Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Электростатическое и ван-дер-ваальсово взаимодействие зондов атомно-силового микроскопа с поверхностями

Диссертация: Электростатическое и ван-дер-ваальсово взаимодействие зондов атомно-силового микроскопа с поверхностями
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Для дальнейшего расширения круга прикладных задач, развития и совершенствования методов АСМ большое значение имеет количественное исследование электростатических и вандерваальсовых сил между зондом и образцом в контролируемой атмосфере. Однако существенными недостатками метода силовой спектроскопии являются ограниченность имеющихся аналитических моделей ван дерваальсовых сил, электростатических… Читать ещё >

Электростатическое и ван-дер-ваальсово взаимодействие зондов атомно-силового микроскопа с поверхностями (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. Контактная и бесконтактная атомно -силовая спектроскопия
    • 1. 1. Силовые взаимодействия в воздушном контакте зонд -поверхность
    • 1. 2. Теоретические модели электростатических и ван -дер -ваальсовых сил
    • 1. 3. Силовые кривые подвода -отвода
    • 1. 4. Экспериментальные исследования электростатических и ван —дер -ваальсовых сил методами АСМ
    • 1. 5. Выводы к главе
  • Глава 2. Численное моделирование электростатических и ван -дер ваальсовых сил в контакте зонд -образец
    • 2. 1. Константа Гамакера и аддитивное приближение для сил
  • Ван -дер — Вальса
    • 2. 2. Сила электростатического взаимодействия
    • 2. 3. Метод численного расчета электростатических сил
    • 2. 4. Электростатические силы в проводящем контакте
    • 2. 5. Электростатические силы в контакте зонда АСМ с проводящим образцом, покрытым диэлектрической пленкой
    • 2. 6. Влияние диэлектрических пленок на силы Ван -дер -Ваальса
    • 2. 7. Выводы к главе
  • Глава 3. АСМ -измерения электростатических и ван -дер -ваальсовых сил
    • 3. 1. Методики измерений и набор статистики при измерениях ван -дер -ваальсовых сил
    • 3. 2. Статистическая обработка зависимостей фототок -перемещение
    • 3. 3. Калибровки и пересчет шкалы перемещений в шкалу расстояний
    • 3. 4. Метод определения локальной контактной разности потенциалов
    • 3. 5. Выводы к главе
  • Глава 4. Интерпретация электростатических и ван —дер -ваальсовых сил по данным АСМ -спектроскопии
    • 4. 1. Измерения в контакте зондов CSG10/Pt с графитом при влажности 60%
      • 4. 1. 1. Электростатические силы
      • 4. 1. 2. Ван -дер -ваальсовы силы
    • 4. 2. Влияние балки кантилевера
    • 4. 3. Измерения в контакте зондов CSGIO/Pt с пленкой золота при влажности 20%
      • 4. 3. 1. Электростатические силы
      • 4. 3. 2. Ван -дер -ваальсовы силы
    • 4. 4. Выводы к главе 4
  • Выводы ко всей работе
  • Список литературы
  • Приложение 1
  • Приложение

Сканирующая зондовая микроскопия (СЗМ) представляет собой семейство методов локального зондирования свойств материалов на наномасштабном уровне. Датой рождения СЗМ считают 1981;й год, когда впервые научной общественности был представлен сканирующий туннельный микроскоп (СТМ). Впоследствии общие принципы, заложенные в СТМ, были использованы для разработки большого количества новых методик зондирования, что обусловило бурный рост инструментария СЗМ для исследований в области нанотехнологий. Сегодня методы СЗМ находят широкое применение в таких областях науки и техники, как нанофизика и физика поверхности, микрои наноэлектроника, проектирование и производство микроэлектромеханических систем, микробиология, медицина и биотехнология, и т. д.

