Исследование особенностей распространения акустических волн для создания твердотельных датчиков движения
Диссертация
В результате расчетных исследований характеристик процессов распространения поверхностных акустических волн в различных пьезоматериалах с учетом величины электрического поля, сопровождающего поверхностную волну, впервые в пьезокварце йС^и сульфиде кадмия Сс18 были найдены особые срезы и направления, в которых при вращении пьезокристалла вдоль электрически неактивного направления, в котором… Читать ещё >
Список литературы
- Джексон Р.Г. Новейшие датчики М.: Техносфера, 2008.
- Nasiri S. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Commercialization Status.
- Geen J., Krakauer D. New iMEMS® Angular-RateSensing Gyroscope., ADI Microniachined Products Division.
- Burg A., Meruani A., Sandheinrich В., Wickmann M. MEMS Gyroscopes and their Applications.
- Watson W. S. Improved Vibratory Gyro Pick-off and Driver Geometry. Watson Industries, Inc. Symposium Gyro Technology. Stuttgart, Germany. Sept. 19, 2006.
- Shkel A. M. Type I and Type II Micromachined Vibratory Gyroscopes. — Mechanical & Aerospace Engineering, University of California, Irvine.
- Xie Y., Li S.-S., Lin Y.-W., Ren Z., Nguyen С. T.-C. UHF Micromechanical Extensional Wine-Glass Mode Ring Resonators. Technical Digest, 2003 IEEE International Electron Devices Meeting, Washington, DC, Dec. 8−10, 2003.
- Micromachined gyros. US Patent 6,122,961. Опубл. Sept. 26, 2000. (Geen, Analog Devices, Inc.).
- Micromachined gyros. US Patent 6,505,511. Опубл. Jan. 14, 2003 (Geen, Analog Devices, Inc.).
- Micromachined gyroscope. US Patent 6,877,374. Опубл. April 12, 2005. (Geen, Analog Devices, Inc.).
- Six degree-of-freedom micro-machined multisensor. US Patent 6,848,304. Feb. 1, 2005 (Geen, Analog Devices, Inc.).13. www.analog.com
- Schoenberg M., Censor D. Elastic waves in rotating media // Quart. Appl. Math. 1973. -V. 31.- P. 115−125.
- Lao Binneg Y. Gyroscopic effect in surface acoustic waves // Ultrasonic Symposium, 1980, pp. 687−691.
- Сарапулов C.A., Кисиленко С. П. Гироскопический эффект в поверхностных акустических волнах // Докл. нац. ак. наук Украины, 1989, с. 62−65.
- Сарапулов С. А. Общее решение задачи теории упругости вращающейся среды // Механика гироскопических систем. Киев. — 1989. — Вып. 8-С. 57−61.
- Улитко И.А. Дисперсия плоских гармонических волн в равномерно вращающемся упругом пространстве // Докл. нац. ак. наук Украины, 1995, с. 54−57.
- Сарапулов С.А. Гиродинамика вращающейся изотропной среды // Доклад на семинаре кафедры Теоретической и прикладной механики КГУ. -Киев. 1998.
- Сарапулов С.А., Улитко И. А. Влияние вращения на объемные волны в упругой среде и их использование в твердотельной гироскопии // Гироскопия и. навигация № 4 (35), 2001, с. 64−72.
- Hamisch Н. Die Ausbreitung elastischer Wellen im rotierenden Medium // Acustica. 1990. — V. 72 (4). — P. 275−279.
- Григорьевский В.И., Гуляев Ю. В., Козлов А. И. Акустические волны во вращающейся упругой среде // Акуст.Ж. 2000. — Т. 46. — № 2. — С. 282−284.
- Clarke N.S., Burdess J.S. Rayleigh waves on a rotating surface // ASME J. Appl. Mech. 1994. — V. 61. — P. 724−726.
- Destrade M. Surface acoustic waves in rotating orthorhombic crystals // Proc. R. Soc. London. 2003. — V. 460. — P. 653−665.
- Destrade M. Rayleigh waves in anisotropic crystals rotating about the normal to a symmetry plane // ASME J. Appl. Mech. 2004. — Vol. 71. — 4 4. — P. 516−520.
- Ting T.C.T. Surface waves in a rotating anisotropic elastic half-space // Wave Motion. 2004. — Vol. 40. — P. 329−346.
- Fang H., Yang J., Jiang Q. Rotation perturbed surface acoustic waves propagating in piezo-electric crystals // Int. J. Solids Struct. 2000. — Vol. 37. — P. 4933−4947.
- Ерофеев В.И., Клюева Н. В., Солдатов И. Н. Распространение волн во вращающемся упругом полупространстве // Вычислительная механика сплошных сред, 1,1, 2008, с. 39−47.
- Apparatus and method for detecting a rotation, WO Patent 2008/310 Al, Aigner Robert (US), Infineon Technologies AG (DE), No PTC/EP2007/3 908, 30.06.2006.
- S.W. Lee, J. W. Rhim. S.W. Park, S.S. Yang A micro rate gyroscope based on the SAW gyroscopic effect // J. of micromechanics and Microengineering. 2007. P. 2272 2279.
- Чувствительный элемент гироскопа на поверхностных акустических волнах, Богословский B.C. (RU), Патент РФ RU 2 335 739, № 2 007 114 810/28, 19.04.2007.
- Elastic surface wave gyroscope, Yukawa К., Fukuda Y., Higuchi Т., Kurosawa M., Minolta Co., Ltd., US Patent US 6 237 414, No 09/356 099, 16.07.1999.
