Π€ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ°
ΠΠ€Π ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΡΠΈΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌ Π‘ΠΠ‘ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ Π€ΠΠ. Π’Π°ΠΊ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°Π»ΡΡ Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°Ρ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΠΠ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
Π€ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ° (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
ΡΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡ Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π° ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ: ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ. Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ, ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ (ΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΠΎΠ΄Π°) Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ΅ (ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΠ±) Π΄ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΠΊΡΡΡΠ΅ Π·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π½Ρ Π±ΡΠ»Π° Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ. Π§Π°ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π°ΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ: ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΎ (Π½Π° Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π½Π΅ΠΉ) — ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠΌΠΈ Π°ΠΊΠΊΡΠΌΡΠ»ΡΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΎ (Π½Π° Π·ΠΈΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄) — Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΡΡ 1 Π·Π° Π΄Π΅Π½Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΡ 50−70 Π» Π²ΠΎΠ΄Ρ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 80−90Ρ Π‘. Π Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ Π³Π΅Π»ΠΈΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΡΠ½Π°Π±ΠΆΠ°ΡΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠΌΠ° Π² ΡΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ°ΠΉΠΎΠ½Π°Ρ .
Π Π²ΡΠ΅ ΠΆΠ΅ Π±ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ — Π·Π° ΠΏΡΡΠΌΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² — ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ. ΠΡΠ΅ Π² 30-Ρ Π³ΠΎΠ΄Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠΏΠ΄ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΅Π΄Π²Π° Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ» Π΄ΠΎ 1%, ΠΎΠ± ΡΡΠΎΠΌ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠ» ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ Π€ΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΎ-ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΠΈΡΡΡΠ° (Π€Π’Π) Π°ΠΊΠ°Π΄Π΅ΠΌΠΈΠΊ Π. Π€. ΠΠΎΡΡΠ΅. ΠΡΠ΅Π΄Π²ΠΈΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠΏΠ»ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π² ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ 1950;Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Ρ Π·Π°ΠΏΡΡΠΊΠΎΠΌ ΠΈΡΠΊΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΠ΅ΠΌΠ»ΠΈ, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»ΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ.
Π ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Ρ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Ρ Ρ-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΡΠ°: Π² Ρ-ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅ΡΡΡ «Π΄ΡΡΠΎΡΠ½Π°Ρ» (ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ) ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, Π° Π² n-ΡΠ»ΠΎΠ΅ — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ (ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ). ΠΠ° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°ΡΡΠ΅Ρ, ΠΏΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ (ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ «Π΄ΡΡΠΎΠΊ») ΠΈΠ· ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ (Π² ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΊ Π½Π΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΡ). ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΆΠ΅ Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅Ρ (ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ²), ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΡ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ ΠΏΠ°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½-" Π΄ΡΡΠΊΠ°", ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅, ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΊ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π², ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π±Π°ΡΡΠ΅Ρ, Π΄Π°Π²Π°Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ Π±Π΅ΡΠΏΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΡ Π² ΡΠ»ΠΎΠΉ. Π ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠ°Ρ ΡΠΈΠ»Π° (ΠΠΠ‘), ΠΈ ΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΠΎΡΠΎ-ΠΠΠ‘ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ.
ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ²ΡΠ΅ΠΉΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠΠΠ‘ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ (ΠΠΠ₯) (ΡΠΈΡ. 2):
Π ΠΈΡ. 2 ΠΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½Π°Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 3 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. ΠΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄, ΡΠΎΠΊ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°Π²Π΅Π½ Is (-1). P-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ ΡΡΠ½ΡΠΈΡΡΠ΅Ρ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ, ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. Π Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ (ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ R) ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊ I.
Π£ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ₯ ΡΠΏΡΠ°Π²Π΅Π΄Π»ΠΈΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊΠ° Iph. ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΡΠ±ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅, ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΊΠΎΠΉ, Π° (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 2).
