ΠΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π‘Π ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ. Π ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ, ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π²Π½Π° ΡΠΈΡΠΈΠ½Π΅ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. ΠΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΈΠΊ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ ΡΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, Π° ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ. ΠΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅ΡΡ ΡΡΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²Π»ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡΡ
ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π‘Π Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ, ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°Π½Π΄Π΅ΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ Π½ΠΈΡ
Π²ΡΡΠ΅.
Π ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ (ΡΠΈΡ.14) ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π΄ΡΡΠ³ Π·Π° Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΡΠ½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Ρ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ. ΠΡΠΎΠΏΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ ΠΈ Ρ. Π΄.
Π ΠΈΡ. 14 ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΄Π° Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ
ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ
Π‘Π Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅Ρ 35%. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Ρ
ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ (a-Si1-xCx:H, a-Si1-xGex:H), Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ CuInSe2.
Π ΠΈΡ. 15 ΠΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ
ΠΠ° ΡΠΈΡ. 15 ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π° ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½Π°Ρ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ Π²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ GaInP c n-AlInP Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π°, Π΄Π°Π»Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ Π½Π° GaAs Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΡ
ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ Π½ΠΈΠΆΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΈΠ· GaAs.
ΠΠ΅ΡΡΠΌΠ° ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Ρ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΡΠ΅ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Ρ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ (ΡΠΈΡ.16). ΠΠ΅ΡΡ
Π½ΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ ΠΈΠ· ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ a-Si:H Ρ ΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ 1,8 ΡΠ. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΠΎΡ i-ΡΠΈΠΏΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ ΡΠΏΠ»Π°Π² a-SiGe:H Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ~10−15%. Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ (1,6 ΡΠ) ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°. ΠΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ Π‘Π ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°, Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡi-ΡΠ»ΠΎΠΉ a-SiGe:H Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ 40−50%. ΠΠ΅ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡ Π·Π°Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Ag/ZnO. ΠΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°ΡΠ°ΡΠ΅ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠ»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΡΠ½Π½Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ.