Параметры зонда. 
Зонды для микроскопов

Так же помимо толщины зонда важна его форма. При сканировании поверхностей, которые имеют резкие переходы рельефа (канавки, ступеньки и т. п.), геометрия зонда может влиять на получаемое изображение. При сканировании в контакт со ступенькой сначала входит боковая поверхность зонда и в зависимости от геометрии, искажения полученного изображения будут различными. Закругленные зонды создают изображения, которые кажутся округленными. Измерения, проводимые при помощи зондов с малым отношением сторон (тупой угол), дают на изображении наклонные ступеньки. Для получения сканов, наиболее близко соответствующих поверхности образца, требуются зонды с большим отношением сторон (острые) Во многих случаях наблюдаются искажения в СТМ изображениях при сканировании поверхностей с неровностями рельефа с размерами, сравнимыми с радиусом закругления зонда. Эту проблему частично позволяют решить развитые в последнее время методы восстановления СТМ изображений. Они основаны на компьютерной обработке данных с учетом конкретной формы зондов. Существуют программы, которые вычисляют форму зонда по отсканированным им изображениям. Таким образом, ошибку, полученную из-за неправильной геометрии зонда, можно компенсировать при обработке данных, что повышает точность полученных топографических изображений.