Формирование фрактальных тонкопленочных структур при магнетронном нанесении покрытий
Диссертация
Результаты диссертационной работы докладывались на Международной конференции «Микрои наноэлектроника — 2003», 6−10 октября, Москва — ЗвенигородXX и XXI Российской конф. по электронной микроскопии, Черноголовка, 1−4 июня 2004, 5−9 июня 2006; Конгрессе Европейского Керамического общества «Наночасти-цы, Наноструктуры, Нанокомпозиты», 5−7 июля 2004 г., Санкт-Петербург- 5-ой Международной конференции… Читать ещё >
Список литературы
- Алферов Ж.И. Наноматериалы и нанотехнологии / Ж. И. Алферов, A. JL Асеев, C.B. Гапонов и др. // Микросистемная техника. -2003, № 8. С. 3 13.
- Нанотехнология в ближайшем десятилетии. / Под ред. М.К. Ро-ко, P.C. Уильямса, П. Аливисатоса. М.: Мир, 2002. — 292 с.
- Ч. Пул, Ф. Оуэне Нанотехнологии. М.: Техносфера, 2004. -328 с.
- Сергеев Г. Б. Нанохимия. М.: Изд-во МГУ, 2003. — 288 с.
- Compano R., Hullmann A. Forecasting the development of nanotechnology with the help of science and technology indicators // Nanotechnology, v. 13, 2002, № 3, pp. 243 247.
- M. Роко Перспективы развития нанотехнологии: национальные программы, проблемы образования // Рос. хим. ж. 2002. T. XLVI. № 5. С. 90 95.
- Белая книга. Исследования в области наночастиц, наноструктур и нанокомпозитов в Российской Федерации. -М.: Издательство ЛКИ, 2006. 243 с.
- Ежовский Ю.К. Поверхностные наноструктуры — перспективы синтеза и использования // СОЖ. 2000. Т. 6. № 1. С. 56 63.
- Полторацкий Э.А., Рычков Г. С. Функциональные элементы в наноэлектронике // Тез. докл. Российской конф. Микроэлектроника -94. -М., 1994. часть 2.- С. 497 498.
- В.Г. Лифшиц, А. А. Саранин, С. В. Рыжков и др. Поверхностные фазы как материал для нанотехнологий на поверхности кремния // Химия поверхности и синтез наноразмерных систем.- Сб. трудов. -СПб.: 2002.- С. 69 76
- С. Puente-Baliarda, J. Romeu, R. Pous, and A. Cardama, «On the behavior of the Sierpinski multiband fractal antenna,» IEEE Trans. Antennas Propagat., vol. 46, pp. 517−524, Apr. 1998.
- C. Puente-Baliarda, J. Romeu, and A. Cardama, «The Koch monopole: a small fractal antenna,» IEEE Trans. Antennas Propagat., vol. 48, pp. 1773−1781, Nov. 2000.
- C. Puente and R. Pous, «Fractal design of multiband and low side-lobearrays,» IEEE Trans. Antennas Propagat., vol. 44, pp. 1−10, May 1996.
- Апрелов С.А., Гайдуков Г. Н., Герасименко H.H., Медетов Н. А. Фрактальный анализ упорядоченности поверхностных микроструктур // Изв. ВУЗов. Электрон. 2005. № 2.- С. 25 — 31.
- Шелухин О.И., Тенякшев А. В., Осин А. В., Фрактальные процессы в телекоммуникациях. / Под ред. О. И. Шелухина. Монография — М.: Радиотехника, 2003. 418 с.
- Серов И.Н., Жабрев В. А., Марголин В. И. Проблемы нанотех-нологии в современном материаловедении // Физика и химия стекла. 2003, Т. 29, № 2. С. 242 256.
- Чеховой А.Н. Нанотехнология вокруг нас: синергетика нано-конструирования в промышленности и экологии. -М.: Издательство ООО «Эксподизайн», 2005, 114 с.
- Нанотехнологии производству — 2006. Труды конференции, 29 ноября — 30 ноября 2006 г., Фрязино, 2006. -М.: Янус-К, 427 с.
- Ю.В. Соколов, B.C. Железный Получение, структура и некоторые физические свойства углеродного депозита и хрома, имеющих фрактальное строение // Письма в ЖТФ, 2003, Т. 29, вып. 15, С. 24 -28.
- Mandelbrot В.В. Les Objects fractals. Paris: Flammarion, 1975, pp. 1 85.
- Мандельброт Б. Фрактальная геометрия природы. М.: Институт компьютерных исследований, 2002, 656 с.
- Фракталы и хаос в динамических системах. Основы теории. Москва: Постмаркет, 2000. 352 с.
- Ватолин Д. Применение фракталов в машинной графике. // Computerworld-PoccHfl.-1995.-N15.-c.l 1.
- Chaos: Making a New Science: By James Gleick. New York: Viking, 1987 (Penguin, 1988), 354 pp.
- Федер Е. Фракталы. Пер. с англ.-М.: Мир, 1991.-254с. (Jens Feder, Plenum Press, NewYork, 1988)
- Ma Ш. Современная теория критических явлений. М. 1980. 298 с.
- Соколов И.М. Размерности и другие геометрические критические показатели в теории протекания. // УФН. 1986. Т. 150. № 2. С. 221 255.
- Зельдович Я.Б., Соколов Д. Д. Фракталы, подобие, промежуточная асимптотика. // УФН. 1985. Т. 146. № 3. С. 493 506.
- Смирнов Б.М. Физика фрактальных кластеров. М.: Наука, 1991, 43 с.
- Федер Е. Фракталы. -М. Мир, 1991, 260 с.
- Встовский Г. В. Введение в мультифрактальную параметризацию структур материалов / Г. В. Встовский, А. Г. Колмаков, И. Ж. Бунин / Москва-Ижевск: Научно-издательский центр «Регулярная и хаотическая динамика», 2001, 116 с.
- Рембеза Е.С. Симметрия фрактальной структуры нанокри-сталлических пленок диоксида олова / Е. С. Рембеза, И. А. Попова, А. П. Павин и др. // Электроника и информатика: Тез. докл. IV Межд. конф., Зеленоград, 19 21 ноября 2002, М.: 2002. — С. 226 — 227
- Шевченко В .Я., Мадисон А. Е., Шудегов В. Е. Фрагментарность и метаморфозы наноструктур // Физика и химия стекла. 2003. -Т. 29, № 6. С. 809 — 816.
- Лукьянов Г. Н. Методы исследований систем с детерминированным хаосом: Учебное пособие / Г. Н. Лукьянов — СПб.: изд-во СПбГИТМО (ТУ), 1997. 63 с.
- Кауль А.Р. Тонкие пленки / Кауль А. Р. Режим доступа: http://www.chem.msu.su/rus/teaching/vtsp/10.html. Дата обращения: 01.09.2005.
- Б.С. Данилин. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: «Энергоатомиздат», 1989, -248 с.
- Б.С. Данилин, В. К. Сырчин. Магнетронные распылительные системы. — М.: Радио и связь, 1982. — 73 с.
- K.Wasa, S.Hayakawa. Handbook of sputter deposition technology. Principles, technology and applications. New Jersey. USA: «Noyes Publications», 1991, p. 304.
- Handbook of deposition technologies for films and coatings / Ed. R.F.Bunshah, 2-nd ed. New Jersey. USA: «Noyes Publications», 1994, p. 212.
- R.J. Hill, S.J. Nadel. Coated glass. Applications and markets. Fairfield, CA, USA: «BOC Coating Technology», 1999, p.342.
- Г. Хакен Информация и самоорганизация. Макроскопический подход к сложным системам: Пер. с англ. / Предисл. Ю.Л. Климонто-вича. Изд. 2-е, доп. М: Ком Книга, 2005. -248 с.