Являясь мощным средством визуализации рельефа и физических свойств поверхностей различной природы, методы СЗМ претендуют на роль наиболее приоритетных, а во многих случаях основных методов качественного и количественного изучения свойств материалов на наномасштабном уровне. В арсенале средств СЗМ важное место занимают методы атомносиловой микроскопии (АСМ) и силовой спектроскопии на базе АСМ. Одним из них является метод электросиловой спектроскопии, основанный на регистрации электрических сил, возникающих между зондом и образцом при приложении между ними внешнего электрического напряжения.

Для дальнейшего расширения круга прикладных задач, развития и совершенствования методов АСМ большое значение имеет количественное исследование электростатических и вандерваальсовых сил между зондом и образцом в контролируемой атмосфере. Однако существенными недостатками метода силовой спектроскопии являются ограниченность имеющихся аналитических моделей ван дерваальсовых сил, электростатических и других типов сил для различных геометрических конфигураций и сочетаний материалов контактирующих тел, необходимость учета внешних факторов, вносящих искажения в результаты измерений (в частности, роли влажности, давления и состава атмосферы) отсутствие in situ методов контроля формы зонда и калибровки силовых взаимодействий. В связи с этим актуальными задачами являются разработки теоретических моделей вандерваальсовых сил применительно к типовым формам зондов АСМ, методов аналитического и численного расчета электростатических сил, а также методов обработки результатов измерений вандерваальсовых и электростатических сил, полученных в сеансах силовой спектроскопии с применением серийных АСМ.

Цель работы.

Настоящая работа направлена на совершенствование методов измерений и интерпретации электростатических и вандерваальсовых сил, проводимых на серийных зондовых микроскопах в атмосферных условиях, определение геометрических параметров зондов и характеристик силовых взаимодействий материалов. Для достижения этих целей были поставлены следующие задачи:

1) Набор статистики измерений слабых вандерваальсовых сил на микроскопе Solver Pro (компания НТ-МДТ, г. Зеленоград) и разработка программ статистической обработки силовых кривых подводаотвода и их последующей интерпретации;

2) Разработка методов аналитического и численного расчета вандерваальсовых и электростатических сил взаимодействия зондов АСМ с проводящей поверхностью, покрытой произвольным числом диэлектрических слоев;

3) Определение геометрических характеристик зондов АСМ по результатам измерений электростатических сил и, на этой основе, определение констант Гамакера для контактов платинаграфит и платиназолото в атмосферных условиях с различной влажностью.

Научная новизна работы состоит в следующем.

1) Разработаны процедуры набора статистики силовых кривых подводаотвода в сеансах электросиловой спектроскопии и их последующей обработки с целью устранения искажений, связанных с наличием зоны механической нестабильности кантилевера;

2) Предложен новый метод локального измерения контактной разности потенциалов взаимодействующих материалов, основанный на анализе результатов спектроскопии электростатических сил;

3) Разработан метод определения геометрических параметров зондов АСМ по бесконтактной части кривых подвода, полученных в сеансах электросиловой спектроскопии;

4) Получены аналитические формулы для расчета сил ВандерВаальса и разработан численный метод расчета электростатических сил между проводящим зондом конической формы со сферическим окончанием, и проводящим образцом, в том числе с образцом, покрытым диэлектрической пленкой.

Практическая ценность работы.

Результаты работы существенно расширяют возможности метода силовой и электросиловой спектроскопии с применением АСМ. В частности, метод силовой спектроскопии может быть использован для определения характеристик тонких диэлектрических слоев: диэлектрической проницаемости и толщины. Метод определения контактной разности потенциалов имеет самостоятельное значение. Разработанные аналитические и численные методы расчета вандерваальсовых и электростатических сил могут быть использованы для корректировки и интерпретации результатов измерений сил методами АСМ, получаемых в атмосферных условиях. Метод контроля геометрических параметров зондов АСМ позволяет повысить точность измерений всех видов сил в контактах зонда с образцом.

Основные положения, выносящиеся на защиту:

1. Наличие диэлектрических пленок на проводящем образце уменьшает электростатические и вандерВаальсовы силы в воздушновакуумном контакте зонда АСМ с образцом, причем для каждого типа сил имеется специфическая зависимость от радиуса кривизны зонда, толщины и диэлектрической проницаемости пленки.

2. Измерение и анализ силовых кривых подвода при подаче на зонд АСМ равных по модулю напряжений различной полярности позволяет найти величину контактной разности потенциалов материалов зонда и образца.

3. Наиболее критичным параметром при определении радиуса кривизны зонда АСМ по данным квазистатической электросиловой спектроскопии является жесткость балки кантилевера, а при определении жесткостирадиус кривизны зонда.

Личный вклад автора.

Автором лично созданы программы статистического усреднения силовых кривых, получаемых в сеансах силовой спектроскопии, и их последующей обработки с целью получения информации о механических и геометрических характеристиках зондов АСМ, а также программа численного решения уравнения Лапласа для распределения электрического потенциала в системе зондобразец с использованием математических пакетов Mathlab и Mathcad. Экспериментальные измерения силовых кривых выполнены совместно с Дедковой Е. Г., а постановка задач, анализ результатов численных расчетов и интерпретация экспериментальных данных выполнены совместно с научным руководителем.

Апробация работы.

Материалы диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях и симпозиумах:

1) Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел (РЭМ- 2009). Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов РАН. г. Черноголовка. -2009.С.16.

2) Международная научно-техническая конференция «микрои нанотехнологии в электронике» 21−27 сентября 2009 г. Пос. Эльбрус, Россия.

3) Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии (РЭМ-2008). Институт Проблем Технологии Микроэлектроники и Особочистых Материалов РАН. г. Черноголовка. — 2009.С.16.

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 6 работ, в том числе 2 статьи из перечня ВАК, одна статья в региональном научном журнале и 3 тезиса докладов на российских и международных научных конференциях. Структура и объем работы.

Работа состоит из введения, четырех глав, заключения и списка литературы. Работа изложена на 109 страницах, содержит 38 рисунков, 13 таблиц.

Список литературы

включает 97 наименований.

Выводы ко всей работе.

1. Разработаны программы статистической обработки и анализа данных электросиловой спектроскопии, позволяющие найти геометрические характеристики и жесткость кантилеверов, а также константы Гамакера сил ВандерВаальса при взаимодействии зондов АСМ с различными поверхностями. Показано, что повышение точности определения константы Гамакера в случае корректного определения радиуса кривизны зонда возможно при уменьшении шага спектроскопии, увеличении величины жесткости кантилевера и радиуса кривизны зонда.

2. Численными расчетами установлено, что геометрические параметры кантилеверов, получаемые в результате анализа силовых кривых, измеренных с приложением разнополярных напряжений между проводящими зондом и образцом, хорошо согласуются между собой и с паспортными значениями для зондов типа CSGIO/Pt, причем наиболее критичным параметром при определении радиуса кривизны зонда является жесткость балки кантилевера, а при определении жесткостирадиус кривизны зонда.

3. Получены аналитические формулы для расчета вандерваальсовых сил и разработан численный метод расчета электростатических сил между проводящим зондом конической формы со сферическим окончанием, и проводящим образцом, в том числе с образцом, покрытым диэлектрической пленкой. Показано, что наличие диэлектрических пленок на проводящем образце уменьшает электростатические и вандерВаальсовы силы в воздушно — вакуумном контакте зонда АСМ с образцом, причем для каждого типа сил имеется специфическая зависимость от радиуса кривизны зонда, толщины и диэлектрической проницаемости пленки. Это дает возможность определения локальной толщины и диэлектрической проницаемости тонких покрытий.

