Деградация структур металл-арсенид галлия
Диссертация
Показано, что возникающие при деградации неоднородности барьеров Шоттки можно обнаруживать, измеряя распределение фототока и фото-ЭДС по поверхности данных барьеров при зондовом освещении. В данных неоднородностях диффузионная дана (а значит, и время жизни) дырок меньше, чем в однородных областях барьера Шоттки. новлено, что длительное одноосное давление приводит к генераизбыточяых токов при… Читать ещё >
Список литературы
- Пикус Г. Е. Основы теории полупроводниковых приборов. -М.: Наука, 1965, 448 с.
- ЗИ С. Физика полупроводниковых приборов. Часть I, пер. с англ./ Под ред. Суриса Р. А. М.: Мир, 1984, 456 с.
- Стриха В.И. Расчет вольт-амперной характеристики прижимного контакта металл-полупроводник с учетом пленки окисла. Радиотехника и электроника, 1964, т.9,№ 4, с.681−689.
- Глыбин В.И. Расчет потенциала сил изображения для контакта, содержащего диэлектрическую прослойку. УФЖД971, т.16, № 8, с.1382−1386.
- Padavani P. A., Stratton R. Pied, and thermoionic-field emisson in Schottky barriers. -Sol. St. Electron, 1966, v. 9, 7, P.965 967.
- Crowell C. R., Shore H.B., Labate E.E. Surface- State and interface effects in Schottky barriers at n-tpy Silicon surfaces. j. Appl. Phys., 1965, v. 36, 12, p.3843 3850.
- Pellegrini Б. New quantum and electronic theory of metal-semiconductor contacts. Phys. Rev. Bs Solid State, 1973, v. 7, 12, p.5299 — 5312.
- Родерик Э.Х. Контакты металл-полупроводник. Пер. с англ./Под ред. Степанова Г. В. М.: Радио и связь, 1982,208 с.
- Cowley А. М., Sze S. М. Surface states and barrier height of metal-semiconductor systems. J. Appl. Phys., 1965, v. 36, 10, p.3212 — 3220.
- Сейраян Г. Б., Тхорик 10.А. Об энергетической границе раздела контакта металл- Gcl/Is. ФТП, 1973, т.7, вып.2,с.355−359.
- Вертопрахов В.П., Розниченко М. Ф. Изучение поверхностных состояний на границе раздела GaJIs . В кн.: Арсе-нид галлия, 1974, в.4, с.260−263.
- Вяткин А.П., Максимов Н. К., Поплавной А. С., Степанова В. Е., Чалдышев В. А. Поверхностно-барьерные переходы в ар-сениде галлия и роль таммовских состояний в их образовании. ФТП, 1970, т.4, вып.5, с.951−9227
- Eimers G. W., Sterens Е. Н. A composite model for Schottky diode barrier height. IEEE Trans. Electron devices, 1971, E 18, 12, p.1185 — 1186.
- Гольдберг 10.А., Посе E.A., Царенков Б. В. Механизм проникновения прямого тока в Gd/ls поверхностно-барьерных структурах (случай невырожденного электронного газа). ФТП, 1975, т.9, вып. З, с.513−518.
- Card Н. С., Roderick Е. Н. Studies of tunnel MOS diodes. 2. Thermal equlibrium consideration. -J Appl. Fhys., 1968, v. 39, 7, p.3008 3016.
- Yu A. Y. C., Snow E. H. Surface effect on metal-silicon contacts. -J. Appl. Fhys., 1971, D-4, 10, p.1602 1611.
- Левандовский В.Г., Стриха В. И., Чайка Г. Е. ВАХ контакта металл-полупроводник с учетом генерации-рекомбинации в области пространственного заряда в предположении диффузионнойтеории. Полупр.тех. и микро., 1980, $ 32, с.95−102.
- Милне А. Примеси с глубокими уровнями в полуправодниках. Пер. с англ./Под ред. Шейнкмана М.К.- М.: Мир, 1977, 562 с.