- Сойфер В.А. Компьютерная оптика. Часть 1. Дифракционные оптические элементы // Соросовский образовательный журнал, 1999, № 4, с. 110−115.
- Пригожин И., Стенгерс И. Порядок из хаоса. / М.: Прогресс, 1986. 431 с.
- Хмелевская B.C. Процессы самоорганизации в твердом теле / СОЖ. Т. 6. № 6, 2000. С. 85 -91.
- В.А. Кутовой, A.A. Николаенко, П. И. Стоев, H.A. Хижняк Изучение поверхностного импеданса меди при температуре жидкого азота // Сборник трудов Харьковской научной ассамблеи ISPM-8, -Харьков: НИЦ ХФТИ, «Константа».- 2003.- С. 190−196.
- Я.И. Лепих Нанесение меди в вакууме методом газотранспортной реакции // Сборник докладов 14-го Межд. симпозиума «Тонкие пленки в оптике и электронике».- Харьков: НИЦ ХФТИ, «Константа». 2002.- С. 33 35
- Шестопалов В.П., Литвиненко Л. Н., Масалов С. А., Сологуб У. Б. Дифракция волн на решетках. Харьков, Изд-во харьковского университета, 1973,287 с.
- Шестопалов В.П., Сиренко Ю. К. Динамическая теория решеток. Киев, Наук, думка, 1989, 216 с.
- Шестопалов В.П., Кириленко А.а., Рудь JI.A. Резонансное рассеяние волн, Т.2, Волноводные неоднородности. Киев: Наук, думка, 1986, 216 с.
- Методы компьютерной оптики: Учеб. пособие для вузов/А.В. Волков и др. Под ред. В. А. Сойфера.-М.:Физматлит, 2000.-688 с.
- Khonina S.N., Kotlyar V.V., Soifer V.A. Techniques for encoding composite diffractive optical elements // Proceedings of SPIE. 2003. — v. 5036. — p. 493 — 498.
- Doskolovich L.L., Soifer V.A., Kazanski N.L., Perlo P., Repetto P. Design of DOE for multiwavelength demultiplexing and spatial focusing // Proceedings of SPIE. 2004. — v. 5485. — p. 98 — 106.
- Иванова Т.В. Введение в прикладную и компьютерную оптику. Конспект лекций. СПб.: СПб ГИТМО (ТУ), 2002. — 93 с.
- Сойфер В.А. Компьютерная оптика. Часть 1. Дифракционные оптические элементы // Соросовский образовательный журнал, 1999, № 4, с. 110−115.
- Berrggren К.К., Prentiss М., Timp G.L., Behringer R.E. Calculation of atomic positions in nanometer-scale directwrite optical lithography with an optical standing wave // J. Opt. Soc. Amer. В.- 1994.- 11, № 7. 1166 1176
- Патент 2 212 375 РФ / Способ получения тонких пленок с фрактальной структурой / И. Н. Серов, В. И. Марголин (РФ). Заявл. 04.11.2002.
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1973. 720 с.
- Зосимов В.В., Лямшев Л. М. Фракталы в волновых процессах // УФН. 1995. Т. 165. № 4. С. 361 402.
- А.Г.Забродский, С. А. Немов, Ю. И. Равич Электронные свойства неупорядоченных систем С.-П., Наука, 2000. -72 с.
- Венгер Е.Ф., Завадский С. Н., Розувалов С. Г. и др. Фрактальная структура спектров многослойных диэлектрических покрытий // Оптика и спектр. 1996. Т. 80. № 2. С. 248 250.
- Кистенев Ю. В. Шаповалов А.В. Абсорбционные свойства резонансных мультифрактальных структур // Оптика и спектр. 1996. Т. 80. № 4. С. 695 698.
- Гулд X., Тобочник Я. Компьютерное моделирование в физике. -М.: Мир. 1990. Т. 1. 349 с. Т. 2. 399 с.
- Шустер Г. Детерминированный хаос: Пер. с англ. М.: Мир, 1988. — 240 с.