Π ΠΈΡ. 3 ΠΠΊΠ²ΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½Π°Ρ ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΠ°Ρ Ρ 1, ΡΠ°Π²Π½Π°.
P = IphΒ· U = xΒ· IΠΊΠ·Β·UΡ Ρ , (1).
Π³Π΄Π΅ x — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ Π·Π°ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»ΡΡ-Π°ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ, IΠΊΠ· — ΡΠΎΠΊ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΠΌΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ, UΡ Ρ — Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠ΄Π°.
ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ (Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ) ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ° (ΠΈΡ ΠΊΠΏΠ΄ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 10−20%), Π° ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΠΊΠΏΠ΄, ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄Ρ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΈ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ². ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π»Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ², ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΏΠ΄ Π΄ΠΎ 40%. ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΠΈ — ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΈ ΡΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ: Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΠ°Π½Π΅Π»Π΅ΠΉ, ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². Π‘Π°ΠΌΡΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΡΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ-Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ-ΠΌΡΡΡΡΠΊ, Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ. ΠΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Ρ ΠΎΡΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π² Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π° Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ². ΠΠ° ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ ΠΈ ΠΈΡ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡ Π. Π€. ΠΠΎΡΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ Π€Π’Π Π°ΠΊΠ°Π΄Π΅ΠΌΠΈΠΊ Π. Π. ΠΠ»ΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π² 2000 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΠΎΠ±Π΅Π»Π΅Π²ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΌΠΈΡ (ΡΠΌ. «ΠΠ°ΡΠΊΠ° ΠΈ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ» № 4, 2001 Π³.). Π€ΠΠ (ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΠΈ) Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΡΡΡΡΠΊΠ° Ρ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅ΠΌ (GaAs), ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π€ΠΠ, ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Ρ Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ =1,4 ΡΠ. Π£ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΡΠΎΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ =1,1 ΡΠ. ΠΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΡΠΌΡΠΌΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π² GaAs, Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠ΅ ΠΠΠ Π€ΠΠ Π½Π° ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π΅ Π€ΠΠ. ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΠ€Π 5−6 ΠΌΠΊΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠΠ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 20%, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π½Π΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 50 — 100 ΠΌΠΊΠΌ Π±Π΅Π· Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΠΠ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡ Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π»ΡΠ³ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΠ€Π, Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ°Π»ΠΎ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π΅ΡΠ»ΠΈ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΡΡΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ GaAs, Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π», Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡ (Al2 O3).
ΠΠ€Π ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΡΠΈΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠΌ Π‘ΠΠ‘ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠΌΠΈ Π€ΠΠ. Π’Π°ΠΊ, Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°Π»ΡΡ Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π°Ρ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΡΡ Π³ΡΠ°Π΄ΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΠΠ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠ€Π ΠΈ, ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΎΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΠΠ ΠΠ€Π ΠΎΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎ 150−180 Β°Π‘ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡ ΠΠΠ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ. Π ΡΠΎ ΠΆΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π€ΠΠ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΠ΅ 60−70 Β°Π‘ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ — ΠΠΠ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π²Π΄Π²ΠΎΠ΅.
ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄-Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π€ΠΠ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡ ΠΊ Π½ΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π Π°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΠ€Π Π½Π° GaAs Π΄ΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄ΠΎ 180 Β°C, ΡΡΠΎ ΡΠΆΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, ΠΏΠ°ΡΠΎΡΡΡΠ±ΠΈΠ½. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΊ 30-ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌΡ ΠΠΠ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄-Π³Π°Π»Π»ΠΈΠ΅Π²ΡΡ ΠΠ€Π (ΠΏΡΠΈ 150Β°C) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±Π°Π²ΠΈΡΡ ΠΠΠ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ±ΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠΈΠΉ ΠΠΠ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅Ρ ΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠΊΠ» ΠΎΡΠ±ΠΎΡΠ° Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΏΠ»Π° Ρ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΠΎΠ±ΠΎΠ³ΡΠ΅Π² ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ — ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ 50−60%.
Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΠ€Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π€ΠΠ, ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ Π²ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ° Π² GaAs, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΠΈ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π½Π΅ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ. ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΠ€Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs ΠΈΡΡΠ΅Π·Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ (ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π°) ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ°Π· ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 150−180 Β°Π‘. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΠ€Π ΠΈΠ· GaAs Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 150 Β°C, ΡΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅Π³ΡΠ°Π΄Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΡ ΠΠΠ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠΎΠΊΠ° Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π½ΡΠΈΠΉ (ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ, Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²Π°ΠΆΠ΅Π½ ΠΌΠ°Π»ΡΠ΅ Π²Π΅Ρ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ Π€ΠΠ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΠΠ).
Π ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΠ€Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Π² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ Π‘ΠΠ‘ ΠΈ Π‘ΠΠΠ‘ (ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡ.), ΡΠ΅ΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π€ΠΠ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, ΠΈ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π€ΠΠ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½Π½Ρ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π€ΠΠ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΡΠ΅ΡΡΡ. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π€ΠΠ Π½Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ — Π΄Π²Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π°, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΡ Π² ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π»Π΅Π½ΡΡ, ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ ΠΈ Ρ. ΠΏ.
Π‘ΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠΠ Π² ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΡΡ Π½Π° ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 12%, Ρ ΠΎΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ ΠΈ 18%. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ, ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ Π½Π° ΠΊΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠΌΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½ ΠΌΠΈΡΠ°.
Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π΄Π΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΠ€Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Π² ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ , Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°Π»Π»ΠΈΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π±ΠΎΠΊΡΠΈΡΠΎΠ², ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ³ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ»Ρ ΠΈ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Ρ. Π‘Π°ΠΌΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΏΠ°ΡΡ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡΡ Π² ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ΄Π΅, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΌ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° Π½Π΅Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠ°, Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ·Π²Π»Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² 1% ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Π·Π°ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π±ΡΠ΄ΡΡ, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠ΅Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌΠΈ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΠ€Π Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaAs Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ (ΠΎΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠ° Π΅ΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ Π€ΠΠ ΠΈ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΠ€Π ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ (Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΈ) ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π€ΠΠ ΠΈΠ· ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ ΠΈ Π³Π΄Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΡ, ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° ΠΈ ΠΠΠ, Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ»Π½. Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ. ΠΡΠ΅Π½Ρ Π²Π°ΠΆΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π‘ΠΠ‘ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Π² Π€ΠΠ Π½Π΅ ΡΠ΅ΡΡΡΡ ΠΠΠ ΠΏΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ Π² 3−5 ΡΠ°Π· ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΡΡΠΈ Π² Π΄Π΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ Π³Π°Π»Π»ΠΈΠΈ. ΠΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅Π·Π΅ΡΠ² ΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΠΈ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΠ€Π Π½Π΅ GaAs, Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΠ° (Al2O3).Π‘ΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΠ€Π ΠΏΡΠΈ ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ ΡΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎ, ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½Π°, ΠΈ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π‘ΠΠ‘ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΠ€Π ΠΈΠ· GaAs ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΡΠΎΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ.
Π’Π΅ΡΠΌΠΎΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, Ρ. Π΅. ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ (ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ) ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΅ΠΊ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎ Π² 1960 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΈ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ, ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ·ΠΊΠΎΠ·ΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². Π ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠ΅ (ΡΠΈΡ.) ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈΠ· ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎΠ·Π΅ΠΌΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² — ΡΡΠ±ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΡΡΠ΅ΡΠ±ΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Π²Π½ΠΎΠ²Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π² ΡΠ·ΠΊΠΎΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅. ΠΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ InxGa1-xAs, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ.
Π ΠΈΡ. 4 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΈΠ·Π½Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠΈΡΠ΅ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΈ — ΡΡΠΎ ΡΠ° Π±Π°Π·Π°, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΠΊΡ.