Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Физико-химические основы получения высокочистого фосфина

Диссертация: Физико-химические основы получения высокочистого фосфина
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Показано, что под воздействием ультразвука плотность тока и, соответственно, производительность электрохимического синтеза фосфина возрастает в пять раз и составляет 1 А/см". Установлено, что ультразвук препятствует накоплению ион-радикалов фосфида свинца в прикатодном пространстве, в результате которого происходило образование малореакционноспособных полимерных структур фосфора и снижение… Читать ещё >

Физико-химические основы получения высокочистого фосфина (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
    • 1. 1. Строение и физические свойства фосфина
    • 1. 2. Методы получения фосфина
      • 1. 2. 1. Химические методы получения фосфина
      • 1. 2. 2. Электрохимические методы получения фосфина
    • 1. 3. ' Механизм электрохимического образования фосфина
    • 1. 4. Анализ фосфина.26 >
      • 1. 4. 1. Газохроматографический метод анализа фосфина
      • 1. 4. 2. Масс-спектрометрический анализ
    • 1. 5. ' Методы глубокой очистки фосфина
      • 1. 5. 1. Химические и адсорбционные методы
      • 1. 5. 2. Дистилляционные методы
  • Г. 5.3 Мембранные методы
    • 1. 6. Выводы. Постановка задачи
  • 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО СИНТЕЗА И ГЛУБОКОЙ, ОЧИСТКИ ФОСФИНА.39'
    • 2. 11. Описание экспериментальной установки для изучения электрохимического синтеза фосфина.39'
    • 2. 2. Очистка реагентов для электрохимического получения фосфина
    • 2. 3. Методика определения количества фосфина в синтез-газе
    • 2. 4. Закономерности процесса электрохимического синтеза фосфина
    • 2. 5. Методика определения толщины пленки фосфора на катоде
      • 2. 5. 1. Определение толщины пленки фосфора на катоде оптическим методом
      • 2. 5. 2. Определение толщины пленки фосфора на катоде по ее электропроводности
    • 2. 6. Экспериментальный образец установки синтеза фосфина
    • 2. 7. Дистилляционная очистка фосфина-сырца
  • 3. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО ПОЛУЧЕНИЯ И> ОЧИСТКИ ФОСФИНА
    • 3. 1. Термодинамический анализ электрохимического получения фосфина
    • 3. 2. Вероятностное описание чистоты фосфина
      • 3. 2. 1. Оценка суммарного содержания примесей
      • 3. 2. 2. Оценка достоверности и полноты массива данных по примесному составу фосфина
    • 3. 3. Анализ методов низкотемпературной дистилляции фосфина
    • 3. 4. Анализ мембранных методов очистки фосфина
      • 3. 4. 1. Метод мембранного газоразделения с питающим резервуаром для очистки от труднопроникающих примесей
      • 3. 4. 2. Метод мембранного газоразделения с питающим резервуаром для очистки от легкопроникающих примесей
      • 3. 4. 3. Расчет аппарата мембранного газоразделения с питающим резервуаром для очистки от трудно- и легкопроникающих примесей
  • 4. ГАЗОХРОМАТОГРАФИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ПРИМЕСНОГО СОСТАВА ФОСФИНА
    • 4. 1. 1. Анализ на содержание примесей постоянных газов
    • 4. 1. 2. Анализ на содержание примесей углеводородов и летучих неорганических гидридов
    • 4. 2. Полученные результаты
  • ВЫВОДЫ

В настоящее время высокочистый фосфин находит широкое применение в качестве исходного материала в микроэлектронике и полупроводниковой технике. Он используется в методах газофазной эпитаксии при получении сложных полупроводниковых структур типа AmBv (например, фосфид галлия, фосфид индия), а также применяется для легирования полупроводников IV группы.

Основной метод получения фосфина — кислотный гидролиз фосфидов алюминия, магния или кальция, с последующей глубокой очисткой фосфина от воды, серуи мышьяк содержащих соединений, хлористого водорода, полифосфинов, углеводородов и других примесей [1]. Этот метод производства фосфина имеет следующие недостатки:

1. кислотный гидролиз соединений гидридообразующих элементов с металлом является универсальной реакцией получения всех летучих неорганических гидридов. Поэтому, в случае присутствия мышьяка, серы, кремния и других элементов в исходном сырье, образующих летучие соединения с водородом, фосфин будет загрязнен их гидридами. Например, арсином, сероводородом и др.;

2. в результате кислотного гидролиза фосфида металла получается большое количество жидких токсичных фосфорсодержащих отходов, утилизация которых сложная и дорогостоящая процедура;

3. синтез фосфидов алюминия или магния взрывоопасный процесс, который требует специальных мер безопасности.

Как было показано в работах [2−12] электрохимический метод синтеза фосфина экономичнее и* технологичнее химического и является перспективным для внедрения в практику получения фосфина.

В литературе [1−29] описаны следующие способы проведения электрохимической реакции синтеза фосфина:

1. катодное восстановление расплава белого фосфора в нейтральных растворах галогенидов металлов;

2. катодное восстановление раствора белого фосфора в органических растворителях;

3. катодное восстановление водной суспензии красного фосфора;

4. катодное восстановление расплава белого фосфора в кислых электролитах.

В первом варианте на аноде происходит образование галогена, который необходимо утилизировать, а в электролите постепенно накапливается щелочь, с которой взаимодействует фосфор, что вызывает необходимость или ее нейтрализации, или замены электролита.

Второй способ не подходит для производства высокочистого’фосфина для микроэлектроники, так как присутствие в катодном газе органических фосфинов, прочих продуктов восстановления органических соединений (прежде всего метана, этана и пропана) исамого растворителя делает последующую очистку неэффективной и дорогостоящей. Однако этот метод успешно применяется для получения фосфорорганических соединений [13].

Третий способ самый удобный с технологической и экологической точек зрения, так как красный фосфор по сравнению с белым менее токсичное и пожароопасное вещество. Но невысокий выход по току, порядка 39% и менее [14] (3−8% по другим данным [15]), снижает ценность этого метода для производства фосфина, а неопределенная молекулярная структура красного фосфора вызывает неустойчивость параметров процесса, и, вероятно, не сможет обеспечить стабильного выхода фосфина.

При восстановлении расплава белого фосфора в кислом электролите выход фосфина по току достигал 92%- его определенная молекулярная структура позволяет получить более постоянные характеристики гидрирования, что обеспечивает стабильность процесса синтеза. Однако, данные о механизме катодного восстановления расплава белого фосфора неполны и противоречивы. Несмотря на то, что были созданы и запатентованы опытные образцы установок электрохимического получения фосфина, в литературе нет данных об использовании этого метода в практике.

Таким образом, целью нашей работы было теоретическое и экспериментальное исследование катодного восстановления расплава белого фосфора в кислом электролите с целью установления механизма протекания указанного процесса, разработка эффективных методов электрохимического получения фосфина и его очистки, разработка методов газохроматографического анализа фосфина с высокими пределами обнаружения.

1 Литературный обзор

1.1> Строение и физические свойства фосфина.

Конфигурация фосфина установлена методами ИК-, микроволновой и ЯМР — спектроскопии и электронографии. Молекула имеет вид тригональной пирамиды [30]:

Все три атома водорода в молекуле равноценны, расстояние фосфорводород составляет 1,419 А, а угол Н-Р-Н 93,7° [30]. Молекула фосфина обладает небольшой полярностью (дипольный момент 0,55 D) [29].

Форму молекулы фосфина и многие его химические свойства можно объяснить с позиции s-р-гибридизацииучастие d-орбиталей в образовании связей, вероятно, невелико. В фосфине осуществляются р3 — связив результате получается одна электронная пара на ЗБ-орбите и три электронные пары на Зр-орбите. Последние электронные пары состоят из трех электронов, поставляемых атомом фосфора и трех, поставляемых атомами водорода. При этом в неподеленной электронной паре преобладает s-характер. Таким образом, молекула имеет следующую электронную структуру [31]:

Н:Р:Н Н.

Температуры кипения, плавления и полиморфных превращений фосфина представлены в таблице 1. В твердом состоянии фосфин имеет четыре полиморфные модификации. По сравнению с ближайшим аналогом фосфина — аммиаком, он имеет более низкие температуры плавления и испарения.

Таблица 1. Температура и теплота фазовых и полиморфных превращений фосфина [1] состояние Т К Р, КПа АН, кДж/моль начальное конечное.

ТВ. IV ТВ. III 30,31 0,0821.

ТВ. III ТВ. II 49,44 0,779.

ТВ. II TB. I 88,10 0,486.

TB.I ж. 139,35 36,437 1,131 ж. г. 187,16 101,325 14,077.

Термодинамические функции фосфина приведены в таблице 2. Таблица 2. Термодинамические функции фосфина Дж/моль-К [1].

Т, К Нт-Н0 т Sj GTН0 Т С' ^р

298,2 33,91 210,19 176,27 36,68.

300 34,04 210,40 176,48 36,76.

400 35,17 221,53 186,36 41,16.

500 36,80 231,21 194,40 45,72.

600 38,65 239,92 201,27 50,03.

700 40,57 247,95 207,38 54,05.

800 42,50 255,41 212,91 57,61.

900 44,34 262,36 218,02 60,75.

1000 46,14 268,93 222,79 63,47.

Плотность фосфина, измеренная в интервале от тройной точки до температуры кипения, удовлетворительно описывается уравнением [32]: d =, 061−0,171-Г, (1−1) где d — плотность, г/см — Т — температура, К.

Плотность фосфина при температуре кипения составляет 0,741 г/см.

Плотность газообразного фосфина при нормальных условиях составляет 0,15 294 г/см [1]. Плотность газа с удовлетворительной точностью совпадает со значением, вычисленным из уравнения Менделеева-Клапейрона, что свидетельствует о мономерном строении молекул в газообразном состоянии и слабом межмолекулярном взаимодействии.

Плотность пара фосфина, равновесного с жидкой фазой, приведена в таблице 3.

Таблица 3. Зависимость плотности пара фосфина от температуры [1] т, к d, г/см3 т, к d, г/см3 т к d, г/см3 т, к d, г/см3 т, к d, г/см3.

185,65 0,002 213,15 0,007 243,15 0,019 273,15 0,042 303,15 0,086.

193,15 0,003 s 223,15 0,010 253,15 0,025 283,15 0,053 313,15 0,110.

203,15 0,005 233,15 0,014 263,15 0,033 293,15 0,067.

Мольный объем фосфина, вычисленный из плотности фосфина при о его температуре кипения, составляет 45,72 см [32].

Поверхностное натяжение сжиженного фосфина на границе с собственным паром в зависимости от температуры было определено в работе [32], оно описывается уравнением: о-= 49−0,157', (1−2) где оповерхностное натяжение, кДж/м" - Г-температура, К. Относительная ошибка в измерении поверхностного натяжения не превышала 6%.

Поверхностное натяжение фосфина, указанное в [34] при температурах 167,15 и 178,95 К равно, соответственно, 22,78 и 20,80 кДж/м2.

Экспериментальное значение поверхностного натяжения фосфина при температуре кипения [32], а также вычисленные из критического давления по уравнению [1]: о-га"=^(Л,+0,012 Г, ц"), (1−3) о, J где ашп — поверхностное натяжение при температуре кипения, кДж/м — Ткиптемпература кипения, КРкр — критическое давление, атм.) составляют 21,41 и 23,33 кДж/м2 соответственно.

Парахор фосфина, определенный в работе [32] составляет 94,7.

Вязкость фосфина в жидком состоянии в зависимости от температуры описывается уравнением [35]: плле 4912,4 455 270, л.

In 7/ = 7,115—+ (1−4) где щ — вязкость, пуазТ — температура, К. Относительная ошибка измерения вязкости не превышала 6%. Вязкость фосфина с повышением температуры уменьшается, что характерно для неассоциированных жидкостей.

Вязкость фосфина при температуре кипения составляет 21,39−10″ г/см-с.

35].

Вязкость фосфина в газообразном состоянии в зависимости от температуры (193 — 273 К) описывается уравнением [36]:

77 = 3,648−107-Г'-013, (1−5) где rj — вязкость, пуазТ — температура, К. Ошибка в измерении составляет 0,5%.

Теплоемкость фосфина была исследована на образце, чистотой 99,94% (об.). Результаты приведены в таблице 4.

Таблица 4. Теплоемкость (Ср) фосфина кДж/моль-К по данным [1], кроме указанных.

Устойчивая форма Устойчивая форма т, к фосфина Состот, к фосфина Состониже 49,43 К выше 49,43 К яние ниже 49,43 К выше 49,43 К яние.

10 1,34 [34] - ТВ. 90 46,69 ТВ.

15 4,02 6,53 ТВ. 100 46,94 ТВ.

20 7,49 10,30 ТВ. 110 47,23 ТВ.

25 11,14 16,12 ТВ. 120 47,61 ТВ.

30 14,91 26,09 ТВ. 130 48,28 ТВ.

35 18,67 45,64 ТВ. 140 61,76 ж.

40 ' 22,53 40,91 ТВ. 150 60,80 ж.

45 26,42 43,21 ТВ. 160 60,50 ж.

50 45,14 ТВ. 170 60,46 ж.

60 47,82 ТВ. 180 60,54 ж.

70 49,36 ТВ. 200 33,87 [34] г.

80 50,50 ТВ. 298,15 37,12 [34] г.

Потенциал межмолекулярного взаимодействия был вычислен из значения вязкости в работе [36]. Ввиду того, что дипольный момент фосфина невелик, для расчета межмолекулярного взаимодействия использовалась потенциальная функция Леннард-Джонса (12−6): р{г) = 4 8 а г J.

1−6) где <�р (г) — потенциальная энергия двух взаимодействующих молекул, находящихся на расстоянии г друг от другае — значение потенциальной энергии в точке минимумаа — эффективный диаметр молекулы. Таким образом, постоянная сил межмолекулярного взаимодействия в фосфине для потенциала Леннард-Джонса (12−6) е/к = 270 К {к — постоянная Больцмана). Эффективный диаметр молекулы фосфина составляет 3,897 А.

Термодиффузионные постоянные для смесей фосфин — водород приведены в таблице 5.

Таблица 5. Зависимость термодиффузионной постоянной (а) от состава смеси фосфин — водород при температуре 244 К [1].

Н2, % (об.) а Н2, % (об.) а Н2, % (об.) а.

10 0,136 40 0,171 70 0,226.

20 0,144 50 0,187 80 0,251.

30 0,157 60 0,204 90 0,278.

Диэлектрическая проницаемость фосфина с при давлении 101 325 Па, частоте <106Гц, температурах 16 и 100 °C равны, соответственно, 1,0238 и 1,146 [34].

Критические температура, давление и объем фосфина составляют соответственно 324,54 К- 6,535 мПа и 113,33 см /моль [1].

Давление насыщенного пара фосфина. Из значения тройной точки видно, что фосфин — докритический газ. Зависимость давления насыщенного пара от температуры (в интервале 122,5 — 183,51 К) описывается уравнением [1]:

1 977 47S lg р = - т — 5.85 6527lgr — 2.045 • 10″ 3 Г + 23.397 806, (1−7) где Р — давление насыщенных паров, мм рт. ст.- Т— температура, К.

При комнатной температуре фосфин можно хранить в сжиженном состоянии, при этом давление насыщенного пара над жидкостью будет 3,9 мПа.

Константы в уравнении Ван-дер-Ваальса, вычисленные из критических данных для объема, занимаемого 1/22 415 моля при давлении 1 атм. и температуре 0 °C (1 см для идеального газового состояния), а (см6-атм.) и b (см3), равны, соответственно, 0,923 и 0,2 302 [34].

Растворимость фосфина в различных растворителях представлена в таблице 6.

Таблица 6. Растворимость фосфина в органических растворителях при 20° С [37].

Растворитель S, см3/г.

Пиридин 1,3.

Трифенилхлорметан 1,75.

Диизобутилалюминийгидрид 1,18.

Диизобутилалюминийхлорид 1,39.

Диэтиламин 0,35.

Ацетон 0,5.

Диоксан 0,7.

Растворимость фосфина в ряде растворителей, определенная методом газо-жидкостной хроматографии [37], показана в таблице 7. S — число миллилитров газа, растворенного в 1 мл жидкой фазыА и В — коэффициенты в уравнении, описывающим температурную зависимость растворимости фосфина:

S = АВТ. (1−8).

АР — интервал парциальных давлений, при которых проводились измерения. Максимальное отклонение от среднего значения растворимости не превышало 3%. Scp — среднее значение растворимостиASH — теплота растворения фосфина, вычисленная из температурной зависимости растворимости фосфина. Значения теплоты сравнительно не велики, что подтверждает ван-дер-ваальсовский характер взаимодействия молекул фосфина с молекулами растворителя. у2 — коэффициент активности фосфина в растворе при температуре -3,5° С. Вычисления проводились по уравнению:

1−9) где Sрастворимость фосфина, мл/млns — число молей растворителя в 1 мл жидкой фазыР — давление пара гидрида при температуре Т°С, атм.

Таблица 7. Растворимость фосфина в различных растворителях (объяснение в тексте).

Растворитель S, А В ДР! Sep ASH 72.

Нитробензол 8,59- 10,56 0,094 0,02−18,0 8,6 1,56 0,345.

Вазелиновое масло 15,9 19,0 0,174 0,1−43,0 15,9 3,0 0,312.

Фурфурол 8,59 10,98 0,12 — - 3,4 0,263.

Хлорекс 20,0 29,17 0,44 0,06−19,0 20,0 2,2 0,135.

Этилцеллозольв 9,4 13,07 0,168 0,3−25,0 9,4 0,95 0,205.

Силиконовое масло 702-ДФ 15,3 16,26 0,049 — - 3,6 0,807.

Силиконовое масло ITOMC-4 °F 15,3 18,26 0,146 0,03−23,0 16,5 2,3 0,316.

Силиконовое масло ВКЖ-94Б 16,48 22,64 0,31 — - 6,0 0,208'.

Дидецилфталат 23,5 26,18 0,143 — - 4,0 0,171.

Триэтоксисилан 12,2 15,7 0,171 — - 5,4 0,240.

Тетраэтоксисилан 12,45 14,78 0,120 — - 5,0 0,210.

Вода 0,24 0,118 0,0016 — - 2,83.

Влияние на человека. Растворимость фосфина в крови близка к его растворимости в воде. Фосфин действует преимущественно на нервную систему, нарушает обмен веществ, влияет на кровеносные сосуды, органы дыхания, печень, почки [38].

В легких случаях отравления боли в области диафрагмы, отдающие в спину, чувство холода, позже бронхит. В случаях средней тяжести — страх, озноб, рвота, ощущение стеснения в груди, резкое удушье, загрудинные боли, иногда сухой кашель, жгучая боль в затылке, головокружение, шум в ушах, общая слабость, обложенный язык, отсутствие аппетита и жажда. В тяжелых случаях — оглушение, неверная походка, подергивания в конечностях, расширение зрачков. Смерть наступает через несколько дней при явлениях паралича дыхания и сердечной мышцы, при высоких концентрациях фосфина может наступить мгновенно [38].

Запах фосфина ощущается при 0,002 — 0,004 мг/л, при концентрации 0,01 мл/л многочасовое воздействие может привести к смерти [38], что служит серьёзным препятствием для его практического использования [29, 30].

Предельно допустимая концентрация фосфина в воздухе рабочего помещения 0,1 мг/м3 [38].

Неотложная терапия. Удаление из зараженной атмосферы, полный покой, тепло, вдыхание кислорода, сердечные средства, крепкий сладкий чай, кофе. В тяжелых случаях кровопускание (200−300 мл), если максимальное артериальное давление не ниже 105−100 мм рт. ст. [38].

Индивидуальная защита. Фильтрующий противогаз марки Е или БКФ при наличие тумана. Полная герметизация, процессов, где возможно, образование и выделение фосфина, местные вытяжные устройства [38].

Выводы.

1. Установлено, что перенос заряда через пленку фосфора, образующуюся на катоде, осуществляется за счет образования фосфида свинца, который переносится конвекционными потоками через пленку фосфора и взаимодействует с электролитом с выделением фосфина;

2. Показано, что под воздействием ультразвука плотность тока и, соответственно, производительность электрохимического синтеза фосфина возрастает в пять раз и составляет 1 А/см". Установлено, что ультразвук препятствует накоплению ион-радикалов фосфида свинца в прикатодном пространстве, в результате которого происходило образование малореакционноспособных полимерных структур фосфора и снижение производительности процесса;

3. Проведен термодинамический анализ системы, содержащий воду, фосфор и ортофосфорную кислоту. Показано, что фосфин наиболее вероятный продукт, образующийся на катоде. Анализ возможности образования летучих неорганических гидридов на катоде показал, что вероятно загрязнение фосфина примесями сероводорода и германа;

4. Предложена методика газохроматографического анализа фосфина с пределами обнаружения примесей постоянных газов на уровне.

10° % об., примесей углеводородов и летучих неорганических гидридов на уровне 10″ 6% об. Исследован примесный состав фосфина на разных стадиях его получения. Показано, что на стадии синтеза происходит очистка фосфина от большинства летучих примесей. Фосфин, очищенный низкотемпературной дистилляцией, соответствует SEMI-стандарту;

5. Предложена схема мембранной очистки фосфина на аппарате «мембранная колонна с питающим резервуаром». Рассчитана кратность очистки фосфина от ряда примесей при использовании мембраны из материала «Силар», показана высокая эффективность мембранной очистки.

