Перспективы. 
Основы сканирующей зондовой микроскопии

Как уже было сказано, метод Атомно-силовой микроскопии может быть использован для производства ЗУ с терабитной плотностью записи. Так специалисты IBM разработали специальную матрицу кантилеверов 32×32 штуки, что позволяет одновременно проводить литографию тысячей кантилеверов. Метод позволяет узнать качественно новую информацию не только о поверхности, но и о приповерхностных слоях, — это приведет к развитию диагностики в различных направлениях, — магнитная диагностика АСМ, электростатическая, электропроводная и т. п.

Пленка ориентированного полиэтилентерефталата (ПЭТФ) размещалась в специальном зажиме, на который сверху устанавливалась АСМ. Проводилось сканирование участка поверхности вблизи заметного в оптический микроскоп дефекта, затем образец деформировался. Специальная система винтов позволяла корректировать положение АСМ так, чтобы после деформации можно было вновь исследовать его.

Современная атомно-силовая микроскопия активно используется во всем мире для исследования как полупроводников, так и любых других материалов. Очень широкое развитие она получила по исследованию вирусов, клеток, генов в биологии, — там с ней связывают большие надежды. Интересным является возможность использовать АСМ для литографии, — как механического царапания поверхности шипом, так и окисления поверхности под шипом при подаче на иглу потенциала. Это открывает большие возможности по использованию самого метода СЗМ для нужд нанолитогафии [2].