- Sah С. Т., Chan W.W., Fu Н. S., Walker J. W. Thermally stimulated calacitance (TSGAP) in p-n juctions. Appl. Phys. Letts., 1972, v. 20, 5″ P"193 — 195.
- Eklund P. C., Van Zandt L.L. Inelastic electron tunneling through Schottky barriers on Vanadium-doped. Phys. Rev. B: Solid State, 1975, v. 11, 2, p.784 792.
- Helman J. S., Sinencio P. Resonant tunneling throungh Schottky barriers. Appl. Phys. Letts., 1976, v. 28, 1, p.34 — 36.
- Стриха В.И. Теоретические основы работы контакта металл-полупроводник. Киев: Наукава думка, 1974, 246 с.
- Валиев К.А., Пашинцев Ю. И., Петров Г. В. Применение контакта металл-полупроводник в электронике. М.: Сов. радио, 1981, 304 с.
- Cowley А. М. Pepletion capacitance and diffusion potential of Gallium Phosphide Schottky-barrier diodes. -J. Appl. Phys., 1966, v. 37″ 8, p.3024 3032.
- Дмитрук H.I., Терещенко А. К., Маева О. И., Ляшенко В. И., Раскевич A.M. Влияние глубоких уровней на емкость пространственного заряда и эффект поля в арсениде галлия. -ФТП, 1973, т.7, В 4, с.671−678.
- Хирт Дк. Доте И. Теория дислокаций. Пер. с англ. Кардонского В. М. М.: Мир, 1968, 440 с.
- Несовершенства в кристаллах полупроводников. Сб. статей: Пер. с англ./Под ред. Петрова Д. А. М.: Металлургия, 1964, 302 с.
- Дефекты в кристаллах полуправодникав. Сб. статей: Пер. с англ./Под ред. Гаргаа С.Н.- М.: Мир, 1969, 375 с.
- Улиямс. Структурные дефекты в эпитакспальном? ah. В кн.: Арсенид галлия. Пер. с англ./Под ред. Виделя A.A. М.: Сс®.радио, 1972, с.40−47.
- Драненко A.C., Новиков H.H., Иванов В. И. Особенности распределения дислокаций в эпитаксиалышх слоях арсенида галлия. УФЖ, 1982, т.27, JS II, с.1668−1670.
- Мильвидский М.Г., Освенский В. Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников. М.: Металлургия, 1984, 356 с.
- Бублик В.Т., Дубровна А. Н. Методы исследования структуры полупроводников и металлов. М.: Металлургия, 1978,272 с.
- Амелине С. Методы прямого наблюдения дислокаций. Пер. с англ. Кордонского В. М. М.: Мир, 1968,440 с.
- Травление полупроводников. Пер. с англ.С.Н. М.: Мир, 1965, 382 с.
- Шифрин С.С., Мильвидский М. Г., Освенский В. Б. Проекционное травление как метод исследования дефектов структуры кристаллов полупроводников. Кристаллография, В82, т.27,3, с.712−721.
- Гатос X., Муди П., Лавин М. Выращивание кристаллов In 3b в направлении, полярном . В кн.: Нсвое в получении монокристаллов полупроводников. Пер. с англ./Под ред. Петрова Д. А. М.: ИЛ, 1962, с.234−237.
- Уайт, Рот. Полярность монокристаллов арсенида галлия. Там же, с.225−229.
- Aprahamc М. С., Ekstron L. К. Properties of elemental compound semiconductors. Ed. Ъу H. C. Satos, Interscince, Hew York, 1960, p.225 — 241.
- Richards J. L., Crocker A. J. Etch point in J. Appl. Phys., 1960, v. 31i 3″ Р.611 — 612.
- Освенский В.Б., Холодный JI.П. Подвижность индивидуальных дислокаций в арсениде галлия. ФТТ, 1972, т.14,1. В II, с.3330−3335.
- Steinhardt Н", Haasen P. Creep and dislocation velocities in Gallium Arsenide. Phys. Status Solid (a), 1978, A 49, 1, p.93 — 101.