- Minoru Kurosawa, Yoshimitsu Fukuda, Masaya Takasaki, Toshiro Higuchi / A surface-acoustic-wave gyro sensor // Sensors and Actuators, 1998, pp. 33−39.
- V.K. Varadan, V.V. Varadan / Design and development of a MEMS-IDT gyroscope // Smart Mater. Struct. № 9, 2000, pp. 898−905.
- Microelectromechanical gyroscope, V.K.Varadan, P. A. Xavier, W. D. Suh, J. A. Kollakompil, V. Varadan, US Patent №.6 516 665, 2003.
- Грибкова E.C., Перегудов A.H., Шевелько M.M. Особенности распространения объемных акустических волн во вращающихся твердых средах // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2009, № 1, С. 53−58.
- Грибкова Е.С., Перегудов А. Н., Шевелько М. М. Теоретические и экспериментальные исследования возможности построения гироскопа на объемных волнах // Сб. докладов 62П ежегодной конференции профессорско-преподавательского состава СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2009.
- Грибкова Е.С., Перегудов A.M., Шевелько М. М. О возможности создания датчиков угловой скорости па базе акустических волн // Труды ЦНИИ им. акад. А. Н. Крылова, 2010, Вып. 52 (336), С. 193 202.
- Е. Gribkova, A. Peregudov and М. Shevelko Theoretical and experimental researches of the bulk acoustic waves' availability in angular motion sensors // Proceedings of the IEEE Russia, 1/2011, p. 69 72.
- Патент РФ № 2 392 625 / Способ измерения угловой скорости // Е. С. Грибкова, Д. П. Лукьянов, А. Н. Перегудов, М. М. Шевелько.
- Патент РФ № 2 397 445 /Чувствительный элемент гироскопа // Грибкова Е. С., Лукьянов Д. П., Перегудов А. Н., Шевелько М.М.
- Патент РФ № 2 457 436 / Устройство для измерения угловой скорости // Грибкова Е. С., Перегудов А. Н., Поженская А. А., Шевелько М.М.
- Патент РФ № 2 460 078 / Способ измерения угловой скорости // Грибкова Е. С., Перегудов А. Н., Поженская А. А., Шевелько М.М.
- Федоров Ф.И. Теория упругих волн в кристаллах / М.: Наука -1965.-388 с.
- Балышева О.Л. Материалы для акустоэлектронных устройств: учеб. пособие. СПб: ГУАП. — 2005. — 50 с.
- Физическая акустика. Принципы и методы. Под ред. П. Мезона. М.: «Мир», 1966 1973, т. 1 — 6.
- Фильтры на поверхностных акустических волнах. Расчет, технология и применение, под ред. Г. Мэттьюза / М., 1981.
- Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах / М., 1990.
- Поверхностные акустические волны, под ред. Л. Олинера / М., 1981.
- Гуляев Ю.В., Плесский В. П. Распространение поверхностных акустических волн в периодических структурах // Усп. Физ. Наук, Т. 157, В. 1, 1989, С. 85−120.
- Дмитриев В.Ф. Устройства интегральной электроники. Акустоэлектроника: учеб. пособие СПб. — 2006. — 167с.
- Грибкова Е.С., Перегудов А. Н., Шевелько М. М. Оценка предельной чувствительности твердотельных датчиков гироскопов на объемных акустических волнах // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2012. № 7. с. 84 90.
- Рейсленд Дж. Физика фононов М.: Мир 1975.
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела. М.: Физматгиз, 1953.
- Харрисон У. Теория твердого тела. М.: Издательство «Мир», 1972, -616 с.
- Лепендин Л.Ф. Акустика: Учебное пособие для втузов. М.: Высшая школа, 1978, — 448 е., ил.
- Ашкрофт Н. Мермин Н. Физика твердого тела. М.: Высшая школа, 1986, т. 1,2.
- Букингем М., Шумы в электронных приборах и системах. М.: Мир, 1986.
- Ван дер Зил А. Флуктуации в радиотехнике и физике. Госэнергоиздат, 1958.
- Гончаров К.В., Краснльников В. А. /Тепловые механические колебания (флуктуации) пьезоэлектрических кристаллов // Изв. АН СССР, сер. физ., 1956, 20, 2, с. 231−236.
- Домаркас В.И., Кажис Р.-И.Ю. Контрольно-измерительные пьезоэлектрические преобразователи. Вильнюс: МИНТИС, 1975.
- Домаркас В.И., Кажис Р.-И.Ю., Яронис Э. П. / Тепловые шумы на выходе пьезоэлектрических приемников звука // «Акуст. ж.», 1971, 17, 1, с. 43−49.
- Домаркас В.И., Кажис Р.-И.Ю. / Анализ тепловых шумов пьезоэлектрических приемников / Анализ тепловых шумов пьезоэлектрических приемников // Труды Всесоюзной межвузовской конференции по вопросам ультразвуковой спектроскопии, Каунас, 1969, с. 56−57.
- Горышник Л.Л., Кондратьев С. Н. / Возбуждение поверхностных электроакустических волн электродными преобразователями. // «Радиотехника и электроника», 1974, т. XIX № 8, 1719 1727.
- Патент РФ № 2 426 131 / Способ и устройство для измерения угловой скорости // Грибкова Е. С., Лукьянов Д. П., Перегудов А. Н., Шевелько М. М., Шевченко С.Ю.
- Патент РФ № 2 426 132 / Способ и устройство для измерения угловой скорости // Грибкова Е. С., Лукьянов Д. П., Перегудов А. Н., Шевелько М. М., Шевченко С.Ю.