4. Разработан метод локальной спектроскопии контактной разности потенциалов, основанный на измерении и анализе силовых кривых подвода при подаче на зонд АСМ равных по модулю напряжений различной полярности.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Binnig G., Quate С., Gerber С. Atomic force microscope // Phys. Rev. Lett.1986. -V. 56. -P. 930−933
  2. Binnig G., Rohrer H. In touch with atoms // Rev. Mod. Phys. -1999. -V.71.2. -P.324−330.
  3. Каталог продукции компании НТ-МДТ cantilevers. pdf, веб-страницаwww.ntmdt-tips.com
  4. Г. В. Физические аспекты взаимодействий зонд— поверхность всканирующей зондовой микроскопии. Часть 1. //Нано- и микросистемная техника. -2006. -№ 8. -С.2- Часть 2 // Нано- и микросистемная техника. -2006.-№ 9.-С.11.
  5. Ю.С. Силы Ван -дер -Ваальса. -М: Наука. -1988. -С.344
  6. Г. В., Кясов А. А. Флуктуационно-электромагнитное взаимодействие движущихся тел // Наноструктуры. Математическая физика и моделирование. -2009. -Т. 1. -№ 2. -С.5−59
  7. Г. В. Нанотрибология: экспериментальные факты и теоретическиемодели // УФН. -2000. -Т.170. -№ 6. -С.585−618.
  8. В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике // -М: Техносфера. -2005. -С. 152.
  9. Butt Н., Cappella В., Kappl М. Force measurements with the atomic forcemicroscope: Technique, interpretation and applications // Surf. Science Rep. -2005.-V.59. -P.l-152.
  10. Carpick R., Salmeron M. Scratching the surface: fundamental investigations of tribology with atomic force microscopy // Chemical Reviews. -1997.-V.97. -№ 4. -P.l 163−1194.
  11. J.N. Israelachvili, Intermolecular and Surface Forces, Academic Press, London 1992
  12. Нанотехнология. Физика. Процессы. Диагностика. Приборы. Под ред. В.В.Лучинина// -Москва. Физматлит. -2006. -552 С.
  13. .В., Чураев Н. В., Муллер В. М. Поверхностные силы, -М: Наука. -1985. -С.34.
  14. F. London, Zur Theorie und Systematik der Molekularkrafte // Z. Phys. -1930. -V.63. 245
  15. Casimir H. B. G. On the attraction of two perfectly conducting plates // Proc. K. Ned. Akad. Wet. -1948. -V.51. 793.
  16. Casimir H. B. G., Polder D. // The influence of retardation on the London-van der Waals Forces Phys. Rev. -1948. -V.73. -360.
  17. C.M. Теория электрических флуктуации: и теплового излучения (М.: Изд. АН СССР, 1935), 213 С.
  18. И.Е. Дзялошинский, Е. М. Лифшиц, Л. П. Питаевский Общая теория ван-дер-ваальсовых сил // УФН-март 1961. -TLXXII, вып. 3
  19. Е.М. Теория молекулярных сил притяжения между твердыми телами // ЖЭТФ. -1955. -Т.29. -Вып. 1(7).
  20. Bordag М., Mohideen U., Mostepanenko V.M. The developments in the Casimir effect// Phys. Rep. -2001. -V.353. -P.l.
  21. Г. В., Кясов А. А. Электромагнитное и флуктуационно -электромагнитное взаимодействие движущихся частиц и нанозондов с поверхностями. Нерелятивистское рассмотрение (Обзор) // Физика твердого тела. -2002. -Т. 44. -№ Ю. -С. 1729.
  22. Guggisberg М., Bammerlin М., Loppacher Ch., et. al. Separation of interactions by noncontact force microscopy // Phys. Rev. -2000. -V.B61. -№ 16. -P. 11 151.
  23. Saint Jean M., Hudlet S., Guthmann C., Berger J. Van der Waals and capacitive forces in atomic force microscopy // J. Appl. Phys. -1999. -V.86. -№ 9. -P.5245.
  24. Argento C. and French R.H. Parametric tip model and force-distance relation for Hamaker constant determination from atomic force microscopy // Appl. Phys. -Dec. 1996. -V.80 -P.6081.5
