ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ВСрмичСскиС способы испарСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° для развития ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² производства Π½Π°Π½ΠΎΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… структур ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Слях ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, сСнсорах ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… устройствах. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ, производствС ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… экранов, ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств ΠΈ Ρ‚. Π΄. Однако, это всС ограничиваСтся слишком высокой ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ВСрмичСскиС способы испарСния Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

ΠŸΡ€ΠΈ тСрмичСских ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π°Ρ… ΠΏΠΎΡ‚ΠΎΠΊ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° напыляСмый Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ находится ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅, создаСтся сублимациСй ΠΈΠ»ΠΈ тСрмичСским испарСниСм Π±Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ тСрмичСского Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°, ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ напылСния, испарСния ΠΏΠΎΠ΄ дСйствиСм ускорСнных элСктронов, Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ»ΠΈΠ·Π°.

Π‘ΠΎΠΌΠ±Π°Ρ€Π΄ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π° «Π³ΠΎΡ€ΡΡ‡ΠΈΠΌΠΈ» Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° сопровоТдаСтся ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ дСструкции ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ностных слоСв, Π° ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΈ Π³Π»ΡƒΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ процСссами химичСского взаимодСйствия ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π°Ρ‚ΠΎΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ Π³Ρ€ΡƒΠΏΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π°.

НапылСниС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅

ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ Π² Ρ‚Π»Π΅ΡŽΡ‰Π΅ΠΌ разрядС (Π² Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅) инициируСтся ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»Π°ΠΌΠΈ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ с Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ высокой энСргиСй. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установок ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ синтСза ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 5. ΠŸΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² (концСнтрация ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ²) ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ являСтся слишком Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ (, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π΅ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎ, Π½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ для образования Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ.

БущСствСнноС ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… способов образования ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ формирования ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ…, ΠΏΠΎΡ‡Ρ‚ΠΈ Π±Π΅Π·Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ…. Π•Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ Π½Π΅ΠΌΠ°Π»ΠΎΠ²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ являСтся Ρ‚ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ полимСризация Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ повСрхностной ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡ„ΠΈΠΊΠ°Ρ†ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅Π½Π° Π²Ρ‹Π±oΡ€ΠΎΠΌ ΠΌaΡ‚Π΅Ρ€ΠΈaΠ»a ΠΈ Ρ„oΡ€ΠΌoΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ. ПослСднСС Π΄Π°Π΅Ρ‚ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ микрокапсулированныС Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ частицы ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ΄ΠΎΠΏΠΈΡ€ΠΎΠ²aΠ½Π½Ρ‹e ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ.

Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ способны Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… соСдинСний ΠΈ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΠΎΠΌ испарСнии ΠΌeΡ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². Π’ ΠΊΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ простыС соСдинСния, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ, Π±Π΅Π½Π·ΠΎΠ», Ρ…Π»ΠΎΡ€Π±Π΅Π½Π·ΠΎΠ» ΠΈ Ρ‚Π°ΠΊ Π΄Π°Π»Π΅Π΅. Часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ смСси Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠ² с Π°Ρ€Π³ΠΎΠ½ΠΎΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠΎΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚, измСняя ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ разряда (Ρ‚ΠΎΠΊ, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, врСмя ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ) ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄Ρƒ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π°.

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠ°ΡŽΡ‚ сразу Π΄Π²Π° процСсса: ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ (дСструкция), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π²ΡˆΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π°. Π‘ΠΎΠΎΡ‚Π½ΠΎΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ процСссами Π½Π° ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ участкС опрСдСляСтся энСргиСй Π²ΠΎΠ·Π±ΡƒΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… частиц, ΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ, Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ повСрхности ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π°. Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установки ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 5 [6].