Показать весь текст

Список литературы

  1. , Г. Г. Летучие неорганические гидриды особой чистоты / Г. Г. Девятых, А. Д. Зорин. -М.: Наука, 1974.—207 с.
  2. Пат. 31 097 885 США, МКИ1. Method of preparing phosphine / I. Gordon. -№ 45 668 — заявлено 27.07.60.
  3. Пат. 3 109 786 США, МКИ1. Process for preparation of phosphine / G. T. Miller, J. Steingart. № 45 554 — заявлено 27.7.60.
  4. Пат. 3 109 787 США, МКИ1. Production of phosphine / D. T Price, I. Gordon. № 45 567 — заявлено 27.07.60.
  5. Пат. 3 109 788 США, МКИ1. Electrolytic production of phosphine / T. Miller, J. Steingart. № 45 653 — заявлено 27.07.60.
  6. Пат. 3 109 789 США, МКИ1. Preparation of phosphine / Т. Miller, J. Steingart. № 45 654 — заявлено 27.07.60.
  7. Пат. 3 109 790 США, МКИ1. Method of preparing phosphine / T. Miller.- № 45 655 — заявлено 27.07.60.
  8. Пат. 3 109 791 США, МКИ1. Method of preparing phosphine /1. Gordon.- № 45 664 — заявлено 27.07.60.
  9. Пат. 3 109 792 США, МКИ1. Method of preparing phosphine /1. Gordon.- № 45 665 — заявлено 27.07.60.
  10. Ю.Пат. 3 109 793 США, МКИ1. Method of preparing phosphine /1. Gordon.- № 45 666 — заявлено 27.07.60.
  11. Пат. 3 109 794 США, МКИ1. Method of preparing phosphine /1. Gordon.- № 45 667- заявлено 27.07.60.
  12. Пат. 3 109 795 США, МКИ1. Method of preparing phosphine /1. Gordon.- № 45 669- заявлено 27.07.60.
  13. Образование фосфина из красного фосфора при электролизе водных растворов / М. К. Шалашова и др. // Неорганические материалы. — 2006. т. 42, № 3. — С. 278—283.
  14. , А. П. Электрохимические синтезы на основе элементарного фосфора и эфиров фосфористой кислоты / А. П. Томилов, И. М. Осадченко, А. В. Худенко // Успехи химии. 1996. -т. 65, № 11.-С. 1080−1088.
  15. , А. П. Полярографическое определение желтого фосфора в этанольных растворах / А. П. Томилов, И. М. Осадченко // Журн. аналитической химии. — 1966. -№ 21. С. 1498.
  16. , И. М. Электрохимический синтез фосфористого водорода (фосфина) / И. М. Осадченко, А. П. Томилов // Журн. прикладной химии. 1970. — т. 43, № 6. — С. 1255−1261.
  17. , И. М. Баланс продуктов электролиза желтого фосфора / И. М. Осадченко, А. П. Томилов // Журн. прикладной химии. 1969. -т. 42, № 6.-С. 1404−1405.
  18. , JI. В. Электрохимический синтез фосфорорганических соединений. III. Электровосстановление фосфора в присутствии стирола / JI. В. Каабак, Н. Я. Шандринов, А. П. Томилов // Журн. общей химии. 1970. — т. 40, № 3. — С. 584−588.
  19. , И. Н. Об электровосстановлении фосфора на ртутном капельном катоде в апротонных растворителях / И. Н. Браго, А. П. Томилов // Электрохимия. 1968. — т. 4, № 6. — С. 697−699.
  20. , А. П. О механизме электровосстановления фосфора на ртутном катоде в спиртовых растворах / А. П. Томилов, И. Н. Браго,
  21. И. М. Осадченко // Электрохимия. 1968. — т. 4, № 10. — С. 11 531 156.23 .Шандринов, Н. Я. Электрохимическое восстановление фосфора на свинцовом катоде / Н. Я. Шандринов, А. П. Томилов // Электрохимия. 1967. — т. 83, № 4. — С. 237−239.
  22. , В. П. Электрохимические методы синтеза гидридов р-элементов / В. П. Гладышев, С. В. Ковалева, Т. В. Сыроешкина // Вестник АН Каз. ССР. 1980. — № 3. — С. 7−17.
  23. Пат. 1 375 819 США, МКИ1. Process and apparatus for the electrolytic generation of arsin, phosphin and stibin / H. Blumenberg. № 303 463 — заявлено 11.06.19
  24. Пат. 3 262 871 США, МКИ1. Preparation of phosphine / G. T. Miller, J. Steingart. № 307 750 — заявлено 09.09.63
  25. , E. Ф. О механизме электродных процессов / Е. Ф. Сперанская // Тр. ин-та хим. наук АН КазССР. 1984. — № 63. — С. 57−73.
  26. , Н. Я. Электрохимическое восстановление фосфора на свинцовом катоде / Н. Я. Шандринов, А. П. Томилов // Электрохимия. 1967. — № 4. — С. 237—239.
  27. , И. М. Гидриды фосфора / И. М. Осадченко, А. П. Томилов // Успехи химии. 1969. — Т. 38, № 6. — С. 1089 — 1107.
  28. , Д. Фосфор. Основы химии, биохимии, технологии / Д. Корбридж. М.: Мир, 1982. — 680 с.
  29. , А. Д. Плотность простейших летучих гидридов элементов III-VI групп / А. Д. Зорин, И. В. Руновская, С. Б. Ляхманов, Л. В. Юданова // ЖНХ. 1967. — Т. 12, № 10. — с. 2529 — 2534
  30. , Г. Г. Поверхностное натяжение летучих неорганических гидридов элементов III-VI групп периодической системы элементов / Г. Г. Девятых, А. Д. Зорин, И. В. Руновская // ДАН СССР. 1969. -Т. 188, № 5 С. 1082−1083