- Баренблатт Г. И. Подобие, автомодельность, промежуточная асимптотика. Л.: Гидрометеоиздат, 1982. 255 с.
- Мамыкин А.И., Мошников В. А., Ильин А. Ю. и др. Исследование структуры поверхности пористого кремния методом ядерного магнитного резонанса // ФТП. 1995. Т. 29. № 10. С. 1874 1877.
- Мамыкин А.И., Ильин А. Ю., Горелик А. И. Диагностика суб-микропор в кремнии // Тез. докл. I Всероссийской конф. «Кремний-96». М.: 1996. С. 280.
- Мамыкин А.И., Ильин А. Ю., Мошников В. А. Магнитнорезо-нансная спектроскопия пористых квантово-размерных структур // ФТП. 1998. Т. 32. № 3. С. 356 358.
- Pickering С., Beale M., Robbins D.J. a. о. Optical studies of the structure of porous silicon films formed in p-type degenerate and nondegenerate silicon// J. Phys. C: Solid State Phys. 1984. Vol. 17. No. P. 6535- 6552.
- Mizayama К., Mijazaki S., Horese M. Exitation and recombination process in porous silicon. // Solid State Commun. 1995. Vol. 93. No. 10. P. 841 847.
- Серов И. Н, Копыльцов А. В., Лукьянов Г. Н. Взаимодействие самоаффинного рельефа поверхности полупроводниковой пластины с электромагнитным излучением // Мат-лы конф. «Нанотехнологии -производству-2006», 24 ноября 30 ноября 2006. — Фрязино. 2006. С 134.
- Марчук Г. И. Методы вычислительной математики. М.: Наука. 1980. 536 с.
- Dassas Y., Duby P. Diffusion toward Fractal Interfaces Potentio-static, Galvanostatic, and Linear Sweep Voltammetric Techniques // J.Electrochem.Soc., v.142, 12, P.4175−4180.
- Miller K.S., Ross B. An introduction to the fractional calculus and fractional differential equations. New York. Wiley. 1993.
- B.M. Иевлев, E.B. Шведов, Д. В. Москалев Молекулярно-динамическое моделирование формы нанокластера металла на поверхности кристалла // Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение-2002. Вып. 1.12, — С. 65 68-
- В.М. Иевлев, Е. В. Шведов, Д. В. Москалев Молекулярно-динамическое моделирование процессов роста одно- и двухкомпо-нентного нанокластеров на поверхности кристалла // Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение-2003. Вып. 1.14.- С. 40 44-
- Барвинок В.А. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления / В. А. Барвинок, В. И. Богданович. М.: Машиностроение, 1999. — 309 с.
- Броудай И. Физические основы микротехнологии / И. Бро-удай, Мерей Дж. / пер. с англ.- М.: Мир, 1985. 496 с.
- Серов И.Н. Исследование фрактально-структурированных тонких пленок / И. Н. Серов, Г. Н. Бельская, И. А. Солтовская, В. А. Жабрев, В. И. Марголин и др.// Электроника и информатика: Тез. докл. IV Межд. научно-техн. конф., М.: 2002. Часть 1. — С. 123 — 124.
- Иевлев В.М. Компактные пленочные наноструктуры: структурный аспект проблемы / В. М. Иевлев // Тонкие пленки в оптике и электронике: Сб. докл. 15-го Межд. симп. Харьков, ННЦ ХФТИ, «Константа». 2003. — С. 82 — 96.
- Кукушкин С.А. Процессы конденсации тонких пленок / С. А. Кукушкин, A.B. Осипов // УФН. Т. 168, № 10. — 1998. — С. 1083 -1116.
- Русанов А.И. Удивительный мир наноструктур / А. И. Русанов // Журнал общей химии. 2002. — Т. 72 (134), Вып. 4. — С. 532 — 549
- Цытович В.Н. Плазменно пылевые кристаллы, капли и облака / В. Н. Цытович // УФН. Т. 167, № 1. — 1997. — С. 57 — 99.