  25. Burnham N.A., Colton R.J., Pollock H.M. Work-Function Anisotropics as an Origin of Long-Range Surface Forces // Phys. Rev. Lett. -1992. -V.69. -№ 1 -P.144
  26. Burnham N.A., Behrend O.P., Oulevey F. How does a tip tap? // Nanotechnology. -1997. -V.8. -P.67−75.
  27. A.B., Титков A.H., Козлов B.A. Исследование распределений потенциала в прямо смещенном кремниевом диоде методом электростатической силовой микроскопии // ФТП. -2002. -Т. 36. -№ 9. -С. 1138−1143.
  28. Law В.М., Reutford F. Electrostatic forces in atomic force microscopy // Phys. Rev. B. -2002. -V.66. -P. 35 402.
  29. Hudlet S., Saint Jean M., Guthmann C. Berger J. Evaluation of the capacitive force between an atomic force microscopy tip and a metallic surface // Eur. Phys. J. -1998. -V.B2. -P.5.
  30. Girard P. Electrostatic force microscopy: principles and some applications to semiconductors//Nanotechnology. -2001. -V.12. -P.485.
  31. B.D. Terris, J.E. Stern, D. Rugar, H. J. Mamin, Contact Electrification Using Force Microscopy // Phys. Rev. Lett. 63, 2669 (1989).
  32. Cappella В., Dietler G. Force-distance curve by atomic force microscopy // Surf. Sci. Rep. -1999. -V.34. -P.l.
  33. Г. В.Дедков, А. А. Канаметов Электросиловое взаимодействие зонда атомно-силового микроскопа с поверхностью // ПЖТФ, -2010, том 36, вып. 6 С. 1−7
  34. Г. В.Дедков А. А. Канаметов, Е. Г. Дедкова Электростатические и ван-дер-ваальсовы силы в воздушном контакте зонда атомно-силового микроскопа с проводящей поверхностью // ЖТФ -2009. -Т. 79, -вып. 12 С.79−85
  35. G. М. Sacha, Е. Sahagun, J .J. Saenz A method for calculating capacitance and electrostatic force in atomic force microscopy // J. of Appl. Phys. -2007. -V.101. P.24 310 (1−4)
  36. G. M. Sacha, J.J. Saenz Cantilever effects on electrostatic force gradient microscopy // Appl. Phys. Lett. -27 Sept. 2004. -V.85. -№ 13
  37. G. M. Sacha, A. Verdaguer, J. Martinez, J.J. Saenz, D.F. Ogletree, M. Salmeron Effective tip radius in electrostatic force microscopy // Appl. Phys. Lett. -2005. -V.86. P. 123 101 (1−3)
  38. G. M. Sacha, C. Gomez-Navarro, J.J. Saenz, J. Gomez-Herrero Quantitative theory of the imaging of conducting objects in electrostatic force microscopy // Appl. Phys. Lett. -2006. -V.89. P.12 3122(1−3).
  39. И.Е. Основы теории электричества. 1989 г. Москва, изд. Наука.
  40. Миронов B. JL, Основы сканирующей зондовой микроскопии // Москва: -Техносфера. -2004. -С.8−110.
  41. Г. В., Тегаев Р. И., Дедкова Е. Г. Контактная силовая спектроскопия проводящих и не проводящих образцов в атмосферных условиях и водной среде // Нано- и микросистемная техника. -2007. -№ 2. -С.8−15.
  42. Г. В., Дедкова Е. Г., Тегаев Р. И., Хоконов Х. Б. Измерения ван -дер -ваальсовых и электростатических сил в контактах зонда сканирующего микроскопа с металлическими поверхностями // Письма в ЖТФ. -2008. -Т.34. -№ 1. -С.38−47.
  43. Е.Г. Контактная атомно-силовая спектроскопия металлических пленок и диэлектрических материалов // Дис. канд. физ. мат. наук, 2008
  44. Roy A., Mohideen U. Demonstration of the nontrivial boundary dependence of the Casimir force //Phys. Rev. Lett. 1999, 82, 4380
  45. Peebles P.J.E. Principles of Physical Cosmology // 1993, Princeton, NY, Princeton Univ. Press
  46. С.А. Сканирующая зондовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур // СПБ: -Наука. -2001. -53 С.