  31. Справочник химика Т. 1. Общие сведения, строение вещества, свойства важнейших веществ, лабораторная техника / гл. ред. Б. П. Никольский и др. JI.: Химия, 1966. — 1072 с.
  32. , И. В. Вязкость сжиженных летучи неорганических гидридов элементов III-VI групп периодической системы Д. И. Менделеева / И. В. Руновская, А. Д. Зорин, Г. Г. Девятых // ЖНХ. -1970. Т. 15, № 9. — С. 2581 -2582
  33. , С. М. Вязкость и потенциал межмолекулярного взаимодействия некоторых летучих гидридов элементов III-IV групп / С. М. Власов, Г. Г. Девятых // ЖНХ. 1966. — Т. 11, № 12. — С. 2681 -2684
  34. , Г. Г. Растворимость летучих гидридов элементов III-IV групп в некоторых растворителях / Г. Г. Девятых, А. Е. Ежелева, А. Д. Зорин, М. В. Зуева // ЖНХ. 1963. — Т. 8, № 6. — С. 1307 — 1313
  35. , Н. В. Вредные вещества в промышленности. Т. 3. Неорганические и элементорганические соединения / Н. В. Лазарев, И. Д. Гадаскина. Л.: Химия, 197/. — 608 с.
  36. , А. Органическая химия фосфора / А. Кибри, С. Уоррен. М.: Мир, 1979.-409 с.
  37. , В.И. Неорганическая химия / В. И. Спицин, Л. И. Мартыненко. М.: МГУ, 1991. — 476 с.
  38. , К. Общая химия / К. Неницеску. М.: Мир, 1968. — 816 с.
  39. , Н. Н. О некоторых проблемах химической кинетики и реакционной способности / Н. Н. Семенов. М.: Изд. АН СССР, 1958.-350 с.
  40. Химическая энциклопедия: т. 5/ гл. ред. Н. С. Зефиров. М.: Болып. росс, энциклоп., 1998. — 783 с.
  41. Weston, R.E. Kinetics of the exchange of hydrogen between phosphine and water. A kinetic estimate of the acid and base strengths of phosphine / R.E. Weston, J. Bigeleisen // J. Am. Chem. Soc. 1954. — Vol. 76, № 11.-P. 3074−3078.
  42. , Д. В. Катализ лигандами в водных растворах / Д. В. Сокольский, Я. А. Дорфман. Алма-Ата: Наука Каз. ССР, 1972. -336 с.
  43. Пат. 2 977 192 США, МКИ1. Process for the production of phosphine and sodium hypophosphite / R. W. Cummins. № 757 186 — заявлено 26.08.58.
  44. Пат. 4 258 022 США, МКИ2. Continuous production of phosphine / G. Eisner и др. № 75 001 — заявлено 12.09.79.
  45. Пат. 4 091 078 США, МКИ2. Production of phosphine / К. Hestermann и др. № 736 556 — заявлено 28.10.76.
  46. Пат. 4 143 121 США, МКИ2. Continuous production of pure phosphine / К. Stenzel и др. № 815 161 — заявлено 13.07.77.
  47. Пат. 3 166 109 США, МКИ1. Process for production of phosphine and phosphite-free phosphates / R. W. Cummins. № 94 703 — заявлено 10.03.61.
  48. Пат. 6 027 667 США, МКИ6. Process and apparatus for producing phosphine-containing gas / H. Feja и др. № 659 911 — заявлено 07.06.96.
  49. Пат. 5 820 840 США, МКИ6. Composition for producing phosphine gas / H. Feja и др. № 659 916 — заявлено 07.06.96.
  50. Пат. 4 136 155 США, МКИ2. Production of phosphine / К. Hestermann, G. Heymer № 904 026 — заявлено 08.05.78.
  51. Пат. 4 207 300 США, МКИ2. Process for the preparation of orthophosphorous acid and phosphine / M. Kestner, P. Teliszczak № 970 846 — заявлено 18.12.78.
  52. Пат. 4 013 756 США, МКИ. Process forpreparing phosphine / E. Lowe, F. Ridgway № 970 846 — заявлено 18.12.78.
  53. Пат. 3 163 590 США, МКИ1. Hydrogenation of groups III, IV, V elements / L. M. Lakewood, S. A. Ring. № 105 925 — заявлено 27.04.61.
  54. , Г. Г. Газохроматографический анализ высокочистых летучих неорганических веществ / Г. Г. Девятых, В. А. Крылов // Высокочистые вещества. 1987. — № 3. — С. 35—48.
  55. , В. И. Газохроматографический анализ гидридов мышьяка, фосфора и их смесей с водородом / В. И. Майоров, Л. Н. Морозова,
  56. A. Д. Молодык // Высокочистые вещества. 1990. — № 4. — С. 145— 150.
  57. , И. И. Газохроматографическое определение микропримесей в газах высокой чистоты с детектором по теплопроводности / И. И. Вассерман, И. Б. Нехлюдов // Высокочистые вещества. 1989. — № 3. — С. 171−175.
  58. , В. Г. Газохроматографические методы анализа примесей /
  59. B. Г. Березкин, В. С. Татаринский. М.: Наука, 1970. — 132 с.
  60. , В. Г. Химические методы в газовой хроматографии / В. Г. Березкин. М.: Химия, 1980. — 256 с.
  61. , Е. Н. Перспективы применения адсорбционных методов глубокой очистки веществ для микроэлектроники / Е. Н. Егоров, А. М. Толмачев, В. А. Федоров // Высокочистые вещества. — 1988. — № 2. С. 31—42.
  62. Глубокая очистка гидридов адсорбционным методом. I. селективность цеолитов к различным гидридам / А. М. Толмачев и др. // Высокочистые вещества. 1988. — № 2. — С. 65—70.
  63. Глубокая очистка гидридов адсорбционным методом. II. Адсорбционно-фильтрационная очистка гидридно-газовых смесей / В. Ю. Орлов и др. // Высокочистые вещества. 1988. — № 2. — С. 71—74.
  64. , А. А. Адсорбция особо чистых летучих неорганических гидридов на различных адсорбентах / А. А. Ефремов, В. И. Морозов, В А. Федоров // Высокочистые вещества. 1991. — № 3. — С. 115 — 121.
  65. Пат. 4 983 363 США, МКИ4. Apparatus for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities there from / T. Glenn, B. Duncan № 163 792 — заявлено 03.03.88
  66. Пат. 4 781 900 США, МКИ4. Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities there from / T. Glenn, B. Duncan № 154 917 — заявлено 02.11.88
  67. Пат. W00245846 Европа, МКИ7 B01D53/46- B01J20/08- B01D53/46- B01J20/06. Method and materials for purifying hydride gases, inert gases, and non-reactive gases / W. Tadaharu- F. Dan. №W02001 — заявлено 17.10.2001 — опубл. 13.06.2002
  68. С. Г. Исследование давления пара бинарных растворов, образованных моносиланом и арсином, моногерманом и фосфином / С. Г. Краснова, А. Д Зорин, Л. В. Юданова // ЖФХ. 1965. — Т. 39, № 10 С. 2440−2444
  69. Исследование проницаемости летучих неорганических гидридов элементов III-VI групп через полимерные мембраны типа «Силар» /
  70. B. М. Воротынцев и др. // Высокочистые вещества. 1988. — № 3.1. C. 205—207.
  71. , В. К., О некоторых силоксановых газоразделительных материалах / В. К. Ежов, Н. А. Поправкин // III Всесоюзн. конф. по мембранным методам разделения смесей: Тез. докл. / Владимир. -1981.-Ч. 2.-С.24.
  72. Концентрирование примеси фосфина в германе методом диффузии через полимерную мембрану / В. М. Воротынцев и др. // Высокочистые вещества. 1989. — № 4. — С. 236—29.
  73. , Н. И. Диффузия в мембранах / Н. И. Николаев. — М.: Химия, 1980.-232 с.
  74. , С. А. Проницаемость полимерных материалов / С. А. Рейтлингер. М.: Химия, 1974. — 272 с.
  75. , В. М. Влияние продольного перемешивания на процесс глубокой очистки газов методом диффузии через полимерные мембраны / В. М. Воротынцев, П. Н. Дроздов, С. М. Носырев, А. Е. Приписнов // Высокочистые вещества. 1987. — № 4. — С. 137−141
  76. , В.М. Разделительная способность мембранных элементов с рециркуляцией при концентрировании примесей из газов / В. М. Воротынцев, П. Н. Дроздов, С. В. Колесов // Высокочистые вещества. 1991. -№ 5. — С. 57—62.
  77. , В.М. Концентрирование примесей в газах в непроточных мембранных элементах / В. М. Воротынцев, П. Н. Дроздов, П. И. Медведев // Высокочистые вещества. 1995. — № 4 С. 93−98
  78. , В.М. Сравнение разделительной способности каскадов типа «непрерывная мембранная колонна» при глубокой очистке газов / В. М. Воротынцев, П. Н. Дроздов // Высокочистые вещества. 1991.-№ 5.-с. 51— 56.
  79. Глубокая очистка газов в каскадах типа «непрерывная мембранная колона» / В. М. Воротынцев и др. // Высокочистые вещества. -1993.-№ 5.-С. 29—36.
  80. Глубокая очистка газов от труднопроникающих примесей с помощью мембранного модуля с питающим резервуаром / В. М. Воротынцев и др. // Доклады Академии Наук. 2006. — Т. 411, № 4.-С. 496−498.
  81. , Л.И. Теоретическая электрохимия / Л. И. Антропов. М.: Наука, 1965.-512 с.
  82. , Б. Б. Принципы современных методов изучения электрохимических реакций / Б. Б. Дамаскин. М.: Химия, 1965. -103 с.
  83. , Б. Б. Адсорбция органических соединений на электродах / Б. Б. Дамаскин, О. А. Петрий, В. В. Батраков. М.: Наука, 1968. -335 с.
  84. , Б. Б. Введение в электрохимическую кинетику / Б. Б. Дамаскин, О. А. Петрий-М.: Наука, 1983. -400 с.
  85. , Б. Б. Электрохимия / Б. Б. Дамаскин, О. А. Петрий. М.: Наука, 1987.-295 с.
  86. , С. С. Электропроводность и электрокинетические свойства дисперсных систем / С. С. Духин. Киев: Наук, думка, 1975. — 247 с.
  87. Технология фосфора / под ред. В. А. Ершова, В. Н. Белова. JI.: Химия, 1979.-336 с.
  88. , Г. В. Фосфиды / Г. В. Самсонов, JL JI. Верейкина. Киев: Наук, думка, 1961. — 127 с.
  89. , Ю.К. Электро-гидродинамические течения в жидких диэлектриках / Ю. К. Стишков, А. А. Остапенко. JI.: Издательство Ленинградского университета, 1989. — 176 с. ISBN 5−288−259−2
  90. , А.Н. Избранные труды: Перенапряжение водорода / А. Н. Фрумкин. М.: Наука, 1988. — 240 с.
  91. , А. Г. Физико-химические свойства молекулярных неорганических соединений / А. Г. Морачевский, И. Б. Сладков. Л.: Химия, 1987. — 192 с.
  92. , В. А. Краткий химический справочник / В. А. Рабинович, 3. Я. Хавин. Л.: Химия, 1978. — 392 с.
  93. Краткий справочник по химии / гл. ред. О. Д. Куриленко и др. -Киев: Наукова думка, 1974. 987 с.
