ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏ III (Al, Ga, In) ΠΈ V (N, P As, Sb) ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½Ρ Ρ 1950 Π³ΠΎΠ΄Π°, Π° Π² Π½Π°ΡΠ°Π»Π΅ 1960;Ρ
Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½Ρ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΡ ΠΆΠ΅ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ
Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ· Π²ΡΠ΅Ρ
ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π³ΡΡΠΏΠΏ III-V Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ InP ΠΈ GaAs, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π² 1,4 ΡΠ. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π±ΡΠ»Π° Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΠ° Π½Π° ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°Ρ
, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ°Π·Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ: 25,8% Π΄Π»Ρ GaAs ΠΈ 21,9% Π΄Π»Ρ InP.
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Π½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°Ρ
ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ III-V Π³ΡΡΠΏΠΏ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ
ΡΠΏΠΈΡΠ°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡ ΡΡΠΈΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π° ΠΊ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌ ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠ°ΠΌ, ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠΎΡΡΠΈΡΡ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΡ
ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠ΅Π΅ΠΊ. ΠΡΡ
ΠΎΠ΄ ΠΈΡ
ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ: ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠ΅ΠΉΠΊΠΈ Ρ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΠΌΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΈ Π½Π° Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π²ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π»ΠΈΠ½Π·Π° Π€ΡΠ΅Π½Π΅Π»Ρ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΊΠΎΡΠ΄ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΡΡΡΠΉ Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ Ρ ΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π² 364 ΡΠ°Π·Π°, ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 41,6% (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 1). Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ 3 ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΡΠ΄ΠΎΡΠΎΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² Ρ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΌΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ — Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ.
Π ΠΈΡ. 1. ΠΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ° [1]