  47. Рорре Т., Blum J., Henning Т. New experiments on collisions of solid grains related to the preplanetary dust aggregations //Adv. Space Res. 1999, 23, 1197
  48. Decca R.S., Fischbach E., Klimchitskaya G.L. et. al. Improved tests of extra -dimensional physics and thermal quantum field theory from new Casimir force measurements // Phys.Rev. 2003, D68, l 16 003
  49. Chan H.B., Aksyuk V.A., Kleiman R.N. et.al. Quantum mechanical actuation of microelectromechanical systems by the Casimir force Science, 2001, 291,1941- Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 211 801
  50. Buks E, Roukes M.L. Casimir forces changes sign Europhys. Lett. 2001, 54, 220- Phys. Rev. 2001, B63, 33 402
  51. Harris B.W., Chen F., Mohideen U. Precision measurements of the Casimir force using gold surfaces Phys. Rev. 2000, A62, 52 109
  52. Chen F., Mohideen U., Klimchitskaya G.L., Mostepanenko V.M. Investigation of the Casimir force between metal and semicionductor test bodies // Phys. Rev. Lett. 2002, 88,101 801- Phys. Rev. 2005, A72, 20 101
  53. Chen F., Mohideen U. Recent experimental advances in precision Casimir force measurements with the atomic force microscope // J.Phys.A: Math. Gen. 2006, 39,6223
  54. Klimchitskaya G.L. and Mostepanenko V.M. Experiment and theory in the Casimir effect // Contemp. Phys. 2006, 47, 131
  55. Maia Neto P.A., Lambrecht A., Reynaud S. Roughness correction to the Casimir force: beyond the proximity force approximation //Eur. Phys. Lett. 2005, 69,924- Phys. Rev. 2005, A72, 605 005 .
  56. Lamoreaux S.K. Demonstration of the Casimir effect in the 0.6 to 6 /лт // Phys. Rev. Lett. 1997, 78, 5- Phys.Rev. 1999, A59, R3149- Rep. Progr. Phys. 2005, 68, 201
  57. Г. В., Кясов A.A Флуктуационно -электромагнитное взаимодействие нейтральной движущейся частицы с поверхностьюконденсированной среды: релятивистское рассмотрение // ФТТ 2009, 51, № 1, 1
  58. Mohideen U., Roy A. Precision measurements of the Casimir force from 0.1 to 0.9 ¡-мп //Phys. Rev. Lett. 1998, 81,4549
  59. Harris B.W., Chen F., Mohideen U. Precision measurements of the Casimir force using gold surfaces Phys. Rev. 2000, A62, 52 109
  60. Chen F., Mohideen U., Klimchitskaya G.L., Mostepanenko V.M. Investigation of the Casimir force between metal and semicionductor test bodies //Phys. Rev. Lett. 2002, 88,101 801- Phys. Rev. 2005, A72, 20 101
  61. Chen F., Mohideen U. Recent experimental advances in precision Casimir force measurements with the atomic force microscope // J.Phys.A: Math. Gen. 2006, 39,6223
  62. Decca R.S., Lopez E., Fischbach E. et. al. Tests of new physics from precise measurements of the Casimir pressure between two gold -coated surfaces // Phys. Rev. 2007, D75, 77 101
  63. Decca R.S., Lopez E., Fischbach E. et. al. Novel constraints on light elementary particles and extra dimensional physics from the Casimir effect // Eur. Phys. J. 2007, C51, 963
  64. J.N.Munday, F. Capasso, A. Parsegian Казимировское отталкивание // Nature 457(8), 170(2009)
  65. Л.Д., Лифшиц Е. М. Статистическая физика. Часть 2 // 2001, М., Физматлит
  66. Р., Лейтон Р., Сэндс М. // Фейнмановские лекции по физике . -1977. -Т.5. —Электричество и магнетизм. -С.65.
  67. Dedkov G.V., Kyasov А.А. Fluctuation electromagnetic slowing down and heating of a small neutral particle moving in the field of equilibrium background radiation // Phys. Lett. 2005, A339, 212
