ΠΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΉΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΡΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΠ° ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π°Π½Π΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠΌ.
ΠΠ΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ
ΠΠ΅ΠΊΠΎΠ³Π΅ΡΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Ρ—n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ.
Π Π°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄Π²Π° ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ° Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°: ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ.
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΏΠΎΠ½ΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ Ρ—ΠΏ-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠ° ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π±Π΅Π·ΡΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½ΠΎΠ².
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½ Π² Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Ρ Π² Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΈ Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π° Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π² ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠΉ. ΠΡΠ²ΠΎΠ΄ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠΏΠ΅Π½Π΄ΠΈΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ Π³Π΅ΡΡΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΠΉ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ. ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΉ Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠ»Π° Π²ΡΡΠ΅Π΄ΡΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΡΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ — 40%. ΠΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ — 10~*—10″9 Ρ.
Π£Π΄Π°ΡΠ½Π°Ρ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Ρ—n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π° Π΄ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π΅Π½, ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ. ΠΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ
GaAs, InAs, ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
GaAS|_rPr, Ga^Al^As. Π£ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ΅ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π΅Π½ΡΡΠ²Π° ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠ° Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ° Π²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ Ρ ΡΠΎΡ
ΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 3.3).
Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΠΎΠΌΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π² ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ
ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠΌ Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ.
Π Π½ΡΠΏΡΡΠΌΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ
ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ², Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°Ρ
Π²Π°ΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π° ΠΊ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΊΡΠ»ΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΈΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΡΠ³ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠΊΠ°. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄.
Π ΠΈΡ. 8.1. Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ².
Π ΡΠ΅Π»ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΡΠΌ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² III ΠΈ V Π³ΡΡΠΏΠΏ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡ. 8.1.