Ротационные насосы. 
Технология обработки материалов. 
Оборудование электронно-лучевых комплексов

Пластинчато-роторный вакуумный насос — вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора; при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимися объемами.

Пластинчато-роторный насос (см. рис. 5.16, а) состоит из цилиндрического корпуса 8 с впускным патрубком 5. Внутри корпуса эксцентрично расположен ротор 7, в пазах которого установлены пластины 6, подпружиненные пружиной 2. Для удаления воздуха или газа предусмотрен выходной патрубок 4, который для предотвращения попадания масла в рабочую камеру снабжен клапаном 3. Ротор насоса приводится в движение электродвигателем переменного тока. Насос снабжен газобалластным устройством I.

При вращении ротора 7 под действием центробежных сил пластины 6 прижимаются к корпусу, обеспечивая в процессе одного оборота изменение объема рабочей камеры насоса. Начальное прижатие пластин 6 обеспечивается пружиной 2. Для повышения быстроты действия в роторе насоса устанавливают несколько пластин (многопластинчатые роторные насосы), а для снижения предельного давления в одном корпусе последовательно размещают две рабочие камеры (двухступенчатые роторные насосы).

Пластинчато-статорный вакуумный насос — вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора; при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимися объемами.

Пластинчато-статорный насос (см. рис. 5.16, б) имеет цилиндрический корпус 1 с впускным 7 и выпускным 3 патрубками. Последний имеет клапан 4. В корпусе эксцентрично расположен ротор 2. Через прорезь в статоре в камеру введена пластина 5, которая прижимается пружиной 6.

При вращении ротора за первый оборот происходит всасывание газа в рабочую камеру, а за второй — удаление газа в атмосферу или в насос предварительного разрежения. Прижатием при помощи пружины 6 пластины 5 к ротору 2 обеспечивается герметичное разделение областей всасывания и сжатия откачиваемого газа.

Рис. 5.16. Схемы пластинчато-роторного (а) и пластинчато-статорного (б) насосов:

пластинчато-роторный насос (а): 1 — газобалластное устройство;

• 2 — пружина; 3 — клапан, предотвращающий попадание масла в рабочую камеру; 4 — выходной патрубок (для удаления воздуха или газа); 5 — впускной патрубок; б — пластина; 7 — ротор; пластинчато-статорный насос (б):
• 1 — цилиндрический корпус; 2 — ротор; 3 — выпускной патрубок; 4 — клапан;
• 5 — пластина; 6 — пружина; 7 — впускной патрубок

Основные характеристики форвакуумных механических ротационных насосов приведены на рисунке 5.17, а их технические характеристики — в таблице 5.4. У механических форвакуумных насосов коэффициент использования АТ_и ~ 0,8—0,9.

Рис. 5.17. Характеристики механических форвакуумных насосов

Таблица 5.4

Основные технические характеристики форвакуумных механических ротационных насосов.

Таблица 5.4 (продолжение)