- Ван Бюрен. Дефекты в кристаллах. Пер. с англ./Под ред. Орлова А. Н. и Регеля В. Р. М.: ИЛ, 1962, 584 с.
- Dew-Hugres D. Dislocations and plastic flow in Germamium. IBM J. Res. and Developm., 1961, v. 5, 4, p.279 — 286.
- Peisker E., Haasen P., Alexaneler H. Anisotropic plastic deformation of indium antimonide. Phil. Mag., 1962, v. 7, 80, p.1279 — 1303.
- Освенский В.Б., Еремеев В. В. Влияние некоторых факторов на генерацию дислокаций в монокристаллах под действием термических напряжений. Кристаллография, 1970, т. 15, В 5, C. I044-I048.
- Фомин В.Г., Освенский В. Б., Мильвидский М. Г. и другие.
- В кн.: Процессы роста и синтеза полупроводниковых кристаллов и пленок. Часть 2 / Под ред. Кузнецова В. А. и Александрова Л. Н. Новосибирск: Наука, СО АН СССР, 1975, с.3−6.
- Освенский В.Б., Шифрин С. С., Мильвидский М. Г., Столяров O.P. Закономерности размножения дислокаций в кристаллах полупроводниковых соединений типа aV. В кн.: Дефекты структуры в полупроводниках. Новосибирск: Изд-во ИФП АН СССР, 1973, с.123−126.
- Алехин В.П., Надточий В. А., Нечволод Н. К., Шорохов М. Х. О пластической деформации (j? и Si при комнатной температуре в условиях одноосного сжатия. Там же, с.142−145.
- Алехин В.П., Терновский А. П., Шорохоров М. Х. О механизме деформации и образования отпечатка при микроинден-тации хрупких кристаллов и природе фото- и электромеханического эффектов. Там же, с.194−197.
- Дислокации и физические свойства полупроводников. Под ред. Регеля JE.: Наука, 95 с.
- Бонч-Бруевич В.Л. К теории электронных состояний, связанных с дислокацией. П. Винтовые дислокации. ФТТ, т. З, вып.1, с.46−52.
- Ншштенко В.И., Осипьян Ю. А. Влияние дислокации на оптические, электрические и магнитные свойства кристаллов.-В кн.: Проблемы современной кристаллографии. Под ред. Вайн-штейна Б.К. и Чернова A.A. М.: Наука, 1975, с.239−261.
- Oberg S. Electronic stetes associated with 60 dislocation in Gallium Arsenide. Fhys. St. Sol., 1978, В 89, 2, K127 — K130.
- Ерефеев В.H., Никитенко В. И. Сопоставление экспериментальных данных и теории подвижности дислокации в кремнии.
- Ж. Экспер. и теор.физ., 1971, т.60, К 5, с.1780−1786.
- Милквидский М.Г., Освенский В. Б. Закономерности деф ект о о б раз ов ания в гетероэпитаксиальных структурных соединениях aV для оптоэлектроники. Кристаллография, 1977, т.22, В 2, с.431−446.
- Конакова Р.В., Матвеева JI.A., Солдатенко Н. Н., Тхорик Ю. А. Влияние механических напряжений на электрические параметры лавино-пролетных гетеродиодов. Микроэлектроника, 1979, т.8, вып.4, с.346−350.
- Olsen G. Н. Dislocation in Varor-grown compositinally graded (In, Ga) P. J. Appl. Phys., 1975, v 46, 10, P.4259 — 4270.
- Дружинина JI.В., Бублик В. Т. и другие. Исследование кристаллического совершенства гетероструктур в системе твердых растверов Шз Ms и его влияние характеристики инжек-ционных лазеров. — Ж. тех. физики, 1974, № 44, с.1449−1506.
- Nannichi Y., Hayashi I. Degradation of (Ga, A1) As double heterosturucture diode lasers. J. Cryst. Geowth, 1974, v. 27, 1, p.126 137.