Рисунок 5 — Π‘Ρ…Π΅ΠΌΠ° установки (Π°) ΠΈ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π° (Π±) для отлоТСния Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… частиц Π½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅: 1 плазмСнная ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π°; 2 субстрат; 3 источник ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π°; 4 элСктроды; 5 Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½Ρ‹ΠΉ насос; 6 ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰Π°Ρ стойка

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ эффСктивСн Π² ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ с ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ процСссами создания Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. Однако, нСдостатком этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° являСтся Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ сочСтания управлСния скорости распылСния ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Π° ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡ Π΅Π³ΠΎ Π² Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€.4.6 Π—ΠΎΠ»ΡŒ-гСль ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π—ΠΎΠ»ΡŒ-гСль-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ примСняСтся Π² Ρ€ΡΠ΄Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ. Π—ΠΎΠ»ΡŒ-гСль тСхнология — ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡ„Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ синтСза Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π’ Π½Π°Π½ΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΠ½ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ для получСния оксидов ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ². Но, ΠΏΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ этого, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ использован для синтСза Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π½Ρ‹Ρ… бимСталличСских ΠΈ Π³Π΅Ρ‚СроэлСмСнтных частиц. Π’Π°ΠΊ, восстановлСниС ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ², Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ 733 923 K ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ ΠΊ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΡ†Ρ‹ [10].

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ»Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ синтСз — ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡƒΡΠΏΠ΅ΡˆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠΎΠ² золь-гСль Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΌ трСбованиям:

  • 1 ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ ΠΈ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ° кристаллитов ΠΈΠ»ΠΈ кристаллов;
  • 2 Π£Π·ΠΊΠΎΠ΅ распрСдСлСниС Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π° ΠΏΠΎΡ€ Π² Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅;
  • 3 Π€ΠΎΡ€ΠΌΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ»ΡΡ€Π½ΠΎΠΌ ΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ спСцифичСской структуры Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π°, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° с Π°Π½ΠΈΠ·ΠΎΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π° ΠΌΠ΅Π·ΠΎΡƒΡ€ΠΎΠ²Π½Π΅ (10 1000 Π½ΠΌ) [11].

Π—Π°ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅

Π’ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΈ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½Ρ‹ Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ получСния ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π° Ρ‚Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΈΡ… ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡ‚Π²Π°.

Π”Π°Π»ΡŒΠ½Π΅ΠΉΡˆΠ΅Π΅ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ элСктроники Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ тСсно связано с ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Помимо всСго, ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ пСрспСктивным ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ стабилизации наночастиц являСтся Π²Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ наночастиц Π² ΠΌΠ°Ρ‚Ρ€ΠΈΡ†Ρ‹ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ². ΠžΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΡƒΡŽ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ ΠΈΠ·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€Π΅Π½Π½Π΅ΠΉ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠΉ структуры наночастиц. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, для создания Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… высокоупорядочСнных Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… наноструктурированных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² с ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ свойствами трСбуСтся Ρ€Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° эффСктивных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ наночастиц.

ΠœΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ… областях. ОсобСнно Π² ΡΠΏΠΈΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ области элСктроники, которая ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π΄Π΅Π»ΠΎ с Π·Π°Ρ€ΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΏΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈ. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Ρ‹ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ½Π΅. ΠœΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ наночастицы Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π² Π½Π°Π½ΠΎΠ±ΠΈΠΎΡ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ.

На Π΄Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚ сущСствуСт ΠΎΠ³Ρ€ΠΎΠΌΠ½ΠΎΠ΅ мноТСство способов синтСза Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

Π Π°Π·Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° для развития ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² производства Π½Π°Π½ΠΎΠΎΡ€Π³Π°Π½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… структур ΠΈ ΠΈΡ… ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Слях ΠΈΠ½Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ, сСнсорах ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… устройствах. Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅, Π½Π°Π½ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΏΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Ρ‹ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ, производствС ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… экранов, ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… устройств ΠΈ Ρ‚. Π΄. Однако, это всС ограничиваСтся слишком высокой ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ производства. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Π΅Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°ΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ являСтся поиск экономичСски Π²Ρ‹Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² синтСза ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