  68. М.Силадьи, Электронная и ионная оптика, М.: Мир, 1990, С.638
  69. Abramovitz М., Stegun I.A.eds. // Handbook of Mathematical Functions. New York: Dover, 1972.
  70. И.С., Рыжик И. М. // Таблицы интегралов сумм рядов и произведений. М.: Физматгиз, 1963.
  71. Смайт В.Р.// Электростатика и электродинамика. М.: ИЛ, 1954.
  72. Быков В.А.// Микросистемная техника. 2000. Вып.1. С. 21.
  73. Sader J.E. Frequency response of cantilever beams immersed in viscous fluids with applications to the atomic force microscope // Journal of applied physics. -1998. -V.84. -№ 1. —P.64−76.
  74. Г. В., Канаметов А. А. Измерение ван-дер-ваальсовых сил в воздушном контакте зонда АСМ с поверхностью графита // «Вестник КБГУ» с. Физ. Вып. 12 Нальчик 2009. С.36−38
  75. Физические величины. Справочник под редакцией И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991.
  76. Г. В., Кясов А. А., Дедкова Е. Г. О бесконтактном трении и теплообмене в наноструктурах // Нано- и микросистемная техника.2005. -№ 2. -С.2−9.
  77. Sacha G.M., Verdaguer A., Salmeron М. S Induced water condensation and bridge formation by electric fields in atomic force microscopy // J. Phys. Chem. B110, 2006, P.14 870−14 873
  78. Verdaguer A., Sacha G.M., Bluhm H., Salmeron M. Molecular structure of water at interfaces: wetting at the nanometer scale // Chem. Rev. V. 106(4), 2006, P.1478−1510
  79. Biggs S., Mulvaney P. Measurement of the forces between gold surfaces on the water by atomic force microscopy // J. Chem. Phys. V.100, N11, P.8501−8505
  80. Я.Б., Мышкис А. Д. Элементы прикладной математики // М.: Наука, 1965, С.31
  81. Г. В., Кясов А. А. Радиационный теплообмен сферической частицы с пластиной // Письма в ЖТФ, 36, вып. 18 С. 32, 2010
  82. Е. // Handbook of Optical Constant of Solids. New York, Academic Sci., 1985.
  83. A.A., Овчинников Д. В., Бухараева A.A. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии //Заводская лаборатория.-1997. -№ 5. -С. 10.
  84. Buhmann S.Y., Welsch D.-G. Dispersion forces in macroscopic quantum electrodynamics // Prog. Quant. Electr., 2007, 31, 51 — arXiv: 60 8118v2 quant-ph] 12Jun2007
  85. R.C. Batra, M. Porfifi, D. Spinello Vibrations of narrow microbeams predeformed by an electric field // J. of Sound and Vibration -2008. -V.309. -P600.
  86. R.C. Batra, M. Porfifi, D. Spinello Review of modeling electrostatically actuated microelectromechanical systems // Smart Mater. Struct. -2007. -V.16. R23-R31
  87. R.C. Batra, M. Porfifi, D. Spinello Effects of van der Waals Force and thermal Stresses on Pull-in Instability of Clamped Rectangular Microplates -2008. — V.8 -1048−1069.
  88. R.C. Batra, M. Porfifi, D. Spinello Electromechanical model of Electrically Actuated Narrow Microbeams // J. of Microelctromech. System -Oct. 2006. -V.15. -№.5.
  89. Garcia R., Perez R. Dynamic atomic force microscopy methods // Surface Sci. Rep. -2002. -V .47. -P .197.
  90. Hofer W.A., Foster A.S., Schluger A.L. Theories of scanning probe microscopes at the atomic scale // Rev. Mod. Phys. -2003. -V.75. -P. 1287.
  91. Drakowa D. Theoretical modeling of scanning tunneling microscopy, scanning tunneling spectroscopy and atomic force microscopy // Rep. Prog. Phys. -2002. -V.64.-P. 205.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!