- Имри Й. Введение в мезоскопическую физику / Й. Имри. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. — 304 с.
- Бинги В.Н. Физические проблемы действия слабых магнитных полей на биологические системы / В. Н. Бинги, A.B. Савин // УФН. -2003. Т. 173, № 3. — С. 265 — 300.
- Карнаухов A.B. Диссипативный резонанс и его роль в механизмах действия электромагнитного излучения на биологические и физико-химические системы / A.B. Карнаухов // Биофизика. 1997. — Т. 42, вып. 4. — С. 971 — 979.
- Карнаухов A.B. Диссипативный резонанс — новый класс физических явлений. Некоторые подходы к аналитическому описанию /
- A.B. Карнаухов, В. О. Пономарев // Биомедицинские технологии и радиоэлектроника. 2001. — № 8. — С. 23 — 3 1.
- Гиваргизов Е.И. Искусственная эпитаксия / Е. И. Гиваргизов.- М.: Наука, 1988. 176 с.
- Дистлер Г. И. Получение тонких пленок с гладкой поверхностью методом дальнодействующей кристаллизации / Г. И. Дистлер,
- B.М. Каневский, Д. М. Герасимов // Изв. АН СССР. Сер. физич. 1984.- Т. 48, № 9. С. 1698 — 1702.
- Практическая растровая электронная микроскопия под ред. Дж. Гоулдстейна и X. Яковица. М.: Мир, 1978. 656 с.
- Смирнов Б.М. Физика фрактальных кластеров / Б. М. Смирнов. М.: Наука, 1991. — 136 с.
- An Investigation Into Nano-Dimensional Fractal Film Structures / I.N. Serov, G.N. Lukyanov, V.I. Margolin, N.A. Potsar, I.A. Soltovskaya, V.S. Fantikov // Proceedings of SPIE. 2003 — V. 5401. — C. 278 — 289
- И.Н. Серов, Г. Н. Лукьянов, В. И. Марголин, Н. А. Потсар, И. А. Солтовская, B.C. Фантиков, В. А. Тупик Получение и исследование наноразмерных пленок меди с фрактальной структурой // Микросистемная техника, 2004. № 1. — С. 31 — 37.
- И.Н. Серов, В. И. Марголин, В. А. Жабрев, Н. А. Потсар, И. А. Солтовская, В. А. Тупик, B.C. Фантиков Резонансные явления в наноразмерных структурах // Инженерная физика. 2004. — № 1. — С. 18 — 32.
- И.Н. Серов, В. И. Марголин, Н. А. Потсар, И. Солтовская,
- B.А. Тупик, B.C. Фантиков Исследования наноразмерных пленок с фрактальной топологией // Микроэлектроника. 2004. — Т. 33, № 5. —1. C. 263 271
- И.Н. Серов, В. И. Марголин, И. А. Солтовская, В. А. Тупик, B.C. Фантиков. Исследования наноразмерных пленок меди методами АСМ // Тез. докл. XX Российской конф. по электронной микроскопии, Черноголовка, 1−4 июня 2004. Черноголовка. 2004. — С. 147.
- И.Н. Серов, В. И. Марголин, H.A. Потсар, И. А. Солтовская, В. А. Тупик, B.C. Фантиков Исследования наноструктурированных пленок меди методами растровой и атомно-силовой микроскопии // Поверхность. 2004. — № 7. — С. 31 — 35.
- И.Н. Серов, В. И. Марголин, В. А. Жабрев, В. А. Тупик, B.C. Фантиков Эффекты дальнодействия в микро- и наноразмерных структурах // Инженерная физика. 2005. — № 1. — С. 51 — 67
- В.А. Жабрев, Г. Н. Лукьянов, В. И. Марголин, М. С. Потехин,
- М.С. Потехин, И. А. Солтовская, В. А. Тупик, B.C. Фантиков Исследование фрактальных свойств тонких наноразмерных пленок // Вакуумная техника и технология. — 2005 № 2 — Т. 15 — С. 209 — 213.