- Ito Ryoichi, Nakashima Hisao, Nakada Osainu. Growth of dark lines feom crystal defects in GaAs-GaAlAs double heterosturucture crystals. Jap. J. Appl. Phys., 1974, v. 13, 8, p.1321 — 1322.
- Байард, Питтмен и Лизер. Деградация квантового выхода в излучателях света из (jaJIs. В кн.: Арсенид галлия. -М.: Сов. радио, 1972, с.137−142.
- Petroff P., Hartman R.L. Deffect sturucture introduced during operetion of heterojunction GaAs lasers. Appl. Phys.1.tt. 1973, v. 23, 8, p.469 471•
- Petroff P., Johnston W. D. Jr., Hartman R. L. Nature of optically induced defets in Ga^ ^Al^As GaAs double-heterojunction laser structures. — Appl. Phys. Lett., 1974, v. 25, 4, P.226 228.
- Hatchinson P. S., O’hara S., Newman D. H. Deffect structure of degraded heterojuction GaAlAs GaAs lasers. — Appl. Phys. Lett., 1975, v. 26, 5, p.250 252.
- Kohayshi Takeshi, Kawakemi Jsuyoshi, Fueukawa Yoshitaka. Thermal aiagnosis of dark lines in degraded GaAs -AlGaAs double-heterostructure lasers. Jap. J. Appl. Phys., 1975, v. 14, 4, P.508 515,
- Branther W. A., Harrison D. A. Degradation studies of diffused GaAs electroluminescent diodes subjeted to mechanical stress. Proc. IEEE Rel. Phys. Symp.,
- April 1973, IEEE Gat., 73, CHO, P.775 779.
- Елисеев П.Г., Хайдаров А. В. О роли механических напряжений в постепенной даградации СИД и инфекционных лазеров. Квантовая электроника, 1975, т.2, J5 I, с.127−129.
- Берг А., Дин П. Светодиоды. Пер. с англ./Под ред. Юновича А. Э. М.: Мир, 1979,688 с.
- Metter К., Pawlik D. Effect of dislocations on the degradation of Si-doped GaAs luminescent diodes. Siemens Res. and Der, Reps., 1972, 3, p.274 278.
- СтрихаВ.И., Бузанева EI.B., Разиевский И. А. Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки.-М.: Сов. радио, 1974, 248 с.
- Полупроводниковые приборы с барьером Шоттки и их применение.- Киев- Общество Знание, УССР, 1975, 48 с.
- Гольдберг Ю.А. Барьер Шоттки и их использование для исследования свойства полупроводников. Микроэлектроника, 1982, т. II, }Ь I, с. Зт-19.
- Физические основы надежности интегральных схем. Под ред. Миллера Ю. Г. М.: Сов. радио, 1976, 319 с.
- Кольвенас С.П., Версоикас А. П., Юшкевичене М. М. О свойствах реальной поверхности электронного германия при механическом давлении. ФТП, 1972, т.6, вып.4, с.769−771.
- Kumar Vipin, Ram Sita, Patshad R. Effect of pressure on current-voltage characteristics of mechanical metal-semiconductor contacts. Ind. J. Pure, and Appl. Phys., 1977, v. 15, 3, p.176−181.
- Kusaka M., Okamura M. Electrical properties of interface betwen metal and 3−5 semiconductor undey mechanical stress. Surface., 1979, 86, p.841 847.
- Божков В.Т., Малаховский 0.10. О низкотемпературном поведении прямых вольт-амперных характеристик диодов с барьером Шоттки. Изв.вуз.Физика, 1983, ¡-Ь I, с.94−100.
- Вяткин А.П., Максимова Н. К., Филонов И. Г. 0 природе низкотемпературных аномалий ВАХ контактов металл-полупроводник. ФТП, 1983, т.17, вып.6, c. II47-II49.
- Акулова Г. В., Корнилова Т. А. Исследование дефектов в арсениде галлия, вводимых при термокомпрессии. Электр, техника. Сер. З, 1980, вып.1, с.6К64.
- Kynihiko Takahashi. Companison of etch rits and V I characteristics in n-GaAs 100 crystaks. — Jap.
- J. Appl. Phys., I98O, v. 19, 4, P.773 774.
- Patwari A. M., Hartnagel H. L. Effect of demage and surface topology on low-deped gallium arsenide nikel and aluminium Schottky diodes.- Proc. 5-th Iran. conf. elec. Eng., Shiraz, 1975, v. 21, s. 1, s.a., p.899 909.
- Эрглис А.Э., Янсом У. В. Логарифмическая установкас температурной стабилизацией. ПТЭ, 1980, вып.1, с.137−138.
- Филинов Я.Г. Запись в полулогарифмическом масштабе вольт-амперных характеристик полупроводниковых структур. ПТЭ, 1982, вып.1, с.216−217.
- Виктор П.А., Зотов В. В., Сердюк В. В. Формирование неоднородности в монокристаллах CdS при пропускании фототока вследствие дрейфа заряженных рекомбинационных центров.-ФТП, 1979, T. I3, ja II, с.2259−2262.
- Бойко В.Л., Рыбин В. Н. Исследование неоднородности темнового зонда.- УФЖ, 1983, т.28, !Ь II, с.1705−1710.
- Вул Б.М., Заварицкая Э. И., Шотов Л. П. Вольт-амперные характеристики р-п-переходов в сильно легированном арсе-ниде галлия. ФТТ, 1964, т.6, вып.5, с.1465−1471.
- Птащенко A.A., Преснов В. А. и другие. Избыточные токи и старение светодиодов на основе (jOLUs. Электр.техника. Сер.2, 1971, В 7, с.16−20.
- Konakova R. V., Melnikov G. D., e.a. Influence of structural defects concentration inhomogeneiticesin GaAs epitaxial layers on I V characteristies of Schottky barrier diodes. — Fhys. Stat. Solid., 1979, A 55,2, К 131 К 133.
- Птащенко A.A. Деградация светоизлучающих диодов.- Ж. прик.спетр., 1980, т.33, вып.5, с.781−803.
- Вавилов B.C., Кив А.Е., Ннязова O.P. Механизм образования и миграции дефектов в полупроводниках. М.: Наука, 1981, 368 с.
- Тимашев С.Ф. 0 термической ионизации «глубоких» центров в области пространственного заряда в полупроводниках. -ФТТ, 1972, т.14, В I, с.171−174.
- Кузнецов В.К., Новиков В. Б., Шевченко В.Я. Влияние некоторых технических параметров на образование дислокаций в
- G CL As. В кн.: Арсенид галлия. Томск. Изд-во Томск, ун-та, 1968. с.445−448.
- Сейранян Г. Б., Тхорик Ю. А. 0 роли поверхностных состояний в вотировании барьера Шоттки на контакте металл-арсе^ нид галлия. Полупроводниковая техника и микроэлектроника, 1973, В II, с.34−50.
- Борковская О.Ю., Дмитрук Н. Л. и другие. Влияние низкотемпературных прогревов на характеристики диодов Шоттки
- Ch ?aMs и кk-Ch-BcJIs .- Полупроводниковая техника, Сер.2, 1979, Й8 (134), с.47−52.
- Фридель, Дислокации. Пер. с англ./Под ред. Ройтбурда А. Л. М.: Мир, 1967, 643 с.
- Птащенко A.A., Эм Рен Сик, Влияние механическихм М Т*напряжении на поверхностные свойства арсенида галлия. В кн.: Физика поверхностных явлений в полупроводниках. Тезисы УШ совещания. 4.2. Киев: Наукова думка, 1984, с. 67.
- Птащенко A.A., Эм Рен Сик. Влияние механических напряжений на характеристики диодов с барьером Шоттки на основе GaJIs. Материалы Научной конференции молодых ученых Одесского госуниверситета им. И. И. Мечникова. Одесса, 29−30 марта 1984, с.158−165.