  94. , К. П. Краткий справочник физико-химических величин / К. П. Мищенко, А. А. Равдель. Л.: Химия, 1974. — 200 с.
  95. Добош, Д Электрохимические константы. Справочник для электрохимиков / Д. Добош. М.: Мир, 1980. — 367 с.
  96. The NIST Chemistry WebBook электронный ресурс. / National Institute of Standards and Technology — NIST Standard Reference Database Number 69, June 2005 Release. Электрон. Дан. — Режим доступа: http://webbook.nist.gov, свободный. — Загл с экрана
  97. Facility for the Analysis of Chemical Thermodynamics электронный ресурс. / Руководитель работы С. W. Bale. Электрон. Дан. — Режим доступа: http://www.crct.polymtl.ca/FACT, свободный. — Загл с экрана
  98. , Г. Г. Выставка-коллекция веществ особой чистоты / Г. Г. Девятых, Ю. А. Карпов, Л. И. Осипова. М.: Наука, 2003. — 236 с. ISBN 5−02−6 483−1
  99. Прогнозирование степени чистоты простых веществ с учетом газообразующих примесей / Г. Г. Девятых и др. // Высокочистые вещества. 1992. — № 1. — С. 132−135.
  100. Статистический метод определения полноты и правильности массива данных по примесному составу высокочистых веществ напримере хроматографического анализа образцов диэтилтеллура / В. М. Степанов и др. // Высокочистые вещества. 1993. — № 3. — С. 170−176.
  101. , Г. Г. Вероятностное описание процессов очистки и примесного состава высокочистых веществ / Г. Г. Девятых, В. М. Степанов, С. В. Яньков // Высокочистые вещества. 1988. — № 2. -С. 5−19.
  102. , К. К. статистическая оценка суммарной концентрации примесей по неполным данным анализа на примере Те, Mn, А1 / К. К. Малышев, В. М. Степанов // Высокочистые вещества. 1990. -№ 2.-С. 229−236.
  103. Оценка параметров распределения концентраций примесей по неполным данным анализа / В. М. Степанов и др. // Высокочистые вещества. 1987. -№ 5.-С. 188−192.
  104. , Н. Т. Источник примесей при получении арсина и фосфина / Н. Т. Иванова, Н. А. Вислых, Воеводина В. В. // Высокочистые вещества. 1990. — № 5. — С. 198—203.
  105. , А. М. Методы расчета термодинамических характеристик процессов синтеза и очистки летучих веществ : дис. канд. хим. наук: 02.00.04: защищена 30.12.80: утв. 12.07.81 / Кутьин Александр Михайлович. Горький, 1980. — 137 с.
  106. Рид, Р. Свойства газов и жидкостей: Справочное пособие / Р. Рид, Дж. Праусниц, Т. Шервуд. JI.: Химия, 1982. — 592 с.
  107. , В. М. Статистическая термодинамика разбавленных растворов: Учеб. пособие / В. М. Степанов. Нижний Новгород: Издательство Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского, 1999.- 128 с.
  108. Методы получения особо чистых неорганических веществ / Б. Д. Степин и др. JI.: Химия, 1969. — 480 с.
  109. Справочник химика. Т. 5. Сырье и продукты промышленности неорганических веществ, процессы и аппараты, гальванотехника, химические источники тока / гл. ред. Б. П. Никольский. JI.: Химия, 1968.-976 с.
  110. , А. А. Эмульсии / А. А. Абрамзон. JI.: Химия, 1972. -448 с.
  111. , В. Г. Диэлектрические и оптические свойства жидкостей / В. Г. Артамонов, Ю. А. Любимов. М.: Наука, 1986. -102 с.
  112. , И. Т. Краткий справочник по химии / И. Т. Гороновский, Ю. П. Назаренко, Е. Ф. Некряч. Киев: Наукова думка, 1987.-830 с.
  113. , В. А. К вопросу образования фосфина в промышленном процессе получения фосфора / В. А. Ершов, Н. А. Смирнова, И. А. Николаева // ЖПХ. 1974. — № 11. — С. 2385−2388.
  114. , Л. И. Электродные реакции: Механизм элементарного акта / Л. И. Кришталик. М.: Наука, 1979. — 224 с.
  115. , В. Б. Электропроводность окисных систем и пленочных структур / В. Б. Лазарев, В. Г Красов, И. С. Шаплыгин. М.: Наука, 1979.- 168 с.
  116. , М. А. Звукохимические реакции и сонолюминисценция / М. А. Маргулис. М.: Химия, 1986. — 288 с.
  117. , М. А. Основы звукохимии / М. А. Маргулис. М.: Химия, 1984.-272 с.
  118. , Д., Химия органических соединений фосфора /Д. Пурдела, Р. Вылчану М.: Химия, 1972. — 752 с.
  119. , Г. В. Органические гидриды / Г. В. Романов, Т. Я. Рыжикова, Г. И. Подзигун. М.: Изд. АН СССР, 1985. — 219 с.
  120. , Б. А. Фосфин в синтезе фосфорорганических соединений / Б. А. Трофимов, С. Н. Арбузова, Н. К. Гусарова // Успехи химии. 1999. — Т. 68, № 3. — С. 240−253.
  121. , С.В. Методы исследования электрофизических свойств и процессов переноса в электролитах и диэлектриках / С. В. Усиков, Н. К. Лукъянчиков, В. И. Данилкин // Сборник статей / Л., 1967. № 57.- 100 с.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!