹Ρ… тСнзорСзисторов ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ мСталличСскиС: ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅, Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅Π²Ρ‹Π΅ ΠΈ Π΄Ρ€. ΠŸΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ дСйствия тСнзорСзисторов основан Π½Π° ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡ‚Π½ΠΎΠ°ΠΌ явлСнии тСнзоэффСкта Π² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°Ρ…, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ выраТаСтся Π² Ρ‚ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π΅Π³ΠΎ элСктричСскоС сопротивлСниС увСличиваСтся. ВСнзорСзисторы соСдинСны Π² ΠΌΠΎΡΡ‚ Витстона. Под дСйствиСм давлСния измСряСмой срСды ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° прогибаСтся, тСнзорСзисторы Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ. Π˜Ρ… ΡΠΎΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ измСняСтся, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Ρ€Π°Π·Π±Π°Π»Π°Π½ΡΡƒ моста. Разбаланс ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡƒΡŽ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ ΡΡ‚Π΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ рСзисторов ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, ΠΎΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π΅ давлСния. Разбаланс моста прСобразуСтся элСктроникой Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ° Π² Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ сигнал ΠΈ Π² Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ΄ для Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π° Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π° Π΄ΠΈΡΠΏΠ»Π΅ΠΉ. ΠœΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° ΠΈ ΠΊΠΎΡ€ΠΏΡƒΡ сСнсора ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ, Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡƒΡŽ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ крСмнийорганичСской ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ.

ΠŸΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ сСнсоры с Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ элСмСнтами Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ монокристалличСского крСмния Π² Π½Π°ΡΡ‚оящСС врСмя ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΠ»ΠΈ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎΠ΅ распространСниС. Они ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ с ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ КНБ структур ΠΏΠΎΡ…ΠΎΠΆΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΈ Π² Ρ‚ΠΎ ΠΆΠ΅ врСмя ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π½Π° ΠΏΠΎΡ€ΡΠ΄ΠΎΠΊ Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΡƒΡŽ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ, Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ устойчивы ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ ΡƒΠ΄Π°Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΎΠΊ.

Π”Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΈΠΏ сСнсора прСдставляСт собой ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρƒ ΠΈΠ· ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡ€ΠΈΡΡ‚алличСского крСмния с Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π½Π° Π½Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Π°ΠΌΠΈ. ΠŸΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ соСдинСны Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠΎΡΡ‚ Витстона. ΠšΡ€ΠΈΡΡ‚Π°Π»Π» Π˜ΠŸΠ” прикрСпляСтся ΠΊ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚ричСскому основанию Π»Π΅Π³ΠΊΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠΌ стСклом ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ сращивания. Π§ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты Π² Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°Ρ… Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ вовсС, Π»ΠΈΠ±ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Ρ‹ лишь слоСм силиконового гСля. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠΈ агрСссивных срСд Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ элСмСнт размСщаСтся Π² Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ мСталличСском корпусС, с Ρ€Π°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΠ°Ρ„Ρ€Π°Π³ΠΌΠΎΠΉ ΠΈΠ· Π½Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π²Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ стали, ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ измСряСмой срСды Π½Π° Π˜ΠŸΠ” посрСдством крСмнийорганичСской Тидкости. Основной нСдостаток Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ² с ΠΏΡŒΠ΅Π·ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌΠΈ сСнсорами являСтся ΠΈΡ… ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ нСвысокая ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ рабочая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° измСряСмой срСды, ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‰Π°Ρ Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 150 Β°C.

Емкостный сСнсор Π² Π΅Π³ΠΎ соврСмСнном Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π΅ прСдставляСт собой кондСнсатор, ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ диэлСктричСской ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡ΠΊΠΎΠΉ сСнсора, ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ мСталличСского корпуса, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ элСктродами, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΌΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΎΠΊ кондСнсатора, ΠΈ ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ мСталличСской ΠΈΠ»ΠΈ кСрамичСской ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ. ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡ‚Π²ΠΎ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ силиконовым маслом, слуТащим для ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ давлСния Π½Π° ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρƒ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ для увСличСния Смкости кондСнсатора. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ разности Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π½Π° ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° дСформируСтся, ΠΈ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌΠΈ измСняСтся. Π˜Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Смкости производится элСктронным ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»Π΅ΠΌ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠ΄ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΊ ΠΎΠ±ΠΊΠ»Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ сСнсора. ΠŸΡ€Π΅ΠΈΠΌΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π°ΠΌΠΈ Смкостного ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏΠ° измСрСния ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΡΡ€Π°Π²Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ простая (Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΉ взгляд) конструкция сСнсора, достаточно высокая Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (Π”Π‘/Π‘ = 15…20%).

ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ являСтся ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…чистой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ крСмния Достоинством Смкостного сСнсора ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅Ρ€Ρ…чистой ΠΊΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΠΊΠΈ являСтся простота конструкции, высокая Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Π°Ρ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠΉ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ давлСния ΠΈ ΡΠ»Π°Π±Ρ‹ΠΉ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌ благодаря ΠΎΡ‚ΡΡƒΡ‚ΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ масла. ΠšΠ΅Ρ€Π°ΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ Ρ…имичСски-агрСссивным срСдам ΠΈ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΊ ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ€Π°Π½ΠΈΡŽ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ Ρƒ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚Π½Ρ‹Ρ… кСрамичСских сСнсоров отсутствуСт эффСкт прямого ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ…ΠΎΠ΄Π°. Они Π² ΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅ΠΉ стСпСни ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΅Π½Ρ‹ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ гидравличСских ΡƒΠ΄Π°Ρ€ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π° Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС просто приТимаСтся ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ сСнсора.

Емкостной сСнсор, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π΄Π°Π»Π΅Π΅ Π½Π° Ρ€ΠΈΡ. 3.10 (справа) для ΠΏΠΎΠ³Ρ€ΡƒΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ΠΌΠ΅Ρ€Π°, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ нСсколько Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΡƒΡŽ ΠΊΠΎΠ½Ρ„ΠΈΠ³ΡƒΡ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ. ΠœΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Π°, являясь элСмСнтом Смкостного сСнсора, подвСргаСтся Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡ‚Π²ΠΈΡŽ измСряСмой срСды ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ся ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… Π½Π΅ΠΏΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΠ½Ρ‹Ρ… пластин с Π·Π°Π·ΠΎΡ€ΠΎΠΌ. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ пластинами измСняСтся.

Π’ Ρ†Π΅Π»ΠΎΠΌ, ΠΊ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠ°ΠΌ Смкостных сСнсоров ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ отнСсти:

  • β€’ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ сигнал сСнсора;
  • β€’ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ гистСрСзис (ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠΏΡ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… свойств ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹);
  • β€’ сильноС влияниС статичСского давлСния (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ измСнСния диэлСктричСской проницаСмости Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Тидкости);
  • β€’ сущСствСнноС влияниС Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ (Π·Π° ΡΡ‡Π΅Ρ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ элСмСнтов сСнсора ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ диэлСктричСской проницаСмости);
  • β€’ нСдостаточная ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (ΠΈΠ·-Π·Π° «ΡƒΡΡ‚алости» ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹);
  • β€’ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ (рСзонансная частота ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΠΌΠ±Ρ€Π°Π½Ρ‹ находится Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… спСктра ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹ΡˆΠ»Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π²ΠΈΠ±Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΉ).
ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