Принцип действия преобразователя
Конструкция преобразователя наиболее часто применялась в области измерения малый и средних давлений. Тензорезисторный преобразователь силы работает на основе тензоэффекта. Его чувствительные элементы (тензорезисторы) изменяют свою электропроводность (электрическое сопротивление) при изменении объёма или напряжённого состояния, под действием нагрузки. Уравнение преобразования в общем виде выглядит так: R = с l / S, где Rсопротивление проводника, с — удельное сопротивление проводника (материала), Sплощадь поперечного сечения, l — длинна проводника.
Структурная схема установки, предназначенной для определения функции преобразования тензорезисторного преобразователя, представлена на рис. 8.
Рисунок 8. Структурная схема тензорезисторного датчика.
Основные параметры и характеристики преобразователя
Конструкция преобразователя разрабатывалась в соответствии с проведёнными расчетами, включающими в себя расчёты характеристик преобразователя при номинальных размерах и размерах элементов, соответствующих граничным условиям допусков, и функции преобразования по заданным исходным данным. Кроме того содержатся расчеты погрешностей, возникающих во время работы преобразователя.
Тензорезисторы характеризуются рядом параметров, основными из которых являются:
- 1) тензочувствительность Sт;
- 2) номинальное сопротивление R;
- 3) допустимая деформация Едоп;
- 4) погрешность преобразования д.
Тензоэффект характеризуется величиной тензочувствительности, устанавливающей связь между относительным изменением сопротивления и относительной деформацией в направлении измерений .
Тензочувствительность материала характеризуется зависимостью.
ST =, (2).
где; R; ДR; Д — длина и сопротивление тензочувствительного элемента и их приращение в следствии деформации;
Для кремния ST = 170.
Коэффициент Пуассона для металлов и сплавов, из которых изготовляют тензорезисторы, в области упругих деформаций лежит в пределах 0,24 — 0,42. Важным свойством полупроводниковых тензорезисторов является практически линейная зависимость сопротивления от деформации и температуры, поэтому отпадает необходимость применения специальных средств для компенсации нелинейности.
Номинальное сопротивление тензорезистора — сопротивление между его выводами при заданной температуре окружающей среды в отсутствии механических нагрузок.
Величина номинального сопротивления полупроводниковых тензорезисторов — 50- 50 000 Ом.
Одной из важных характеристик тензорезисторов является допустимая деформация Едоп. Её превышение приводит к появлению остаточных деформаций и даже обрыву проволочных проводников и разрушение пластины полупроводниковых преобразователей. Для тензорезисторов Едоп =3ч5•10-3.
Максимально возможное изменение сопротивления у полупроводниковых тензорезисторных преобразователей составляет: при Sт=100.
=30%.
Полупроводниковые тензорезисторы имеют большой динамический диапазон изменения сопротивления и поэтому могут вырабатывать значительный сигнал, не требующий усиления.